JP3473241B2 - 振動ジャイロおよび振動ジャイロの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転角速度を検知
することによって移動体の位置を検出し、適切な誘導を
行うナビゲーションシステム、または手ぶれ等の外的振
動による回転角速度を検知し、適切な制振を行う手ぶれ
防止装置等の除振システム等に応用できる振動ジャイロ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の振動ジャイロの構成を図１０、図
１１を用いて説明する。図１０において６１は振動ジャ
イロであり、振動子６２を含む。振動子６２は、エリン
バ等の恒弾性金属材料や、石英、ガラス、水晶、セラミ
ック等の、一般に機械的振動を生ずる材料を三角柱状に
成形してなり、三つの側面のそれぞれのほぼ中央に駆動
用および検出用の圧電素子６３、６４、ならびに帰還用
の圧電素子６５を備える。また、圧電素子６３、６４に
駆動信号を印加する駆動手段として発振回路６６が用い
られ、発振回路６６の入力端は、圧電素子６５に接続さ
れ、発振回路６６の出力端は、抵抗６７、６７を介して
圧電素子６３、６４に接続される。さらに、圧電素子６
３、６４に発生する信号を検出する検出手段として差動
増幅回路６８が用いられ、差動増幅回路６８の非反転入
力端（＋）および反転入力端（−）が、圧電素子６３、
６４に接続される。また、差動増幅回路６８の出力端と
反転入力端（−）との間には、負帰還抵抗としての抵抗
６９が接続される。

【０００３】ここで、発振回路６６によって、振動子６
２の圧電素子６３、６４に駆動信号が印加されると、振
動子６２は圧電素子６５の主面に直交する方向に屈曲振
動し、無回転時には、圧電素子６３、６４からは同様の
検出信号が得られる。一方、振動ジャイロ６１が、振動
子６２の中心軸７０を中心として回転すると、コリオリ
力によって振動子６２が、圧電素子６３または６４の主
面に直交する方向に屈曲振動し、圧電素子６３、６４か
ら回転角速度に応じた検出信号が得られる。このとき、
回転角速度に応じて、例えば、一方の圧電素子６３から
の検出信号が大きくなり、他方の圧電素子６４からの検
出信号が小さくなる。そして、差動増幅回路６８から
は、圧電素子６３、６４間の出力信号の差が出力され、
それをもとに、回転角速度を検知することができる。

【０００４】また、振動ジャイロ６１を実装する際に
は、図１１に示すように、支持ピン７１、７１を用い
て、振動子６２を基板７２上に支持固定し、ケース（図
示せず）に収納する。ここで、支持ピン７１、７１は、
振動阻害や振動吸収を回避するために、線材から構成さ
れ、振動子６２のノード点付近に取り付けられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、振動ジャイ
ロ６１においては、駆動と検出を単一の振動子６２が司
るため、振動子６２を構成する材料としては、駆動力お
よび検出感度の双方において一定の特性を有するものを
選定する必要があり、振動子６２に関して設計上の制約
があった。

【０００６】さらに、振動ジャイロ６１においては、振
動子６２を支持固定する支持ピン７１、７１が線材から
なるため、例えば外部からの衝撃によって支持ピン７
１、７１が変形し、正確な回転角速度を検知することが
できなくなる恐れがあった。

【０００７】そこで、本発明においては、振動子に関し
て設計の自由度に富み、しかも振動子を強固に支持固定
できる振動ジャイロを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の振動ジャイロの製造方法においては、分極
処理された２枚の圧電シートを、断面矩形の棒状のスペ
ーサ部材を複数本挟んで積層してマザー基板を形成する
工程と、該マザー基板を、前記スペーサ部材の長手方向
および幅方向に沿ってそれぞれ切断することによって、
２つの棒状の圧電体ブロックの両端部をスペーサを介し
て接続した構造の複数の振動子を形成する工程と、を有
することを特徴とする。

