JP3304722B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- electrode
- piezoelectric substrate
- vibrating gyroscope
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロに関
し、さらに詳しく述べると、回転角速度を検知すること
により移動体の位置を検出し、適切な誘導を行うナビゲ
ーションシステム、または外的振動を検知し、適切な制
振を行う手振れ防止装置などの除振システムなどに応用
できる振動ジャイロに関する。
し、さらに詳しく述べると、回転角速度を検知すること
により移動体の位置を検出し、適切な誘導を行うナビゲ
ーションシステム、または外的振動を検知し、適切な制
振を行う手振れ防止装置などの除振システムなどに応用
できる振動ジャイロに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、本発明の背景となる従来の振動
ジャイロの一例を示す要部断面図である。この振動ジャ
イロ１は例えば四角柱状の振動子３を含み、振動子３は
略短冊状の第１の圧電体基板５ａ及び第２の圧電体基板
５ｂを積層してなる。これら第１の圧電体基板５ａ及び
第２の圧電体基板５ｂは、互いに逆の厚み方向に分極さ
れる。そして、第１の圧電体基板５ａの主面には、その
幅方向に一定の間隔をおいて２つの分割電極７ａ，７ｂ
が形成され、第２の圧電体基板５ｂの主面には，共通電
極９が形成される。また、第１の圧電体基板５ａ及び第
２の圧電体基板５ｂ間には、ダミー電極１０が形成され
る。さらに、第２の圧電体基板５ｂの主面におけるノー
ド部分近傍には、支持部材１１が共通電極９に接触する
ように取り付けられ、その接触部分を半田１３で覆うよ
うに半田付けされる。ここで、支持部材１１は、細い線
状の金属材によって形成され、共通電極９と電気的に接
続される。
ジャイロの一例を示す要部断面図である。この振動ジャ
イロ１は例えば四角柱状の振動子３を含み、振動子３は
略短冊状の第１の圧電体基板５ａ及び第２の圧電体基板
５ｂを積層してなる。これら第１の圧電体基板５ａ及び
第２の圧電体基板５ｂは、互いに逆の厚み方向に分極さ
れる。そして、第１の圧電体基板５ａの主面には、その
幅方向に一定の間隔をおいて２つの分割電極７ａ，７ｂ
が形成され、第２の圧電体基板５ｂの主面には，共通電
極９が形成される。また、第１の圧電体基板５ａ及び第
２の圧電体基板５ｂ間には、ダミー電極１０が形成され
る。さらに、第２の圧電体基板５ｂの主面におけるノー
ド部分近傍には、支持部材１１が共通電極９に接触する
ように取り付けられ、その接触部分を半田１３で覆うよ
うに半田付けされる。ここで、支持部材１１は、細い線
状の金属材によって形成され、共通電極９と電気的に接
続される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の振動ジャイロでは、支持部材１１を振動子３の共
通電極９に直接接触させ、さらにその接触部分すべてを
半田１３によって堅固に固定しているので、振動子３の
振動が支持部材１１から外部に漏れて減衰してしまい、
温度ドリフトやノイズの原因となっていた。
従来の振動ジャイロでは、支持部材１１を振動子３の共
通電極９に直接接触させ、さらにその接触部分すべてを
半田１３によって堅固に固定しているので、振動子３の
振動が支持部材１１から外部に漏れて減衰してしまい、
温度ドリフトやノイズの原因となっていた。
【０００４】それゆえ、本発明の目的は、上述の問題点
を解決することであり、振動子を効率よく振動させるこ
とができる振動ジャイロを提供することである。
を解決することであり、振動子を効率よく振動させるこ
とができる振動ジャイロを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の振動ジャイロは、柱状の振動子と、振動
子の少なくとも１つの側面のノード部分近傍に形成され
る電極と、振動子のノード部分近傍で、前記振動子の長
手方向に直交する方向に伸びて形成され、かつ前記振動
子の側面との間に隙間をあけて、しかも前記電極に対し
