KR100472899B1

KR100472899B1 - 투명액체 검사장치, 투명액체 검사방법 및 투명액체도포방법

Info

Publication number: KR100472899B1
Application number: KR10-2002-7004630A
Authority: KR
Inventors: 후쿠야마테루아키
Original assignee: 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤
Priority date: 2000-08-11
Filing date: 2001-07-30
Publication date: 2005-03-09
Also published as: CN1388890A; US20020151042A1; JP4548912B2; US7276380B2; CN1181312C; WO2002014783A1; JP2002054905A; KR20020060196A

Abstract

본 발명은 기재 상의 다수개의 취득제품에 도포되는 투명액체와 기재의 경계부분을 식별할 수 있고, 기재의 배경에 영향을 받지 않고 투명액체의 도포상태를 자동적으로 검사할 수 있는 투명액체 검사장치를 제공한다. 투명액체의 액면을 경면으로서 거기에 조명용 광원(2)의 투영상을 찍고, 그 투영상을 카메라(41∼44)로 촬상하고, 그 화상을 화상처리장치(8)로 해석함으로써 상기 투명액체의 소정 도포위치로부터의 변위량 및 상기 투명액체의 액면의 퍼짐을 검사한다.

Description

투명액체 검사장치, 투명액체 검사방법 및 투명액체 도포방법{TRANSPARENT LIQUID TESTING APPARATUS, TRANSPARENT LIQUID TESTING METHOD, AND TRANSPARENT LIQUID COATING METHOD}

본 발명은 투명액체 도포 후의 도포상태의 검사에 관한 것이다.

본 발명은, 예컨대 인간의 혈당치를 측정하는 혈당치센서의 제조과정에 있어서, 혈당과 반응시키기 위한 투명한 시약을 전극 상에 도포한 후에 이 시약의 도포상태(상기 투명액체의 소정 도포위치로부터의 변위량 및 상기 투명액체의 액면의 퍼짐)를 검사하는 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

종래, 도 6에 나타낸 바와 같이, 투명액체(50)가 도포된 다수개의 취득 제품(22)을 하나의 기재(7)로부터 다수 개 제조하는 과정에 있어서, 상기 투명액체의 도포상태의 검사는, 검사원의 눈으로 검사함으로써 행해지고 있다.

그러나, 상술한 검사원의 눈으로 검사하는 것은 검사정밀도나 검사능률이 매우 나쁘고, 그 때문에 제품에 신뢰성이 생기지 않고, 또한 생산속도가 느리게 되어 대량생산의 장해가 되고 있다. 이와 같은 것 때문에, 제품의 신뢰성을 확보하고 생산능률을 높이기 위해, 자동화기기를 이용한 정밀도가 높은 도포상태 검사가 요망되고 있다. 그래서, 화상처리기술을 이용한 도포상태의 검사의 자동화가 시도되고 있다.

도포상태를 화상처리기술로 자동적으로 검사하기 위해서는, 상기 기재와 상기 투명액체의 경계부분을 식별할 수 있어야만 하고, 그 때문에, 상기 투명액체의 표면장력을 이용하여, 조명을 상기 투명액체의 단부에 조사하여 상기 경계부분을 두드러지게 하여 식별하는 방법 등이 고려되어 왔다.

그러나, 상기 투명액체의 표면장력이 약한 경우에는 상기 기재에 상기 투명액체가 스며들어 상기 투명액체의 단부에 조명을 조사하여도 상기 기재와 상기 투명액체의 경계부분이 두드러지지 않기 때문에, 상기 투명액체의 액면과 상기 기재의 경계부분을 식별하는 것은 곤란하게 된다. 또한, 실제로 상기 기재에는 배경(예컨대, 혈당치센서의 경우는 인쇄된 전극의 패턴)이 있기 때문에, 상기 기재와 상기 투명액체의 컨트라스트(contrast) 뿐만 아니라 상기 배경을 가한 컨트라스트를 고려하지 않으면 안되므로 화상처리기술에 의한 상기 경계부분의 식별이 더욱더 곤란하게 된다. 그 때문에 상기 투명액체의 도포상태를 화상처리기술에 의해 자동검사하는 방법은 아직 확립되어 있지 않다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 투명액체 검사장치의 단면도,

