JP2001050858A

JP2001050858A - 表示用パネル基板の検査装置

Info

Publication number: JP2001050858A
Application number: JP11221331A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Fujiyasu; 辰雄藤安; Tsukasa Kudo; 司工藤; Kamihito Oishi; 上人尾石; Yuko Furukawa; 雄康古川; Yutaka Saijo; 豊西條; Akihiro Katanishi; 章浩片西
Original assignee: Horiba Ltd; Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Horiba Ltd; Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 1999-08-04
Filing date: 1999-08-04
Publication date: 2001-02-23
Also published as: KR20010020979A; TW432207B; KR100362735B1

Abstract

(57)【要約】【目的】高分解能及び高精度のテレビカメラを不
要にして、コストを下げること【解決手段】表示用パネル基板の検査装置は、複数の
光電変換素子を直線状に配置したラインセンサを用い、
パネル基板にプローブユニットの接触子から通電しつ
つ、ラインセンサをパネル基板と平行の面内で前記光電
変換素子の配置方向と交差する方向へ移動させて、パネ
ル基板を撮影する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板のような
表示用パネル基板を検査する装置に関し、特に表示装置
のフレームのような機器に装着する前のパネル基板を検
査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】完成した液晶表示パネルを表示装置のフ
レームのような機器に装着した状態で検査する装置が提
案されている（例えば、特開平１１−１４２２８６号公
報）。しかし、この検査装置は、機器に装着された液晶
表示パネルを検査する装置であるため、ＴＦＴを形成し
た液晶表示パネル用ガラス基板、液晶を封入した状態の
液晶パネル基板等、機器に装着する前のパネル基板を検
査することができない。

【０００３】機器に装着する前のパネル基板の試験をす
る検査装置は、種々提案され、実用に供されている。こ
れらの検査装置は、テレビカメラ及び画像処理技術を用
いたいわゆる自動検査装置と、作業者の肉眼によりパネ
ル基板の良否を確認するいわゆる目視検査装置とに大別
される。

【０００４】目視検査は、作業者が検査中のパネル基板
の表面を目視することによりそのパネル基板の良否を判
定するものであるから、処理能力が低い。これに対し、
自動検査装置は、パネル基板の表面をテレビカメラで撮
影し、撮影した画像信号を処理することによりそのパネ
ル基板の良否を確認するから、処理能力が高い。

【０００５】

【解決しようとする課題】しかし、従来の自動検査装置
では、検査すべきパネル基板の画素密度より高い画素密
度を有する高分解能及び高精度のテレビカメラを必要と
するから、装置自体が高価である。

【０００６】それゆえに、パネル基板の自動検査装置に
おいては、高分解能及び高精度のテレビカメラを不要に
して、コストを下げることが重要である。

【０００７】

【解決手段、作用及び効果】本発明に係る検査装置は、
表示用パネル基板を受ける検査ステージと、該検査ステ
ージに受けられたパネル基板を前記検査ステージと反対
の側から撮影する撮影装置と、前記パネル基板の電極部
に接触される複数の接触子を備えるプローブユニットと
を含む。前記撮影装置は、光を電気信号に変換する複数
の光電変換素子を前記パネル基板と平行に直線状に配置
したラインセンサと、該ラインセンサを前記パネル基板
と平行の面内で前記光電変換素子の配置方向と交差する
方向へ移動させるセンサ移動機構とを備える。

【０００８】ラインセンサは、センサ移動機構により移
動され、その間各光電変換素子により電気信号を発生す
ることによりパネル基板を撮影する。パネル基板の良否
は、ラインセンサに得られる電気信号を基に、コンピュ
ータを用いた電気回路のような適宜な手段により自動的
に行われる。

【０００９】ラインセンサは、ＣＣＤ素子のような複数
の光電変換素子を直線状に配置しているから、テレビカ
メラに比べ、高分解能及び高精度のものを容易にかつ廉
価に得ることができる。このため、そのようなラインセ
ンサを用いる検査装置は、ラインセンサのための移動機
構に必要なコストを考慮しても、テレビカメラに必要な
コストに比べ、廉価になる。

