KR100356695B1 - 진동자이로 - Google Patents

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KR100356695B1 KR1019950014708A KR19950014708A KR100356695B1 KR 100356695 B1 KR100356695 B1 KR 100356695B1 KR 1019950014708 A KR1019950014708 A KR 1019950014708A KR 19950014708 A KR19950014708 A KR 19950014708A KR 100356695 B1 KR100356695 B1 KR 100356695B1
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Abstract

본 발명의 진동 자이로 10은, 정사각기둥 형상의 진동자 12를 포함한다. 진동자 12는, 두께방향으로 서로 역으로 분극된 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b를 포함한다. 제1 압전체기판 14a의 주면에는, 그의 폭방향으로 일정간격을 두고 2개의 분할전극 16, 16이 형성된다. 제2 압전체기판 14b의 주면에는, 공통전극 18이 형성된다. 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b 사이에는 의사(擬似)전극(dummy electrode) 20이 형성된다. 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16에는, 구동수단으로서의 발진회로 30의 한쪽 출력단이, 저항 32a, 32b를 통하여 각기 접속된다. 진동자 12의 공통전극 18에는, 발진회로 30의 다른쪽 출력단이 접속된다. 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16은, 저항 34a, 34b를 통하여, 검출수단으로서의 차동증폭회로 36의 비반전 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다.

Description

진동 자이로
본 발명은 진동 자이로에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 회전 각속도(回轉 角速度)를 검지(檢知)함으로써 이동체의 위치를 검출하고, 적절한 유도를 행하는 항행 시스템, 또는 조작자의 실수에 의한 접촉 등의 외적진동에 의한 회전 각속도를 검지하여 적절히 진동을 억제(制振)하는 외적진동 방지장치등의 제진(除振) 시스템 등에 응용되는 진도 자이로에 관한 것이다.
제 15도는 종래의 진동 자이로의 일례를 나타내는 도해도이다. 진동 자이로 1은 진동자 2를 포함하고 있다.
진동자 2는, 니켈(Ni) 합금으로 된 정삼각기둥형 진동체 3을 포함하며, 진동체 3의 3개의 측면의 거의 중앙에는, 3개의 압전소자(壓電素子) 4a, 4b 및 4c가 형성되어 있다. 진동자 2에는, 예를 들어 2개의 압전소자 4a, 4b에 동일한 구동신호를 인가하면, 진동체 3이 압전소자 4c의 주면에 직각이 되는 방향으로 굴곡진동(屈曲振動)한다. 회전하지 않을 때에는, 압전소자 4a, 4b로부터 동일한 검출신호가 얻어진다. 따라서, 진동자 2에 진동체 3의 중심축을 중심으로 하는 회전 각속도가 가해지면, 코리올리의 힘(Corioli's Force)에 의해 진동체 3의 굴곡진동의 방향이 바뀌고 2개의 압전소자 4a, 4b로부터 그의 회전 각속도에 따른 검출신호를 각각 얻을 수 있다. 이 경우에, 그의 회전 각속도에 따라, 예를 들어, 한쪽 압전소자 4a로부터의 검출신호의 전압이 커지고, 다른쪽 압전소자 4b로부터의 검출신호의 전압이 작아진다.
진동자 2의 압전소자 4c는, 예를 들어, 증폭기로 이루어지는 발진회로(發振回路) 5의 입력단에 접속된다. 발진회로 5의 출력단은 2개의 저항 6a, 6b의 한쪽 단자에 접속되고, 이들 저항 6a, 6b의 다른쪽 단자에는 2개의 압전소자 4a, 4b에 각기 접속된다. 또, 압전소자 4a, 4b는 차동증폭회로(差動增幅回路) 7의 비반전(非反轉) 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다.
따라서, 이러한 진동 자이로 1에서는, 차동증폭회로 7로부터의 출력신호에 의해 그것에 회전 각속도가 가해지지 않았는지, 또는 가해져 있는 회전 각속도를 검출할 수 있다.
그러나, 이러한 진동 자이로 1에서는, 진동자 2의 진동체 3에 고가(高價)의 니켈 합금을 사용하고 있기 때문에 가격이 높아질 뿐 아니라, 검출되는 신호가 자계(磁界)의 영향을 받아 혼란해지기 쉽다.
따라서, 본 발명의 주된 목적은 저가격화를 꾀할 수 있고, 검출되는 신호가 자계의 영향을 잘 받지 않는 진동 자이로를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 진동 자이로는, 두께방향으로 분극(分極)된 제1 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 제1 압전체기판의 분극방향의 역방향으로 분극된 제2 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 분할전극; 전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 공통전극; 전기한 2개의 분할전극과 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단 및 전기한 2개의 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다. 나아가, 전기한 진동 자이로는, 예를 들어, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이전기한 2개의 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력단이 전기한 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며; 전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 2개의 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다.
본 발명에 있어서, 다른 진동 자이로는, 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 제1 압전체기판의 분극방향의 역방향으로 분극된 제2 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판과 제2 압전체기판 사이에 형성된 2개의 분할전극; 전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 제1 공통전극; 전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 제2 공통전극; 전기한 제1 공통전극과 제2 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및 전기한 2개의 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다. 나아가, 전기한 진동 자이로는, 예를 들어, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 제1 공통전극에 접속되고, 다른쪽 출력단은 전기한 제2 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며; 전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 2개의 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진도 자이로이다.