도 2는 본 발명의 실시형태에 있어서 기재를 카메라에 의해 분할방식으로 캡쳐할 때의 동작설명도,

도 3은 본 발명의 실시형태에 있어서의 임의의 투명액체의 액면상태를 나타내는 개략도,

도 4는 본 발명의 실시형태에 있어서의 화상처리장치의 화면에 비춰진 임의의 투명액체의 액면상태를 나타내는 도면,

도 5의 a, b는 본 발명의 실시형태에 있어서의 투명액체 단부의 히스토그램처리결과를 나타내는 도면,

도 6은 투명액체가 도포된 기재를 표시하는 개략도이다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것으로, 기재 상의 다수개의 취득부품에 도포되는 투명액체의 표면장력이 약한 경우라도, 상기 투명액체의 액면을 경면으로 하여 거기에 조명수단의 형상을 투영시키고, 상기 투영상을 촬상하고, 촬상된 화상을 화상처리하여 해석을 행함으로써, 상기 기재와 상기 투명액체의 경계부분을 식별할 수 있고, 상기 기재의 배경에 영향을 받지 않게 상기 투명액체의 도포상태를 자동적으로 검사할 수 있는 투명액체 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항1에 기재된 투명액체 검사장치는, 다수개의 취득제품 각각에 투명액체가 도포된 기재와, 상기 투명액체에 조명조사를 행하는 조명수단과, 상기 투명액체의 액면에 투영된 상기 조명수단의 상기 투명액체의 퍼짐에 따른 형상을 촬상하는 촬상수단 및 상기 촬상수단으로부터의 화상에 기초하여 상기 투명액체가 도포될 소망하는 도포 위치의 단부 주변에서의 소정 위치의 휘도성분을 연산하고, 상기 휘도성분에 기초하여 상기 투명액체의 액면의 퍼짐을 연산함과 아울러, 상기 투명액체의 액면의 퍼짐 데이터를 통계적으로 처리하여 상기 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량을 연산하는 연산수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항2에 기재된 투명액체 검사장치는, 청구항1에 기재된 투명액체 검사장치에 있어서, 상기 기재를 상기 촬상수단의 촬상시야에 맞춰서 복수의 블록으로 분할하고, 상기 블록에 대응하는 상기 촬상수단 및 상기 조명수단을 소망하는 수만큼 구비함으로써, 상기 소망하는 수만큼의 상기 블록을 동시에 촬상할 수 있는 것을 특징으로 한다.

청구항3에 기재된 투명액체 검사방법은, 기재 상의 다수개의 취득제품 각각에 도포되어 있는 투명액체에 조명을 조사하는 공정과, 상기 투명액체의 액면에 투영된 조명조사하는 수단의 상기 투명액체의 퍼짐에 따른 형상을 촬상하는 공정과, 촬상된 화상에 기초하여 상기 투명액체가 도포될 소망하는 도포위치의 단부 주변에서의 소정 위치의 휘도성분을 연산하는 공정과, 상기 휘도성분에 기초하여 상기 투명액체의 액면의 퍼짐을 연산하는 공정과, 상기 투명액체의 액면의 퍼짐 데이터를 통계적으로 처리하는 공정과, 상기 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량을 연산하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

청구항4에 기재된 투명액체 도포방법은, 제 3항에 기재된 투명액체 검사방법에 의해 연산된 상기 상기 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량을, 상기 기재 상의 다수개의 취득제품에 투명액체를 도포하는 공정으로 피드백하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 기재 상의 다수개의 취득제품에 도포되는 투명액체의 표면장력이 약한 경우라도 기재와 투명액체의 경계부분을 식별할 수 있고, 기재의 배경에 영향을 받지 않고, 정밀도·안정도가 높은 투명액체의 도포상태의 검사를 자동으로 고속으로 행할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 이용하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 있어서의 투명액체 검사장치의 단면도이고, 1은 조명장치, 2는 조명용 광원(조명수단), 3은 조명용 광원(2)을 지지하는 지지구, 41∼44는 전자셔터 기능부착의 카메라(촬상수단), 51∼55는 도포된 투명액체, 6은 조명반사판, 7은 조명장치(1)의 아래에 설치된 반송장치인 컨베이어(도시하지 않음)에 의해 조명장치(1) 내에서 이동하고 있는 기재, 8은 카메라(41∼44)에 의해서 얻어진 화상으로부터 투명액체의 도포상태를 해석하는 화상처리장치(연산수단), 9는 기재(7) 상의 상기 소정 위치에 투명액체를 도포하는 도포장치이다.

