KR100617273B1 - 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치 - Google Patents

반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 프로버의 풉 이송장치에 관한 것이다. 본 발명의 풉 이송장치는 캐리어로부터 풉을 인계받아 반도체 웨이퍼를 테스트하는 반도체 웨이퍼 프로버에서, 반도체 웨이퍼 프로버의 내부 저면에 설치되는 정역 모터와, 상기 정역 모터에 연결된 채 반도체 웨이퍼 프로버의 내부에 수직으로 설치되는 복수의 스크류와, 상기 복수의 스크류에 치합되어 수평으로 설치되는 장착대로 구성되는 승하강부; 상기 장착대에 고정되는 다수의 지지로드에 지지되는 지지대; 및 상기 지지대 위에 설치되는 복수의 가이드 레일과, 상기 복수의 가이드 레일 위에서 전후진으로 슬라이딩 위치 이동하며 상부에 풉이 위치하는 도킹포트와, 상기 도킹포트의 일측에 설치되는 전후진 모터와, 상기 도킹포트에 연결 치합되고 상기 전후진 모터의 회전축에 고정되는 전후진 스크류를 포함하고, 상기 풉은 상기 정역 모터와 전후진 모터의 작동에 의해 반도체 웨이퍼 프로버의 내부로 위치 이동한다.
프로버, 풉, 테스트 헤드, 웨이퍼, 승하강, 전후진

Description

반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING FOUP IN SEMICONDUCTOR WAFER PROBER}
도 1은 종래의 기술에 따른 웨이퍼 프로버를 설명하기 위하여 도시한 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 풉 이송장치를 부분 절개하여 도시한 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 풉 이송장치의 언로딩 과정을 도시한 작동 순서도.
도 4는 본 발명에 따른 풉 이송장치의 풉 이송 높이를 설명하기 위해 도시한 개략도.
도 5는 본 발명에 따른 풉 이송장치의 로딩 과정을 도시한 작동 순서도.
도 6은 본 발명에 따른 풉 이송장치의 엘리베이터 측벽에 설치된 센서들을 도시한 구성도.
도 7은 본 발명에 따른 풉 이송장치의 지지대에 설치된 센서들을 도시한 구성도.
도 8은 본 발명에 따른 풉 이송장치의 콘트롤러의 언로딩 동작을 순차적으로 나타내는 흐름도.
도 9은 본 발명에 따른 풉 이송장치의 콘트롤러의 로딩 동작을 순차적으로 나타내는 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 반도체 웨이퍼 프로버
3 : 풉(FOUP)
5 : 테스터 헤드
7 : 캐리어
12 : 정역 모터
10 : 본체
16 : 스크류
18 : 장착대
20 : 가이드
24 : 지지대
28 : 가이드레일
30 : 도킹포트
32 : 가이드 블록
38 : 안착대
60 : 상부위치 감지 센서부
70 : 하부위치 감지 센서부
80 : 후진위치 감지 센서부
90 : 전진위치 감지 센서부
본 고안은 반도체 웨이퍼 프로버에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 반도체 웨이퍼가 장착된 풉을 캐리어로부터 받아서 프로버의 내부로 로딩하는 반도체 웨이퍼 프로버의 풉 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 웨이퍼 위에 만들어진 반도체 칩(chip)을 패키징 하기 전에 웨이퍼 상태의 칩들이 정상적으로 동작하는지를 전기적으로 테스트하기 위해 반도체 칩 내에 있는 패드(pad)에 검사용 탐침을 접촉시키는 장비이다.
이와 같은 반도체 웨이퍼 프로버는 반도체 웨이퍼를 풉(FOUP) 또는 카세트(casette)에서 테스트 할 수 있는 위치로 이송하는 반도체 웨이퍼 핸들링 로봇 부분과, 웨이퍼를 테스트하기 위하여 정밀하게 이송하여 프로브와 접촉시키는 스테이지 부분으로 이루어져 있다.
이 장비를 이용하여 웨이퍼 상의 칩에 전기적인 신호를 가하고 그 결과를 측정함으로써 각 칩에 대한 이상 유무 또는 불량 여부를 검사한다.
이러한 반도체 웨이퍼 프로버의 내부로 이송될 반도체 웨이퍼들은 카세트(cassette) 또는 풉(FOUP) 등과 같은 웨이퍼 수납 용기에 담겨 오토매틱 캐리어(Automatic carrier)에 의해 이동된 후 오토매틱 캐리어에서 웨이퍼 프로버로 옮겨진다.