【００１０】前記センサ移動機構は、前記ラインセンサ
を前記パネル基板と平行の面内で前記光電変換素子の配
置方向と交差する方向へ移動させる第１の移動機構と、
前記ラインセンサを前記パネル基板と平行の面内で前記
光電変換素子の配置方向へ伸びる軸線の周りに角度的に
回転させる第２の移動機構とを備えることができる。こ
のようにすれば、パネル基板に対するラインセンサの角
度を変えて、パネル基板の検査をすることができる。

【００１１】前記センサ移動機構は、さらに、前記ライ
ンセンサを前記パネル基板と交差する方向へ移動させる
第３の移動機構を備えることができる。このようにすれ
ば、自動検査の際にラインセンサをパネル基板に接近さ
せることができるにもかかわらず、目視検査の際にライ
ンセンサを目視検査の妨げにならない位置に移動させる
ことができる。

【００１２】検査装置は、さらに、前記検査ステージ、
前記撮影装置及び前記プローブユニットが配置された本
体を含み、該本体は前記パネル基板を前記プローブユニ
ットの側から目視可能に開放していてもよい。このよう
にすれば、同じ検査装置を、作業者が開口を介してパネ
ル基板を目視する、いわゆる目視検査装置としても用い
ることができる。

【００１３】検査装置は、さらに、前記パネル基板を前
記プローブユニットの側から目視する光学顕微鏡を含む
ことができる。このようにすれば、目視検査の場合で
も、光学顕微鏡を利用してパネル基板をより高精度に検
査することができる。

【００１４】前記検査ステージは前記パネル基板を斜め
に受けるべく傾斜していてもよい。このようにすれば、
作業者がパネル基板を斜め上方から目視することができ
るから、目視検査作業が容易になる。

【００１５】好ましい実施例においては、前記プローブ
ユニットは、長方形の開口を有する板状のベースと、該
ベースに組み付けられた複数のプローブブロックとを備
え、各プローブブロックは、前記複数の接触子が並列的
に配置されており、またそれら接触子の先端部が前記開
口から前記パネル基板の側に突出した状態に前記ベース
に配置されている。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１から図５を参照するに、検査
装置１０は、完成した長方形の液晶表示パネルを検査す
べきパネル基板１２とする自動及び目視点灯検査装置と
して用いられる。パネル基板１２は、長方形の形状を有
しており、また長方形の隣り合う１組の辺に対応する縁
部に複数の電極部を有している。

【００１７】検査装置１０は、前面上部が斜め上向きの
傾斜面とされた本体１４を含む。本体１４は、長尺の複
数のチャンネル部材を組み立てた本体フレームと、該本
体フレームに取り外し可能に取り付けられた複数のパネ
ルとにより筐体の形に形成されている。

【００１８】本体１４の前部は、パネル基板１２の検査
部（すなわち、測定部）１６とされた左側領域と、パネ
ル基板１２のための中継部（すなわち、受け渡し部）１
８とされた右側領域とを有する。本体１４の後部は、カ
セット設置部２０とされている。本体１４の前後方向に
おける中央部は、中継部１８とカセット設置部２０との
間でパネル基板を搬送するローダ部２２とされている。

【００１９】図３から図５に示すように、検査部１６に
は、測定用プローブユニット２４が傾斜面部に配置され
ている。プローブユニット２４は、複数のプローブブロ
ック２６を矩形の板状プローブベース２８に取り付け、
プローブベース２８をベースプレート３０の内側に取り
付けている。

【００２０】各プローブブロック２６は、特開平１０−
１３２８５３号公報に記載されている公知のものであ
り、その下側に並列的に組み付けられた複数の接触子
（すなわち、プローブ）３２を有する。プローブベース
２８は、検査すべきパネル基板１２よりやや大きい長方
形の開口３４を中央に有する。プローブブロック２６
は、接触子３２が開口３４から本体１４内に突出するよ
うに、開口３４の縁部に取り付けられている。