【０００９】

【００１０】また、本発明にかかる振動ジャイロにおい
ては、振動子と、該振動子に駆動信号を印加する駆動手
段と、前記振動子に発生する信号を検出する検出手段と
を備えてなる振動ジャイロにおいて、前記振動子を、圧
電体を厚み方向に分極してなる第一および第二のブロッ
クの両端をそれぞれスペーサを介して前記圧電体の厚み
方向に接続して、前記第一および第二のブロックの間に
中空部を有するように構成するとともに、前記第一のブ
ロックに、その一方面側から前記第一のブロックの長手
方向に沿った互いに幅方向に平行な凸部と凹部とを交互
に設けるとともに、該凸部の上面に前記第一のブロック
の幅方向に対向する一対の対向電極をそれぞれ備えたこ
とを特徴とする。

【００１１】本発明にかかる振動ジャイロによれば、振
動子において駆動を司る第二のブロックと、検出を司る
第一のブロックとが、互いに別体であるため、第一、第
二のブロックを構成する材料をそれぞれ別個に選定する
ことができ、振動子に関して設計の自由度が増す。

【００１２】また、本発明にかかる振動ジャイロによれ
ば、振動子を構成する第一のブロック上の複数の凸部の
上面にそれぞれ対向電極を設け、これらの対向電極に発
生する信号を合成して回転角速度を検出するように構成
することで、出力信号の振幅が大きくなり、感度が向上
する。

【００１３】さらに、本発明にかかる振動ジャイロによ
れば、振動子が屈曲振動する際、振動子の両側面におけ
るスペーサの厚み方向の中央の無振動部は振動しない。
したがって、振動子を支持固定するための支持部材は、
各スペーサの無振動部上に取り付ければよく、支持部材
を取り付ける部位が容易に決まる。

【００１４】また、無振動部は、振動子の側面における
スペーサの幅方向全域に存在するので、各スペーサの無
振動部上の任意の位置に、複数の支持部材を取り付けた
り、支持部材として板材を用いたりすることができる。
これらのことから、支持部材に関して設計の自由度が増
すとともに、振動子を強固に支持固定することができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の第一の実施例にかかる振
動ジャイロの構成を、図１乃至図５を用いて説明する。
図１において、１は振動ジャイロであり、振動子６を備
える。振動子６は、第一のブロック２、および第一のブ
ロック２とは別体の第二のブロック３を、互いの両端部
近傍において略立方体状のスペーサ４、４を介して接合
し、第一、第二のブロック２、３間に中空部５を形成し
てなる。

【００１６】ここで、第一のブロック２は、圧電セラミ
ック等からなる二つの圧電体２６、２６が接合され、棒
状をなして形成されるものであり、圧電体２６、２６
は、厚み方向に沿って、例えば矢印Ｐ、Ｐで示すように
同じ向きに分極される。また、第一のブロック２の図面
上の上面には、一対の導体７、７からなる対向電極８が
設けられ、下面には平面電極９が設けられる。一方、第
二のブロック３は、二つの圧電体２７、２７が接合さ
れ、棒状をなして形成されるものであり、圧電体２７、
２７は、厚み方向に沿って、例えば矢印Ｐ、Ｑで示すよ
うに互いに逆向きに分極される。なお、第二のブロック
３を構成する圧電体２７、２７の分極方向は、互いに逆
向きであれば、矢印Ｐ、Ｑと異なるものでもよい。ま
た、第二のブロック３の、図面上の上面および下面に
は、それぞれ全面に平面電極１０、１１が設けられる。

【００１７】そして、第二のブロック３の平面電極１
０、１１に、駆動信号を印加する駆動手段として、発振
回路１２が用いられ、発振回路１２の一方の出力端は第
二のブロック３の平面電極１０に接続される。また、発
振回路１２の他方の出力端は、第二のブロック３の平面
電極１１に接続される。また、対向電極８（導体７、
７）は抵抗１３、１３を介してグランドに接続される。
さらに、振動子６の対向電極８（導体７、７）に発生す
る信号を検出する手段として、差動増幅回路１５が用い
られ、差動増幅回路１５の非反転入力端（＋）および反
転入力端（−）は、抵抗１４、１４を介して対向電極８
に接続される。また、差動増幅回路１５の出力端と反転
入力端（−）との間には、負帰還抵抗としての抵抗１６
が接続される。

