KR100669827B1 - 프로브 어셈블리 - Google Patents

프로브 어셈블리 Download PDF

Info

Publication number
KR100669827B1
KR100669827B1 KR1020050073316A KR20050073316A KR100669827B1 KR 100669827 B1 KR100669827 B1 KR 100669827B1 KR 1020050073316 A KR1020050073316 A KR 1020050073316A KR 20050073316 A KR20050073316 A KR 20050073316A KR 100669827 B1 KR100669827 B1 KR 100669827B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
guide block
elastic beam
beam part
probes
Prior art date
Application number
KR1020050073316A
Other languages
English (en)
Inventor
신동원
김석중
Original Assignee
주식회사 파이컴
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 파이컴 filed Critical 주식회사 파이컴
Priority to KR1020050073316A priority Critical patent/KR100669827B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100669827B1 publication Critical patent/KR100669827B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명의 프로브 어셈블리는 검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정플레이트와고정 플레이트의 저면 일측에 결합되는 프로브 홀더,프로브 홀더의 저면에 장착되는 가이드 블록, 가이드 블록의 상면과 저면에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 갖는 프로브들, 고정 플레이트의 저면 타측에 결합되는 기판 홀더 그리고 기판 홀더의 저면에 장착되는 그리고 프로브들로 피검사체로 제공될 전기적 신호를 제공하는 회로기판을 포함할 수 있다.이와 같은 본 발명의 프로브 어셈블리는 프로브의 자체 탄성력을 이용하기 때문에 가이드 블록에 프로브들을 장착하는 조립성이 뛰어나다.
프로브, 블록