【００２１】ベースプレート３０は、図示の例では、本
体１４の傾斜面部を形成する斜め上向きの板状部材であ
り、また開口３６を検査部１６に有する。プローブユニ
ット２４は、少なくともプローブブロック２６がベース
プレート３０の開口３６から本体１４内に突出するよう
に、ベースプレート３０に組み付けられている。

【００２２】検査部１６には、また、検査装置１０の作
動を制御する操作パネル３８と、検査部１６に搬送され
たパネル基板１２を観察するための光学顕微鏡４０と、
検査中のパネル基板１２の画像を映し出すテレビジョン
受像機４２とが配置されている。検査部１６は、本体１
４に配置されたカバー４４により覆われている。

【００２３】カバー４４は、外部からの電波又は光が本
体１４内に入ることを妨げる材料から製作されており、
また本体１４にその傾斜面部の前側を検査部１６と中継
部１８とに移動可能に組み付けられている。カバー４４
は作業者が検査部１６の内側を目視すため開口４６を有
しており、開口４６はガラス４８により閉鎖されてい
る。ガラス４８は、外部からの電波又は光が本体１４内
に入ることを妨げるが、本体１４内の光が本体１４の外
に出ることを許す半透明ガラスである。

【００２４】検査部１６には、さらに、検査ステージ
（すなわち、測定ステージ）５０が配置されている。検
査ステージ５０は、パネル基板１２を本体１４の傾斜面
部とほぼ平行の斜め上向きの状態に受けて、そのパネル
基板１２をプローブユニット２４に対して移動させる。

【００２５】検査ステージ５０は、パネル基板１２を解
除可能に維持する機能と、パネル基板１２をこれと直交
するＺ軸線の周りに角度的に回転させる機能と、パネル
基板１２をＺ軸線方向へ移動させる機能と、パネル基板
１２をこれと平行の面内で斜め上下方向（Ｙ方向）へ移
動させる機能と、パネル基板１２をこれと平行の面内で
左右方向（Ｘ方向）へ移動させる機能とを有する。

【００２６】このため、検査ステージ５０は、パネル基
板を解放可能に吸着するワークテーブル（すなわち、チ
ャックトップ）と、このワークテーブルを受けるバック
ライトユニットと、ワークテーブルをＺ軸線の周りに角
度的に回転させるθステージと、ワークテーブルをＺ軸
線の方向へ移動させるＺステージと、ワークテーブルを
Ｙ方向へ移動させるＹステージと、ワークテーブルをＸ
方向へ移動されるＸステージ（すなわち、ステージベー
ス）とを備える。

【００２７】検査ステージ５０は、Ｘステージにより検
査部１６と中継部１８とに移動可能である。バックライ
トユニットに配置されたバックライトは、ワークテーブ
ルに受けたパネル基板１２をその背後から照明すべく、
点灯される。そのような検査ステージ５０は、例えば特
開平１１−１８３８６３号公報、特開平１１−１８３８
６４号公報に記載されている公知のステージを用いるこ
とができる。

【００２８】カセット設置部２０には、複数のカセット
５２が設置台５４に載置されている。パネル基板１２は
各カセット５２に収容されている。カセット５２に対す
るパネル基板１２の受け渡し及び搬送は、ローダ部２２
に配置された搬送ロボット５６によりパネル基板１２を
水平に維持した状態で行われる。

【００２９】搬送ロボット５６は、ローダ部２２を左右
方向へ平行に伸びる一対のガイドレール５８に移動可能
に支持されており、また、モータ及び該モータにより回
転されるリードスクリューを備えるロボット移動機構６
０により左右方向の適宜な位置へ移動されて、カセット
５２及びアライメント装置６２に対するパネル基板の受
け渡し及び搬送をする。

【００３０】搬送ロボット５６は、ロボット移動機構６
０によりガイドレール５８に沿って移動されるスライダ
６４と、該スライダの上に取り付けられた駆動機構６６
と、駆動機構６６により別々に駆動されてパネル基板の
受け渡しをする一対のロボットアーム（すなわち、ハン
ド）６８とを備える。パネル基板は、搬送ロボット５６
により、水平に搬送されると共に、受け渡しされる。

