KR100218239B1 - 액정표시체용 기판의 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 큰 사이즈의 LCD용 기판을 트러블을 발생시키는 일 없이 확실하고 안정되게, 또한 고능률로 검사할 수 있는 액정표시체용 기판의 검사장치에 관한 것으로서, 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 로더부는 적어도 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시체용 기판의 검사장치

제1도는 기판검사장치의 전체 개요를 나타내는 분해사시도.

제2도는 로더부의 반송기구를 나타내는 평면도.

제3도는 로더부의 반송기구를 나타내는 측면도.

제4도는 카세트재치부의 주요부를 나타내는 사시도.

제5도는 본 발명의 실시 형태에 관련되는 기판검사장치를 나타내는 블록도.

제6도는 기판 반송중의 아암부분을 나타내는 사시도.

제7도는 마킹용 펜 및 재치대를 나타내는 사시도.

제8도는 재치대의 구동기구를 나타내는 분해사시도.

제9도는 재치대 및 얼라인먼트기구를 나타내는 부분단면도.

제10도는 기판검사장치에 있어서의 LCD용 기판의 반송순서의 한 예를 나타내는 흐름도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 로더부 12 : 프로버부

15A : 아암 29 : 제1 제어수단

32 : 재치대 34 : 제2 제어수단

본 발명은 액정표시체(이하 LCD라 한다)용의 유리기판에 형성된 회로의 전기적 특성을 검사하는 액정표시체용 기판의 검사장치에 관한 것이다.

예를 들면 TFT형 LCD에는 그 부품으로서 LCD의 화소를 ON, OFF구동하는 회로가 패턴형성된 유리기판이 이용된다. 이들 패턴회로는 성막장치 등의 처리장치를 이용하여 매트릭스상으로 배열되어 있다. 개개의 패턴회로는 각각 전극패드를 갖고 있다. 이들 전극패드에 프로브바늘을 각각 접촉도통시켜서 테스터로부터 테스트신호를 각 패턴회로의 각각에 보내고 테스터로 되돌아오는 신호를 기초로 하여 회로의 좋고 나쁨을 판정한다.

이와 같은 프로브검사를 실시하는데 있어서 전극패드와 프로브바늘을 정확하게 위치맞춤할 필요가 있다. 이 때문에 LCD용 기판의 코너부에는 예를 들면 크로스마크 등의 얼라인먼트마크를 부착하고, 이 얼라인먼트마크의 검출 결과를 기초로 하여 전극패드를 프로브바늘에 대하여 위치맞춤하도록 하고 있다.

일반적으로 검사장치는 기판을 장치에 반입 또는 반출하는 로더부와, 이 로더부로부터 받은 기판을 검사하는 프로버부를 구비하고 있다. 로더부는 카세트내로부터 기판을 한장씩 꺼내고, 또는 넣도록 하고 있다. 이 로더부는 예를 들면 카세트를 재치하는 카세트재치부와, 이 카세트재치부에 재치된 카세트내의 LCD용 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부에 반송하는 반송장치를 구비하고 있다. 이 반송장치는 기판을 한장씩 흡착지지 하기 위한 아암을 구비하고, 아암은 X축, Y축, Z축의 각 축방향으로 이동 가능하게, 또한 Z축 주위에도회전 가능하게 설치되어 있다.

프로버부는 기판을 지지하기 위한 재치대와 다수의 프로브바늘을 갖는 프로브보드를 구비하고 있다. 기판재치대는 X축, Y축, Z축의 각 축방향으로 이동 가능하게, 또한 Z축 주위에도회전 가능하게 설치되어 있다. 기판재치대는 얼라인먼트한 후에 프로브보드의 바로 아래로 이동되게 되어 있다. 또한 프로브부에 있어서의 얼라인먼트상황이나 프로브바늘의 접촉 등의 검사 상황은 프로버부의 정면에 설치한 표시장치를 이용하여 감시하도록 하고 있다.

검사장치중에는 여러가지 형태의 것이 있으며, LCD용 기판의 검사규모에 따라서 오퍼레이터가 카세트재치부에 반입, 반출하는 형태의 검사장치도 있으며 자동반송차(AGV)에 의해 카세트를 카세트재치부에 자동적으로 반입, 반출하는 형태의 검사장치도 있다. 특히 검사수량이 많아서 LCD용 기판이 대형화하고 중량화해오면 카세트의 반입/반출작업이 오퍼레이터에 있어서 과대한 부담이 되기 때문에 자동반송차를 구비한 자동반입/반출시스템이 채용된다. 이와 같은 자동화대응의 검사장치에 있어서는 오퍼레이터는 카세트의 반입, 반출작업으로부터 해방되고, 또한 프로버부의 감시에 전념할 수 있어서 오퍼레이터의 작업부담이 현격히 경감된다.

근래에는 LCD의 생산기술의 진보가 현저하여 보급수량이 현격히 많아지고, 또한 그 종류도 다양화되고, 또한 표시화면이 급격히 대형화해오고 있다. 이에 동반하여 LCD용 기판의 종류, 검사수량 함께 급격히 많아져서 LCD용 기판을 취급하는 업무가 증대하고, 또한 오퍼레이터가 카세트를 공급하는 매뉴얼작업에서는 오퍼레이터에 대한 작업부담이 과대해져오고 있다. 그 때문에 LCD용 기판의 생산을 전자동화하여 LCD용 기판을 호스트컴퓨터에 의해 통합관리하게 되어오고 있다. 이에 동반하여 검사장치에 있어서의 카세트의 반입, 반출작업의 전자동화가 촉진되고 있는 중이다.

그러나 LCD용 기판이 점점 대형박판화해오면 기판을 지지했을때에 기판이 크게 휘어지기 때문에 기판의 취급이 어려워져오고 있다. 그 때문에 종래의 자동화검사장치에 있어서도 오퍼레이터에 의한 감시 및 수동조작이 적지않이 남아버린다. 그런데 LCD용 기판의 대형화에 의해 검사장치 자체도 대형화하고 프로버부와 로더부 사이의 거리가 길어져오고 있기 때문에 양자를 감시 및 수동조작하기 위해서는 로더부와 프로버부의 사이를 오퍼레이터가 빈번하게 왕래하지 않으면 안되어 작업효율이 저하해버린다.

또 종래의 장치에 있어서는 LCD용 기판의 생산을 호스트컴퓨터에 의하여 통합관리하고 있기 때문에 기판을 검사장치에 공급하면 검사장치에서는 호스트컴퓨터에 등록되어 있는 기판의 생산순서, 종류, 검사내용에 따라서 검사가 실행된다. 그러나 만일 등록내용과 다른 종류의 LCD용 기판이 검사장치에 공급되면 본래의 검사와는 다른 검사를 해버리거나 같은 기판을 중복하여 검사해버리는 트러블을 발생시킨다.