본 발명에 따른 또다른 진동 자이로는, 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 제1 압전체기판의 분극방향과 같은 방향으로 분극된 제2 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판과 제2 압전체기판 사이에 형성된 2개의 분할전극; 전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 제1 공통전극; 전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 제2 공통전극; 전기한 2개의 분할전극과 전기한 제1 공통전극 및 제2 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및전기한 2개의 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다. 나아가, 전기한 진동 자이로는, 예를 들어, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 2개의 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력단은 전기한 제1 공통전극 및 제2 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며; 전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 2개의 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다.
본 발명에 따른 또다른 진동 자이로는, 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 제1 압전체기판의 분극방향과 같은 방향으로 분극된 제2 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제1 분할전극; 전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제2 분할전극; 전기한 제1 압전체기판과 제2 압전체기판과의 사이에 형성된 공통전극; 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극과 전기한 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함하며; 전기한 다른쪽편의 제1 분할전극 및 다른쪽편의 제2 분할전극이 접속되어 있음을 특징으로 하는 진동 자이로이다. 나아가, 전기한 진동 자이로는, 예를 들어, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력단은 전기한 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며; 전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다.
본 발명에 따른 또다른 진동 자이로는, 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 제 1 압전체기판의 분극방향과 같은 방향으로 분극된 제2 압전체기판; 전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제1 분할전극, 전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제2 분할전극; 전기한 제1 압전체기판과 제2 압전체기판과의 사이에 형성된 공통전극; 전기한 2개의 제1 분할전극 및 2개의 제2 분할전극과 전기한 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극과, 전기한 다른쪽편의 제1 분할전극 및 다른쪽편의 제2 분할전극과의 사이에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다. 나아가, 전기한 진동 자이로는, 예를 들어, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 2개의 제1 분할전극 및 2개의 제2 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력단은 전기한 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며; 전기한 검출수단이, 한쪽 입력단이 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극에 접속되고, 다른쪽 입력단은 전기한 다른쪽편의 제1 분할전극 및 다른쪽편의 제2 분할전극에 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로이다.
본 발명에 따른 진동 자이로에서는, 구동수단에 의해, 2개의 분할전극과 공통 전극과의 사이에 구동신호가 인가된다. 인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판이 서로 역으로 진동한다. 즉, 제1 압전체기판이 그의 주변에 평행한 방향으로 늘어날 때는(伸), 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라든다(縮). 이와 반대로, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라들 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어난다. 이 때문에, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판은 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이런 상태에서 진동 자이로가 회전하면, 2개의 분할전극간에 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다. 이 신호는 검출수단에 의해 검출된다.
본 발명의 또다른 진동 자이로에서는, 구동수단에 의해, 제1 공통전극과 제2 공통전극과의 사이에 구동신호가 인가된다. 인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판이 서로 역으로 진동한다. 즉, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어날 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라든다. 이와 반대로, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라들 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어난다. 이 때문에, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판은 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이런 상태에서 진동 자이로가 회전하면, 2개의 분할전극간에 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다. 이 신호는 검출수단에 의해 검출된다.
본 발명의 또다른 진동 자이로에서는, 구동수단에 의해, 2개의 분할전극과 제1공통전극 및 제2 분할전극과의 사이에 구동신호가 인가된다. 인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판이 서로 역으로 진동한다. 즉, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어날 때는, 제2압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라든다. 이와 반대로, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라들 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어난다. 이 때문에, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판은 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이런 상태에서 진동 자이로가 회전하면, 2개의 분할 전극간에 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다. 이 신호는 검출수단에 의해 검출된다.
본 발명의 다른 진동 자이로에서는, 구동수단에 의해, 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극과 공통전극과의 사이에 구동신호가 인가된다. 인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판이 서로 역으로 진동한다. 즉, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어날 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라든다. 이와 반대로, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라들 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어난다. 이 때문에, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판은 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이런 상태에서 진동 자이로가 회전하면, 한쪽편의 제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극간에 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다. 이 신호는 검출수단에 의해 검출된다.
본 발명에 따른 또다른 진동 자이로에서는, 구동수단에 의해, 2개의 제1 분할전극 및 2개의 제2 분할전극과 공통전극과의 사이에 구동신호가 인가된다. 인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판이 서로 역으로 진동한다. 즉, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어날 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라든다. 이와 반대로, 제1 압전체기판이 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라들 때는, 제2 압전체기판은 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어난다. 이 때문에, 제1 압전체기판과 제2 압전체기판은 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이런 상태에서 진동 자이로가 회전하면, 한쪽편의제1 분할전극 및 한쪽편의 제2 분할전극과, 다른쪽편의 제1 분할전극 및 다른쪽편의 제2 분할전극과의 사이에 회전 각속도에 따라 신호가 발생한다. 이 신호는 검출수단에 의해 검출된다.