이때 캐리어의 표준 높이는 반도체 제조 표준으로 900mm로 정해져 있으며, 이에 맞춰 종래의 프로버들은 풉의 이송 높이를 모두 900mm로 고정시켜 제작되고 있다.
도 1에서 종래 900mm 높이로 풉의 안착 위치가 고정된 종래 반도체 웨이퍼 프로버(1)를 나타내고 있는데, 반도체 웨이퍼 프로버(1)는 상부에 풉(3)이 안착되고 풉(3)의 측방에 테스터 헤드(5)가 위치한다.
테스터 헤드(5)는 그 크기가 점차 확대되고 있는 바, 그 이유는 반도체 기술의 발전으로 인해 웨이퍼의 직경이 300mm로까지 확대됨으로써 웨이퍼에 대응하여 반도체 웨이퍼를 테스트해야 하기 때문이다.
따라서, 도 1에 도시한 바와 같이, 웨이퍼의 직경이 커짐에 따라, 프로버(1)의 상부에 안착될 풉(3)의 크기가 커지고, 또한 풉(3)의 측방에 위치한 테스터 헤드(5)의 크기도 커지게 되었다. 그 결과, 풉과 테스트 헤드간에 간섭이 발생할 수 밖에 없는 문제점이 있다.
또한, 프로버(1)의 상부 높이(h)와 캐리어(7) 위에 위치한 풉의 높이 사이에 미세한 차이가 발생할 경우, 즉 바닥면이 고르지 못한 이유로 인하여 높이의 차이가 발생하게 되면 캐리어에서 프로버로 풉이 이송되는 과정에서 낙하되어 파손될 수도 있다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하기 위해 사용되는 웨이퍼 프로버에서 풉과 테스터 헤드와의 간섭이 발생하지 않는 풉 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 카세트를 이동시켜 주는 캐리어의 높이에 맞게 프로버의 풉 높이를 대응하여 맞출 수 있도록 구성된 반도체 웨이퍼 프로버의 풉 이송장치를 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위해서 본 발명의 풉 이송장치는,
캐리어로부터 풉을 인계 받아 반도체 웨이퍼를 테스트하는 반도체 웨이퍼 프로버에서, 반도체 웨이퍼 프로버의 내부 저면에 설치되는 정역 모터와, 상기 정역 모터에 연결된 채 반도체 웨이퍼 프로버의 내부에 수직으로 설치되는 복수의 스크류와, 상기 복수의 스크류에 치합되어 수평으로 설치되는 장착대로 구성되는 승하강부;
상기 장착대에 고정되는 다수의 지지로드에 지지되는 지지대; 및
상기 지지대 위에 설치되는 복수의 가이드 레일과, 상기 복수의 가이드 레일 위에서 전후진으로 슬라이딩 위치 이동하며 상부에 풉이 위치하는 도킹포트와, 상기 도킹포트의 일측에 설치되는 전후진 모터와, 상기 도킹포트에 연결 치합되고 상기 전후진 모터의 회전축에 고정되는 전후진 스크류를 포함하고,
상기 풉은 상기 정역 모터와 전후진 모터의 작동에 의해 반도체 웨이퍼 프로버의 내부로 위치 이동한다.
그리고, 상기 도킹포트 위에 고정 설치되고 자체의 위면에 상기 풉이 안착되는 안착대를 더 포함하는 것이 바람직하다.
추가로, 상기 장착대의 승하강시 안내를 위해 상기 반도체 웨이퍼 프로버의 내부에 수직으로 세워지는 가이드를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 정역 모터와 복수의 스크류는 벨트 연결되는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시예로서, 상기 도킹 포트의 위치를 감지하기 위한 적어도 하나 이상의 센서부; 및 상기 센서부에 연결되어 상기 풉을 반도체 웨이퍼 프로버의 내부로 진행 지시하는 로딩 버튼과, 상기 센서부에 연결되고 상기 풉을 캐리어로부터 인계 받기 위해 상기 도킹포트를 이동시키도록 지시하는 언로딩 버튼으로 구성되는 버튼부를 더 포함한다.