본 발명의 목적으로 하는 점은 큰 사이즈의 LCD용 기판을 트러블을 발생시키는 일 없이 확실하고 안정되게, 또한 고능률로 검사할 수 있는 액정표시체용 기판의 검사장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 관련되는 액정표시체용 기판의 검사장치는 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대 상의 상기 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로 부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송 수단을 갖고, 상기 로더부는 적어도 상기 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 상기 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 상기 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

복수의 기판이 수납된 카세트를 자동반송차가 로더부에 반입하면 로더부에서는 반송장치가 구동하여 카세트내의 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부에 반송한다. 이 때 로더부에서는 제1 제어수단이 작동하고, 제1 제어수단에 의해 주로 반송장치에 의한 반송상황을 감시하고, 또한 반송장치를 조작할 수 있다. 그 후 반송장치에 의해 기판을 프로버부에 로드하면 프로버부에서는 그 기판의 전기적 검사를 실시한다. 이때 프로버부에서는 제2 제어수단이 작동하고, 제2 제어수단에 의해 기판의 검사상황을 프로버부의 근처에서 감시하고, 또한 프로버부를 조작할 수 있다. 프로버부에서의 검사가 종료되면 반송장치가 구동하여 프로버부의 기판을 언로드하고, 또한 다음의 기판을 프로버부에 로드하여 검사완료의 액정표시체용 기판을 카세트내로 되돌린다. 이때에도 제1 제어수단에 의해 그 상황을 감시하고, 또한 반송장치를 조작할 수 있다.

또 복수의 기판이 수납된 카세트를 자동반송차가 로더부에 반입하면 로더부에서는 반송장치가 구동하여 카세트내의 기판을 한장씩 꺼내고 프로버부에 반송한다. 이때 로더부에서는 제1 제어수단이 작동하고, 제1 제어수단의 촬상수단에 의해 주로 반송장치에 의한 반송상황을 촬상하면, 이 촬상화상을 화상처리수단에 의해 화상처리한 후, 그 화상을 로더부 근처의 표시수단에 표시하기 위해 로더부 근처의 위치에서 반송상황을 감시하고, 또한 반송자치를 조작할 수 있다. 그 후 반송장치에 의해 기판을 프로버부에 로드하면 프로버부에서는 그 기판의 전기적 검사를 실시한다. 이 때 프로버부에서는 제2 제어수단의 촬상수단에 의해 검사상황을 촬상하면, 이 촬상화상을 화상처리수단에 의해 화상처리한 후, 그 화상을 프로버부 근처의 표시수단에 표시하기 위해 프로버부 근처의 위치에서 검사상황을 감시하고, 또한 프로버부를 조작할 수 있다. 프로버부에서의 검사가 종료되면 반송장치가 구동하여 프로버부의 기판을 언로드하고, 또한 다음의 기판을 프로버부에 로드하여 검사완료의 기판을 카세트내로 되돌린다. 이때에도 제1 제어수단에 의해 그 상황을 감시하고, 또한 반송장치를 조작할 수 있다.

본 발명에 관련되는 액정표시체용 기판의 검사장치는 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 상기 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로 부터 검사완료의 기판을 들어 올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송 수단을 갖고, 상기 카세트는 적어도 수납된 기판의 공통의 검사정보를 포함하는 제1 식별부호를 갖고, 상기 기판은 적어도 기판의 개별적인 검사정보를 포함하는 제2 식별부호를 갖고, 상기 제1 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부에 설치된 제1 판독수단과, 상기 제2 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부의 카세트로부터 상기 프로버부에 도달하기까지의 반송경로에 설치된 제2 판독수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 로더부에 카세트를 반입하면, 그 카세트의 제1 식별부호를 제1 판독수단장치에 의해 그 검사정보로서 카세트단위로 판독한다. 그리고 반송장치에 의해 카세트내의 액정표시체용 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부에 액정표시체용 기판을 반송한다. 이때 반송경로에 있어서 액정표시체용 기판의 제2 식별부호를 제2 판독수단에 의해 그 검사정보로서 장엽(杖葉)단위로 판독한다. 그 후 프로버부에 있어서 액정표시체용 기판의 검사를 실시할때에는 제1, 제2 판독수단의 판독내용을 기초로 하여 액정표시체용 기판의 전기적 검사를 정확하고, 또한 확실하게 실시한다.

이하 첨부한 도면을 참조하면서 본 발명의 여러가지 바람직한 실시형태에 대하여 설명한다.

제1도∼제3도에 나타내는 바와 같이 검사장치(10)는 LCD용 기판(S)을 로드, 언로드하는 로더부(11)와, 이 로더부(11)로부터 받은 LCD용 기판(S)을 검사하는 프로버부(12)를 구비하고 있다. 로더부(11)와 프로버부(12)는 인접하여 설치되어 있다.

제4도에 나타내는 바와 같이 로더부(11)는 카세트재치부(13) 및 반송장치(14)를 구비하고 있다. 본 실시형태의 로더부(11)에는 3개의 카세트재치부(13)가 설치되고, 각 카세트재치부(13)마다 카세트(C)가 1개씩 재치되게 되어 있다. 각 카세트(C)에 있어서의 1로트의 기판수납장수는 예를 들면 25장이다.

반송장치(14)는 카세트재치부(13)상에 재치된 카세트(C)내의 LCD용 기판(S)을 한장씩 꺼내어 프로버부(12)에 반입하는 한편 검사완료의 기판(S)을 프로버부(12)로부터 반출하기 위한 것이다. 또한 카세트(C)의 정면에는 기판(S)을 출입시키기 위한 개구부가 형성되어 있다. 또 카세트(C)의 내측면에는 소정 피치간격(예를 들면 10mm의 간격)으로 지지홈이 부착되고 기판(S)을 수평지지하기 위해 예를 들면 25의 슬롯이 형성되어 있다. 또한 기판정렬기구(78)가 각 카세트재치부(13)마다 설치되어 카세트(C)에 수납되어 있는 기판이 일괄하여 정렬되게 되어 있다. 또한 반사방식의 센서(49)가 각 카세트재치부(13)마다 설치되어 각 카세트재치부(13)마다 카세트(C)가 재치되었는지 재치되지 않았는지가 각각 검출되게 되어 있다.