본 발명에 따르면 니켈(Ni)합금등의 고가의 금속재료를 사용하지 않기 때문에, 저가격화를 꾀할 수 있고, 검출된 신호가 자계의 영향을 거의 받지않고 흐트러지지 않는 진동 자이로를 얻을 수 있다.
본 발명의 전술한 목적들 및 그외 다른 목적들, 특징, 측면 및 장점들은 첨부된 도면을 참고로 하여 이하 본 발명을 보다 구체적으로 설명함으로써 명백해질 것이다.
제 1도는 본 발명의 한 실시예를 보여주는 도해도이다. 진동 자이로 10은, 예를 들어, 정사각기둥형 진동자 12를 포함한다.
진동자 12는, 제 2도에서 보는 바와 같이, 예를 들어, 좁고 길쭉한 4각형의 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b를 포함한다. 제1 압진체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는 적층되어 접착된다. 또, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 제 1도에서 화살표 P로 나타낸 바와 같이, 두께방향으로 서로 역방향으로 분극된다. 또한, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 분극방향은 서로 마주보는 방향이어도 무방하다.
제1 압전체기판 14a의 주면에는, 그의 폭방향으로 간격을 두고 2개의 분할전극 16, 16이 형성된다. 또, 제2의 압전체기판 14b의 주면에는, 공통전극 18이 형성된다. 또, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b 사이에는, 의사(擬似)전극(dummy electrode) 20이 형성된다. 의사(擬似)전극 20이 형성되어 있지 않아도 무방하다.
진동자 12에서는, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b가 두께방향으로 서로 역으로 분극되어 있기 때문에, 2개의 분할전극 16, 16 및 공통전극 18 사이에, 예를 들어, 정현파(正弦波: 사인파(sine wave)) 신호등의 구동신호를 인가하면, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b는 서로 역으로 진동한다. 즉 제1 압전체기판 14a가 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어날 때는(伸), 제2 압전체기판 14b는 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라든다(縮). 이와 반대로, 제1 압전체기판 14a가 그의 주면에 평행한 방향으로 오그라들 때는, 제2 압전체기판 14b는 그의 주면에 평행한 방향으로 늘어난다. 이 때문에, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b는, 제 3도에서 보는 바와 같이, 장(長)방향으로 양단부 조금 안쪽부분을 마디(node) 부분으로 하여, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이 때문에, 진동자 12의 마디(node)부분의 근방에는, 제 2도에서 보는 바와 같이, 예를 들어, 선(線)형의 지지부재 22가 각기 부착되어 있다. 진동자 12는 이들 지지부재 22에 의해 지탱된다. 또 진동자 12의 상면 또는 하면에서 마디부분의 근방에 지지부재 22를 설치하여도, 진동에 큰 영향을 주지않고 진동자 12를 지지할 수 있다.
진동자 12에 상술한 바와 같은 구동신호를 인가하기 위하여, 제 1도에 나타낸 바와 같이, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16에는, 구동수단으로서의 발진회로 30의 한쪽 출력단이 저항 32a, 32b를 통하여 각기 접속된다. 또, 진동자 12의 공통전극 18에는 발진회로 30의 다른쪽 출력단이 접속된다.
또, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16은, 저항 34a, 34b를 통하여, 검출수단으로서의 차동증폭회로 36의 비반전 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다. 차동증폭회로 36의 출력단 및 반전 입력단 사이에는 저항 34c가 접속된다.
진동 자이로 10을 제조하기 위해서는, 제 4(A)도에서 보는 바와 같이, 두께방향으로 역으로 분극된 2장의 압전체기판 13, 13이, 예를 들어 에폭시수지로 접착된다. 이때, 2장의 압전체기판 13, 13의 양 주면에는, 전극 15가 각기 형성되어 있다.
그런 다음, 접착된 2장의 압전체기판 13, 13은, 제 4(B)도에서 1점 쇄선으로 나타낸 부분에서 잘려져 소자 11이 형성된다.
그리고, 각 소자 11의 외측 한쪽편의 전극 15에는, 제 4(C)도에서 1점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 그의 폭방향의 중앙에 홈이 들어간다. 이것에 의해 분할전극 16, 16이 형성되고, 진동자 12가 양산(量産)된다.
그런 다음, 진동자 12에는, 각 지지부재 22가 설치되고, 발진회로 30, 저항 32a, 32b, 34a, 34b 및 34c, 및 차동증폭회로 36이 접속된다.
본 실시예에 따른 진동 자이로 10에서는, 발진회로 30에서 출력되는, 예를 들어 정현과(sine wave) 신호등의 구동신호가, 저항 32a, 32b를 통하여, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16 및 공통전극 18 사이에 인가된다.
인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 제3도에 나타낸 바와 같이, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다.
이런 상태에서, 진동 자이로 10이 진동자 12의 중심축 O(제 2도)를 중심으로회전하면, 그의 회전 각속도에 따른 코리올리의 힘이, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 주면에 평행하며, 진동자 12의 중심축 O에 직교하는 방향으로 작용한다. 따라서 진동자 12의 굴곡진동의 방향이 바뀌게 된다. 이 때문에, 2개의 분할전극 16, 16 사이에는, 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다.