Description

프로브 어셈블리{PROBE ASSEMBLY}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 측면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 주요부 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록에서 프로브와 가이드 블록을 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브를 보여주는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 어셈블리의 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 어셈블리의 측면도이다.
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 분해 사시도이다.
도 12는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 평면도이다.
도 14는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브의 정면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
102 : 아암
104 : 헤드
110 : 고정 플레이트
120 : 기판 홀더
130 : 프로브 블록
132 : 가이드 블록
150 : 프로브
본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.
이와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 제조라인의 최종 단계에서 평판 디스플레이의 패드전극에 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 검사하는 테스트(Test)공정을 진행하고 있다.이와 같은 평판 디스플레이의 테스트는, 프로브 블록을 구비한 프로브 어셈블리를 이용하여 이루어지고, 이와 같은 프로브 어셈블리의 프로브 블록은, 니들(Needle)형, 블레이드(Blade)형 및 필름(Film)형 등과 같이 다양한 형태로 개발 사용되고 있다.
이중에서 니들형의 프로브 블록은 니들형의 프로브들을 고정하는데 에폭시 수지를 사용하기 때문에, 프로브들이 에폭시 수지의 변형에 의하여 틀어지는 문제를 갖고 있다. 특히, 니들형의 프로브 블록은 프로브들의 외경 축소의 한계가 있고, 따라서 프로브 홀더의 한정된 장착면에 길이방향으로 필요로 하는 수만큼의 프로브들을 일렬로 배열시키기가 도저히 불가능한 폐단이 있어 최근패턴의 고집적화 추세에 적절히 대응하지 못하고 있다.
이를 해결하기 위해서 블레이드형의 프로브 블록이 제안되었으나, 블레이드형의 프로브 블록은 외부로 노출되는 부분이 많아서 신호 전달에 불안전성을 갖고 있을 뿐만 아니라, 프로브들(블레이드형)을 고정하기 위한 별도의 고정구조물이 필요했기 때문에, 조립 작업이 어렵고 힘든 단점이 있으며 그로 인해 조립작업 시간이 지연되고 생산성이 떨어지는 문제점까지 발생되고 있다. 특히, 블레이드형의 프로브 블록은 프로브들이 고정구조물에 의해 프로브 홀더에 고정되기 때문에, 고정구조물을 제거해야만 프로브를 교체할 수 있어 유지 보수성이 낮다는 단점이 있다.
본 발명의 목적은 조립 과정이 단순한 새로운 형태의 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 프로브의 교체가 용이한 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 자체 탄성을 이용하여 가이드 블록에 고정 가능한 프로브가 구비된 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록은 프로브들과, 상면과 저면에 상기 프로브들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 가이드블록을 포함하되 상기 프로브는 상기 가이드블록의 저면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 그리고 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 가이드블록의 상면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 제2탄성빔부, 그리고 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 연결하는 연결빔부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함하고, 상기 베이스블록은 저면과 상면에 형성되는 그리고 상기 걸림후크가 걸려 결합되는 걸림홈을 더 포함할 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록은 상면과 하면에 일정한 폭으로 슬롯들이 형성된 가이드 블록과 상기 가이드 블록의 하면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 그리고 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 제1탄성빔부의 일단으로부터 절곡되어 연장되는(절곡 형성되는) 연결빔부, 상기 제1탄성빔부와 나란한 방향으로 상기 연결빔부로부터 절곡되어 연장되는 그리고 상기 가이드 블록의 상면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 