본 실시형태에서는, 투명액체의 도포된 다수개의 취득제품을 제조할 때에, 도 1에 나타내는 투명액체 검사장치를 사용하고, 도포장치(9)에 의해 소정 위치에 소정량의 투명액체가 도포된 기재(7)를 반송장치에 의해 이동시키고, 이 투명액체가 미리 정해진 측정위치를 통과할 때, 이 투명액체 상에 조명용 광원(2)으로 조명조사하고, 이 투명액체의 액면을 경면으로서 거기에 조명용 광원(2)의 형상을 투영하고, 이 액면에 찍힌 투영상을 카메라로 촬상하고, 그 화상을 화상처리장치(8)로 해석함으로써 이 투명액체의 도포상태를 자동검사한다.

조명장치(1)는, 조명용 광원(2)과 지지구(3)와 조명반사판(6)에 의해 구성되어 있다. 조명장치(1)에는, 조명용 광원으로서 고휘도이고 깜빡임이 없는 조명광이 필요하기 때문에, 인버터(inverter)부착의 형광등이 복수개 사용된다. 상기 형광등은 검사물인 투명액체의 수직 상부에 가로·세로 직교된 상태로 설치되고, 지지구(3)에 의해 투명액체의 도포패턴(배치상태)에 맞춘 가로·세로·높이의 미세조정이 가능한 기구이다. 또한, 투명액체의 검사정밀도를 향상시키기 위해서는, 조명용 광원(2)의 출력조정을 행하여 투명액체의 액면에 찍히는 투영상의 컨트라스트를 조정하면 좋다. 또한, 기재 중앙 부근에 도포된 투명액체와 기재 주변부에 도포된 투명액체의 조명조사량을 동량으로 하기 위해 거울에 의한 조명반사판(6)을 조명장치(1)의 양 사이드의 내측에 설치하고 있다.

화상촬상을 위한 카메라(41∼44)는, 상부로부터의 조명광을 차단하지 않도록 설치된다. 요컨대, 카메라(41∼44)의 소정 간격을 띄운 위치에, 상기 조명용 광원(2)이 설치되어 있다. 또한, 카메라(41∼44)는, 후술하는 화상캡쳐 분할블록의 중심이 각 카메라의 촬상시야의 중심 축선 상에 오도록 설치된다.

도 2는 본 실시형태에 있어서, 기재(7)를 카메라(41∼44)로 분할캡쳐할 때의 동작을 설명하는 도면이다. 도 2에 있어서, 111,112,113,114는 카메라(41)의 화상캡쳐 분할블록, 10은 기재(7)의 이동 방향을 나타내고 있다.4대의 카메라(41∼44)는 기재(7)의 수평방향(흐르는 방향(10)과 직교하는 방향)으로 늘어서 있는 화상캡쳐 분할블록의 수직상부에, 기재(7)를 수평방향(흐르는 방향(10)과 직교하는 방향)으로 4분할했을 때의 각각의 분할영역에 대응하도록 설치되어 있다.

삭제

이상과 같이 설치된 각 카메라(41∼44)는, 기재(7)의 이동 방향(10)에 대하여, 검사에 충분한 해상도를 유지한 측정시야인 화상캡쳐 분할블록을 결정한다. 그러나, 각 화상캡쳐 분할블록에 충분한 광량을 주지 않으면, 충분한 검사정밀도를 유지하는 것은 불가능하다. 그래서, 각 화상캡쳐 분할블록에 충분한 광량을 주기 위해, 앞서 기술한 바와 같이, 각 카메라(41∼44) 마다 조명용 광원(2)으로서 인버터부착의 형광등을 복수개 사용하여 각 카메라(41∼44)의 소정 간격을 띄운 위치에 가로·세로 직교시킨 상태로 설치하고, 투명액체의 도포패턴에 맞춰서 조명용 광원(2)의 배치의 미세조정을 행한다.