2개의 분할전극 16, 16 사이에서 발생한 신호는 저항 34a, 34b를 통하여 차동증폭회로 36에 의해 검출된다.
따라서, 본 실시예의 진동 자이로 10에서는, 차동증폭회로 36의 출력신호에 의해 회전 각속도를 알 수 있다.
또, 본 실시예의 진동 자이로 10에서는 니켈(Ni)합금등의 고가의 금속재료를 사용하지 않기 때문에, 저가격화를 꾀할 수 있고, 검출된 신호가 자계의 영향을 거의 받지않고 흐트러지지도 않는다.
또, 본 실시예의 진동 자이로 10에서는, 진동자 12의 마디(node)부분 근방에 부착된 기지부재 22에 의해 진동자 12가 지지되기 때문에, 진동자 12로부터 외부로 진동이 새지 않고, 진동자 12를 효과적으로 진동시킬 수가 있다.
또한, 본 실시예의 진동 자이로 10에서는, 상기한 바와 같이 간단하고 용이한 방법으로 복수개의 진동자 12를 양산할 수 있으므로 양산성이 좋다.
제 5도는 본 발명의 다른 실시예를 보여주는 도해도이다. 제 5도에 나타낸 진동 자이로 10은, 예를 들어, 정사각기둥형 진동자 12를 포함한다.
진동자 12는, 제 6도에서 보는 바와 같이, 예를 들어, 좁고 길쭉한 4각형의 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b를 포함한다. 제 1 압전체기판 14a 및제2 압전체기판 14b는 적층되어 접착된다. 또, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 제 5도에서 화살표 P로 나타낸 바와 같이 두께방향으로 서로 역방향으로 분극된다. 또한, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 분극방향은 서로 마주보는 방향이어도 무방하다.
제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b간에는, 그의 폭방향으로 간격을 두고 2개의 분할전극 16, 16이 형성된다. 한쪽편의 분할전극 16에는, 제1 압전체기판 14a의 측면 및 주변의 단부에 형성된 인출전극 17a가 접속된다. 다른쪽편의 분할전극 16에는, 제2 압전체기판 14b의 측면 및 주면의 단부에 형성된 인출전극 17b가 접속된다. 또, 제1 압전체기판 14a의 주면의 중앙에는, 제 1 공통전극 18a가 형성된다. 또, 제2 압전체기판 14b의 주면의 중앙에는, 제2의 공통전극 18b가 형성된다.
진동자 12에서는, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b가 두께방향으로 서로 역으로 분극되어 있기 때문에, 제1 공통전극 18a 및 제2 공통전극 18b 사이에, 예를 들어, 정현파신호등의 구동신호를 인가하면, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b는 서로 역으로 진동한다. 이 때문에, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b는, 장(長)방향으로 양단부의 조금 안쪽 부분을 마디(node)부분으로 하여, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이 때문에, 진동자 12의 마디(node)부분 근방에는, 제 2도에서의 진동자와 같이, 예를 들어, 선상의 지지부재(도면에는 도시하지 않았음)가 각기 설치된다. 진동자 12는 이들 지지부재에 의해 지탱된다. 또, 지지부재는 진동자 12의 상면 또는 하면에 있는 마디(node)부분근방에 설치하여도 무방하다.
진동자 12에 상술한 구동신호를 인가하기 위하여, 제 5도에 나타낸 바와 같이, 제1 공통전극 18a에는, 구동수단으로서의 발진회로 30의 한쪽 출력단이 접속된다. 또, 진동자 12의 제2 공통전극 18b에는, 발진회로 30의 다른쪽 출력단이 접속된다.
또, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16은, 인출전극 17a, 17b 및 저항 34a, 34b를 통하여, 검출수단으로서의 차동증폭회로 36의 비반전 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다. 또, 차동증폭회로 36의 출력단 및 반전 입력단 사이에는 저항 34c가 접속된다.
제 5도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 발진회로 30으로부터 출력되는, 예를 들어 정현파신호등의 구동신호가, 진동자 12의 제1 공통전극 18a와 제2 공통전극 18b 사이에 인가된다.
인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 서로 역으로 진동하고, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다.
이런 상태에서, 진동 자이로 10이 진동자 12의 중심축을 중심으로 회전하면, 그의 회전 각속도에 따른 코리올리의 힘이, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 주면에 평행하며, 또 진동자 12의 중심축에 직교하는 방향으로 작용한다. 따라서, 진동자 12의 굴곡진동의 방향이 바뀌게 된다. 이 때문에 2개의 분할전극 16, 16 사이에는, 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다.
2개의 분할전극 16, 16 사이에서 발생한 신호는, 인출전극 17a, 17b를 통하여, 차동증폭회로 36에 의해 검출된다.
따라서, 제 5도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 차동증폭회로 36의 출력신호에 의해 회전 각속도를 알 수가 있다.
또, 제 5도에 나타낸 진동 자이르 10에서도, 니켈(Ni)합금등의 고가의 금속재료를 사용하지 않기 때문에, 저가격화를 꾀할 수 있고, 검출된 신호가 자계의 영향을 거의 받지않고 흐트러지는 일도 드물다.