그리고, 상기 로딩 버튼 또는 언로딩 버튼에 램프가 내장되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예로서, 상기 정역 모터, 전후진 모터, 복수의 센서부 및 버튼부에 연결되어 로딩 및 언로딩 작업이 실시될 수 있도록 하는 콘트롤러를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면에 의거하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
제1 실시예
도 2는 본 발명에 따른 풉 이송장치를 부분 절개하여 도시한 사시도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 풉 이송장치는 반도체 웨이퍼 프로버의 일측에 구성된다.
풉 이송장치는 반도체 웨이퍼 프로버 본체(이하 '본체'라 칭함) 일측에 설치되는 승하강부와, 승하강부의 상측에 구성되는 전후진부를 포함한다.
먼저 승하강부를 살펴보면, 승하강부는 본체(10)의 내부 저면에 설치되는 정역 모터(12)와, 본체(10)의 내부에서 수직으로 설치되고 상기 정역 모터(12)에 벨트(14)를 통해 연결되는 복수의 스크류(16)와, 복수의 스크류(16)에 치합되어 수평으로 설치되는 장착대(18)와, 장착대(18)의 승하강시 안내를 위해 설치되는 가이드(20)로 구성된다.
여기서, 복수의 스크류(16)는 일단이 본체(10)의 내부 저면에 트러스트 지지되고 장착대(18)를 관통하여 수직으로 세워진다. 따라서 복수의 스크류(16)의 회전에 따라 장착대(18)가 복수의 스크류(16)를 따라 수직으로 승하강된다.
복수의 스크류(16)와 벨트(14)를 연결하기 위해서 복수의 스크류(16) 하부 끝에는 벨트(14)와 치합되는 벨트 기어(22)가 설치된다.
이와 같은 승하강부의 장착대(18) 위에는 지지대(24)가 설치되는 데, 지지대(24)를 받치기 위해 장착대(18)의 위에 다수의 지지로드(26)가 고정되고, 이 지지로드(26)의 상단에 지지대(24)가 고정되는 것이다.
이러한 지지대(24) 위에 전후진부가 설치된다.
전후진부는 지지대(24) 위에 설치되는 적어도 하나 이상의 가이드 레일(28)과, 이 가이드 레일(28) 위에서 전후진으로 슬라이딩 위치 이동하는 도킹포트(30)와, 도킹포트(30)의 하부에 설치되는 가이드 블록(32)과, 도킹포트(30)의 일측에 설치되는 전후진 모터(34)와, 가이드 블록(32)에 치합된 채 전후진 모터(34)의 회전축에 고정되는 전후진 스크류(36)로 구성된다.
본 발명의 일 실시형태는, 상기 도킹포트(30)위에 안착대(38)를 고정 설치함 으로써, 풉과 같은 웨이퍼 수납 용기를 캐리어로부터 넘겨받을 때 안정하게 동작될 수 있도록 한다.
이하, 도 3을 참조하여, 전술한 풉 이송장치의 언로딩 동작을 구체적으로 설명한다. 언로딩(unloading)이라 함은 풉 이송장치의 도킹포트가 본체의 내부로부터 전진 및 상승하여, 캐리어로부터 풉을 인계받을 수 있는 상태 또는 도킹 포트위의 풉을 캐리어로 인계할 수 있는 상태로 준비하는 과정을 말한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 먼저 전후진 모터(34)를 정방향으로 작동시킴으로써, 도킹포트(30)가 가이드 레일(28)을 따라 본체(10)의 앞쪽의 정해진 위치로 이동시킨다. 다음, 앞쪽의 정해진 위치로 이동이 종료되면 정역 모터(12)를 정방향으로 작동하여 벨트(14)를 통해 복수의 스크류(16)에 회전력을 전달한다. 전달된 회전력은 복수의 스크류(16)를 회전시키게 되고, 장착대(18)는 가이드(20)에 안내되어 상부로 상승하게 된다. 도 4에 도시한 바와 같이 장착대(18)가 h 높이(900mm)에 위치하면 정역 모터(12)의 작동을 정지시킨다.
다음, 도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 풉이송장치의 로딩(loading) 과정을 구체적으로 설명한다. 로딩(loading) 과정은 전술한 언로딩 동작에 의해 풉을 인계받을 수 있는 위치에 도달한 도킹포트위에 풉이 인계되거나, 풉을 캐리어로 인계한 후, 하강 및 후진의 동작을 거쳐 도킹 포트를 본체의 내부로 인입시키는 과정을 의미한다.