또 제4도에 나타내는 바와 같이 카세트재치부(13)는 카세트(C)를 자동반송차(15)와의 사이에서 자동적으로 수수할 수 있도록 홈공간(16)의 주위에 각종 센서(17A)(17B)(18A)(49) 및 기구가 부착되어 있다. 로더부(11)의 한쪽에는 3개의 카세트재치부(13)가 설치되어, 각 카세트재치부(13)에 카세트(C)가 각각 재치되게 되어 있다. 또한 본 실시 형태에 관련되는 장치의 로더부(11)에서는, 3개의 카세트(C)를 받아들이도록 했는데 4개 이상의 카세트(C)를 받아들이도록 로더부를 형성해도 좋다.

각 카세트재치부(13)에는 장치 정면에 대하여 평행하게 홈공간(16)이 형성되어 있다. 이 홈공간(16)은 자동반송차(15)의 아암(15A)이 침입하기 위해 설치된 공간이다. 자동반송차(15)가 홈공간(16)내에서 카세트(C)를 지지한 아암(15A)을 하강시키면 카세트(C)가 카세트재치부(13)상으로 이행한다. 이와 같이 하여 카세트(C)는 홈공간(16)을 걸친 상태에서 카세트재치부(13)상에 재치된다. 또한 자동반송차(15)는 호스트컴퓨터(40)에 의하여 제어되게 되어 있다. 또 각 카세트재치부(13)에는 카세트(C)의 방향을 검출하는 반사식 센서(49)가 각각 설치되어 있다. 또한 도시하고 있지 않지만 카세트재치부(13)에는 카세트(C)의 코너부에 걸어맞추는 위치결정부품이 설치되어 있다.

또 로더부(11)의 측면에는 자동반송차(15)의 아암(15A)을 검출하기 위한 아암검출장치(17)가 설치되어 있다. 이 아암검출장치(17)는 발광다이오드 등으로 이루어지는 발광소자를 갖는 발광부(17A)와, 이 발광부(17A)로부터의 광선을 수광하는 수광소자를 갖는 수광부(17B)를 구비한 라인센서이다. 이들 발광부(17A) 및 수광부(17B)는 홈공간(16)의 양측에 자동반송차(15)의 아암(15A)을 끼우도록 설치되어 있다. 발광부(17A) 및 수광부(17B)를 잇는 광축을 아암(15A)이 차단하면 신호가 로더콘트롤러(20)에 보내어지고 아암(15A)의 침입이 검출되게 되어 있다. 또 로더부(11)의 측면에는 통신수단(18A)이 각 홈공간(16)의 아래쪽에 위치하도록 설치되어 있다. 이 통신수단(18A)은 자동반송차(15)와의 사이에서 광통신을 실시하기 위한 것으로, 이 통신수단(18A)이 자동반송차(15)에 설치된 통신수단(18B)과의 사이에서 광통신을 실시함으로써 카세트(C)의 반입, 반출동작을 실시하게 되어 있다.

또 카세트재치부(13)의 재치면에는 물체검출장치(19)가 설치되어 있다. 이 물체검출장치(19)는 예를 들면 정면측에 설치된 발광부(19A)와 가장 안쪽에 설치된 수광부(19B)를 구비하고 있다. 발광부(19A)와 수광부(19B)를 잇는 광축을 카세트(C) 또는 그 이외의 물체가 차단하면 그것이 검출된다. 또 자동반송차(15)와의 사이에서 카세트(C)의 수수를 실시하면 카세트재치부(13)에 설치되어 있는 반사식 센서(49)에 의하여 카세트(C)가 검출된다.

또한 카세트(C)를 수수한 취지의 신호는 로더콘트롤러(20)에 송신하고 로더구동부(21)에 의해 반송장치(14)를 작동시키게 되어 있다. 또한 카세트(C)의 반입후에 19A, 19B사이의 광선이 차단되면 카세트(C) 이외의 물체가 장해물로서 로더부(11)내에 침입한 취지의 신호를 로더콘트롤러(20)에 송신하고 로더구동부(21)의 작동을 저지하며, 또한 파일럿라이트 등의 경고등(도시하지 않음)을 점등하거나 경고부져를 울려서 이상을 알리게 되어 있다.

카세트재치부(13)에는 카세트(C)내에 수납된 LCD용 기판(S)의 수납장수를 계수하기 위한 계수장치(22)가 설치되어 있다. 이 계수장치(22)는 발광부(22A) 및 수광부(22B)로 이루어지고, 이들 양자(22A)(22B)는 홈공간(16)의 양측에 형성된 개구부(2)에 설치되어 있다.

발광부(22A)및 수광부(22B)의 양자는 홈공간(16)의 아래쪽에서 서로 연결되어 있으며, 볼나사기구(도시하지 않음)에 의하여 개구부(23)내를 승강되게 되어 있다. 계수장치(22)가 개구부(23)에서 승강하는 사이에 검출광선이 차단된 횟수를 계수함으로써 기판(S)의 수납장수는 계수된다.

제4도에 나타내는 바와 같이 카세트(C)의 상면에는 바코드(24)가 표시되어 있다. 바코드(24)에는 LCD용 기판(S)을 로트단위로 관리하기 위한 정보로서, 예를 들면 이용자명, 기판(S)의 장수, 종류, 검사의 종류(단선검사, 기능검사 등의 종류)등의 식별정보(검사정보)가 기입되어 있다. 또한 카세트 식별기호로서는 바코드외에 문자정보를 카세트(C)에 표시해도 좋다.

한편 로더부(11)의 윗쪽에는 예를 들면 OCR 등으로 이루어지는 카세트 식별장치(제1 판독수단)(25)가 설치되어 있다. 카세트식별장치(25)는 카세트(C)에 표시된 바코드(또는 문자정보)(24)를 판독하기 위한 것이다.

제5도에 나타내는 카세트식별장치(25)는 로더콘트롤러(20)의 입력측에 접속되고, 또한 로더콘트롤러(20)는 인터페이스(20A)를 통하여 호스트컴퓨터(40)에 접속되어 있다. 이 로더콘트롤러(20)는 호스트컴퓨터(40)에 의해 백업되어 1개의 제어회로를 형성하고 있다. 또 로더콘트롤러(20)는 프로버콘트롤러(26)에도 접속되고 상호 교신하여 검사시에 연계작동하게 되어 있다. 또한 이 프로버콘트롤러(26)에는 프로버구동부(27), 테스트시스템(28) 등이 접속되어 있다. 이 테스트시스템(28)은 호스트컴퓨터(40)에 접속되어 있다. 이 프로버콘트롤러(26)는 호스트컴퓨터(40)에 의해 백업되어 1개의 제어회로를 형성하고 있다. 또한 로더부(11)에는 제1 제어수단(29)이 설치되어 있다. 이 제1 제어수단(29)은 주로 반송장치(14)에 의한 반송상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 동작제어하게 되어 있다.