【００１８】このように構成される振動ジャイロ１にお
いて、発振回路１２によって、平面電極１０、１１に正
弦波信号等の駆動信号が印加されると、印加される直流
電圧の極性が分極時の電圧の極性と同じ場合は、第二の
ブロック３において、分極の方向に沿って伸び歪みが発
生し、印加される直流電圧の極性が分極時の電圧の極性
と逆の場合は、第二のブロック３において、分極の方向
に沿って縮み歪みが発生する。こうして、第二のブロッ
ク３は、主面に直交する方向に沿って、すなわち、振動
子６の外側および内側に向かって屈曲振動する。ここ
で、例えば、第一、第二のブロック２、３が、それぞれ
底面が１ｍｍ四方、長さが１０ｍｍの正四角柱である場
合、各ブロック２、３の共振周波数は、ともに２２ｋＨ
ｚ程度となる。このように、第一、第二のブロック２、
３の共振周波数が比較的低い値である場合、第二のブロ
ック３の屈曲振動に連動して、第一のブロック２は、振
動子６の外側および内側に向かって、第二のブロック３
と同様に屈曲振動する。こうして、第一、第二のブロッ
ク２、３が屈曲振動することによって、振動子６全体と
しては、図２（ａ）（ｂ）に示すように、膨らんだり凹
んだりする。ここで、第一、第二のブロック２、３間に
は中空部５が設けられているため、第一、第二のブロッ
ク２、３の屈曲振動、とくに内側への振動が妨げられる
ことはなく、大きな振幅が実現できる。

【００１９】そして、振動ジャイロ１が、第一、第二の
ブロック２、３の長手方向に平行な回転軸１８（図１）
を中心に回転すると、回転角速度に応じたコリオリ力
が、第一、第二のブロック２、３の各電極が設けられた
側面に平行し、かつ回転軸１８に直交する方向に働き、
対向電極８を構成する導体７、７から、回転角速度に応
じた信号が出力される。この場合、例えば、一方の導体
７からの出力信号が大きくなり、他方の導体７からの出
力信号が小さくなる。このような出力信号の差が、差動
増幅回路１５から出力され、回転角速度が検知される。

【００２０】ここで、振動子６が屈曲振動する際、振動
子６の側面６ａ、６ａにおけるスペーサ４、４の厚み方
向の中央の無振動部１７、１７は振動しない。そして、
無振動部１７、１７は、図１に鎖線Ａで示すように、振
動子６の側面６ａ、６ａの幅方向における全域にわたっ
て延びていることから、振動子６においては、スペーサ
４、４に、それぞれ複数のノード点が連続して存在する
といえる。

【００２１】したがって、振動ジャイロ１を実装する際
には、振動子６を支持固定する支持部材を、無振動部１
７、１７に取り付ければ、振動阻害や振動吸収の恐れは
ない。しかも、支持部材は、無振動部１７、１７上の任
意の位置に取り付けることができる。例えば、図３に示
すように、金属等からなり、直角状に屈曲した板材１
９、１９を支持部材として振動子６に取り付けること
で、振動子６をプリント配線基板２０上に支持固定する
ことができる。板材１９、１９は、幅寸法が振動子６の
側面６ａ、６ａの幅寸法と等しく、スペーサ４、４の無
振動部１７、１７の全域を覆うものである。また、図４
に示すように、金属等からなり、幅寸法が振動子６の側
面６ａ、６ａの幅寸法より小さい板材２１を、側面６
ａ、６ａに複数個ずつ取り付けても、振動子６をプリン
ト配線基板２０上に支持固定することができる。さらに
また、とくに図示しないが、振動子６の側面６ａ、６ａ
に、線材からなる支持部材を複数本ずつ取り付けてもよ
い。