제2탄성빔부를 갖는 프로브들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드블록은 상기 상면과 상기 하면에 각각 상기 슬롯들을 가로지르는 방향으로 형성된 걸림홈을 더 포함하고, 상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부가 각각 상기 가이드 블록의 하면과 상면에 형성된 걸림홈에 끼워져 고정되도록 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되는 그리고 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖는 제3탄성빔부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 더 포함하되, 상기 제2접촉단은 상기 제2탄성빔부에 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브들은 상기 슬롯들 중 짝수열에 끼워지는 제1그룹의 프로브들과, 상기 슬롯들 중 홀수열에 끼워지는 제2그룹의 프로브들로 구분되되, 상기 제1그룹의 프로브들은 상기 가이드 블록의 일측방향으로부터 삽입되어 상기 가이드 블록에 고정되고, 상기 제2그룹의 프로브들은 상기 가이드 블록의 타측방향으로부터 삽입되어 상기 가이드 블록에 고정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브들은 짝수열의 제1그룹과 홀수열의 제2그룹으로 구분되고, 상기 가이드 블록은 상기 제1그룹의 프로브들이 일측방향으 로부터 삽입되어 고정되는 제1장착부와, 상기 제2그룹의 프로브들이 타측방향으로부터 삽입되어 고정되는 제2장착부로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드 블록은 짝수열의 프로브들이 일측방향으로부터 삽입되어 고정되는 제1장착부와, 홀수열의 프로브들이 타측방향으로부터 삽입되어 고정되는 제2장착부로 이루어지며, 상기 제1장착부와 상기 제2장착부에는 상기 폭의 2배 간격으로 슬롯들이 형성될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 어셈블리는 검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트 상기 고정 플레이트의 저면 일측에 결합되는 프로브 홀더 상기 프로브 홀더의 저면에 장착되는 가이드 블록 상기 가이드 블록의 상면과 저면에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 갖는 프로브들 상기 고정 플레이트의 저면 타측에 결합되는 기판 홀더 및 상기 기판 홀더의 저면에 장착되는 그리고 상기 프로브들로 피검사체로 제공될 전기적 신호를 제공하는 회로기판을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면,상기 가이드 블록은 저면과 상면에 상기 프로브의 제1탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들과 상기 프로브의 제2탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 상기 제2탄성빔부를 탄력적으로 연결하는 연결빔부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와는 반대방향으로 절곡되어 형성되는 제3탄성빔부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖되 상기 프로브의 제1접촉단은 제1탄성빔부의 끝단부에 위치되고, 상기 프로브의 제2접촉단은 제3탄성빔부의 끝단부에 위치될 수 있다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다.본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다.따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 14에 의거하여 상세히 설명한다.또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
본 발명의 기본적인 의도는 프로브(150)들과 가이드 블록(132)의 고정을 보다 용이하게 하기 위한 것으로, 이를 달성하기 위하여 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 자체 탄성을 이용하여 가이드 블록(132)에 고정될 수 있도록 하는 구조를 갖는 프로브(150)를 갖는데 그 특징이 있다.
일반적으로, 디스플레이 패널 검사를 위한 장치는 다수개의 프로브 어셈블리(100)들이 베이스 플레이트(미도시됨)상에 고정 배치되어 디스플레이 패널(이하 LCD 패널)을 검사하게 된다.
도 1 내지 도 3b를 참조하면, 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(102)과, 아암(102)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(104)를 포함하며, 이 헤드(104)는 LCD 패널 검사 과정에서 상하로 유동이 발생할 수 있도록 헤드(104)와 아암(102) 사이에는 리니어 가이드(106)가 설치된다. 헤드(104)의 저면에는 고정 플레이트(110)가 착탈 가능하게 결합되는데, 이 고정플레이트(110)에는 프로브 블록(130)과, 기판 홀더(120)가 설치된다.