제4도에 나타내는 바와 같이 제1 제어수단(29)은 반송장치(14)에 의한 반송상황을 촬상하는 CCD카메라(29A)와, 이 CCD카메라(29A)로부터의 신호를 화상처리하는 OCR 등으로 이루어지는 화상처리장치(29B)와, 이 화상처리장치(29B)의 처리신호를 기초로 하는 화상을 표시하는 표시장치(29C)를 구비하고 있다. CCD카메라(29A)는 로더부(11)의 윗쪽에 설치되어 있다. 표시장치(29C)는 로더부(11)의 정면에 설치되어 있다. 카메라(29A) 및 표시장치(29C)의 양자에 의하여 로더부(11)의 근처위치에 있어서 카세트(C)의 반입 및 반출상황이 감시되고, 또한 반송장치(14)가 조작되게 되어 있다.

카메라(29A)는 대물렌주부를 전후좌우로 진동시키기 위한 구동장치를 내장하고 있다. 카메라(29A)는 전체 방위에 정역회전 가능하며, 반입, 반출작업 외에 자동반송차(15)에 의한 카세트(C)의 반입, 반출상황 등 로더부(11)내 전체를 감시할 수 있게 되어 있다.

화상처리장치(29B)와 표시장치(29C)의 사이에는 로더콘트롤러(20)가 설치되고, 이 로더콘트롤러(20)를 통하여 적, 녹, 청색의 컬러신호를 표시장치(29C)에 송신하면 표시 장치(29C)에 컬러화상이 표시되게 되어 있다. 표시장치(29C)는 구동기구(도시하지 않음)에 의하여 화면의 방향이 바뀌어지게 되어 있다.

또 이 표시장치(29C)는 조작패널로서도 이용된다. 그 때문에 로더부(11)에서 어떠한 트러블이 발생한 경우에는 매뉴얼스위치로 전환함으로써 자동운전을 수동운전으로 전환하고 표시장치(29C)에서 반송상황을 보면서 조작패널의 표시에 따라서 로더구동부(21)를 수동조작하여 반송작업을 실시할 수 있다. 이 때문에 대형화한 검사장치(10)이어도 매뉴얼작업의 작업성이 향상한다. 또 표시장치(29C)를 보면서 로더부(11)내를 수동조작함으로써 로더부(11)내의 반송장치(14) 등의 구성기기를 소망하는 위치로 이동시킬 수 있고 로더부(11)내의 구성기기의 잇점을 용이하게 실시할 수 있게 되어 있다.

반송장치(14)는 카세트재치부(13)상의 카세트(C)와 프로버부(13)의 사이에서 기판(S)을 반송하는 것으로, 상하 2단의 반송아암(14A)(14B)을 구비하고 있다. 이들 반송아암(14A)(14B)은 로더구동부(21)에 의하여 X축, Y축, Z축의 각 축방향으로 이동되고, 또한 Z축 주위에회전되게 되어 있다.

제2도에 나타내는 바와 같이 반송장치(14)는 X축방향으로 연장되는 평행레일(5)을 따라서 볼나사기구에 의하여 이동되게 되어 있다. 이 볼나사기구는 로더구동부(21)의 일부를 구성하는 것으로, 볼스크류(54)와 모터(55)를 구비하고 있다. 반송장치(14)의 본체(51)는 너트(53)를 구비하고 너트(53)는 볼스크류(54)에 나사식으로 맞추고 있다. 볼스크류(54)는 스토퍼부품(56)까지 설치되어 있다. 또한 이와 같은 볼나사기구 대신에 벨트기구에 의하여 반송장치(14)를 이동하도록 해도 좋다.

2장의 반송아암(14A)(14B)은 어느쪽이나 동일형상으로 형성되고, 서로 독립하여 구동하게 되어 있다. 예를 들면 윗아암(14A)은 카세트(C)내로부터 기판(S)을 꺼내어 프로버부(12)의 재치대상에 기판(S)을 로드하는 아암으로서 이용된다. 한편 아래아암(14B)은 재치대로부터 검사완료의 기판(S)을 언로드하는 아암으로서 이용된다. 이하의 설명에서는 윗아암(14A)을 로드아암이라 하고 아래아암(14B)을 언로드아암이라 하기로 한다. 또 각 아암(14A)(14B)의 상면에는 구멍이 형성되고 각각의 이면측에 부착된 도시하지 않는 흡인배관 및 진공배기장치를 통하여 아암상의 LCD용 기판(S)을 진공흡착하게 되어 있다.

제3도에 나타내는 바와 같이 반송아암(14A)(14B)의 아래쪽에는 프리얼라인먼트기구(63)가 설치되고, 이 프리얼라인먼트기구(63)에 의하여 카세트(C)로부터 받은 기판(S)을 프로버부(12)의 재치대에 인도하기 전에 프리얼라인먼트하게 되어 있다. 이 프리얼라인먼트기구(63)의 재치면에는 진공흡착용의 구멍이 형성되고, 이 구멍에 의해 기판(S)이 흡착지지되게 되어 있다.

반송장치(14)의 슬라이더본체(51)는 평행레일(52)에 걸쳐져서 X축방향으로 주행되게 되어 있다. 각 아암(14A)(14B)은 축(58)에 연결된 부품(59)상에 설치되고모터(57)에 의하여 부품(59)과 함께 Z축 주위에회전되게 되어 있다. 또 각 아암(14A)(14B)은 축(61)에 연결되어 Z모터(60)에 의하여 승강되게 되어 있다. 또한 복수의 아암구동용 모터(62)가 부품(59)에 부착되어 각 아암(14A)(14B)이 독립별개로 구동되게 되어 있다.

제5도∼제7도에 나타내는 바와 같이 기판식별장치(제2 판독수단)(31)가 카세트재치부(13)로부터 프로버부(12)까지의 기판반송경로내에 설치되어 있다. 이 기판식별장치(31)는 반송기판(S)의 코너부에 형성된 식별부호(30)를 판독하고 프로버콘트롤러(26)에 판독신호를 보내게 되어 있다. 또한 프로버콘트롤러(26)는 테스트시스템(28)을 경유하여 호스트컴퓨터(40)에 판독신호를 보내게 되어 있다. 호스트컴퓨터(40)로부터의 지령을 기초로 하여 프로버콘트롤러(26)는 프로버구동부(27), 화상처리부(34B) 및 표시(34C)장치를 각각 제어하게 되어 있다. 문자정보가 표시된 기판(S)으로부터 검사정보를 판독하는 경우는 OCR을 채용하는 것이 바람직하다. 이 식별부호(30)에는 기판(S)의 종류나 검사내용 등을 나타내는 검사정보가 기입되어 있다. 또한 기판식별부호(30)로서는 바코드가 주류인데 문자정보를 채용해도 좋다.