상술한 바와 같이 기재(7)가 화상캡쳐 분할블록으로 분할되고, 방향(10)으로 이동하고 있을 경우, 각 카메라(41∼44)의 수직하부(촬상시야 내)에 각 카메라(41∼44)와 대응하는 화상캡쳐 분할블록이 위치하면, 각 카메라(41∼44)는 동시에 전자셔터를 릴리스하여 각 화상캡쳐 분할블록 상에 도포되어 있는 조명용 광원(2)의 형태가 투영된 투명액체를 촬상한다. 캡쳐된 각 촬상화상은 화상처리장치(8)에 전송되고, 화상처리장치(8) 내의 메모리(도시하지 않음)에 일시적으로 기억된다. 화상처리장치(8)는 각 촬상화상(투명액체의 액면에 투영되고 있는 조명용 광원(2)의 형상)에 대한 화상처리 블록에 의한 내용으로 각 화상캡쳐 분할블록 상의 각 투명액체의 도포상태를 검사한다.

예컨대 카메라(41)의 경우, 기재(7)의 이동 방향(10)에서의 캡쳐 블록(111,112,113,114)을 결정하고, 화상캡쳐 분할블록의 이동 타이밍에 맞추어 전자셔터를 릴리스하여, 화상캡쳐를 행한다. 구체적으로 설명하면, 화상캡쳐 블록(111)이 카메라(41)의 촬상시야 내에 도달하면 그 순간에 전자셔터가 릴리스되고, 화상캡쳐 분할블록(111) 상의 투명액체의 화상(투명액체의 액면에 투영되어 있는 조명용 광원(2)의 형상)을 캡쳐하고, 그 캡쳐된 화상을 화상처리장치(8)에 의해 해석하고, 화상캡쳐 분할블록(111) 상의 각 투명액체의 도포상태의 검사를 행한다. 다음으로, 반송용의 컨베이어(도시하지 않음)에 의해 기재(7)가 이동하여, 화상캡쳐 블록(112)이 카메라(41)의 촬상시야 내에 도달하면, 화상캡쳐 블록(111)의 경우와 동일한 처리동작을 행한다. 이 처리동작을 기재(7)의 종료까지 반복한다. 이 처리방법에 의해 공정의 흐름을 멈추지 않고 투명액체의 도포상태의 검사를 행할 수 있고, 투명액체의 건조공정에 영향을 미치지 않는 설계로 되어있다.

이상과 같이 본 실시형태에서는, 검사정밀도를 만족하는 동시에 그 액면에 조명용 광원(2)의 형상이 투영된 많은 투명액체를 촬상하여 단시간에 많은 투명액체의 도포상태의 검사가 가능한 구성으로 되어있다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 4대의 카메라를 기재에 대하여 수평방향으로 1열로 배치하였지만, 1열로 한정하는 것은 아니고, 열의 수를 증가시켜도 좋다.

도 3은, 본 실시형태에 있어서의 기재(7) 상의 다수개의 취득제품에 도포된 임의의 조명용 광원의 형상이 그 액면에 투영된 투명액체의 액면상태를 나타내는 개략도이고, 2는 조명용 광원, 12는 임의의 투명액체, 13은 임의의 투명액체(12)의 액면 상에 찍힌 조명용 광원(2)에 의한 투영상이다. 본 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 각 투명액체의 액면에 조명용 광원(2)의 형상을 투영시킨다.

투명액체에 대하여 수직상부로부터 조명광을 조사하면, 예컨대 기재(7)의 소재가 유백색의 PET시트인 경우, 기재(PET시트)(7)로부터의 반사광이 투명액체의 액면으로부터의 반사광 보다 강하게 되고, 카메라(41∼44)로부터 캡쳐한 촬상화상의 휘도차로서는, 상기 액면부분이 어둡고 PET시트부가 약간 밝게 되어, 상기 액면의 단부를 식별할 수 있고, 투명액체의 도포상태를 검사할 수 있다.

그러나 투명액체를 도포하는 기재에 탄소 등의 용제가 도포되어 있는 경우에는 투명액체의 액면의 표면보다 탄소 쪽이 어둡고, 투명액체의 액면으로부터의 반사광이 약하기 때문에 기재로부터의 반사광도 약하여 검사가 곤란하게 된다. 그래서 본 실시형태에서는, 조명용 광원으로서 인버터부착의 형광등을 사용하고, 투명액체의 상부로부터의 조명조사하여 각 투명액체의 액면에 인버터부착의 형광등에 의한 조명용 광원의 형상을 투영시킨다(도 3 참조). 그리고, 이 조명용 광원의 형상이 투영된 다수의 투명액체를 카메라에 의해 촬상하고, 화상처리장치에 전송한다. 화상처리장치는, 각 투명액체의 액면에 찍혀 있는 조명용 광원의 투영상으로부터 각 투명액체의 액면의 퍼짐을 검지하고, 그 각 투명액체의 액면의 퍼짐을 통계적으로 처리하고, 촬상한 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량(본래 투명액체가 도포되어야 할 소정 위치와 실제 도포위치의 오차)을 검사한다.