【００２２】振動ジャイロ１を実装する際には、さら
に、振動子６の各電極とプリント配線基板上の配線と
が、ワイヤボンディング等によって接続される。この
際、とくに図示しないが、引出し線の一部を支持部材上
に形成することが可能である。

【００２３】また、振動子６を製造するためには、図５
に示すマザー基板２５が用いられる。マザー基板２５
は、ともに圧電体からなり、平面電極（図示せず）が設
けられ、分極処理された圧電シート２２、２３が、断面
矩形の棒状のスペーサ２４を複数本挟んで積層され、例
えばエポキシ樹脂で接着されてなる。そして、マザー基
板２５が、切断線Ｂ、Ｃに沿って切断、分割されること
により、複数の振動子６が得られ、こうして得られた各
振動子６に、図１に示す発振回路１２、抵抗１３、１
４、１６および差動増幅回路１５が接続され、振動ジャ
イロ１が量産される。

【００２４】以上のように、第一の実施例にかかる振動
ジャイロによれば、振動子において駆動を司る第二のブ
ロックと、検出を司る第一のブロックとが、互いに別体
であるため、第一、第二のブロックを構成する材料をそ
れぞれ別個に選定することができ、振動子に関して設計
の自由度が増す。

【００２５】また、第一の実施例にかかる振動ジャイロ
によれば、実装の際、振動子を支持固定するための支持
部材は、スペーサの無振動部に取り付ければよく、支持
部材を取り付ける部位が容易に決まる。

【００２６】さらに、支持部材は、無振動部上の任意の
位置に取り付けることができ、しかも線材に限らず、板
材からなる支持部材を用いてもよく、各スペーサにそれ
ぞれ複数の支持部材を取り付けることができる。これら
のことから、支持部材に関して設計の自由度が増すとと
もに、振動子を強固に支持固定することができる。

【００２７】また、第一の実施例にかかる振動ジャイロ
によれば、振動子とプリント配線基板とを接続する引出
し線の一部を、振動子の支持部材上に形成することがで
きるため、ワイヤボンディング等の配線作業が容易とな
る。

【００２８】さらに、第一の実施例にかかる振動ジャイ
ロによれば、マザー基板を切断、分割することにより、
複数個の振動子が容易に得られ、効率よく量産が行え
る。

【００２９】次に、本発明の第二の実施例を、図６乃至
図１０を用いて説明する。図６において、３１は振動ジ
ャイロであり、振動子３２を含む。振動子３２は、第一
のブロック３３、および第一のブロック３３とは別体の
第二のブロック３４を、棒状のスペーサ３５、３５を挟
み込んで接合し、第一、第二のブロック３３、３４間に
中空部３６を形成してなる。

【００３０】ここで、第一のブロック３３は、圧電セラ
ミック等を成形してなる二つの圧電体３７、３８からな
る。圧電体３７は略ブロック状をなし、一方の主面に、
凸部３９と凹部４０とが交互に設けられる。凸部３９お
よび凹部４０は、ともに第一のブロック３３の一辺に対
して平行に設けられ、各凸部３９の上面には、互いに対
向する一対の導体４１、４１からなる対向電極４２が設
けられる。このように構成される圧電体３７の一方の主
面が、振動子３２の一方の主面となる。また、圧電体３
８は平板状をなす。そして、圧電体３７、３８は、例え
ば矢印Ｐ、Ｐで示すように、ともに厚み方向における同
じ向きに分極される。

【００３１】一方、第二のブロック３４は、圧電セラミ
ック等を平板状に成形してなる二つの圧電体４３、４３
からなる。また、圧電体４３、４３は、例えば矢印Ｐ、
Ｑで示すように、厚み方向において、互いに逆向きに分
極される。なお、圧電体４３、４３の分極方向は、互い
に逆向きであれば、それぞれ矢印Ｐ、Ｑと逆の向きでも
よい。