또, 제 5도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 진동자 12의 마디(node) 부분 근방에 부착된 지지부재에 의해 진동자 12가 지지되기 때문에, 진동자 12로부터 외부로 진동이 새나가는 일도 드물다.
또한, 제 5도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 2장의 압전체기판등을 적층하고, 접착한 후, 절단하는 등의 간단하고 용이한 방법으로 복수개의 진동자 12를 양산할 수가 있으므로 양산성도 좋다.
제 7도는, 본 발명의 또다른 실시예를 보여주는 도해도이다. 제 7도에 나타낸 실시예에서는, 제 5도에 나타낸 실시예와 비교하여, 진동자 12의 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b가, 제 7도에서 화살표 P로 나타낸 바와 같이, 두께방향으로 서로 같은 방향으로 분극된다. 또한, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 분극방향은 제 7도에 나타낸 방향과 역으로 같은 방향이어도 좋다.
제 7도에 나타낸 실시예에서는, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16에는, 인출전극 17a, 17b 및 저항 32a, 32b를 통하여, 발진회로 30의 한쪽 출력단이 각기 접속된다. 또, 제1 공통전극 18a 및, 제2 공통전극 18b에는, 발진회로 30의 다른쪽출력단이 접속된다.
또, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16은, 인출전극 17a, 17b 및 저항 34a, 34b를 통하여, 검출수단으로서의 차동증폭회로 36의 비반전 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다. 또, 차등증폭회로 36의 출력단 및 반전 입력단 사이에는, 저항 34c가 접속된다.
제 7도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 발진회로 30으로부터 출력되는, 예를 들어 정현파신호등의 구동신호가, 저항 32a, 32b 및 인출전극 17a, 17b를 통하여, 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16, 제1 공통전극 18a 및 제2 공통전극 18b 사이에 인가된다.
인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 서로 역으로 진동하고, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다.
이런 상태에서, 진동 자이로 10이 진동자 12의 중심축을 중심으로 회전하면, 그의 회전 각속도에 따른 코리올리의 힘이, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 주면에 평행하며, 또 진동자 12의 중심축에 직교하는 방향으로 작용한다. 따라서, 진동자 12의 굴곡진동의 방향이 바뀌게 된다. 이 때문에, 2개의 분할전극 16, 16 사이에는, 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다.
2개의 분할전극 16, 16 사이에서 발생한 신호는, 인출전극 17a, 17b를 통하여, 차동증폭회로 36에 의해 검출된다.
따라서, 제 7도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 차동증폭회로 36의 출력신호에 의해 회전 각속도를 알 수가 있다.
또, 제 7도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 단위 두께당 인가되는 구동신호가 커지므로, 이들 압전체기판의 굴곡진동의 진폭 및 출력신호의 진폭이 커져서 감도가 좋아진다.
또, 제 7도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 니켈(Ni)합금등의 고가의 금속재료를 사용하기 않기 때문에, 저가격화를 꾀할 수 있고, 검출된 신호가 자계의 영향을 거의 받지않고 흐트러지는 일도 드물다.
또, 제 7도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 진동자 12의 마디(node)부분 근방에 설치된 지지부재에 의해 진동자 12가 지지되기 때문에, 진동자 12로부터 외부로 진동이 새나가지 않는다.
또한, 제 7도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 2장의 압전체기판등을 적층하고, 접착한 후, 절단하는 등의 간단하고 용이한 방법으로 복수개의 진동자 12를 양산할 수가 있으므로 양산성도 좋다.
제 8도는, 본 발명의 또다른 실시예를 보여주는 도해도이다. 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10은, 예를 들어, 정사각기둥형 진동자 12를 포함한다.
진동자 12는, 제 9도에서 보는 바와 같이, 예를 들어, 좁고 길쭉한 4각형의 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b를 포함한다. 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는 적층되어 접착된다. 또, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 제 8도에서 화살표 P로 나타낸 바와 같이, 두께방향으로 서로 같은 방향으로 분극된다. 또한, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 분극방향은, 도면에 나타낸 방향과 역으로 같은 방향이어도 좋다.
제1 압전체기판 14a의 주면에는, 2개의 제1 분할전극 16a1, 16a2가 그의 폭방향으로 간격을 두고 형성된다. 또, 제2 압전체기판 14b의 주면에는, 2개의 제2 분할전극 16b1, 16b2가 그의 폭방향으로 간격을 두고 형성된다. 또 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b 사이에는, 공통전극 18이 형성된다.
진동자 12에서는, 제1 압전체기판 14a와 제2 압전체기판 14b가 두께방향으로 서로 같은 방향으로 분극되어 있어서, 제1 분할전극 및 제2 분할전극과 공통전극과의 사이에, 예를 들어 정현파신호등의 구동신호를 인가하면, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b가 서로 역으로 진동한다. 이때문에, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 그의 장(長)방향으로 양단부 조금 안쪽 부분을 마디(node) 부분으로 하여, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다. 이 때문에, 진동자 12은 마디(node)부분 근방에는, 예를 들어 선(線)형의 지지부재 22가 각기 설치된다. 진동자 12는 이들 지지부재 22에 의해 지탱된다. 또, 지지부재는 진동자 12의 상면 또는 하면에서 마디(node)부분 근방에 설치되어도 무방하다.