て略平行に対向して配置された振動ジャイロにおいて、
前記支持部材と前記電極が対向している部分において、
前記支持部材の一部をその間に位置する接続手段を介し
て前記電極に電気的に接続することによって前記支持部
材を前記電極に固定し、さらに、前記支持部材と前記電
極の固定部分以外の部分において、前記支持部材と前記
振動子の側面をその隙間に設けられた弾性接着剤を介し
て接合したことを特徴とする。
めに、本発明の振動ジャイロは、柱状の振動子と、振動
子の少なくとも１つの側面のノード部分近傍に形成され
る電極と、振動子のノード部分近傍で、前記振動子の長
手方向に直交する方向に伸びて形成され、かつ前記振動
子の側面との間に隙間をあけて、しかも前記電極に対し
て略平行に対向して配置された振動ジャイロにおいて、
前記支持部材と前記電極が対向している部分において、
前記支持部材の一部をその間に位置する接続手段を介し
て前記電極に電気的に接続することによって前記支持部
材を前記電極に固定し、さらに、前記支持部材と前記電
極の固定部分以外の部分において、前記支持部材と前記
振動子の側面をその隙間に設けられた弾性接着剤を介し
て接合したことを特徴とする。
【０００６】すなわち、本発明の振動ジャイロでは、振
動子の側面及び支持部材が直接接触せず、支持部材と電
極とを電気的に接続する接続手段以外は、弾性接着剤に
よって接合されているため、振動子の振動が、弾性接着
剤に吸収されて支持部材から外部に漏れにくくなる。
動子の側面及び支持部材が直接接触せず、支持部材と電
極とを電気的に接続する接続手段以外は、弾性接着剤に
よって接合されているため、振動子の振動が、弾性接着
剤に吸収されて支持部材から外部に漏れにくくなる。
【０００７】よって、本発明の振動ジャイロによれば、
振動子を効率よく振動させることができ、温度ドリフト
の改善やノイズの低減を実現できる。
振動子を効率よく振動させることができ、温度ドリフト
の改善やノイズの低減を実現できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明による振動ジャイロ
の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明
による振動ジャイロの第１の実施の形態を示す要部断面
図である。この振動ジャイロ２１は例えば四角柱状の振
動子２３を含み、振動子２３は略短冊状の第１の圧電体
基板２５ａ及び第２の圧電体基板２５ｂを積層してな
る。これら第１の圧電体基板２５ａ及び第２の圧電体基
板２５ｂは、矢印Ｐで示すように、互いに逆の厚み方向
に分極される。そして、第１の圧電体基板２５ａの主面
には、その幅方向に間隔をおいて２つの分割電極２７
ａ，２７ｂが形成され、第２の圧電体基板２５ｂの主面
には，共通電極２９が形成され、第１の圧電体基板５ａ
及び第２の圧電体基板５ｂ間には、ダミー電極３０が形
成される。なお、このダミー電極３０は形成されなくと
もよい。
の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明
による振動ジャイロの第１の実施の形態を示す要部断面
図である。この振動ジャイロ２１は例えば四角柱状の振
動子２３を含み、振動子２３は略短冊状の第１の圧電体
基板２５ａ及び第２の圧電体基板２５ｂを積層してな
る。これら第１の圧電体基板２５ａ及び第２の圧電体基
板２５ｂは、矢印Ｐで示すように、互いに逆の厚み方向
に分極される。そして、第１の圧電体基板２５ａの主面
には、その幅方向に間隔をおいて２つの分割電極２７
ａ，２７ｂが形成され、第２の圧電体基板２５ｂの主面
には，共通電極２９が形成され、第１の圧電体基板５ａ
及び第２の圧電体基板５ｂ間には、ダミー電極３０が形
成される。なお、このダミー電極３０は形成されなくと
もよい。
【０００９】また、第２の圧電体基板２５ｂの主面にお
けるノード部分近傍には、細い線状の金属材からなる支
持部材３１が取り付けられる。ここでは、支持部材３１
の中央部を湾曲させて形成した突起部３１ａを、第２の
圧電体基板２５ｂの主面に形成した共通電極２９の幅方
向の中央に接触させる。これにより、支持部材３１及び
共通電極２９が電気的に接続され、支持部材３１が、例