【００３２】そして、圧電体３７、３８、４３、４３お
よびスペーサ３５、３５の、それぞれの接合面、ならび
に振動子３２の他方の主面には、全面に平面電極４４が
設けられ、振動子３２が形成される。

【００３３】さらに、第二のブロック３４に駆動信号を
印加する駆動手段として、発振回路４５が用いられ、発
振回路４５の出力端はスペーサ３５、３５と第二のブロ
ック３４との間に配置される平面電極４４に接続され
る。また、発振回路４５の他方の出力端は、振動子３２
の他方の主面上の平面電極４４に接続される。また、複
数の対向電極４２（導体４１、４１）はそれぞれ抵抗４
６を介してグランドに接続される。さらにまた、振動子
３２の各対向電極４２（導体４１、４１）に発生する信
号を検出する検出手段として、差動増幅回路４８が用い
られ、差動増幅回路４８の非反転入力端（＋）および反
転入力端（−）は、抵抗４７、４７を介して各対向電極
４２に接続される。そして、各差動増幅回路４８の出力
端と反転入力端（−）との間には、負帰還抵抗としての
抵抗４９が接続される。

【００３４】このように構成される振動ジャイロ３１に
おいては、発振回路４５によって、スペーサ３５、３５
と第二のブロック３４との間に配置される平面電極４
４、および振動子３２の他方の主面上の平面電極４４
に、正弦波信号等の駆動信号が印加されると、圧電体４
３、４３において、印加される直流電圧の極性に応じ
て、分極の方向に沿って伸び歪み、および縮み歪みが発
生する。これにより、第二のブロック３４が、振動子３
２の外側および内側に向かって屈曲振動する。そして、
第一、第二のブロック３３、３４の共振周波数が、とも
に比較的低い場合、第二のブロック３４に連動して第一
のブロック３３が、振動子３２の外側および内側に向か
って、第二のブロック３４と同様に屈曲振動し、振動子
３２全体としては、図７（ａ）（ｂ）に示すように、膨
らんだり凹んだりする。また、中空部３６が設けられて
いるため、第一、第二のブロック３３、３４の屈曲振
動、とくに内側への振動が妨げられることはなく、大き
な振幅が望める。

【００３５】そして、振動ジャイロ３１が、第一のブロ
ック３３の凸部３９の長手方向に平行な回転軸４６を中
心に回転すると、振動子３２の主面に平行し、かつ回転
軸４６に直交する方向にコリオリ力が働く。このコリオ
リ力に応じて、各対向電極４２を構成する導体４１間で
異なる信号が出力され、これら出力信号の差が、各差動
増幅回路４８から出力され、さらに、直列に合成されて
回転角速度が検知される。

【００３６】このように、振動子３２が屈曲振動する
際、振動子３２の側面３２ａ、３２ａにおけるスペーサ
３５、３５の厚み方向の中央の無振動部５０、５０は振
動しない。そして、無振動部５０、５０は、図６に鎖線
Ｄで示すように、振動子３２の側面３２ａ、３２ａの幅
方向における全域にわたって延びていることから、振動
子３２においては、側面３２ａに、複数のノード点が連
続して存在するといえる。

【００３７】したがって、振動ジャイロ３１を実装する
際には、振動子３２を支持固定する支持部材を、無振動
部５０、５０に取り付ければ、振動阻害や振動吸収の恐
れがない。しかも、支持部材は、無振動部５０上の任意
の位置に取り付けることができる。例えば、図８に示す
ように、金属等からなり、直角状に屈曲した板材５１、
５１を、支持部材として振動子３２に取り付けること
で、振動子３２をプリント配線基板５２上に支持固定す
ることができる。板材５１、５１は、幅寸法が振動子３
２の側面３２ａ、３２ａの幅寸法と等しく、無振動部５
０、５０の全域を覆うものである。また、図９に示すよ
うに、金属等からなり、幅寸法が振動子３２の側面３２
ａ、３２ａの幅寸法より小さい板材５３、５３を、側面
３２ａ、３２ａに複数個ずつ取り付けることで、振動子
３２をプリント配線基板５２上に支持固定することがで
きる。さらにまた、とくに図示しないが、振動子３２の
側面３２ａ、３２ａに、線材からなる支持部材を複数本
ずつ取り付けてもよい。