도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브 어셈블리(100)에서 가장 중요한 구성요소인 프로브 블록(130)은 가이드 블록(132)과 이 가이드 블록(132)에 클립(clip)방식으로 탈부착되는 다수의 프로브(150)들을 포함한다.
프로브(150)는 가이드 블록(132)에 결합될 때 제1,2탄성빔부(152,156)가 약간 벌어지면서 슬롯(136)에 끼워지게 되고, 끼워진 후에는 탄성력에 의해 가이드 블록(132)에 고정된다. 프로브(150)의 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)는 가이드 블록(132)의 상면과 저면에 억지 끼워 맞춤으로 고정되는 것이다.
도 6 및 도 8을 참조하면, 프로브(150)는 얇은 도전성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로, 가이드 블록(132)에 탄력적으로 끼워져 결합될 수 있는 구조적인 특징을 갖는다.
프로브(150)의 구조적인 특징을 좀더 자세히 살펴보면, 프로브(150)는 가이드 블록(132)의 저면에 형성된 슬롯(136)에 끼워져 고정되는 제1탄성빔부(152)를 갖는다. 프로브(150)의 제1탄성빔부(152)는 가이드 블록(132)의 슬롯(136)속에 은 폐되기 때문에 별도의 절연이 필요 없을 뿐만 아니라 안정적인 신호 전달이 가능한 각별한 효과를 갖는다. 제1탄성빔부(152)는 가이드 블록(132)의 저면쪽으로 향해 돌출된 걸림후크(152a)와, 제1탄성빔부(152)의 끝단에 하향 절곡되어 가이드 블록(132)의 슬롯(136)으로부터 노출되는 제1접촉단(152b)을 갖는다. 이 제1접촉단(152b)은 피검사체인 LCD 패널(10)의 패턴에 접촉되는 부분이며, 걸림후크(152a)는 가이드 블록(132)의 저면에 형성된 걸림홈(134)에 걸리는 부분이다. 도 3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 제1접촉단(152b)은 LCD 패널(10)의 패턴과 접촉될 때 슬롯(136) 속에서 안정적인 업-다운(휘어짐)이 가능한 것을 확인할 수 있다.
프로브(150)는 제1탄성빔부(152)의 일단으로부터 절곡되어 형성된 연결빔부(154)와 연결빔부(154)의 끝단으로부터 절곡되어 형성되는 제2탄성빔부(156)와 제3탄성빔부(158)를 갖는다. 제2탄성빔부(156)는 제1탄성빔부(152)와 나란한 방향으로 형성되며, 가이드 블록(132)의 상면에 형성된 슬롯(136)에 끼워져 고정된다. 제2탄성빔부(156) 역시 제1탄성빔부(152)와 마찬가지로 걸림후크(156a)를 갖고 있는데, 제2탄성빔부(156)는 제1탄성빔부(152)보다는 길이가 짧은 것이 특징이다.제3탄성빔부(159)는 제2탄성빔부(156)와는 반대 방향으로 연결빔부(134)에 절곡되어 형성되는데, 제3탄성빔부(158)에는 상향 절곡된 제2접촉단(158a)을 갖는다. 제2접촉단(158a)은 LCD 패널(10)의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판(122)의 패턴과 접촉되는 부분이다. 여기서, 회로기판(122)은 검사장치의 테스트 신호를 받아서 LCD 패널(10)로 보내주기 위한 것으로, 이 회로기판(122)은 LCD 패널(10)에 부착되는 구동 IC와 동일한 구동 IC(124)를 갖는다.회로기판(122)은 기판 홀더(120) 저면에 설치되며 일단은 가이드 블록(132)과 프로브 홀더(140) 사이에 삽입된다. 한편, 기판 홀더(120)에는 구동IC(124)가 위치되는 홈(120a)이 형성되어 있다. 이러한 회로기판(122)은 플렉시블 기판을 사용하는 것이 바람직하다.
프로브(150)는 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)가 가이드 블록(132)의 저면과 상면의 슬롯(136)에 삽입되면서 프로브(150)들 간의 간격이 유지되게 되고, 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)의 걸림후크(152a,156a)가 가이드 블록(132)의 걸림홈(134)에 끼워지면서 프로브(150)가 가이드 블록(132)으로부터 빠지지 않도록 잡아주게 된다.
가이드 블록(132)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 사각 블록으로, 상면과 저면에는 수개의 슬롯(136)들이 일정간격으로 형성되어 있어 프로브(150)들이 일정한 간격으로 정렬되며, 슬롯(136)들을 가로질러 걸림홈(134)이 형성되어 있어 프로브(150)의 걸림후크(152a,156a)가 끼워지면서 고정이 된다.가이드 블록(132)은 상면에 프로브 홀더(140)와의 결합을 위한 2개의 고정핀(139)을 갖는다. 가이드 블록(132)과 프로브 홀더(140)의 결합은 측면에 형성된 나사홀(142;도 5에 도시됨)들에 나사 결합되는 측면 고정판(144)들에 의해 이루어진다.
프로브 블록(130)이 결합된 프로브 홀더(140)는 고정 플레이트(110)의 저면 일측에 나사 결합되며, 그 옆으로는 기판 홀더(120)가 고정 플레이트(110)에 결합된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 프로브(150)가 가이드 블록(132)에 고정되는 구조 방식 자체가 프로브(150)의 자체 탄성력을 이용하기 때 문에 별도의 프로브(150) 고정을 위한 부품이 필요치 않다는데 그 특징이 있다.특히, 프로브(150)는 제1접촉단(152b)과 제2접촉단(158a) 사이 길이를 짧게 구현할 수 있고, 단순한 형상이기 때문에 신호 전달과정에서의 누설 전류를 최소화할 수 있다.그리고, 프로브 블록(130)은 가이드 블록(132)에서 프로브(150)의 분리 교체가 선택적으로 가능하기 때문에 프로브(150)의 교체 작업이 용이할 수 있다.