【００３１】搬送ロボット５６において、カセット５２
に対するパネル基板の受け渡しは、一方のロボットアー
ムに受けている検査済みのパネル基板を適宜なカセット
群中の空のカセットに渡すとともに、他のカセット内の
未検査（すなわち、未測定）のパネル基板を同じロボッ
トアーム又は他方のロボットアームに受け取るように、
制御することにより行うことができる。

【００３２】アライメント装置６２に対するパネル基板
の受け渡しは、測定済みのパネル基板を一方のロボット
アームに受け取るとともに、他方のロボットアームに受
けている未検査のパネル基板をアライメント装置６２に
渡すように、制御することにより行うことができる。

【００３３】アライメント装置６２は、中継部１８内に
あってローダ部２２の側に配置されている。アライメン
ト装置６２は、また、パネル基板を水平の状態で搬送ロ
ボット５６に対し受け渡す機能と、パネル基板を斜め上
向きの状態で中継装置７０に対して受け渡す機能と、搬
送ロボット５６から受けたパネル基板の位置を調整する
位置調整機能と、パネル基板の傾斜角度（すなわち、姿
勢）を変更する角度変更機能とを有する。

【００３４】上記のようなアライメント装置６２とし
て、例えば特開平１１−１８３８６３号公報、特開平１
１−１８３８６４号公報に記載されている公知のアライ
メント機構を用いることができる。アライメント装置６
２については、前記の公報に詳細に記載されているの
で、その詳細な説明は省略する。

【００３５】中継装置７０は、中継部１８内にあってア
ライメント装置６２より前方に傾斜した状態に配置され
ている。中継装置７０は、また、パネル基板を斜め上向
きに傾斜させた状態で検査ステージ５０及びアライメン
ト装置６２に対して受け渡す機能を備えている。中継装
置７０は、一対の中継器を備えることが好ましい。

【００３６】上記のような中継装置７０として、例えば
特開平１１−１８３８６３号公報、特開平１１−１８３
８６４号公報に記載されている一対の中継機構を用いた
公知の装置を用いることができる。中継装置７０につい
ては、前記の公報に詳細に記載されているので、その詳
細な説明は省略する。

【００３７】撮影装置７２は、検査ステージ５０に受け
られたパネル基板１２を撮影するように、検査部１６内
にあってプローブユニット２４の前側に配置されてい
る。撮影装置７２は、検査部１６を斜め上下方向（Ｙ方
向）へ伸びるラインセンサ７４と、ラインセンサ７４を
移動させるセンサ移動機構とを備える。

【００３８】ラインセンサ７４は、ＣＣＤ素子のような
多数の光電変換素子をラインセンサ７４の長手方向（Ｙ
方向）に直線状に配置した公知のものであり、またＹ方
向へ伸びるセンサホルダ７６に組み付けられている。光
電変換素子は、コンピュータを用いた電気回路（図示せ
ず）に接続されており、変換した電気信号をその電気回
路に読み取られる。センサホルダ７６は、センサ移動機
構に支持されている。

【００３９】ラインセンサ７４は、ＴＦＴが形成された
ガラス基板、モノクロ用パネル基板、カラー用パネル基
板、画素を一列に配置したモノクロ用又はカラー用パネ
ル基板、画素をジグザグに配置したモノクロ用又はカラ
ー用パネル基板、カラー画素を複数列に配置したカラー
用パネル基板等、検査すべきパネル基板の種類に応じ
て、複数の光電変換素子を、一列、ジグザグ又は複数列
に配置している。

【００４０】センサ移動機構は、互いに同期して駆動さ
れてラインセンサ７４とセンサホルダ７６とを左右方向
（Ｘ方向）へ移動させる一対のＸ移動機構８０と、互い
に同期して駆動されてラインセンサ７４とセンサホルダ
７６とを傾斜面部に垂直の方向（Ｚ方向）へ移動させる
一対のＺ移動機構８２と、ラインセンサ７４とセンサホ
ルダ７６とをＹ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転
させるθ移動機構８４とを備える。