진동자 12이 상술한 바와 같은 구동신호를 인가하기 위하여, 제 8도에 나타낸 바와 같이, 한쪽편의 제1 분할전극 16a1 및 한쪽편의 제2 분할진극 16b1에는, 저항 32a, 32b를 통하여, 구동수단으로서의 발진회로 30의 한쪽 출력단이 각기 접속된다. 또, 진동자 12의 공통전극 18에는, 발진회로 30의 다른쪽 출력단이 접속된다.
또, 진동자 12의 한쪽편의 제1 분할전극 16a1 및 한쪽편의 제2 분할전극16b1은, 검출수단으로서의 차등증폭회로 36의 비반전 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다. 또, 다른쪽편의 제1 분할전극 16a2 및 다른쪽편의 제2 분할전극 16b2는 서로 접속된다.
제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 발진회로 30으로부터 출력되는, 예를 들어, 정현파신호등의 구동신호가, 저항 32a, 32b를 통하여, 진동자12의 한쪽편의 제1 분할전극 16a1 및 한쪽편의 제2 분할전극 16b1과 공통전극 18과의 사이에 인가된다.
인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는 서로 역으로 진동하고, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다.
이런 상태에서, 진동 자이로 10이 진동자 12의 중심축을 중심으로 회전하면, 그의 회전 각속도에 따른 코리올리의 힘이, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 주면에 평행하며, 또 진동자 12의 중심축에 직교하는 방향으로 작용한다. 따라서, 진동자 12의 굴곡진동은 방향이 바뀌게 된다. 이 때문에, 2개의 제1 분할전극 16a1 및 16a2 사이에는, 또 2개의 제2 분할전극 16b1 및 16b2 사이에는, 각기 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다.
2개의 제1 분할전극 16a1 및 16a2 사이에서 발생한 신호와, 2개의 제2 분할전극 16b1 및 16b2사이에서 발생한 신호를 직렬로 합성한 신호가, 차동증폭회로 36에 의해 검출된다.
따라서, 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 차동증폭회로 36의 출력신호에 따라, 회전 각속도를 알 수가 있다.
또, 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압진체기판 14b의 단위 두께당에 인가되는 구동신호가 커지므로, 이들의 압전체기판의 굴곡진동의 진폭 및 출력신호의 진폭이 커지므로 감도가 좋아진다.
또, 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 2개의 제1 분할전극 16a1 및 16a2 사이에 발생한 신호와, 2개의 제2 분할전극 16b1 및 16b2 사이에 발생한 신호를 직렬로 합성한 신호를 검출하기 때문에, 출력신호의 진폭이 더 커져서 감도가 더 좋아진다.
또한, 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 니켈(Ni)합금등의 고가의 금속재료를 사용하지 않기 때문에, 저가격화를 꾀할 수 있고, 검출된 신호가 자계의 영향을 거의 받지않고, 따라서 혼란도 거의 없다.
또, 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 진동자 12의 마디(node)부분 근방에 설치된 지지부재 22에 의해 진동자 12가 지지되기 때문에, 진동자 12로부터 외부로 진동이 새나가는 일도 거의 없다.
또한, 제 8도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 2장의 압전체기판등을 적층하고, 접착한 후, 절단하는 등의 간단하고 용이한 방법으로 복수개의 진동자 12를 양산할 수 있기 때문에 양산성이 좋다.
제 10도는, 본 발명의 또다른 실시예를 보여주는 도해도이다. 제 10도에 나타낸 실시예에서는, 제 8도 및 제 9도에 나타낸 진동자 12가 사용된다.
또, 제 10도에 나타낸 실시예에서는, 발진회로 30의 한쪽 출력단이 저항 32a를 통하여 한쪽편의 제1 분할전극 16a1 및 제2 분할전극 16b1에 접속되어, 저항 32b를 통하여, 다른쪽편의 제1 분할전극 16a2 및 제2 분할전극 16b2에 접속된다.또, 발진회로 30의 다른쪽 출력단은 공통전극 18에 접속된다.
또, 진동자 12의 한쪽편의 제1 분할전극 16a1 및 제2 분할전극 16b1은, 저항 34a를 통하여, 검출수단으로서의 차동증폭회로 36의 비반전 입력단에 접속되고, 다른쪽편의 제1 분할전극 16a2 및 제2 분할전극 16b2는, 저항 34b를 통하여, 차동증폭회로 36의 반전 입력단에 접속된다. 또, 차동증폭회로 36의 출력단 및 반전 입력단 사이에는, 저항 34c가 접속된다.
제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 발진회로 30으로부터 출력되는, 예를 들어, 정현파 신호등의 구동신호가, 저항 32a, 32b를 통하여, 진동자 12의 2개의 제1 분할전극 16a1, 16a2 및 2개의 제2 분할전극 16bl, 16b2와 공통전극 18과의 사이에 인가된다.
인가된 구동신호에 의해, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b는, 서로 역으로 진동하고, 그의 주면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다.