(프로브 어셈블리의 다른 실시예)
도 9 내지 도 14는 프로브 어셈블리의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다.
도 9 내지 도 10을 참조하면, 프로브 어셈블리(100')는 앞에서 설명한 첫 번째 실시예에 따른 프로브 어셈블리(100)와 동일한 구성과 기능을 갖는 아암(102), 헤드(104), 리니어 가이드(106), 고정 플레이트(110), 프로브 블록(130'), 기판 홀더(120) 등을 포함하여, 이들에 대한 설명은 첫 번째 실시예에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다.다만, 본 실시예에서는 첫 번째 실시예의 프로브(150)보다 단순한 형상의 프로브(150')과, 프로브(150')들이 좌우에 서로 교대로 배열되어 설치되는 가이드 블록(132')을 갖는데 그 특징이 있다.
도 12 및 도 14에 도시된 바와 같이, 프로브(150')는 제2접촉단(156b)이 제2탄성빔부(156)의 끝단부에 형성된 것이 특징이다.이처럼, 제2접촉단(156b)이 제2탄성빔부(156)의 끝단부에 형성된 프로브(150')를 적용하는 경우에는 회로기판(122)과 기판 홀더(120)의 위치가 다소 변경될 수 있다. 즉, 회로기판(122)은 가이드 블록(132')과 프로브 홀더(140) 사이에 배치되고, 그 회로기판(122) 위에 기판 홀더 (120)가 배치되며, 그 기판 홀더(120) 위에 프로브 홀더(140)가 배치되게 된다.
도 11 내지 도 13을 참조하면, 프로브(150')들은 가이드 블록(132')의 좌우 방향에서 서로 교대로 배열되어 설치된다. 이를 위해 가이드 블록(132')은 상면과 저면에 슬롯(136)들이 서로 교대로 배열되어 형성된다. 즉, 가이드 블록(132')은 제1그룹의 프로브들(150')이 삽입되는 짝수열의 슬롯들을 갖는 제1장착부(132a)와, 제2그룹의 프로브들(150')이 삽입되는 홀수열의 슬롯들을 갖는 제2장착부(132b)로 구분되며, 제1장착부(132a)와 제2장착부(132b)를 이루는 가이드 블록(132')의 상면과 저면에는 프로브(150')의 걸림후크(152a,156a)가 결합되는 걸림홈(134)이 형성되어 있다.
그리고, 프로브(150')들이 제1장착부(132a)의 슬롯(136)들과 제2장착부(132b)의 슬롯(136)들에 서로 교대로 배열되어 삽입됨으로써 서로 이웃하는 프로브(150')들의 제1접촉단(152b)측 피치(L1)가 첫 번째 실시예보다 좁게 형성할 수 있는 것이다. 여기서, 제1그룹의 프로브(150')들과 제2그룹의 프로브(150')들은 서로 반대 방향에서 가이드 블록(132')의 제1장착부(132a)와 제2장착부(132b)에 끼워져 고정되더라도, LCD 패널(도 10에 표시됨 10)의 패턴과 접촉되는 제1접촉단(152b)들과 회로기판(122)의 패턴들과 접촉되는 제2접촉단(156b)의 위치는 거의 동일선상에 위치되는 것이 바람직하다.
보다 자세히 설명하자면, 본 발명의 가이드 블록(132')은 양측에 일정한 폭(L)으로 슬롯(136)들이 각각 형성되되 가이드 블록(132')의 내측으로 슬롯(136)의 양 끝단부가 서로 교대로 배열되어 형성된다. 그리고, 프로브(150')들은 가이드 블 록(132')의 일측에 형성된 슬롯(136)들에 제 1 그룹의 프로브(150')들이 결합됨과 아울러 가이드 블록(132') 타측에 형성된 슬롯(136)들에 제 2 그룹의 프로브(150')들이 결합되어 상기 가이드 블록(132')의 양측의 슬롯(136)들에 결합되는 제 1, 2프로브(150')들의 제 1 접촉단(152b)들이 서로 엇갈려 위치된다.
따라서, 프로브 블록(130')의 외측에 형성할 슬롯(136)의 간격(L)이 제 1 실시예와 동일한 폭으로 가공되어 제작하는데 큰 어려움이 없고, 양측 슬롯(136)들에 결합되는 제 1 및 2 그룹의 프로브(150')들의 제 1 접촉단(152b)이 엇갈려 위치되므로 이웃하는 제 1 접촉단(152b)의 간격(L1)이 슬롯(136)의 간격(L)에 대하여 반으로 줄일 수 있어 조밀한 간격을 갖는 lcd 패널(10)의 패턴에 대응이 가능하다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 프로브 어셈블리에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 어셈블리는 프로브의 자체 탄성력을 이용하기 때문에 가이드 블록에 프로브들을 장착하는 조립성이 뛰어나다.
또한, 발명의 프로브 어셈블리는 프로브를 통한 신호 전달 효율을 증대시키게 되어 신호 전달 과정에서의 누설 전류를 최소화함으로써 디스플레이 패널 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 발명의 프로브 어셈블리는 가이드 블록에서 프로브의 분리 교체가 선택적으로 가능하여 교체 작업 등이 용이하다.
그리고, 발명의 프로브 어셈블리는 프로브 블록의 양측 슬롯에 각각 결합되는 프로브들의 제 1 접촉단이 엇갈려 위치되어 이웃하는 제 1 접촉단의 거리가 상기 슬롯의 간격에 대하여 반으로 줄일 수 있어 파인피치에 대응이 가능하다.