제8도에 나타내는 바와 같이 기판재치대(32)가 프로버부(12)내에서 X축, Y축, Z축의 각 방향 및 Z축 주위에회전할 수 있게 설치되어 있다. 기판재치대(32)는회전 가능하게 되어 있다. 기판재치대(32)의 기체(32A)는 Y테이블(73)상에 탑재되어 있다. Y테이블(73)은 볼스크류(74), 가이드레일(75), Y모터(80)를 구비하고 있다. 볼스크류(74) 및 가이드레일(75)은 Y테이블(73)의 단부에서 단부까지 설치되어 있다. Y모터(80)는 볼스크류(74)를 정역회전시키게 되어 있다. 또한 기판재치대(32)의 측부에는 CCD카메라(34A)가 부착되어 있다. 카메라(34A)의 대물렌즈는 윗쪽의 프로브보드(33) 등에 향해져 있다. 이 카메라(34A)는 제2 제어수단을 구성하는 것이다.

또한 Y테이블(73)은 X테이블(76)상에 탑재되어 있다. X테이블(76)은 볼스크류(77), 가이드레일(78), X모터(81)를 구비하고 있다. 볼스크류(77) 및 가이드레일(78)은 X테이블(76)의 단부에서 단부까지 설치되어 있다. X모터(81)는 볼스크류(77)를 정역회전시키게 되어 있다.

제9도에 나타내는 바와 같이 얼라인먼트기구(82)가 프로버부(12)내의 얼라인먼트위치에 설치되어 있다. 이 얼라인먼트기구(82)는 X축을 따라서 가늘고 길게 연장되어 있으며, 헤드플레이트(83)에 고정되어 있다. 이 얼라인먼트기구(82)는 기판재치대(32)가 동일 도면중의 가상선으로 나타내는 위치(얼라인먼트위치)에 도착했을때에 2개의 얼라인먼트마크(M₁)(M₂)(제8도 참조)를 기판(S)으로부터 검출하고, 이들 얼라인먼트마크(M₁)(M₂)를 기준으로 하여 기판(S)의 얼라인먼트를 실행하는 것이다.

얼라인먼트기구(82)는 가늘고 긴 형상의 하우징(82A)내의 일단부에 수납된 조명용의 광원(82B)과, 이 광원(82B)측에 설치된 제1 반사경(82C)과, 이 반사경(82C)으로부터 이간된 위치에서 서로 대향하여 설치된 제2 반사경(82D)과, 이들 양자(82C)(82D)의 상호간에 위치하여 이들보다도 약간 윗쪽에 설치된 제3 반사경(82E)과, 이 반사경(82E)을 제1 및 제2 반사경(82C)(82D)의 상호간에 진퇴이동시키는 전자프랜져(82F)를 구비하고 있다. 제1 반사경(82C)의 아래쪽에는 제2 감시제어수단으로서의 CCD카메라(34A)가 설치되어 있다. 또한 하우징(82A)은 하면이 개구하고, 이 개구가 헤드플레이트(83)에 의해 폐지된 상태가 되어 있다.

제1 반사경(82C)의 경면은 CCD카메라(34A)의 렌즈광축에 대하여 45의 각도를 갖고 교차하며, 또한 제2 및 제3 반사경(82D)(82E)에 향해져 있다. 이 제1 반사경(82C)은 광원(82B)으로부터의 광선을 투과하는 하프밀러로서 형성되어 있다.

제2 및 제3 반사경(82D)(82E)은 어느쪽이나 제1 반사경(82C)과는 그 경사방향이 반대가 되어 있으며, 이들 양자(82D)(82E)의 상호 간격은 기판(S)의 얼라인먼트마크(M₁)(M₂)의 간격과 일치하게 되어 있다. 또한 헤드플레이트(83)에는 각 반사경(82C)(82D)(82E)의 아래쪽에 위치하는 개구부가 형성되어 있다. 또한 이들 개구부는 일체화된 가늘고 긴 형상의 개구부로서 형성해도 좋다.

얼라인먼트마크(M₁)(M₂)를 검출하는 경우에는 제9도에 나타내는 바와 같이 얼라인먼트위치에서 구동수단(82F)에 의해 제3 반사경(82E)을 하우징(82A)의 윗쪽으로 후퇴시켜도 좋다. 이 상태에서 광원(82B)을 ON하면 그 광선은 제1 반사경(82C)을 투과하여 제2 반사경(82D)에 도달하고, 그곳에서 진행방향을 90변경해서 개구부를 통하여 우측의 얼라인먼트마크(M₁)에 도달하여 이를 조명한다. 이 얼라인먼트마크(M₁)로부터의 반사광선은 제2 반사경(82D), 제1 반사경(82C)에 의하여 진행방향이 변경되고, 또한 개구부를 통하여 CCD카메라(34A)에 도달한다. 이에 따라 얼라인먼트마크(M₁)는 CCD카메라(34A)에 의해 촬상되게 된다. 한편 좌측의 얼라인먼트마크(M₂)를 검출하는 경우에는 제3 반사경(82E)을 하우징(82A)내로 진출시킨다. 이에 따라 광원(82B)은 제3 반사경(82E)을 통하여 그 아래쪽의 얼라인먼트마크(M₂)를 조명하고 후에는 상기와 똑같이 그 얼라인먼트마크(M₂)가 CCD카메라(34A)에 의하여 촬상된다.

프로버부(12)내에는 검사상황을 감시하고, 또한 프로버부(12)를 조작하기 위해 제2 제어수단(34)이 설치되어 있다. 이 제2 제어수단(34)은 프로버부(12)내에서의 얼라인먼트시의 기판(S) 및 프로브바늘(도시하지 않음)을 촬상하는 CCD카메라(34A)와, 이 CCD카메라(34A)로부터의 신호를 화상처리하는 화상처리장치(34B)와, 이 화상처리장치(34B)의 처리화상을 표시하는 표시장치(34C)를 구비하고 있다. 이 표시장치(34C)는 프로버부(12)에 이웃하는 위치에 설치되고 프로버부(12) 근처의 위치에 있어서 프로버부(12)내의 상황을 감시하고, 또한 프로버부(12)를 조작하게 되어 있다. 또한 표시장치(34C)의 화면은 표시장치(29C)와 똑같이 좌우로 진동하며, 또한 상하로 승강할 수 있게 되어 있다. 또 화상처리장치(34B)와 표시장치(34C)의 사이에는 프로버콘트롤러(26)가 접속되고, 이 프로버콘트롤러(26)를 통하여 적, 녹, 청색의 컬러신호를 표시장치(34C)에 송신하고 표시장치(34C)의 화면에 컬러화상이 표시되게 되어 있다. 또 이 표시장치(34C)는 조작패널로서도 이용된다. 그 때문에 프로버부(12)에 있어서 어떠한 트러블이 발생한 경우에는 매뉴얼스위치로 전환함으로써 자동운전을 수동운전으로 전환하고 표시장치(34C)에서 검사상황을 보면서 조작패널의 표시에 따라서 프로버구동부(27)를 수동조작하여 검사작업을 실시할 수 있게 되어 있다. 이 때문에 대형의 검사장치(10)의 경우이어도 매뉴얼작업의 작업성이 비약적으로 향상한다. 또 표시장치(29C)를 보면서 프로버부(12)를 수동조작함으로써 프로버부(12)내의 기판재치대(32)등의 구성기기를 소망하는 위치로 이동시킬 수 있고 프로버부(12)내의 구성기기의 잇점을 용이하게 실시할 수 있다.