【００３８】振動ジャイロ３１を実装する際には、さら
に、振動子３２の各電極とプリント配線基板上の配線と
が、ワイヤボンディング等によって接続される。この
際、とくに図示しないが、引出し線の一部を支持部材上
に形成することが可能である。また、振動子３２を製造
するためには、とくに図示しないが、凸部および凹部が
設けられ、分極処理された圧電シートと、平板状をな
し、分極処理された圧電シートとが、平面電極およびス
ペーサを挟み込んで積層されてなるマザー基板が用いら
れる。そして、マザー基板が切断、分割されることによ
り、複数の振動子が得られ、こうして得られた各振動子
に、発振回路、抵抗および差動増幅回路が接続され、振
動ジャイロが量産される。

【００３９】以上のように、第二の実施例にかかる振動
ジャイロによれば、複数の対向電極の出力を合成して回
転角速度を検出するので、出力信号の振幅が大きくな
り、感度が向上する。

【００４０】また、第二の実施例にかかる振動ジャイロ
によれば、振動子において駆動を司る第二のブロック
と、検出を司る第一のブロックとが、互いに別体である
ため、第一、第二のブロックを構成する材料をそれぞれ
別個に選定することができ、振動子に関して設計の自由
度が増す。

【００４１】さらに、第二の実施例にかかる振動ジャイ
ロによれば、実装の際、振動子を支持固定するための支
持部材は、スペーサの無振動部に取り付ければよく、支
持部材を取り付ける部位が容易に決まる。

【００４２】また、支持部材は、無振動部上の任意の位
置に取り付けることができ、しかも線材に限らず、板材
からなる支持部材を用いてもよく、各スペーサにそれぞ
れ複数の支持部材を取り付けることができる。これらの
ことから、支持部材に関して設計の自由度が増すととも
に、振動子を強固に支持固定することができる。

【００４３】さらに、第二の実施例にかかる振動ジャイ
ロによれば、振動子とプリント配線基板とを接続する引
出し線の一部を、支持部材上に形成することができ、ワ
イヤボンディング等の配線作業が容易となる。

【００４４】また、第二の実施例にかかる振動ジャイロ
によれば、マザー基板を切断、分割することにより、複
数個の振動子が容易に得られ、効率よく量産が行える。

【００４５】なお、上述した第一、第二の実施例におい
ては、振動子を構成する第一のブロックが二つの圧電体
からなる場合について説明したが、第一のブロックを構
成する圧電体の数は二つに限定されるものではなく、単
一または三以上の数でもよい。

【００４６】また、第一、第二の実施例においては、第
二のブロックが二つの圧電体からなる場合について説明
したが、第二のブロックを構成する圧電体の数は二つに
限定されるものではなく、三以上の数でもよい。

【００４７】また、第一、第二の実施例においては、そ
れぞれ立方体状または棒状のスペーサを用いる場合につ
いて説明したが、第一、第二のブロックの屈曲振動を妨
げるものでなければ、他の形状のスペーサを用いてもよ
い。

【００４８】さらに、第一、第二のブロックの分極方向
は、第一、第二の実施例において例示したものに限定さ
れるものではない。

【００４９】

【発明の効果】本発明にかかる振動ジャイロによれば、
振動子において駆動を司る第二のブロックと、検出を司
る第一のブロックとが、互いに別体であるため、第一、
第二のブロックを構成する材料をそれぞれ別個に選定す
ることができ、振動子に関して設計の自由度が増す。

【００５０】また、本発明にかかる振動ジャイロによれ
ば、振動子を構成する第一のブロック上の複数の凸部に
それぞれ対向電極を設け、これらの対向電極に発生する
信号を合成して回転角速度を検出するように構成すれ
ば、出力信号の振幅が大きくなり、感度が向上する。

【００５１】さらに、本発明にかかる振動ジャイロによ
れば、振動子が屈曲振動する際、振動子の両側面におけ
るスペーサの厚み方向の中央の無振動部は振動しない。
したがって、振動子を支持固定するための支持部材は、
各スペーサの無振動部上に取り付ければよく、支持部材
を取り付ける部位が容易に決まる。

【００５２】また、支持部材は、無振動部上の任意の位
置に取り付けることができ、しかも線材に限らず、板材
からなる支持部材を用いてもよく、各スペーサにそれぞ
れ複数の支持部材を取り付けることができる。これらの
ことから、支持部材に関して設計の自由度が増すととも
に、振動子を強固に支持固定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例にかかる振動ジャイロを
示す図解図である。

【図２】（ａ）（ｂ）とも、図１の振動ジャイロを構成
する振動子の屈曲振動を示す図解図である。

【図３】図２の振動子を支持部材で支持固定した状態を
示す斜視図である。

【図４】図２の振動子を他の支持部材で支持固定した状
態を示す斜視図である。

【図５】図２の振動子の製造に用いるマザー基板を示す
斜視図である。

【図６】本発明の第二の実施例にかかる振動ジャイロを
示す図解図である。

【図７】（ａ）（ｂ）とも、図６の振動ジャイロを構成
する振動子の屈曲振動を示す図解図である。

【図８】図７の振動子を支持部材で支持固定した状態を
示す斜視図である。

【図９】図７の振動子を他の支持部材で支持固定した状
態を示す斜視図である。

【図１０】従来の振動ジャイロを示す図解図である。

【図１１】図１０の振動ジャイロを構成する振動子を支
持部材で支持固定した状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

１、３１ 振動ジャイロ ２、３３ 第一のブロック ３、３４ 第二のブロック ４、３５ スペーサ ５、３６ 中空部 ６、３２ 振動子 ８、４２ 対向電極 ９、１０、１１、４４ 平面電極 １２、４５ 発振回路（駆動手
段） １５、４８ 差動増幅回路（検出
手段） ２６、２７、３７、３８、４３ 圧電体 ３９ 凸部 ４０ 凹部

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−122518（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−333038（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−160099（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−55714（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−260489（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−38513（ＪＰ，Ｕ) 近野正，圧電形の振動ジャイロ・方向 センサー，昭和61年度文部省科学研究費 補助金（一般研究（Ｂ））研究成果報告 書（課題番号Ｎｏ．60460142），日本, 1987年 ３月，71〜72、80 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分極処理された２枚の圧電シートを、断
   面矩形の棒状のスペーサ部材を複数本挟んで積層してマ
   ザー基板を形成する工程と、 該マザー基板を、前記スペーサ部材の長手方向および幅
   方向に沿ってそれぞれ切断することによって、２つの棒
   状の圧電体ブロックの両端部をスペーサを介して接続し
   た構造の複数の振動子を形成する工程と、 を有することを特徴とする振動ジャイロの製造方法。
2. 【請求項２】 振動子と、該振動子に駆動信号を印加す
   る駆動手段と、前記振動子に発生する信号を検出する検
   出手段とを備えてなる振動ジャイロにおいて、 前記振動子を、圧電体を厚み方向に分極してなる第一お
   よび第二のブロックの長手方向両端をそれぞれスペーサ
   を介して前記圧電体の厚み方向に接続して、前記第一お
   よび第二のブロックの間に中空部を有するように構成す
   るとともに、 前記第一のブロックに、その一方面側から前記第一のブ
   ロックの長手方向に沿った互いに幅方向に平行な凸部と
   凹部とを交互に設けるとともに、該凸部の上面に前記第
   一のブロックの幅方向に対向する一対の対向電極をそれ
   ぞれ備えたことを特徴とする振動ジャイロ。