Claims (12)

  1. 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록에 있어서:
    상면과 하면에 일정한 폭으로 슬롯들이 형성된 가이드 블록과;
    상기 가이드 블록의 측면에 위치되며 연결빔부, 상기 연결빔부의 일단으로부터 절곡되어 연장되며 상기 가이드 블록의 하면에 형성된 슬롯에 끼워져 밀착 고정되는 그리고 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 탄성빔부와 나란한 방향으로 상기 연결빔부의 타단으로부터 절곡되어 연장되며 상기 가이드 블록의 상면에 형성된 슬롯에 끼워져 밀착 고정되는 제 2 탄성빔부를 갖는 프로브들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드블록은 상기 상면과 상기 하면에 각각 상기 슬롯들을 가로지르는 방향으로 형성된 걸림홈을 더 포함하고,
    상기 프로브는 상기 제 1탄성빔부와 제2탄성빔부가 각각 상기 가이드 블록의 하면과 상면에 형성된 걸림홈에 끼워져 고정되도록 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프로브는
    상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되되 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖는 제3탄성빔부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프로브는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 더 포함하되,
    상기 제2접촉단은 상기 제 2 탄성빔부에 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가이드 블록은 양측에 슬롯들이 각각 구비되되 가이드 블록의 내측으로 상기 슬롯의 양 끝단부가 교대로 배열되어 형성되고,
    상기 가이드 블록의 일측에 형성된 슬롯들에 제 1 그룹의 프로브들이 결합됨과 아울러 상기 가이드 블록 타측에 형성된 슬롯들에 제 2 그룹의 프로브들이 결합되어 상기 가이드 블록의 양측의 슬롯들에 결합되는 제 1, 2프로브들의 제 1 접촉단들이 서로 엇갈려 위치되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
  6. 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 어셈블리에 있어서:
    검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트 ;
    상기 고정 플레이트 하부에 구비되는 가이드 블록;
    상기 가이드 블록의 측면에 위치되는 연결빔부와, 상기 가이드 블록의 상면과 저면에 탄력적으로 고정되도록 상기 연결빔부 양단으로부터 각각 절곡되어 연장되는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 갖는 프로브들; 및
    상기 프로브들에 피검사체로 제공될 전기적 신호를 제공하도록 상기 고정 플레이트의 하부에 설치되는 회로기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 고정 플레이트의 하부면과 상기 가이드 블록 상부면 사이에 설치되는 프로브 홀더가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
  8. 제6항에 있어서
    상기 고정 플레이트의 하부면과 상기 회로기판 상부면 사이에 구비되어 상기 회로기판을 고정하는 기판 홀더가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
  9. 제6항에 있어서
    상기 가이드 블록은 저면과 상면에 상기 프로브의 제1탄성빔부가 끼워져 고 정되는 슬롯들과 상기 프로브의 제2탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
  10. 삭제
  11. 제6항에 있어서,
    상기 프로브는
    상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되는 제 3 탄성빔부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 프로브는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖되
    상기 프로브의 제 1 접촉단은 제 1 탄성빔부의 끝단부에 위치되고,
    상기 프로브의 제2접촉단은 제 3 탄성빔부의 끝단부에 위치되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
KR1020050073316A 2005-08-10 2005-08-10 프로브 어셈블리 KR100669827B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050073316A KR100669827B1 (ko) 2005-08-10 2005-08-10 프로브 어셈블리