えば０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの間隔をおいて、第２の圧
電体基板２５ｂに対向するように配置される。そして、
第２の圧電体基板２５ｂの主面と支持部材３１とが互い
に対向する部分において、第２の圧電体基板２５ｂの主
面に形成された共通電極２９の幅方向の中央と、突起部
３１ａの周囲との間を半田３３によって接合させ、それ
以外の部分を例えばシリコン樹脂を含む弾性接着剤３５
によって接合させる。なお、ここでは、共通電極２９の
幅方向の中央と突起部３１ａの周囲とを半田３３によっ
て接合させたが、半田３３の代りに接着剤等を用いても
よい。
けるノード部分近傍には、細い線状の金属材からなる支
持部材３１が取り付けられる。ここでは、支持部材３１
の中央部を湾曲させて形成した突起部３１ａを、第２の
圧電体基板２５ｂの主面に形成した共通電極２９の幅方
向の中央に接触させる。これにより、支持部材３１及び
共通電極２９が電気的に接続され、支持部材３１が、例
えば０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの間隔をおいて、第２の圧
電体基板２５ｂに対向するように配置される。そして、
第２の圧電体基板２５ｂの主面と支持部材３１とが互い
に対向する部分において、第２の圧電体基板２５ｂの主
面に形成された共通電極２９の幅方向の中央と、突起部
３１ａの周囲との間を半田３３によって接合させ、それ
以外の部分を例えばシリコン樹脂を含む弾性接着剤３５
によって接合させる。なお、ここでは、共通電極２９の
幅方向の中央と突起部３１ａの周囲とを半田３３によっ
て接合させたが、半田３３の代りに接着剤等を用いても
よい。
【００１０】さらに、振動子３の２つの分割電極２７
ａ，２７ｂには、発振回路（図示せず）の一方の出力端
がそれぞれ接続される。そして、振動子２３の共通電極
２９には、支持部材３１を介して発振回路の他方の出力
端が接続される。また、２つの分割電極２７ａ，２７ｂ
は、差動増幅回路（図示せず）の２つの入力端にそれぞ
れ接続される。
ａ，２７ｂには、発振回路（図示せず）の一方の出力端
がそれぞれ接続される。そして、振動子２３の共通電極
２９には、支持部材３１を介して発振回路の他方の出力
端が接続される。また、２つの分割電極２７ａ，２７ｂ
は、差動増幅回路（図示せず）の２つの入力端にそれぞ
れ接続される。
【００１１】このような振動ジャイロ２１では、第１の
圧電体基板２５ａ及び第２の圧電体基板２５ｂが互いに
逆の厚み方向に分極されているので、２つの分極電極２
７ａ，２７ｂ及び共通電極２９間に、発振回路から出力
される例えば正弦波信号等の駆動信号を印加すれば、第
１の圧電体基板２５ａ及び第２の圧電体基板２５ｂが互
いに逆に振動する。この場合、第１の圧電体基板２５ａ
がその長手方向に伸びているときには、第２の圧電体基
板２５ｂがその長手方向に縮む。逆に、第１の圧電体基
板２５ａがその長手方向に縮んでいるときには、第２の
圧電体基板２５ｂがその長手方向に伸びる。そのため、
振動子２３は、その主面に直交する方向に屈曲振動す
る。
圧電体基板２５ａ及び第２の圧電体基板２５ｂが互いに
逆の厚み方向に分極されているので、２つの分極電極２
７ａ，２７ｂ及び共通電極２９間に、発振回路から出力
される例えば正弦波信号等の駆動信号を印加すれば、第
１の圧電体基板２５ａ及び第２の圧電体基板２５ｂが互
いに逆に振動する。この場合、第１の圧電体基板２５ａ
がその長手方向に伸びているときには、第２の圧電体基
板２５ｂがその長手方向に縮む。逆に、第１の圧電体基
板２５ａがその長手方向に縮んでいるときには、第２の
圧電体基板２５ｂがその長手方向に伸びる。そのため、
振動子２３は、その主面に直交する方向に屈曲振動す
る。
【００１２】その状態で、振動ジャイロ２１が振動子２
３の中心軸を中心に回転すると、その回転角速度に応じ
たコリオリ力が、第１の圧電体基板２５ａ及び第２の圧
電体基板２５ｂの主面に平行に、且つ振動子２３の中心
軸に直交する方向に働く。そのため、振動子２３の屈曲
振動の方向が変わり、２つの分極電極２７ａ，２７ｂ間
には、その回転角速度に応じた信号が発生する。そし
て、２つの分極電極２７ａ，２７ｂ間に発生する信号
は、差動増幅回路によって検出される。したがって、こ