【００４１】Ｘ移動機構８０は、Ｙ方向に間隔をおいて
おり、また本体１４のベースプレート３０に装着されて
いる。Ｚ移動機構８２は、Ｙ方向に間隔をおいており、
また対応するＸ移動機構８０に配置されている。θ移動
機構８４は、一方のＺ移動機構８２に支持されている。
センサホルダ７６は、その一端部をθ移動機構８４に支
持されており、軸受８６を介して他端部を他方のＺ移動
機構８２に支持されている。

【００４２】待機時及び検査ステージ５０へのパネル基
板１２の受け渡し時、検査ステージ５０は、パネル基板
１２がプローブユニット２４から離すように、Ｚステー
ジにより下げられる。また、ラインセンサ７４は、図５
に二点鎖線で示すように、Ｚ移動機構８２により検査ス
テージ５０から離されていると共に、Ｘ移動機構８０に
よりＸ方向に退避されている。これにより、プローブユ
ニット２４及びラインセンサ７４が検査ステージ５０に
対するパネル基板１２の受け渡しの妨げにならず、パネ
ル基板１２の受け渡しが容易になる。

【００４３】検査に先だって、検査ステージ５０に配置
されたパネル基板１２の位置合わせが行われる。このた
め、検査ステージ５０のバックライトが点灯され、パネ
ル基板１２に形成された位置合わせマークが撮影装置７
２及びこれに接続された電気回路により読み取られ、そ
れによりパネル基板１２がプローブユニット２４及び撮
影装置７２に対し正しい位置に配置されているか否かが
確認される。

【００４４】パネル基板１２が正しい位置に配置されて
いないと、検査ステージ５０の、Ｘステージ、Ｙステー
ジ及びθステージの少なくとの１つが駆動されて、パネ
ル基板１２の位置が正しくなるように修正される。この
ようにラインセンサ７４を利用して位置合わせをするな
らば、テレビカメラを用いた従来の自動検査装置で必要
としていた位置合わせマーク用のテレビカメラが不要に
なる。しかし、位置合わせマークを撮影する１以上のテ
レビカメラを本体１４に設けてもよい。

【００４５】自動検査時、パネル基板１２は、検査ステ
ージ５０のＺステージによりプローブユニット２４に向
けて移動されて、電極部を接触子３２の先端（針先）に
押圧され、その状態で所定の電極部に通電される。ま
た、検査ステージ５０のバックライトは点灯される。

【００４６】また自動検査時、ラインセンサ７４は、図
６に示すようにθ移動機構８４によりパネル基板１２に
対し適宜な姿勢に調整された状態で、図４及び図５に示
すようにＺ移動機構８２によりパネル基板１２に接近さ
れ、その状態でＸ移動機構８０によりパネル基板１２の
Ｘ方向における一端から他端に移動される。

【００４７】自動検査の間、ラインセンサ７４の各光電
変換素子は入射光量に応じた電気信号を発生する。その
ようにラインセンサ７４に得られた電気信号は、コンピ
ュータを用いた電気回路に供給され、その電気回路にお
いてパネル基板１２の良否の判定に用いられる。パネル
基板１２の良否の判定は、テレビカメラを用いた従来の
自動検査装置と同様の手法により行うことができる。

【００４８】自動検査中のパネル基板１２の画像は、ラ
インセンサ７４に得られた電気信号を基に、受像機４２
に映し出される。これにより、作業者は受像機４２上の
画像を目視して、パネル基板１２の良否を確認すること
ができる。

【００４９】１つのパネル基板１２の検査が終了する
と、そのパネル基板１２が検査ステージ５０によりプロ
ーブユニット２４から離され、その状態で検査ステージ
５０が中継部１８に移動される。検査ステージ５０は、
中継部１８において、検査済みのパネル基板を中継装置
７０に渡し、その代わりに新たなパネル基板を中継装置
７０から受ける。その後、検査ステージ５０は、検査部
１６に戻る。

【００５０】中継装置７０に渡された検査済みのパネル
基板は、中継装置７０からアライメント装置６２に渡さ
れ、さらにアライメント装置６２から搬送ロボット５６
に渡される。搬送ロボット５６は、検査済みのパネル基
板を一方のロボットアーム６６に受け、他方のロボット
アーム６６に保持している新たなパネル基板をアライメ
ント装置６２に渡す。

【００５１】搬送ロボット５６は、所定のカセット５２
の前に移動し、検査済みのパネル基板を空のカセット５
２に渡し、その代わりに所定のカセット５２内の新たな
パネル基板を受ける。その後、搬送ロボット５６は、再
びアライメント装置６２に対するパネル基板の受け渡し
位置に戻り、その位置で新たなパネル基板をアライメン
ト装置６２に渡し、その位置で待機する。

【００５２】アライメント装置６２は、新たなパネル基
板を中継装置７０に渡し、その状態で待機する。中継装
置７０も、新たなパネル基板をアライメント装置６２か
ら受けた状態で待機する。

【００５３】中継装置７０とアライメント装置６２との
間におけるパネル基板の受け渡し、アライメント装置６
２と搬送ロボット５０との間におけるパネル基板の受け
渡しは、検査ステージ５０が検査部１６から中継部１８
に再度移動されてくるまでの間に、行われる。

【００５４】自動検査の間、検査部１６がカバー４４に
より閉鎖されて、雑音となる電波又は光が検査部１６に
入ることが防止される。しかし、検査部１６内、特に自
動検査中のパネル基板はカバー４４のガラス４８を介し
て目視することができる。

【００５５】検査装置１０は、自動点灯検査に代えて、
カバー４４を中継部１８の側へ移動させて検査部１６を
前方に開放した状態でパネル基板を目視することによ
り、パネル基板の良否を判定する目視点灯検査装置とし
ても使用することができる。

【００５６】検査装置１０は、また、光学顕微鏡４０を
備えているから、作業者が光学顕微鏡４０を利用してパ
ネル基板の良否を判定する目視点灯検査装置としても使
用することができる。この場合、光学顕微鏡４０により
拡大像を得ることができるから、目視検査を高精度で行
うことができる。

【００５７】光学顕微鏡４０は、Ｙ方向へ移動可能に本
体１４に配置された門型の移動部材８８にＸ方向へ移動
可能に配置されている。したがって、作業者は、光学顕
微鏡４０をＸ方向及びＹ方向へ移動させて、パネル基板
の任意な箇所を拡大して目視することができる。

【００５８】検査装置１０は、さらに、受像機４２を備
えているから、作業者が受像機４２の画像を目視するこ
とにより、パネル基板の良否を判定する目視点灯検査装
置としても使用することができる。受像機４２に映し出
す画像は、パネル基板全体の画像であってもよいし、パ
ネル基板の一部を拡大した画像であってもよい。それら
の画像は、ラインセンサ７４を少なくとも一回移動させ
ることにより得ることができる。

【００５９】上記の自動検査は、ラインセンサ７４への
光の入射角度を一定に維持した状態で少なくとも一回行
われる。しかし、１つのパネル基板の自動検査を複数回
行う場合には、ラインセンサ７４への光の入射角度を図
６に示すように変更することにより、一回以上の検査毎
にラインセンサ７４への光の入射角度を変更することが
好ましい。

【００６０】ラインセンサ７４は、複数の光電変換素子
を直線状に配置しているから、検査中のパネル基板全体
を撮影するテレビカメラに比べ、高分解能及び高精度の
ものを容易にかつ廉価に得ることができる。このため、
そのようなラインセンサ７４を用いる検査装置１０は、
ラインセンサ７４のためのセンサ移動機構に必要なコス
トを考慮しても、テレビカメラに必要なコストに比べ、
廉価になる。