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050073316A KR100669827B1 (ko) 2005-08-10 2005-08-10 프로브 어셈블리

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100669827B1 true KR100669827B1 (ko) 2007-01-16

Family

ID=38013879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050073316A KR100669827B1 (ko) 2005-08-10 2005-08-10 프로브 어셈블리

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100669827B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100911650B1 (ko) 2009-01-05 2009-08-10 (주)에이원메카 프로브 유닛 블록 및 이의 조립방법
KR100966285B1 (ko) 2009-07-31 2010-06-28 (주)에이원메카 프로브 유닛 블록 및 이의 조립방법
KR102265103B1 (ko) * 2020-02-07 2021-06-15 (주)위드멤스 프로브 블록 조립체

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06317624A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Hitachi Ltd 電極の接続装置
JPH07115110A (ja) * 1993-08-24 1995-05-02 Nobuaki Suzuki 回路基板の検査・試験用プローブとその取付構造
KR19980032242A (ko) * 1996-10-28 1998-07-25 하세가와 요시에이 프로브 조립체 및 프로브
KR20010010503A (ko) * 1999-07-21 2001-02-15 이석행 웨이퍼 테스트용 박판탐침유니트
KR200254022Y1 (ko) * 2001-08-29 2001-11-23 윤수 엘시디 검사용 프로브 카드
KR200262944Y1 (ko) 2001-11-01 2002-03-18 윤수 엘시디 검사용 프로브 카드
JP2002365308A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Japan Electronic Materials Corp 垂直ブレード型プローブ、垂直ブレード型プローブユニット及びそれを用いた垂直ブレード型プローブカード

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06317624A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Hitachi Ltd 電極の接続装置
JPH07115110A (ja) * 1993-08-24 1995-05-02 Nobuaki Suzuki 回路基板の検査・試験用プローブとその取付構造
KR19980032242A (ko) * 1996-10-28 1998-07-25 하세가와 요시에이 프로브 조립체 및 프로브
KR20010010503A (ko) * 1999-07-21 2001-02-15 이석행 웨이퍼 테스트용 박판탐침유니트
JP2002365308A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Japan Electronic Materials Corp 垂直ブレード型プローブ、垂直ブレード型プローブユニット及びそれを用いた垂直ブレード型プローブカード
KR200254022Y1 (ko) * 2001-08-29 2001-11-23 윤수 엘시디 검사용 프로브 카드
KR200262944Y1 (ko) 2001-11-01 2002-03-18 윤수 엘시디 검사용 프로브 카드

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100911650B1 (ko) 2009-01-05 2009-08-10 (주)에이원메카 프로브 유닛 블록 및 이의 조립방법
KR100966285B1 (ko) 2009-07-31 2010-06-28 (주)에이원메카 프로브 유닛 블록 및 이의 조립방법
KR102265103B1 (ko) * 2020-02-07 2021-06-15 (주)위드멤스 프로브 블록 조립체

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100600700B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
EP2209010A1 (en) Probe card
KR100684045B1 (ko) 액정디스플레이 검사기용 프로브 조립체
KR100602154B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
KR100854757B1 (ko) 프로브 및 이를 이용한 디스플레이 패널 검사용 프로브블록
KR100615907B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
JP2021512283A (ja) カンチレバープローブヘッドおよび対応するコンタクトプローブ
KR101000418B1 (ko) 블레이드 타입의 프로브 블록
KR100669827B1 (ko) 프로브 어셈블리
KR20050016101A (ko) 플랫 판넬 디스플레이 검사용 프로브 장치
KR20080090282A (ko) 프로브 조립체
KR100670557B1 (ko) 프로브 어셈블리
KR101311441B1 (ko) 프로브블록
JP2011133354A (ja) コンタクトプローブおよびプローブユニット
KR200409371Y1 (ko) 엘시디 검사용 프로브 블록
KR200368230Y1 (ko) 액정디스플레이 검사용 프로브 유닛
KR100657768B1 (ko) 회로기판 연결 유닛 및 그것을 갖는 평판표시패널 검사장치
KR100600701B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
JP2010160083A (ja) プローブ組立体
KR100647816B1 (ko) 평판표시패널 검사용 프로브 장치
KR100911649B1 (ko) 프로브 블록
KR200399963Y1 (ko) 액정디스플레이 검사기용 프로브 조립체
CN1256594C (zh) 用在印制电路板电子测试装置中的接收器
JPH04297876A (ja) 表示パネル用プローバ
KR100889146B1 (ko) 반도체 소자 테스트용 프로브 카드

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120106

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee