KR20080022377A

KR20080022377A - 기판이송장치

Info

Publication number: KR20080022377A
Application number: KR1020060085733A
Authority: KR
Inventors: 이인호; 박영길; 이강혁; 김호진; 김성래
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-09-06
Filing date: 2006-09-06
Publication date: 2008-03-11

Abstract

프레임과 프레임의 상측에 마련되어 상면에 접촉되는 기판을 일방향으로 이송시키는 이송롤러부를 구비하는 이송유닛과, 프레임의 내부에 배치되는 전환프레임과 전환프레임의 하측에 마련되어 전환프레임을 승강시키는 승강부와 전환프레임의 상단에 마련되어 전환프레임의 상승 시 기판을 전환 이송시키는 전환롤러부를 구비하는 전환유닛을 포함하며, 전환프레임은 승강부에 의한 상승 시 이송롤러부를 통해 이송되는 후발 기판이 통과되도록 통과공간이 형성된 기판이송장치를 개시한다. 이러한 기판이송장치는 전환유닛에 의한 기판의 전환 이송하는 과정에서 통과공간을 통해 지속적으로 기판을 이송시킬 수 있으므로 기판을 이송하는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있게 된다.

Description

기판이송장치{The substrate transfer}

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 사시도이다.

도 2a는 본 발명에 따른 기판이송장치 중 이송유닛을 도시한 사시도이다.

도 2b는 본 발명에 따른 기판이송장치 중 전환유닛을 도시한 사시도이다.

도 3a,b는 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**

10 : 이송유닛 11 : 프레임

12 : 이송롤러부 13 : 지지대

14 : 이송축 15 : 이송모터

16 : 이송롤러 20 : 전환유닛

21 : 전환프레임 25 : 승강부

26 : 전환롤러부 27 : 전환롤러

28 : 전환구동모터 29 : 프리롤러

30 : 통과공간

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전환유닛을 통해 기판을 전환 이송하는 과정에서도 딜레이되는 시간 없이 기판을 일방향으로 이송시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

최근 들어 정보처리기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빠라진 정보처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보처리기기는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이장치를 가진다. 종래에 사용된 디스플레이장치로는 브라운관(Cathode ray tube)모니터가 사용되어 왔으나, 최근 들어 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판디스플레이의 사용이 급격히 증가되고 있다. 이러한 평판디스플레이는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정표시소자(Liquid crystal display;LCD)가 널리 사용되고 있다.

액정표시소자의 제작을 위해서는 복수의 단위공정이 수행되는데, 이러한 복수의 단위공정을 수행하기 위해서는 각 단위공정간 다수의 이송롤러가 구비된 기판이송장치를 통해 기판(Glass substrate)을 이송하게 된다. 즉, 기판이송장치의 이송롤러의 상면에 기판을 위치시켜 이송롤러를 회전시킴으로써 기판을 이송시키는 것이다.

한편, 상술한 기판이송장치에는 기판을 이송하는 과정에서 기판의 진행 방향을 전환하기 위한 전환유닛이 마련된다. 이와 같은 전환유닛은 이송롤러의 하측에 마련되어 이송롤러와 직교하도록 배치되는 전환롤러와, 이 전환롤러를 이송롤러의 상측으로 이동시키는 승강부를 포함한다. 즉, 전환유닛은 승강부를 통해 전환롤러를 승강시킨 후 전환롤러의 상면에 기판을 받치고, 이 전환롤러를 회전시킴으로써 기판의 진행방향을 전환시킬 수 있는 것이다.

그러나, 종래의 기판이송장치에서 기판(선기판으로 지칭)의 진행방향을 전환하기 위하여 전환롤러를 상승시켜 선기판의 이송을 전환할 때 선기판 다음으로 이송되는 기판(후발기판으로 지칭)은 이 전환롤러의 상승으로 인하여 선기판의 전환이송이 완료될 때까지 지속적으로 이송되지 못하고 대기해야 하는 문제점이 있다.

즉, 선기판이 전환이송되는 시간만큼 후발기판의 이송이 지연됨으로써 전반적인 기판의 이송이 저하되게 된다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 이송과정에서 기판의 진행방향 전환 시 후발기판의 대기 시간을 최소화할 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판이송장치는 프레임과 상기 프레임의 상측에 마련되어 상면에 접촉되는 기판을 일방향으로 이송시키는 이송롤러부를 구비하는 이송유닛과, 상기 프레임의 내부에 배치되는 전환프레임과 상기 전환프레임의 하측에 마련되어 상기 전환프레임을 승강시키는 승강부와 상기 전환프레임의 상단에 마련되어 상기 전환프레임의 상승 시 기판을 전환 이송시키는 전환롤러부를 구비하는 전환유닛을 포함하며,

상기 전환프레임은 상기 승강부에 의한 상승 시 상기 이송롤러부를 통해 이송되는 후발 기판이 통과되도록 통과공간이 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 전환프레임은 하부프레임과, 상기 하부프레임의 양끝단으로부터 수직 연장되는 다수의 수직프레임과, 대응되는 상기 각 수직프레임을 연결하는 다수의 연결프레임을 포함하며, 상기 통과공간은 상기 하부프레임과 상기 연결프레임의 사이에 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 전환롤러부는 상기 연결프레임에 마련되며 상기 이송롤러부와 직교하는 방향으로 설치된 전환롤러와, 상기 전환롤러를 회전시켜 기판을 전환 이송시키는 전환구동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 전환롤러는 상기 연결프레임 중 하나 이상의 연결프레임에 마련되며, 상기 전환롤러가 설치된 연결프레임 이외의 연결프레임의 상단에는 기판의 전환 이송시키는 전환롤러를 보조하는 프리롤러가 더 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 이송롤러부는 상기 프레임의 상측에 설치된 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그리고 본 실시예에서 기판은 펑판디스플레이소자를 제조하기 위한 것으로, 이러한 평판디스플레이소자는 LCD(Liquid Crystal Display;액정표시소자), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Flourescent Display), FED(Field Emissin Dispaly), ELD(Electro Luminescene Display)일 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2a는 본 발명에 따른 기판이송장치 중 이송유닛을 도시한 사시도이고, 도 2b는 본 발명에 따른 기판이송장치 중 전환유닛을 도시한 사시도이고, 도 3a,b는 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

평판디스플레이소자를 제조하기 위해서는 다수의 공정을 수행해야 하며, 이러한 각 공정을 수행하기 위해서는 각 공정 간에 기판이송장치를 이용하여 기판을 이송하게 된다.

본 발명에 따른 기판이송장치에는 도 1에 도시된 바와 같이 기판을 일방향으로 이송시키기 위한 이송유닛(10)이 마련되며, 이 이송유닛(10)은 다수개가 연결됨으로써 In-line을 이루게 된다. 그리고, 다수의 이송유닛(10) 중 하나에는 일방향으로 이송되는 기판의 진행방향을 전환시키기 위한 전환유닛(20)이 마련되며, 이 전환유닛(20)이 마련된 이송유닛(10)의 측면에는 전환 이송되는 기판을 이송하기 위한 별도의 이송유닛(10a)이 연결된다.

한편, 이송유닛(10)은 도 1 및 도 2a에 도시된 바와 같이 바닥면에 놓여지는 프레임(11)과, 이 프레임(11)의 상측에 마련되어 기판을 일방향으로 이송시키기 위한 이송롤러부(12)를 포함한다.

구체적으로, 이송롤러부(12)는 프레임(11) 상면 양 가장자리에 각각 마련되는 지지대(13)와, 각 지지대(13) 사이에 설치되는 다수의 이송축(14)과, 이 이송 축(14)과 연결되어 이송축(14)을 회전시키는 이송모터(15)와, 각 이송축(14) 상에 설치되어 이송모터(15)에 의한 이송축(14)의 회전 시 회전되는 이송롤러(16)를 포함한다.

여기서, 이송모터(15)는 다수의 이송축(14) 각각에 연결되어 다수의 이송축(14)을 회전시킬 수 있고, 다수의 이송축(14) 중 어느 하나의 이송축에 연결되고 기어나 풀리 등의 부재로 다른 이송축과 연결됨으로써 다수의 이송축(14)을 회전시킬 수도 있다.

전환유닛(20)은 도 1 및 도 2b에 도시된 바와 같이 이송유닛(10)의 프레임(11) 내부에 배치되는 전환프레임(21)과, 이 전환프레임(21)의 하측에 마련되어 전환프레임(21)의 상단을 프레임(11)의 상부로 승강시키는 승강부(25)와, 이 전환프레임(21)의 상단에 마련되어 전환프레임(21)의 상승 시 기판의 이송을 전환시키는 전환롤러부(26)를 포함한다.

구체적으로, 전환프레임(21)은 하부프레임(22)과, 이 하부프레임(22)의 양끝단 즉, 양측면 가장자리로부터 수직 연장되는 다수의 수직프레임(23)과, 대응되는 각 수직프레임(23)을 연결하는 다수의 연결프레임(24)을 포함한다. 이때, 전환프레임(21)의 하부프레임(22)과 각 연결프레임(24)의 사이에는 일정 공간이 형성되는데, 이 일정 공간은 승강부(25)에 의해 전환프레임(21)의 상승 시 이송유닛(10)의 이송롤러(16)의 회전으로 이송되는 후발 기판이 통과되는 통과공간(30)이 된다. 그리고, 승강부(25)에 의한 이 전환프레임(21)의 상승 시 각 이송축(14)에 접촉되지 않도록 각 연결프레임(24) 이송축(14)의 사이사이에 배치되게 된다.

승강부(25)는 상술한 바와 같이 전환프레임(21) 즉, 하부프레임(22)의 하측에 배치되어 전환프레임(21)을 승강시키는 역할을 하며, 이때의 승강부(25)는 에어실린더 또는 유압실린더 일 수 있다.