이런 상태에서 진동 자이로 10이 진동자 12의 중심축을 중심으로 하여 회전하면, 그의 회전 각속도에 따른 코리올리의 힘이 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 주면에 평행하고, 또 진동자 12의 중심축에 직교하는 방향으로 작용한다. 따라서, 진동자 12의 굴곡진동의 방향이 바뀌게 된다. 이 때문에, 2개의 제1 분할전극 16a1 및 16a2 사이에, 또 2개의 제2 분할전극 16b1 및 16b2 사이에는, 각기 회전 각속도에 따른 신호가 발생한다.
2개의 제1 분할전극 16a1 및 16a2 사이에서 발생한 신호와, 2개의 제2 분할전극 16b1 및 16b2사이에서 발생한 신호를 병렬로 합성한 신호가, 차동증폭회로 36에 의해 검출된다.
따라서. 제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 차동증폭회로 36의 출력신호에 의해 회전 각속도를 알 수가 있다.
또, 제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b의 단위두께당 인가되는 구동신호가 커지므로, 그들 압전체기판의 굴곡진동의 진폭 및 출력신호의 진폭이 커져서, 감도가 좋아진다.
또, 제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서는, 2개의 제1 분할전극 16a1 및 16a2 사이에 발생한 신호와, 2개의 제2 분할전극 16b1 및 16b2 사이에서 발생한 신호를 병렬로 합성한 신호를 검출하기 때문에, 출력 임피던스를 낮춤으로써 출력신호가 안정하고, 감도가 안정된다.
또, 제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 니켈(Ni)합금등의 고가의 금속재료를 사용하지 않기 때문에, 저가격화를 꾀할 수가 있고, 검출되는 신호가 자계의 영향을 거의 받지않고, 혼란도 생기지 않는다.
또, 제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 진동자 12의 마디(node)부분 근방에 설치된 지지부재에 의해 진동자 12가 지지되기 때문에, 진동자 12로부터 외부로 진동이 새나가지 않는다.
또, 제 10도에 나타낸 진동 자이로 10에서도, 2장의 압전체기판등을 적층하고, 접착한 후, 절단하는 등의 간단하고 용이한 방법으로 복수개의 진동자 12를 양산할 수가 있으므로 양산성이 좋다.
또, 상술한 각 실시예에서는 분할전극, 제1 분할전극, 제2 분할전극이 압전체기판의 장(長)방향으로 한쪽 말단에서 다른쪽 말단에 걸쳐 I-자 형상으로 형성되어 있으나, 이들의 분할전극 16은, 제 11도에 나타낸 바와 같이, 압전체기판 14의 2개의 마디(node)부분 사이에 L-자 형상으로 형성되어도 좋다. 이와 같이 분할전극을 압전체기판의 마디(node)부분 사이에 형성하면, 분할전극등에 의한 압전체기판을 진동시키는 효율이나, 회전 각속도에 따른 신호를 검출하는 효율이 좋아진다.
또는, 마디(node)부분 안쪽과 바깥쪽에에서는 발생하는 전압의 극성이 반전하기 때문에, 이점을 고려하면, 분할전극 16을 제 12도에 나타낸 바와 같이, 압전체기판 14의 2개의 마디(node)부분에서 절단하고, 교대로 접속시키는 것도 좋다. 이와 같이 하여도, 분할전극등에 의한 압전체기판을 진동시키는 효율이나, 회전 각속도에 따른 신호를 검출하는 효율이 좋아진다.
또, 상술한 각 실시예에서는 각 압전체기판이 같은 방향으로 분극되어 있으나, 압전체기판 14a 및 14b는, 제 13도에서 화살표로 나타낸 바와 같이, 마디 (node)부분의 내측부와 외측부가 역방향으로 분극되어도 무방하다. 이와 같이 하여도, 압전체기판을 진동시키는 효율이나, 회전 각속도에 따른 신호를 검출하는 효율이 좋아진다.
또, 상술한 각 실시예에서는 진동자가 정사각기둥 형상으로 형성되어 있으나, 진동자 12는, 제 14도에 나타낸 바와 같이, 팔각기둥 형상으로 형성되어도 좋고, 다른 형상으로 형성되어도 좋다. 또, 진동자는, 구동신호에 의한 굴곡진동과, 회전 각속도에 따른 코리올리의 힘 내지 신호를 효율적으로 얻기 위해서는, 정사각기둥 형상으로 형성되는 것이 바람직하다.
이상에서 본 발명을 상세히 설명하고 예시하였지만, 이는 예시나 설명을 위한 것일 뿐으로서 본 발명의 범위를 한정하는 것으로 해석되어서는 아니되면, 본 발병의 요지나 범위는 첨부된 특허청구의 범위에 의해서만 제한된다.
제 1도는 본 발명의 한 실시예를 보여주는 도해도이다.
제 2도는 제 1도에 나타낸 진동 자이로에 사용되는 진동자를 보여주는 사시도이다.
제 3도는 제 2도에 나타낸 진동자의 굴곡진동 상태를 보여주는 측면 도해도이다.
제 4도는 제 1도에 나타낸 진동 자이로를 제조하는 공정을 보여주는 도해도이다.
제 5도는 본 발명의 다른 실시예를 보여주는 도해도이다.