또 CCD카메라(34A)는 검사위치(제9도의 실선위치)에 있어서 헤드플레이트(83)에 고정된 프로브보드(33)의 프로브바늘을 촬상하고 검사시의 기준이 되는, 예를 들면 2개의 프로브바늘을 기초로 하여 기판재치대(32)의 위치결정을 실시하게 되어 있다. 이 기판재치대(32)는 기판(S)을 프로브부(12)의 프로브바늘의 바로 아래까지 이동한 후에 기판재치대(32)를 상승시켜서 프로브바늘에 기판(S)의 전극패드를 접촉시키고 회로의 검사를 실시하게 되어 있다. 또한 기판재치대(32)와 프로브바늘의 사이의 거리는, 예를 들면 정전용량센서 등으로 이루어지는 하이트센서(도시하지 않음)에 의해 검출되게 되어 있다.

제7도에 나타내는 바와 같이 프로버부(12)에는 부호부가수단으로서 펜(35A)을 구비한 마킹수단(35)이 설치되어 있다. 펜(35A)에 의하여 검사완료의 LCD용 기판(S)의 코너부에 부호로서 적절한 마크(36)가 부착되게 되어 있다. 이 마킹수단(35)의 구동부(도시하지 않음)는 프로버콘트롤러(26)에 의하여 동작제어되게 되어 있다. 펜(35A)은 기판(S)의 코너부에 레이져광을 조사하여 마크(36)를 부착하는 레이져마커이다. 마크(36)는 검사의 중복을 방지하기 위해 부착하는 것이다. 예를 들면 검사완료의 기판(S)이 반송장치(14)의 언로드아암(14B)에 의해 카세트(C)내로 되돌아가고 다시 로드아암(14B)이 이 카세트(C)로부터 검사완료의 기판(S)을 반송해온 경우에는 기판재치대(32)에 그 기판(S)을 인도하기 전에 제2 바코드리더(31)에 의해 그 마크(36)를 검출하고, 그 검출결과를 기초로 하여 로더구동부(21)를 역구동시켜서 원래의 카세트(C)에 그 기판(S)을 되돌리게 되어 있다. 또한 펜(35A)에는 레이져마커 외에 잉크마크를 부착하는 잉크펜을 이용해도 좋다.

다음으로 제10도의 흐름도를 참조하면서 상기 기판검사장치를 이용하여 LCD용 기판(S)을 검사하는 경우에 대하여 설명한다.

우선 호스트컴퓨터(40)로부터 자동반송차(15)에 대하여 기판공급지령신호가 보내어진다. 자동반송차(15)는 지령신호를 수신하면 앞공정으로부터 아암(15A)에 카세트단위로 기판(S)을 받아서 검사장치(10)까지 주행하고, 그 통신수단(18B)이 검사장치(10)의 통신수단(18A)과 대치한 위치에서 정지한다. 덧붙여서 검사대상이 되는 LCD용 기판(S)의 사이즈는 두께 1.1mm세로 550mm가로 650mm이다.

다음으로 자동반송차(15)가 통신수단(18A)(18B)을 통하여 검사장치(10)와의 사이에서 통신하면 검사장치(10)에서는 카세트(C)의 받아들임태세를 할 수 있다. 이에 따라 카세트(C)를 지지한 아암(15A)이 구동하고 아암(15A)에 의해 카세트재치부(13)에 대한 카세트(C)의 반입을 개시한다. 카세트반입개시시에 있어서는 우선 카세트검출장치(17)가 카세트(C)의 침입을 검출하고 로더콘트롤러(20)를 경유하여 호스트컴퓨터(40)에 검출신호를 보낸다. 호스트컴퓨터(40)가 카세트(C)의 반입을 검지하면 로더콘트롤러(20)를 경유하여 로더구동부(21)에 신호를 보낸다. 이에 따라 반송장치(14)가 작동하고 카세트(C)가 카세트재치부(13)에 반입된다(공정S1).

카세트반입시에 있어서는 제1 제어수단(29)의 CCD카메라(29A)가 자동반송차(15)에 의한 카세트(C)의 반입작업을 촬상하고 있다. CCD카메라(29A)는 촬상신호를 화상처리장치(OCR)(29B)에 송신한다. 화상처리장치(29B)는 그 신호를 수신하면 그것을 화상처리하여 로더콘트롤러(20)에 신호를 보낸다. 로더콘트롤러(20)는 화상처리신호를 다시 처리하고, 이를 표시장치(29C)에 보낸다. 표시장치(29C)는 화면에 반입작업의 상황을 컬러표시한다. 이에 따라 오퍼레이터는 로더부(11) 근처의 위치에서 반입상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 조작할 수 있다. 또한 표시장치(29C)의 화면은 좌우로 회전하고, 또한 그 높이를 조정할 수 있기 때문에 그 화면을 보기쉬운 각도 및 높이로조 정할 수 있다.

카세트반입시에 물체검출장치(19)가 카세트재치부(13)에서 카세트(C)를 검출하면 로더구동부(21)는 그대로 구동하고, 또한 카세트(C)를 카세트재치부(13)상에 탑재한다. 그런데 이때 물체검출장치(19)가 카세트(C)와 함께 카세트(C)의 통과범위 밖에서 카세트(C) 이외의 물체를 검출하면, 이 물체가 검사에 불필요한 장해물의 침입이라고 판단하여 로더구동부(21)를 긴급정지시킨다.