の振動ジャイロ２１では、差動増幅回路の出力信号によ
って、回転角速度を検知することができる。
３の中心軸を中心に回転すると、その回転角速度に応じ
たコリオリ力が、第１の圧電体基板２５ａ及び第２の圧
電体基板２５ｂの主面に平行に、且つ振動子２３の中心
軸に直交する方向に働く。そのため、振動子２３の屈曲
振動の方向が変わり、２つの分極電極２７ａ，２７ｂ間
には、その回転角速度に応じた信号が発生する。そし
て、２つの分極電極２７ａ，２７ｂ間に発生する信号
は、差動増幅回路によって検出される。したがって、こ
の振動ジャイロ２１では、差動増幅回路の出力信号によ
って、回転角速度を検知することができる。
【００１３】そして、支持部材３１と共通電極２９との
接合部において、支持部材３１の突起部３１ａの周囲以
外は、弾性を有する弾性接着剤３５によって接合されて
いるため、振動子２３の振動は弾性接着剤３５に吸収さ
れて支持部材３１から外部に漏れにくくなる。よって、
振動ジャイロ２１では、振動子２３を効率よく振動させ
ることができ、温度ドリフトやノイズの原因を低減でき
る。
接合部において、支持部材３１の突起部３１ａの周囲以
外は、弾性を有する弾性接着剤３５によって接合されて
いるため、振動子２３の振動は弾性接着剤３５に吸収さ
れて支持部材３１から外部に漏れにくくなる。よって、
振動ジャイロ２１では、振動子２３を効率よく振動させ
ることができ、温度ドリフトやノイズの原因を低減でき
る。
【００１４】次に、本発明による振動ジャイロの第２の
実施の形態を図面を用いて説明する。なお、上述した第
１の実施の形態と同一またはそれに相当する部分につい
ては、同一番号を付してその説明を省略する。図２は、
本発明による振動ジャイロの第２の実施の形態を示す要
部断面図である。この振動ジャイロ４１は振動子２３を
含み、振動子２３の第２の圧電体基板２５ｂの主面にお
けるノード部分近傍には、細い線状の金属材からなる支
持部材５１が取り付けられる。ここでは、支持部材５１
を、例えば０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの間隔をおいて、第
２の圧電体基板２５ｂに対向するように配置させる。そ
して、第２の圧電体基板２５ｂの主面と支持部材５１が
互いに対向する部分において、第２の圧電体基板２５ｂ
の主面に形成された共通電極２９の幅方向の中央と、支
持部材５１の中央部との間を半田５３によって接合さ
せ、これによって、支持部材５１及び共通電極２９を電
気的に接続する。そして、それ以外の部分を弾性接着剤
５５によって接合させる。なお、ここでは、共通電極２
９の幅方向の中央と支持部材５１の中央部との間を半田
５３によって接合させたが、半田５３の代りに導電性の
接着剤等を用いてもよい。
実施の形態を図面を用いて説明する。なお、上述した第
１の実施の形態と同一またはそれに相当する部分につい
ては、同一番号を付してその説明を省略する。図２は、
本発明による振動ジャイロの第２の実施の形態を示す要
部断面図である。この振動ジャイロ４１は振動子２３を
含み、振動子２３の第２の圧電体基板２５ｂの主面にお
けるノード部分近傍には、細い線状の金属材からなる支
持部材５１が取り付けられる。ここでは、支持部材５１
を、例えば０．１ｍｍ〜０．５ｍｍの間隔をおいて、第
２の圧電体基板２５ｂに対向するように配置させる。そ
して、第２の圧電体基板２５ｂの主面と支持部材５１が
互いに対向する部分において、第２の圧電体基板２５ｂ
の主面に形成された共通電極２９の幅方向の中央と、支
持部材５１の中央部との間を半田５３によって接合さ
せ、これによって、支持部材５１及び共通電極２９を電
気的に接続する。そして、それ以外の部分を弾性接着剤
５５によって接合させる。なお、ここでは、共通電極２
９の幅方向の中央と支持部材５１の中央部との間を半田
５３によって接合させたが、半田５３の代りに導電性の
接着剤等を用いてもよい。
【００１５】このような振動ジャイロ４１でも、支持部
材５１と共通電極２９との接合部において、共通電極２
９の幅方向の中央と支持部材５１の中央部との間以外
は、弾性を有する弾性接着剤５５によって接合されてい
るため、振動子２３の振動は弾性接着剤５５に吸収され