전술한 언로딩 동작에 의해 풉(40)이 캐리어로부터 도킹포트로 인계되거나, 도킹 포트위의 풉이 캐리어로 인계된 후, 도 5에 도시한 바와 같이, 정역 모터(12) 가 역방향으로 작동하여 전술한 장착대(18)의 상승할 때와는 반대로 하강이 진행된다. 하강이 완전히 종료되면 전후진 모터(34)를 역방향으로 작동하여 전후진 모터(34)를 회전시킨다. 이에 따라 도킹 포트가 본체(10)의 내부로 인입된다.
제2 실시예
이하, 본 발명의 제2 실시예에 따른 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수납 용기 이송 장치의 구성 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다. 본 실시예에 따른 이송 장치는 승하강부, 전후진부, 센서부 및 버튼부를 포함한다. 여기서, 상기 승하강부 및 전후진부의 구성은 전술한 제1 실시예의 그것과 동일하므로, 중복된 설명은 생략한다.
본 실시예의 센서부는, 도킹포트(30)의 상,하, 전, 후 위치를 판단할 수 있는 센서(44)들을 하나 이상을 포함한다. 도 6은 도킹포트의 상하 위치를 판단하기 위한 센서들이 장착된 엘리베이터 측벽을 도시한 구성도이며, 도 7은 도킹포트의 전후 위치를 판단하기 위한 센서들이 장착된 지지대를 도시한 구성도이다.
먼저, 도 6을 참조하면, 도킹 포트의 상하 위치를 판단하기 위한 것으로서, 장착대가 승하강하는 경우에 도킹 포트가 기설정된 상부 위치에 도달하였음을 감지하는 상부 위치 감지 센서부(60), 장착대가 승하강하는 경우에 도킹 포트가 기설정된 하부 위치에 도달하였음을 감지하는 하부 위치 감지 센서부(70)를 구비한다.
상기 상부 위치 감지 센서부(60)는 (+)오리진 센서와 (+)리미트 센서를 포함하며, (+)오리진 센서는 엘리베이터가 언로드되었을 때(즉, 위로 올라왔을 때) 장착대를 감지하게 되며, (+)리미트 센서는 (+)오리진 센서보다 약간 윗쪽에 장착되 어 있다. 엘리베이터는 (+)리미트 센서를 감지한 후 속도를 줄이게 된다.
상기 하부 위치 감지 센서부(70)는 (-)오리진 센서와 (-)리미트 센서를 포함하며, (-)오리진 센서는 엘리베이터가 로드되었을때(즉, 아래로 내려왔을 때) 장착대를 감지하게 되며, (-)리미트 센서는 (-)오리진 센서보다 아래쪽에 장착되어 있다. 엘리베이터는 (-)리미트 센서를 감지한 후 속도를 줄이게 된다.
다음, 도 7을 참조하면, 도킹 포트의 전후위치를 감지하기 위한 것으로서, 도킹 포트가 전후진하는 경우에 도킹 포트가 기설정된 전진 위치에 도달하였음을 감지하는 전진 위치 감지 센서부(90), 및 도킹포트가 전후진하는 경우에 도킹포트가 기설정된 후진 위치에 도달하였음을 감지하는 후진 위치 감지 센서부(80)가 지지대에 장착되어 있다.
상기 후진 위치 감지 센서부(80)는 (+)오리진 센서와 (+)리미트 센서를 포함하며, (+)오리진 센서는 지지대의 오른쪽 뒷부분에 장착되어 도킹포트가 로드위치에 들어왔을 때를 감지하며, (+)리미트 센서는 (+)오리진 센서보다 소정 거리 뒷쪽에 장착되며, (+)리미트 센서에 의해 도킹 포트가 감지되면 서서히 속도를 줄이면서 (+)오리진 센서의 위치까지 이동하게 된다.
상기 전진 위치 감지 센서부(90)는 (-)오리진 센서와 (-)리미트 센서를 포함하며, (-)오리진 센서는 지지대의 정면의 소정의 위치에 장착되어 도킹 포트가 언로드 위치로 나왔을 때를 감지하며, (-)리미트 센서는 (-)오리진 센서의 앞쪽에 설치되어 (-)리미트 센서가 감지되면 (-)오리진 센서의 위치까지 자동으로 이동하게 된다.
한편, 본 발명의 다른 실시형태는 도킹포트위에 풉이 놓여있는지 여부를 감지하는 풉 감지 센서부를 더 구비할 수도 있다.