이하 도 4, 도 5를 이용하여, 화상처리장치로 기재와 투명액체의 경계부분을 식별하고, 투명액체의 액면의 퍼짐을 구하는 방법을 설명한다. 도 4는, 카메라로부터 전송되는 촬상화상에 찍혀 있는 투명액체 중의 임의의 1개가 화상처리장치의 화면에 비춰지는 모양을 나타내고 있다. 도 4에 있어서, 12는 임의의 투명액체, 13은 임의의 투명액체(12)의 액면에 찍혀 있는 조명용 광원의 투영상, 14는 화상처리장치의 화면, 151,152,153,154는 화상처리장치의 화면(14) 상의 임의의 투명액체(12)가 본래 도포되어야 할 소정 위치의 단부 주변에 설정되어 있는 도포검출커서이다.

액체의 퍼짐은 가로폭과 세로폭을 검지할 수 있으면 충분하기 때문에, 본 실시형태에서는, 조명용 광원(2)의 형상을 가로·세로 직교한 상태로 하고, 도포검출커서를 각각 90°간격으로 4곳에 배치하고, 그 4곳에 있어서 기재(7)와 임의의 투명액체(12)의 경계부분을 식별하고 있다. 그러나, 식별할 곳은 이번에 제안한 4곳에 한정되는 것은 아니고, 가로·세로의 퍼짐을 검지할 수 있는 곳이면 어디라도 좋다. 요컨대, 조명용 광원의 형상이 투명액체의 가로·세로의 퍼짐을 따른 형상을 하고 있고, 그 형상을 발생시킨 식별위치를 설정하면 좋고, 예컨대 별모양의 조명용 광원을 사용하고, 식별위치를 별의 각각의 선단(5곳)에 설정하여도 좋다.

기재(7)와 임의의 투명액체(12)의 경계부분을 식별하는데는, 화상처리장치의 화면(14) 상에 있어서, 투영상(13)이 각 도포검출커서(151,152,153,154)의 각 영역에 겹쳐서 비춰지고 있는지 어떤지로 판단한다. 구체적으로는, 각 도포검출커서 (151,152,153,154)의 각 영역을 하기 히스토그램처리하는 것에 의해, 기재(7)와 임의의 투명액체(12)의 경계부분의 식별을 행하고 있다.

예컨대, 도 4에 있어서 도포검출커서(151,152)의 각 영역에는, 임의의 투명액체(12)의 액면의 퍼짐이 작기 때문에 투영상(13)이 겹쳐서 비춰지고 있지 않고, 히스토그램처리를 행하면, 도 5의 a에 나타낸 바와 같은 히스토그램데이터 (16)로 된다. 이 그래프는 세로축에 화소의 픽셀수, 가로축에 휘도레벨을 취한 것이다. 이 경우의 히스토그램처리결과는 기재(7)의 휘도성분에 의한 데이터(18)의 정점 중 하나로 되어, 컨트라스트(21)는 작아진다.

다음으로 도포검출커서(153,154)의 각 영역에서는, 임의의 투명액체(12)가 정상으로 도포되어 있고, 투영상(13)이 겹쳐서 비춰지고 있다. 이 도포검출커서 (153,154)의 각 영역을 히스토그램처리하면, 도 5의 b에 나타낸 바와 같은 히스토그램데이터(17)로 되고, 이 경우 히스토그램처리결과, 기재(7)의 휘도성분(19)과 투영상(13)의 휘도성분(20)에 의한 2개의 정점이 얻어지고, 이 도포검출커서 (153,154)의 각 영역에 있어서의 컨트라스트(21)는 크게 된다. 이와 같이, 히스토그램처리를 행하고, 컨트라스트(21) 데이터의 크고 작음으로부터 기재와 투명액체의 경계부분을 식별하고, 투명액체의 액면의 퍼짐을 구한다.