【００６１】検査装置１０によれば、パネル基板１２が
検査ステージ５０に斜め上向きに配置されるから、作業
者はパネル基板１２を斜め上方から目視することがで
き、その結果目視検査が容易になる。

【００６２】本発明は上記実施例に限定されない。たと
えば、搬送ロボット、アライメント装置、中継装置を省
略し、検査すべきパネル基板を人手により検査ステージ
に対し受け渡すようにしてもよい。また、本発明は、パ
ネル基板を斜め上向きの状態で検査する装置のみなら
ず、パネル基板を水平の状態で検査する装置にも適用す
ることができる。

【００６３】本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種
々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す斜視図

【図２】図１に示す検査装置の断面図

【図３】図１に示す検査装置における検査部の平面図

【図４】図３における４−４線に沿って得た断面図

【図５】図３における５−５線に沿って得た断面図

【図６】パネル基板に対するラインセンサの角度変更及
び調整を説明するための図

【符号の説明】

１０検査装置１２パネル基板１４本体１６検査部１８中継部２０カセット設置部２２ローダ部２４プローブユニット２６プローブブロック２８プローブベース３０本体のべースプレート３２接触子３４，３６開口３８操作パネル４０光学顕微鏡４２テレビジョン受像機４４カバー４６開口４８透明ガラス５０検査ステージ５２カセット５６搬送ロボット６２アライメント装置７０中継装置７２撮影装置７４ラインセンサ７６センサホルダ８０センサ移動機構のＸ移動機構８２センサ移動機構のＺ移動機構８４センサ移動機構のθ移動機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者工藤司東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者尾石上人東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者古川雄康東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者西條豊京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内 (72)発明者片西章浩京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB01 DD00 FF02 HH13 HH15 JJ02 JJ09 JJ25 MM23 NN20 PP03 PP05 PP11 PP12 PP13 PP24 TT01 TT02 2G086 EE10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示用パネル基板を受ける検査ステージ
と、該検査ステージに受けられたパネル基板を前記検査
ステージと反対の側から撮影する撮影装置と、前記パネ
ル基板の電極部に接触される複数の接触子を備えるプロ
ーブユニットとを含み、前記撮影装置は、光を電気信号に変換する複数の光電変
換素子を前記パネル基板と平行に直線状に配置したライ
ンセンサと、該ラインセンサを前記パネル基板と平行の
面内で前記光電変換素子の配置方向と交差する方向へ移
動させるセンサ移動機構とを備える、表示用パネル基板
の検査装置。
【請求項２】前記センサ移動機構は、前記ラインセン
サを前記パネル基板と平行の面内で前記光電変換素子の
配置方向と交差する方向へ移動させる第１の移動機構
と、前記ラインセンサを前記パネル基板と平行の面内で
前記光電変換素子の配置方向へ伸びる軸線の周りに角度
的に回転させる第２の移動機構とを備える、請求項１に
記載の検査装置。
【請求項３】前記センサ移動機構は、さらに、前記ラ
インセンサを前記パネル基板と交差する方向へ移動させ
る第３の移動機構を備える、請求項２に記載の検査装
置。
【請求項４】さらに、前記検査ステージ、前記撮影装
置及び前記プローブユニットが配置された本体を含み、
該本体は前記パネル基板を前記プローブユニットの側か
ら目視可能に開放している、請求項１，２又は３に記載
の検査装置。
【請求項５】さらに、前記パネル基板を前記プローブ
ユニットの側から目視する光学顕微鏡を含む、請求項１
から４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】前記検査ステージは前記パネル基板を斜
めに受けるべく傾斜されている、請求項１から５のいず
れか１項に記載の検査装置。
【請求項７】前記プローブユニットは、長方形の開口
を有する板状のベースと、該ベースに組み付けられた複
数のプローブブロックとを備え、各プローブブロック
は、複数の接触子が並列的に配置されており、またそれ
ら接触子の先端部が前記開口から前記パネル基板の側に
突出した状態に前記ベースに配置されている、請求項１
から６のいずれか１項に記載の検査装置。