장해물을 검출하는 일 없이 카세트(C)를 재치부(13)에 재치하면 제1식별장치(25)가 바코드(24)를 카세트(C)로부터 판독한다(공정S2). 호스트컴퓨터(40)는 이 판독신호를 기초로 하여 카세트(C)가 올바른 로트인지 아닌지를 판정한다(공정S3). 카세트(C)가 검사해야 할 기판(S)을 포함하지 않은 잘못된 로트라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 자동제어조작모드로부터 매뉴얼조작모드로 전환하고 모드전환한 것을 표시하여 경보한다(공정S20). 오퍼레이터는 표시를 보거나 또는 경보를 듣고, 그 잘못된 카세트(C)를 재치부(13)로부터 제거한다.

한편 카세트(C)가 검사해야 할 기판(S)을 포함하는 올바른 것이라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 지령신호를 로더콘트롤러(20)에 보내고, 또한 로더콘트롤러(20)는 구동부(21)에 신호를 보내어 반송장치(14)를 구동제어한다. 또 로더콘트롤러(20)는 카세트(C)의 반입종료신호를 호스트컴퓨터(40)에 보낸다.

반송장치(14)는 로드아암(14A)을 카세트(C)내에 삽입하고 기판(S)을 한장만 꺼낸다(공정S4). 다음으로 아암(15A)을 180선회시켜 아암(15A)으로 지지한 기판(S)을 프로버부(12)쪽으로 고쳐 향한다(공정S5). 반송장치(14)를 재치대(32)를 향하여 X축방향으로 이동시킨다. 이 이동 도중에 있어서 프리얼라인먼트기구(63)에 의하여 기판(5)을 프리얼라인먼트한다(공정S6).

프리얼라인먼트후에 다시 기판(S)을 소정의 로드위치를 향하여 반송한다. 반송장치(14)가 소정의 로드위치에 도착하면 제2 판독장치(기판식별장치)(31)가 기판(S)을 향하여 이동한다. 기판(S)이 로드위치에서 대기하고 있는 사이에 기판식별장치(31)는 기판(S)을 스캔하면서 식별부호(30)(36)를 판독한다(공정S7). 이 판독신호는 프로버콘트롤러(27)를 경유하여 호스트컴퓨터(40)에 보내어지고, 이를 기초로 하여 호스트컴퓨터(40)는 우선 기판(S)이 검사완료의 것인지 아닌지를 판정한다(공정S8). 만일 기판(S)이 검사완료의 것이라고 판정되면 이를 카세트(C)로 되돌린다(공정S21). 이에 따라 중복검사를 방지할 수 있다.

기판(S)이 미검사의 것이라고 판정한 경우는, 또한 호스트컴퓨터(40)는 그 기판(S)이 검사예정의 것인지 아닌지를 판정한다(공정S9). 만일 기판(S)이 검사예정 이외의 것이라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 자동제어조작모드에서 매뉴얼조작모드로 전환하고 모드전환한 것을 표시하여 경보한다(공정S20). 오퍼레이터는 표시를 보거나 또는 경보를 듣고, 그 잘못된 기판(S)을 재치대(32)로부터 제거한다.

한편 그 기판(S)이 검사해야 할 것이라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 그 신호를 프로버콘트롤러(26)로 보내고 반송장치(14)에 그 기판(S)을 테스트부(12)내에 반입시킨다(공정S10). 그리고 기판(S)이 재치대(32)상에 재치되면 프로버구동부(27) 및 테스트시스템(28)은 그 판정결과를 기초로 하여 기판(S)의 프로브검사를 실행한다(공정S11).

또한 프로브검사 및 식별부호의 판독상황은 표시 장치(34C)에 표시된다. 또 반송장치(14)나 프리얼라인먼트기구(63)가 동작하고 있는 사이에 제1 제어수단(29)의 CCD카메라(29A)가 그들 일련의 동작을 촬상하고, 그 착상신호를 화상처리장치(29B) 및 로더콘트롤러(20)를 통하여 처리하고 표시장치(29C)의 화면에 일련의 동작을 컬러표시한다. 이에 따라 오퍼레이터는 로더부(11) 근처의 위치에서 반송상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 조작할 수 있다.

기판식별장치(31)에 의한 판독이 종료되면 로드아암(14A)을 재치대(32)를 향하여 진출시키고 기판(S)을 재치대(32)상에 재치한다. 재치대(32)는 얼라인먼트위치로 이동하고 얼라인먼트기구(82)에 의해 기판(S)의 얼라인먼트를 실시한다. 또한 재치대(32)는 프로브보드(83)의 아래쪽으로 이동하고, 여기에서 각 바코드로부터 판독한 검사내용을 따라서 기판(S)의 검사가 실행된다.

프로브검사중에 있어서는 제2 제어수단(34)인 CCD카메라(34A)가 기판(S)의 각 얼라인먼트상황 및 검사상황을 촬상하고 있다. CCD카메라(34A)는 그 촬상신호를 화상처리장치(34B)에 송신하고 화상처리장치(34B)에 의해 화상처리하면 프로버콘트롤러(26)를 통하여 촬상화상을 표시장치(34C)에 컬러표시한다. 그리고 프로버부(12) 근처의 위치에서 프로버부(12)의 검사상황을 감시하고, 또한 프로버부(12)를 조작할 수 있다. 또 이 사이에도 제1 제어수단(29)에 의해 로더부(11)에서의 카세트(C)의 반출입상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 조작할 수 있다. 또한 표시장치(24C)(34C)의 화면은 좌우로 회전하고, 또한 그 높이를 조정할 수 있기 때문에 그 화면을 보기 쉬운 각도 및 높이로 조정할 수 있다.

이 프로브검사중에 로드아암(14A)은 다음의 기판(S)을 꺼내고 얼라이먼트위치에서 대기하고 있다. 그리고 검사가 끝나면 검사완료의 기판(S)에 펜(35A)에 의해 마킹한다(공정S12). 마킹후 반송장치(14)의 언로드아암(14B)을 프로버부(12)에 삽입하여 재치대(32)로부터 기판(S)을 들어올리고 프로버부(12)로부터 기판(S)을 반출한다(공정S13-1). 또한 대기중인 로드아암(14A)에 의하여 미처리의 기판(S)을 반송하고, 이를 재치대(32)에 재치한다(공정S13-2). 그리고 로드아암(14A)을 로더부(11)로 되돌린다(공정S13-3).

다음으로 언로드아암(14B)을 180선회시켜 언로드아암(14B)으로 지지한 기판(S)을 카세트재치부(13)쪽으로 고쳐 향한다(공정S14). 반송장치(14)를 카세트(C)를 향하여 X축방향으로 이동시킨다.