또한, 기재(7)의 4곳에서의 투명액체의 퍼짐 데이터로부터, 그 투명액체의 액면에 찍혀 있는 투영상의 중심위치를 구하고, 상기 중심데이터를 통계적으로 처리함으로써 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량(본래 투명액체가 도포되어야 할 소정 위치와 실제 도포위치의 오차)을 연산하여 도포장치(9)로 피드백하고 있다.

또한, 투명액체의 액면에 투영되어 있는 조명용 광원에 의한 투영상을 라벨링(labeling)처리하고, 가로·세로의 퍼짐을 검지하는 것에 의해 투명액체의 액면의 퍼짐과 소정 위치로부터의 변위량을 구할 수 있다. 라벨링처리란, 상기 투영상을 검지할 때, 상기 투영상이 도중에 끊어지는 곳까지를 한개의 덩어리로서 판단하는 처리방법이다.

이상과 같이 구성된 본 실시형태에 있어서의 투명액체 검사장치는, 조명용 광원(2)에 의해 조사되고, 조명용 광원(2)의 형상이 투영된 투명액체의 액면을 카메라(41∼44)에 의해 촬상하고, 그 촬상된 화상을 화상처리장치(8)가 화상처리하여 상기 투명액체의 도포상태를 자동검사한다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 투명액체의 소정 도포위치로부터의 변위량을 도포장치(9)에 피드백하는 것으로 도포장치(9)를 제어하고 있다. 그 때문에, 투명액체의 도포위치가 소정 위치로부터의 오차를 발생시키더라도 즉시 대응할 수 있어, 안정한 투명액체의 도포가 행해진다(도 1 참조).

이상과 같이 본 발명에 의하면, 기재 상의 다수개의 취득제품에 도포된 투명액체 상부에 조명장치를 설치하고, 상기 투명액체에 조명조사하고, 상기 투명액체의 액면에 상기 조명장치의 형상을 투영시키고, 상기 투영상을 촬상하여 화상처리하는 것에 의해, 정밀도·안정도가 높고, 자동으로 고속으로 투명액체의 도포상태를 검사할 수 있다. 그 때문에, 예컨대 혈당치센서를 제조하는 공정에 있어서, 전극 상에 형성된 CMC카르복시메틸셀룰루즈 등이나 글루코스옥시다제로 이루어지는 투명한 시약의 도포상태의 검사를 자동으로 고속으로 행할 수 있다.

Claims

다수개의 취득제품 각각에 투명액체가 도포된 기재;

상기 투명액체에 조명조사를 행하는 조명수단;

상기 투명액체의 액면에 투영된 상기 조명수단의 상기 투명액체의 퍼짐에 따른 형상을 촬상하는 촬상수단; 및

상기 촬상수단으로부터의 화상에 기초하여 상기 투명액체가 도포될 소망하는 도포 위치의 단부 주변에서의 소정 위치의 휘도성분을 연산하고, 상기 휘도성분에 기초하여 상기 투명액체의 액면의 퍼짐을 연산함과 아울러, 상기 투명액체의 액면의 퍼짐 데이터를 통계적으로 처리하여 상기 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량을 연산하는 연산수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 투명액체 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 기재를 상기 촬상수단의 촬상시야에 맞춰서 복수의 블록으로 분할하고, 상기 블록에 대응하는 상기 촬상수단 및 상기 조명수단을 소망하는 수만큼 구비함으로써, 상기 소망하는 수만큼의 상기 블록을 동시에 촬상할 수 있는 것을 특징으로 하는 투명액체 검사장치.
기재 상의 다수개의 취득제품 각각에 도포되어 있는 투명액체에 조명을 조사하는 공정과;

상기 투명액체의 액면에 투영된 조명조사하는 수단의 상기 투명액체의 퍼짐에 따른 형상을 촬상하는 공정과;

촬상된 화상에 기초하여 상기 투명액체가 도포될 소망하는 도포위치의 단부 주변에서의 소정 위치의 휘도성분을 연산하는 공정과;

상기 휘도성분에 기초하여 상기 투명액체의 액면의 퍼짐을 연산하는 공정과;

상기 투명액체의 액면의 퍼짐 데이터를 통계적으로 처리하는 공정과;

상기 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량을 연산하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명액체 검사방법.
제 3항에 기재된 투명액체 검사방법에 의해 연산된 상기 투명액체 전체의 소정 도포위치로부터의 변위량을, 기재 상의 다수개의 취득제품에 투명액체를 도포하는 공정으로 피드백하는 것을 특징으로 하는 투명액체 도포방법.