그리고 버튼부는 풉(40)을 본체(10)의 내부로 이동 지시하는 로딩 버튼(48)과, 풉(40)을 캐리어로부터 인계 받기 위해 도킹포트(30)를 이동시키도록 지시하는 언로딩 버튼(50)으로 구성된다.
여기서, 로딩 버튼(48)과 언로딩 버튼(50)은 전술한 센서부들에 공동으로 접속되어, 센서부들로부터 전송되는 신호에 따라, 로딩 또는 언로딩 버튼(50)을 누를 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 복수의 센서부들에 의해 도킹포트(30)의 위치를 감지하면 작업자가 이를 확인할 수 있도록 로딩 버튼(48) 및 언로딩 버튼(50)에 램프가 내장되어 버튼들을 통해 불빛이 나오도록 구성된다.
예컨대, 도킹포트가 완전히 프로버의 내부로 로드된 경우에는 로딩 버튼(48)을 녹색으로 온(ON)시키며, 도킹포트가 완전히 프로버의 외부로 언로드된 경우에는 언로딩 버튼(50)을 적색으로 온시키며, 로드 동작을 진행중인 경우에는 로딩 버튼을 녹색으로 깜박거리도록 하며, 언로드 동작을 진행중인 경우에는 언로딩 버튼을 적색으로 깜박거리도록 함으로써, 작업자로 하여금 현재의 상태를 정확하게 파악할 수 있도록 한다.
이와 같이 구성되는 본 발명에 따른 제2 실시예는 다음과 같이 작동한다.
먼저, 반도체 웨이퍼를 테스트하기 위해서 캐리어가 풉(40)을 운반해 오면 작업자는 언로딩 버튼(50)을 눌러 도킹포트(30)가 풉(40)을 받을 수 있는 위치인 900mm 높이까지 이동시키게 된다.
이하, 언로딩 버튼이 눌려짐에 따라, 풉을 인계받을 수 있도록, 도킹포트(30)가 본체(10)의 내부에서 900mm 높이까지 상승되는 과정을 구체적으로 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 먼저 전후진 모터(34)가 작동하여 도킹포트(30)를 전진시킨다. 그러면 전진 위치 감지 센서부의 (-)오리진 센서에 의해, 도킹포트(30)가 정해진 전진 위치에 도달하였음을 확인될 때까지, 전후진 모터(34)를 작동한다. 이때, 언로딩 버튼(50)의 램프를 깜박거리도록 함으로써, 언로딩 중임을 확인하게 된다.
도킹포트(30)의 전진이 종료되면, 정역 모터(12)가 작동하여 벨트(14)를 통해 복수의 스크류(16)를 회전시킴으로써 도킹포트(30)를 상부로 이동시킨다. 이때, 상부 위치 감지 센서부의 (+)리미트 센서에 의해, 도킹 포트가 정해진 상부 위치(즉, 900mm 높이인 지점)인 d에 도달하였음이 감지될 때까지, 정역 모터를 작동한다. 이때, 버튼에서 손을 떼어도 정해진 상부 위치까지 자동으로 올라가서 멈추게 된다.
이 상태에서 도 4에 도시한 바와 같이, 캐리어로부터 풉(40)이 로봇(도시되지 않음)에 의해 도킹 포트위에 안착되면, 도킹 포트를 프로버내부로 로드시키게 된다. 로딩 과정은 다음과 같다
먼저, 로딩 버튼(48)을 눌러 풉(40)이 안착된 도킹포트(30)를 하부 위치 감지 센서의 (-)리미트 센서가 감지할 때까지 하부로 하강시킨다. 즉, 도 5에 도시한 바와 같이 정역 모터(12)를 역방향으로 작동하여 복수의 스크류(16)를 역방향으 로 회전시킴으로써 장착대(18)를 하부로 하강시킨다. 이때, 로딩 버튼의 녹색불을 깜박거리도록 함으로써 작업자에게 로드중임을 알려준다. 일단 하부 위치 감지 센서의 (-)리미트 센서에 의해 감지되면, 더 이상 로딩 버튼을 누르지 않더라도 하부위치 감지 센서의 (-)오리진 센서의 위치까지 자동으로 하강하게 된다.