전환롤러부(26)는 다수의 연결프레임(24) 중 어느 하나의 연결프레임에 마련되어 이송롤러부(12)의 이송롤러(16)와 직교하는 방향으로 설치된 전환롤러(27)와, 이 전환롤러(27)와 연결되어 전환롤러(27)를 회전시키는 전환구동모터(28)를 포함한다. 여기서, 전환롤러(27)는 다수의 연결프레임(24) 중 중앙에 배치된 연결프레임에 설치되는 것이 바람직하며, 중앙의 연결프레임 이외의 연결프레임의 상단에는 기판을 전환 이송시키는 전환롤러(27)를 보조하는 프리롤러(29)가 설치된다. 즉, 전환롤러(27)의 상면에 접촉되지 않는 기판의 나머지 부분도 프리롤러(29)에 의해 원활하게 이송시킬 수 있게 하는 것이다.

이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판이송장치의 동작과 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 기판이송장치에서 일방향으로 기판을 이송하는 과정은 도 3a에 도시된 바와 같이 이송유닛(10)에 의해 이루어지는데, 가장 먼저 이송모터(15)를 회전시킴으로써 이 이송모터(15)와 연결된 이송축(14)이 회전되고, 이 이송축(14)이 회전됨에 따라 이송롤러(16)가 회전되어 이송롤러(16)의 상면에 접촉되는 기판이 일방향으로 이송되는 것이다. 이때, 전환유닛(20)의 전환프레임(21)은 이송유닛(10)의 이송롤러(16)의 하측에 배치되어 이송롤러(16)에 의한 기판의 이송을 방해하지 않는다.

본 발명에서는 상기와 같이 기판을 일방향으로 이송하는 과정에서 기판의 진행방향을 전환할 수도 있다. 이를 위해서는 가장 먼저 전환유닛(20)의 배치된 이송유닛(10) 상에 기판을 이송한다.

이후, 전환유닛(20)의 전환프레임(21) 하측에 마련된 승강부(25)를 통해 전환프레임(21)을 프레임(11)의 상부로 승강시켜 이송롤러(16)에 접촉된 기판을 전환롤러(27)에 접촉되게 한다.(도 3b 참조)

다음으로 전환구동모터(28)를 회전시키면 전환롤러(27)가 회전되고. 이 전환롤러(27)에 접촉된 기판이 전환롤러(27)의 회전방향으로 이송된다. 즉, 일방향으로 이송되는 기판이 전환유닛(20)에 의해 전환 이송되는 것이다.

한편, 상기의 과정에서 전환 이송되는 기판은 이송롤러(16)의 상측으로 상승된 전환롤러(27)에 의해 전환 이송되는 바 전환프레임(21)의 구조에 의해 형성된 통과공간(30)을 통해 후발기판은 지속적으로 이송유닛(10)을 통해 일방향으로 이송된다.

즉, 본 발명에 따른 기판이송장치에서는 전환유닛(20)을 통해 기판을 전환 이송하는 과정에서도 딜레이되는 시간 없이 전환프레임(21)에 의해 형성된 통과공간(30)을 통해 일방향으로 기판이 이송될 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판이송장치는 전환유닛을 통해 기판을 전환 이송하는 과정에서도 전환프레임에 형성된 통과공간을 통해 기판이 일방향으로 이송 가능하여 기판이 이송하는데 소용되는 시간이 지연되는 것을 방지하 는 효과가 있다.

Claims

프레임과, 상기 프레임의 상측에 마련되어 상면에 접촉되는 기판을 일방향으로 이송시키는 이송롤러부를 구비하는 이송유닛;

상기 프레임의 내부에 배치되는 전환프레임과, 상기 전환프레임의 하측에 마련되어 상기 전환프레임을 승강시키는 승강부와, 상기 전환프레임의 상단에 마련되어 상기 전환프레임의 상승 시 기판을 전환 이송시키는 전환롤러부를 구비하는 전환유닛을 포함하며,

상기 전환프레임은 상기 승강부에 의한 상승 시 상기 이송롤러부를 통해 이송되는 후발 기판이 통과되도록 통과공간이 형성된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제 1항에 있어서,

상기 전환프레임은 하부프레임과, 상기 하부프레임의 양끝단으로부터 수직 연장되는 다수의 수직프레임과, 대응되는 상기 각 수직프레임을 연결하는 다수의 연결프레임을 포함하며,

상기 통과공간은 상기 하부프레임과 상기 연결프레임의 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제 2항에 있어서,

상기 전환롤러부는 상기 연결프레임에 마련되며 상기 이송롤러부와 직교하는 방향으로 설치된 전환롤러와, 상기 전환롤러를 회전시켜 기판을 전환 이송시키는 전환구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제 4항에 있어서,

상기 전환롤러는 상기 연결프레임 중 하나 이상의 연결프레임에 마련되며, 상기 전환롤러가 설치된 연결프레임 이외의 연결프레임의 상단에는 기판을 전환 이송시키는 전환롤러를 보조하는 프리롤러가 더 구비된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
제 1항에 있어서,

상기 이송롤러부는 상기 프레임의 상측에 설치된 다수의 이송축과, 상기 이송축과 연결되어 상기 이송축을 회전시키는 이송모터와, 상기 각 이송축에 설치되어 상기 이송모터에 의한 상기 각 이송축의 회전 시 회전되어 기판을 이송시키는 다수의 이송롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.