제1 식별장치(25)가 바코드(24)를 카세트(C)로부터 판독한다(공정S15). 호스트컴퓨터(40)는 이 판독신호를 기초로 하여 카세트(C)가 올바른 로트인지 아닌지를 판정한다(공정S16). 카세트(C)가 검사완료기판(S)을 수납하는 것이 아닌 잘못된 로트라고 판정한 경우는 다음의 카세트(C)의 바코드(24)를 판독한다(공정S15). 올바른 로트의 카세트(C)라고 판정하면 다음에 기판(S)의 바코드(30)를 판독한다(공정S17).

또한 센서를 이용하여 기판(S)이 수납되어야 할 위치에 있는 카세트로트를 검출하고, 그것이 올바른 번지의 것인지 아닌지를 판정한다(공정S18). 검출슬롯이 잘못된 것인 경우는 올바른 슬롯을 찾아내기까지 이 동작을 반복한다. 찾아낸 올바른 슬롯에 검사완료기판(S)을 수납한다(공정S19).

또한 언로드아암(14B)이 구동하여 얼라인먼트위치로 이동한 재치대(32)로 부터 검사완료의 기판(S)을 언로드아암(14B)에 의해 인수하고, 또한 이미 반송해온 기판(S)을 재치대(32)상에 재치한다.

그리고 카세트(C)내의 모든 기판(S)의 검사가 종료되면 테스트시스템(28)으로부터 호스트컴퓨터(40)에 그 취지의 신호를 보낸다. 또 반송장치(14)가 검사완료의 기판(S)을 모두 카세트(C)내에 수납하면 로더콘트롤러(20)로부터 호스트컴퓨터에 그 취지의 신호를 송신한다. 이에 따라 호스트컴퓨터는 자동반송차(15)에 반출지령을 송신하고 자동반송차(15)에 의해 검사완료의 기판(S)을 검사장치(10) 밖으로 반출한다. 이 반출작업은 제1 제어수단(29)에 의하여 감시할 수 있다. 반출후는 자동반송차(15)에 의해 카세트(C)를 후공정으로 반송한다.

본 발명의 장치에 따르면 장치의 대형화에 의해 로더부로부터 프로버부까지의 거리가 증대했다고 해도 프로버부에서의 검사상황은 그 근처에서 감시할 수 있으며, 또한 로더부에서의 반송상황은 그 근처에서 감시할 수 있기 때문에 반송기구나 검사기구를 각각 확실하고, 또한 안전하게 조작할 수 있다.

또 로더부나 프로버부에서 트러블이 발생한 경우에는 실제로 반송동작이나 검사동작을 감시하면서 수동조작을 실시할 수 있기 때문에 작업성이 향상하여 오퍼레이터의 작업을 경감할 수 있다.

또 제1 및 제2 제어수단의 각 표시장치의 표시화면을 수평방향에서 회전가능하게 하고, 또한 상하방향에서 승강 가능하게 했기 때문에 표시화면을 보기 쉬운 상태로 조정할 수 있다.

또한 제1 판독수단에 의해 기판(S)을 로트단위로 관리하고, 제2 판독수단에 의해 기판(S)을 장엽단위로 관리할 수 있다.

또한 이들 제1 및 제2 판독수단으로부터의 검출신호를 기초로 하여 검사를 실행하기 때문에 카세트(C)와 기판(S)에서 검사정보를 더블체크할 수 있어서 미스를 발생시키는 일 없이 항상 정확하게 검사를 실행할 수 있다.

또 검사완료의 기판에 마킹하고, 마킹한 마크를 제2 판독수단에 의해 판독하도록 했기 때문에 중복검사를 확실하게 방지할 수 있다.

또한 이 검사장치에 따르면 오퍼레이터는 앞으로 더욱 증대하는 LCD용 기판의 관리업무에서 해방되게 된다.

Claims (10)

1. 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 상기 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 상기 로더부는 적어도 상기 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 상기 반송수단의 반송동작을 조작하는 제1 제어수단을 구비하고, 상기 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 조작하는 제2 제어수단을 구비하고, 이들 제1 및 제2 제어수단은 촬상수단과, 이 촬상수단으로부터 보내어지는 촬상신호를 화상처리하는 화상처리수단과, 이 화상처리수단을 표시하고, 또한 조작가능한 표시수단을 각각 구비하고, 또한 해당 제1 및 제2 제어수단을 각각 상기 로더부 및 상기 프로버부에 이웃하는 위치에 설치한 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 표시수단은 처리화상이 표시되는 화면과, 상기 화면의 시인각도를 바꾸는 조정수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 카세트는 적어도 수납된 기판의 공통의 검사정보를 포함하는 제1 식별부호를 갖고, 상기 기판은 적어도 기판의 개별적인 검사정보를 포함하는 제2 식별부호를 갖고, 상기 제1 식별부호를 판독하기 위해 상기 로더부에 설치된 제1 판독수단과, 상기 제2 식별부호를 판독하기 위해 상기 로더부의 카세트에서 상기 프로버부에 도달하기까지의 반송경로에 설치된 제2 판독수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
4. 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 상기 재치대상의 상기 기판에, 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 상기 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 상기 카세트는 적어도 수납된 기판의 공통의 검사정보를 포함하는 제1 식별부호를 갖고, 상기 기판은 적어도 기판의 개별적인 검사정보를 포함하는 제2 식별부호를 갖고, 상기 제1 식별부호를 판독하기 위해 상기 로더부에 설치된 제1 판독수단과, 상기 제2 식별부호를 판독하기 위해 상기 로더부와 카세트에서 상기 프로버부에 도달하기까지의 반송경로에 설치된 제2 판독수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
5. 제4항에 있어서, 또한 상기 제2 판독수단에 의하여 판독 가능한 부호를 검사완료의 기판에 붙이는 부호부가수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
6. 제4항에 있어서, 또한 상기 로더부는 카세트를 재치하기 위한 복수의 카세트재치부를 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
7. 제4항에 있어서, 상기 반송수단은 상하 2단의 아암을 갖고, 한쪽의 아암에서 미검사의 기판을 상기 프로버부에 반입하고, 또한 다른쪽의 아암으로 검사완료의 기판을 상기 프로버부로부터 반출하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
8. 제4항에 있어서, 상기 로더부는 적어도 상기 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 상기 반송수단의 반송동작을 조작하는 제1 제어수단을 구비하고, 상기 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 조작하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 제1 제어수단은 상기 제1 식별부호의 판독결과를 기초로 하여 상기 반송수단을 자동조작모드에서 매뉴얼조작모드로 전환하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.
10. 제8항에 있어서, 상기 제2 제어수단은 상기 제2 식별부호의 판독결과를 기초로 하여 상기 반송수단을 자동조작모드에서 매뉴얼조작모드로 전환하는 것을 특징으로 하는 액정표시체용 기판의 검사장치.