도킹포트(30)의 하강이 종료되면, 전후진 모터(34)를 역방향으로 작동시켜 전진 위치에 있던 도킹포트(30)를 후진시킨다. 이때 후진 위치 감지 센서의 (+)리미트 센서가 도킹포트(30)를 감지하게 되면 로딩 버튼(48)에서 손을 떼더라도, 도킹포트(30)는 후진 위치 감지 센서의 (+)오리진 센서가 감지될 때까지 자동으로 이동시킨 후, 후진을 정지시킨다.
제3 실시예
이하, 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 수납 용기 이송장치의 구성 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다. 본 실시예에 따른 이송 장치는 승하강부, 전후진부, 센서부, 버튼부, 콘트롤러로 이루어지며, 이송장치의 작동을 자동으로 수행할 수 있게 된다. 여기서, 승하강부, 전후진부, 센서부, 버튼부의 구성 및 동작은 제1 실시예와 제2 실시예의 그것들과 동일하므로, 중복되는 설명은 생략한다.
본 실시예에 따른 상기 콘트롤러(46)는 정역 모터(12), 전후진 모터(34), 복수의 센서부 및 버튼부에 연결되어 있으며, 이들의 동작을 기저장된 프로그램에 따라 자동으로 로딩 및 언로딩 작업이 실시될 수 있도록 제어한다.
이하, 도 8을 참조하여, 본 발명에 따른 콘트롤러의 언로딩 동작을 순차적으로 설명한다.
먼저, 언로딩하라는 명령 신호를 감지하면(단계 600), 전후진 모터를 작동하여 도킹포트를 전진시킨다(단계 610). 전진 위치 감지 센서부로부터 도킹포트가 정해진 전진 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면, 전후진 모터의 동작을 정지시킨다(단계 620). 다음, 정역 모터를 작동시켜, 장착대를 상부로 이동시킨다(단계 630). 다음, 상부 위치 감지 센서부로부터 도킹 포트가 정해진 상부 위치에 도달되었음을 감지한 신호가 입력되면, 정역 모터의 동작을 정지시킨다(단계 650).
이하, 도 9을 참조하여, 본 발명에 따른 콘트롤러의 로딩 동작을 순차적으로 설명한다.
먼저, 풉 감지 센서부로부터 풉이 도킹 포트에 완전히 안착되었음을 감지한 신호가 입력되거나, 작업자로부터 로딩 명령 신호가 입력되면(단계 700), 정역 모터가 역방향으로 작동하여 장착대를 하강시킨다(단계 710). 다음, 하부 위치 감지 센서부로부터 도킹포트가 정해진 하부 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면, 정역모터의 동작을 정지시킨다(단계 720). 다음, 전후진 모터를 역방향으로 작동시켜, 도킹포트를 후진시킨다(단계 730). 다음, 후진 위치 감지 센서부로부터 정해진 후진 위치에 도달되었음을 감지한 신호가 입력되면, 전후진 모터의 동작을 정지시킨다(단계 740).
이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들면, 본 발명의 실시예에서, 센서의 종류 및 설치 위치 등은 풉 이송장치의 동작을 효율적으로 수행하기 위하여 다양하게 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 프로버의 풉 이송장치는 작업자의 작업작동에 따라 900mm 높이에서 캐리어로부터 풉을 인계 받아 본체의 내부로 인입시키기 때문에 본체의 상부에 풉을 내장하는 별도의 공간을 마련하지 않아도 된다. 따라서 테스트 헤드의 크기가 커지더라도 기기의 오작동을 방지하는 효과가 있다.