て支持部材５１から外部に漏れにくくなる。よって、振
動子２３を効率よく振動させることができ、温度ドリフ
トの改善またはノイズの低減が実現できる。
材５１と共通電極２９との接合部において、共通電極２
９の幅方向の中央と支持部材５１の中央部との間以外
は、弾性を有する弾性接着剤５５によって接合されてい
るため、振動子２３の振動は弾性接着剤５５に吸収され
て支持部材５１から外部に漏れにくくなる。よって、振
動子２３を効率よく振動させることができ、温度ドリフ
トの改善またはノイズの低減が実現できる。
【００１６】なお、上述した第１、第２の実施の形態で
は、振動子２３を用いて説明したが、本発明の振動ジャ
イロの振動子はこれに限定されず、支持部材を取り付け
る側面を少なくとも１つ有する柱状の振動子であれば、
形状はどのようなものであってもよい。
は、振動子２３を用いて説明したが、本発明の振動ジャ
イロの振動子はこれに限定されず、支持部材を取り付け
る側面を少なくとも１つ有する柱状の振動子であれば、
形状はどのようなものであってもよい。
【図１】本発明の第１の実施の形態における振動ジャイ
ロを示す要部断面図である。
ロを示す要部断面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態における振動ジャイ
ロを示す要部断面図である。
ロを示す要部断面図である。
【図３】従来の振動ジャイロを示す要部断面図である。
２１ 振動ジャイロ ２３ 振動子 ２９ 共通電極（電極） ３１ 支持部材 ３１ａ 突起部（接続手段） ３５ 弾性接着剤
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (1)
- 【請求項１】 柱状の振動子と、 該振動子の少なくとも１つの外側の側面のノード部分近
傍に形成される電極と、 前記振動子のノード部分近傍で、前記振動子の長手方向
に直交する方向に伸びて形成され、かつ前記振動子の外
側の側面との間に隙間をあけて、しかも前記電極に対し
て略平行に対向して配置された線状の支持部材とを含む
振動ジャイロにおいて、前記支持部材と前記電極が対向している部分において、
前記支持部材の一部をその間に位置する接続手段を介し
て前記電極に電気的に接続することによって前記支持部
材を前記電極に固定し、 さらに、前記支持部材と前記電極の固定部分以外の部分
において、前記支持部材と前記振動子の外側の側面をそ
の隙間に設けられた弾性接着剤を介して接合した ことを
特徴とする振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28589495A JP3304722B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28589495A JP3304722B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126785A JPH09126785A (ja) | 1997-05-16 |
| JP3304722B2 true JP3304722B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=17697404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28589495A Expired - Fee Related JP3304722B2 (ja) | 1995-11-02 | 1995-11-02 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3304722B2 (ja) |
-
1995
- 1995-11-02 JP JP28589495A patent/JP3304722B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09126785A (ja) | 1997-05-16 |
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Legal Events
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