제 6도는 제 5도에 나타낸 진동 자이로에 사용되는 진동자를 보여주는 분해사시도이다.
제 7도는 본 발명의 또다른 실시예를 보여주는 도해도이다.
제 8도는 본 발명의 또다른 실시예를 보여주는 도해도이다.
제 9도는 제 8도에 나타낸 진동 자이로에 사용되는 진동자를 보여주는 사시도이다.
제 10도는 본 발명의 또다른 실시예를 보여주는 도해도이다.
제 11도는 분할전극(分割電極)의 다른 예를 보여주는 평면도이다.
제 12도는 분할전극의 또다른 예를 보여주는 평면도이다.
제 13도는 압전체기판(壓電體基板)의 다른 예를 보여주는 측면 도해도이다.
제 14도는 진동자의 다른 예를 보여주는 단면 도해도이다.
제 15도는 종래의 진동 자이로의 일례를 보여주는 도해도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 ... 진동 자이로
11 ... 소자
12 ... 진동자
13 ... 압전체기판
14a ... 제1 압전체기판
14b ... 제2 압전체기판
15 ... 전극
16 ... 분할전극
17 ... 인출전극
18 ... 공통전극
20 ... 의사(擬似)전극(dummy electrode)
30 ... 발진회로
32a, 32b, 34a, 34b ... 저항
36 ... 차동증폭회로

Claims (10)

  1. 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 전기한 제1 압전체기판의 분극방향의 역방향으로 분극된 제2 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 분할전극;
    전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 공통전극;
    전기한 2개의 분할전극 및 전기한 공통전극간에 구동신호를 인가하기 인한 구동수단; 및
    전기한 2개의 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  2. 제 1항에 있어서, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 2개의 분할전극에 접속되고, 다른쪽 축력단이 전기한 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며,
    전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 2개의 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  3. 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 전기한 제1 압전체기판의 분극방향의 역방향으로 분극되는 제2 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판과 제2 압전체기판 사이에 형성된 2개의 분할전극;
    전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 제1 공통전극;
    전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 제2 공통전극;
    전기한 제1 공통전극과 전기한 제2 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및
    전기한 2개의 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함으로 특징으로 하는 진동 자이로.
  4. 제 3항에 있어서, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 제1 공통전극에 접속되고, 다른쪽 출력단이 전기한 제2 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하고,
    전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 2개의 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함으로 특징으로 하는 진동 자이로.
  5. 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판;
    전기한 제1 발전체기판에 적층되고, 전기한 제1 압전체기판의 분극방향과 같은 방향으로 분극된 제2 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판과 제2 압전체기판 사이에 형성된 2개의 분할전극;
    전기한 제1 압진체기판의 주면에 형성된 제1 공통전극;
    전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 제2 공통전극;
    전기한 2개의 분할전극과 전기한 제1 공통전극 및 전기한 제2 공통전극과의사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및
    전기한 2개의 분할전극간에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  6. 제 5항에 있어서, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 2개의 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력단이 전기한 제1 공통전극 및 전기한 제2 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며,
    전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 2개의 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  7. 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 전기한 제1 압전체기판의 분극방향과 같은 방향으로 분극된 제2 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제1 분할전극;
    전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제2 분할전극;
    전기한 제1 압전체기판과 전기한 제2 압전체기판 사이에 형성된 공통전극;
    전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 한쪽편의 제2 분할전극과 전기한 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단, 및
    전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 한쪽편의 제2 분할전극 사이에 발생하는 신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함하며,
    전기한 다른쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 다른쪽편의 제2 분할전극이 접속되어 있음을 특징으로 하는 진동 자이로.
  8. 제 7항에 있어서, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 한쪽편의 제2 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력만이 전기한 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며,
    전기한 검출수단이, 2개의 입력단이 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 한쪽편의 제2 분할전극에 각기 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  9. 두께방향으로 분극된 제1 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판에 적층되고, 전기한 제1 압전체기판의 분극방향과 같은 방향으로 분극된 제2 압전체기판;
    전기한 제1 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제1 분할전극;
    전기한 제2 압전체기판의 주면에 형성된 2개의 제2 분할전극;
    전기한 제1 압전체기판과 전기한 제2 압전체기판 사이에 형성된 공통전극;
    전기한 2개의 제1 분할전극 및 전기한 2개의 제2 분할전극과 전기한 공통전극과의 사이에 구동신호를 인가하기 위한 구동수단; 및
    전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 한쪽편의 제2 분할전극과, 전기한 다른쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 다른쪽편의 제 2분할전극과의 사이에 발생하는신호를 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  10. 제 9항에 있어서, 전기한 구동수단이, 한쪽 출력단이 전기한 2개의 제1 분할전극 및 전기한 2개의 제2 분할전극에 접속되고, 다른쪽 출력단이 전기한 공통전극에 접속되는 발진회로를 포함하며,
    전기한 검출수단이, 한쪽 입력단이 전기한 한쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 한쪽편의 제 2 분할전극에 접속되고, 다른쪽 입력단이 전기한 다른쪽편의 제1 분할전극 및 전기한 다른쪽편의 제2 분할전극에 접속되는 차동증폭회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
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