Claims (14)

  1. 캐리어로부터 웨이퍼 수용 용기를 인계 받아 반도체 웨이퍼를 테스트하는 반도체 웨이퍼 프로버에 있어서,
    상기 반도체 웨이퍼 프로버의 내부 저면에 설치되는 정역 모터와, 상기 정역 모터에 연결된 채 반도체 웨이퍼 프로버의 내부에 수직으로 설치되는 복수의 스크류와, 상기 복수의 스크류에 치합되어 수평으로 설치되는 장착대로 구성되는 승하강부;
    상기 장착대에 고정되는 다수의 지지로드에 의해 지지되는 지지대;
    상기 지지대 위에 설치되는 복수의 가이드 레일과, 상기 복수의 가이드 레일 위에서 전후진으로 슬라이딩 위치 이동하며 상부에 웨이퍼 수용 용기가 위치하는 도킹포트와, 상기 도킹포트의 일측에 설치되는 전후진 모터와, 상기 도킹포트에 연결 치합되고 상기 전후진 모터의 회전축에 고정되는 전후진 스크류를 포함하는 전후진부; 및
    상기 도킹포트의 위치를 판단하는 적어도 하나 이상의 센서부를 구비하고,
    상기 센서부는
    도킹포트의 전후진시에 정해진 전진 위치에 도달하였는지를 감지하는 전진 위치 감지 센서부와, 도킹포트의 전후진시에 정해진 후진 위치에 도달하였지는 감지하는 후진 위치 감지 센서부와, 장착대의 승하강시에 도킹 포트가 정해진 상부 위치에 도달하였는지를 감지하는 상부 위치 감지 센서부와, 장착대의 승하강시에 도킹 포트가 정해진 하부 위치에 도달하였는지를 감지하는 하부 위치 감지 센서부로 이루어지며, 상기 상부 위치 감지 센서부는 (+)오리진 센서와 (+)리미트 센서를 구비하고, 상기 하부 위치 감지 센서부는 (-)오리진 센서와 (-)리미트 센서를 구비하여,
    상기 웨이퍼 수용 용기는 상기 정역 모터와 전후진 모터의 작동에 의해 상기 반도체 웨이퍼 프로버의 내부의 소정의 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도킹포트 위에 고정 설치되고 자체의 위면에 상기 웨이퍼 수용 용기가 안착되는 안착대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이 퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 장착대의 승하강시 안내를 위해 상기 반도체 웨이퍼 프로버의 내부에 수직으로 세워지는 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 정역 모터와 복수의 스크류는 벨트 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 웨이퍼 수용 용기 이송장치는 상기 도킹 포트를 반도체 웨이퍼 프로버의 내부로 이동 지시하는 로딩 버튼과, 상기 웨이퍼 수용 용기를 캐리어로부터 인계 받을 수 있는 위치로 상기 도킹포트를 이동 지시하는 언로딩 버튼으로 구성되는 버튼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 로딩 버튼 또는 언로딩 버튼에 램프가 장착되어, 상기 웨이퍼 수용 용기가 로딩 상태 또는 언로딩 상태임을 나타내는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 웨이퍼 수용 용기 이송장치는 상기 정역 모터, 전후진 모터, 센서부 및 버튼부에 연결되어 그 동작을 제어하는 콘트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 언로딩 버튼 신호를 감지하면, 전후진 모터를 작동하여 도킹포트를 전진시키고, 센서부로부터 도킹포트가 기설정된 전진 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면 전후진 모터의 동작을 정지시킨 후, 정역 모터를 작동시켜 장착대를 상부로 이동시키며, 센서부로부터 도킹포트가 정해진 상부 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면, 정역 모터의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 로딩 버튼의 입력 신호를 감지하면, 정역 모터가 역방향으로 작동하여 장착대를 하강시키고, 센서부로부터 도킹포트가 기설정된 하부 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면 정역 모터의 동작을 정지시킨 후, 전후진 모터를 역방향으로 작동시켜 도킹포트를 후진시키고, 센서부가 도킹포트가 기설정된 후진 위치에 도달하였음을 감지하면, 전후진 모터의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  10. 삭제
  11. 제7항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 언로딩 버튼 신호를 감지하면, 전후진 모터를 작동하여 도킹포트를 전진시키고, 상기 전진 위치 감지 센서부로부터 도킹포트가 기설정된 전진 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면 전후진 모터의 동작을 정지시킨 후, 정역 모터를 작동시켜 장착대를 상부로 이동시키며, 상부 위치 감지 센서부로부터 도킹포트가 정해진 상부 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면, 정역 모터의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 콘트롤러는, 로딩 버튼 신호를 감지하면, 정역 모터가 역방향으로 작동하여 장착대를 하강시키고, 하부 위치 감지 센서부로부터 도킹포트가 기설정된 하부 위치에 도달하였음을 감지한 신호가 입력되면 정역 모터의 동작을 정지시킨 후, 전후진 모터를 역방향으로 작동시켜 도킹포트를 후진시키고, 후진 위치 감지 센서부로부터 도킹포트가 기설정된 후진 위치에 도달하였음을 감지되면, 전후진 모터의 동작을 정지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
  13. 삭제
  14. 제7항에 있어서, 상기 전진 위치 감지 센서부는 (-)오리진 센서와 (-)리미트 센서를 구비하고, 상기 후진 위치 감지 센서부는 (+)오리진 센서와 (+)리미트 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 프로버의 웨이퍼 수용 용기 이송장치.
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