JPWO2020255974A5 - - Google Patents

Description

本開示の一態様に係る複合ゲッタ材は、ゼオライトからなる粒子と、セリウム化合物からなる粒子と、を含有する。

第４工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である（図３参照）。第４工程では、ディスペンサなどを利用して、加工工程のゲッタペーストを第２ガラス板３００上に塗布する。そして、塗布後のゲッタペーストを乾燥することにより、ガス吸着体６０が形成される。すなわち、第４工程は、ゲッタペーストを乾燥する乾燥工程を含む。ゲッタペーストを乾燥することにより、複合ゲッタ材のガス吸着性を回復させることができる。また、ゲッタペーストを塗布することにより、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、第１空間５１０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。

ガラスパネルユニット１０Ａは、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０と、孔封止材４３と、ガス吸着体６０と、を備える。また、ガラスパネルユニット１０Ａは、第１及び第２ガラス板２０，３０と枠体４０とで囲まれた真空空間５０を有する。さらに、ガラスパネルユニット１０Ａは、真空空間５０内に、複数のピラー（スペーサ）７０と、堰部材４７と、を備える。

第１ガラス板２０は、本体２１と、低放射膜２２０と、排気口７００と、を含む。低放射膜２２０は、真空空間５０内にあり、本体２１を覆う。排気口７００は、孔封止材４３により封止されている。低放射膜２２０は、本体２１と接触している。本体２１は、第１ガラス板２０の主な形状を構成するため、矩形の平板状である。本体２１の材料として、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、及び物理強化ガラスが挙げられる。本体２１は、第１ガラス板２０と同形状である。

第４工程は、周壁４１０、及び堰部材４７を配置する工程（封着材配置工程）である。第４工程では、ディスペンサなどを利用して、第２ガラス板３０の外周に沿って封着材を第２ガラス板３０上に塗布して枠状の封着材を形成し、その後枠状の封着材を乾燥させて周壁４１０を形成する（図１０参照）。また、ディスペンサなどを利用して、周壁４１０に近い位置で周壁４１０から離間させながら封着材を第２ガラス板３０上に塗布して一部が切り欠かれた環状の封着材を形成し、その後環状の封着材を乾燥させて堰部材４７を形成する（図１０参照）。なお、第４工程では、枠状の封着材と環状の封着材とを乾燥させるとともに、仮焼成してもよい。例えば、枠状の封着材と環状の封着材とが形成された第２ガラス板３０を４８０℃で２０分間加熱する。この場合、第１ガラス板２０を第２ガラス板３０と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス板２０を第２ガラス板３０と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０との反りの差を低減できる。

図１５Ｂでは、第１のガス吸着体６１及び第２のガス吸着体６２は、両方とも、第２ガラス板３００の長さ方向の第２端側（図１５Ｂにおける左端側）に、第２ガラス板３００の幅方向（方向Ｄ２）に沿って形成されている。すなわち、第１のガス吸着体６１及び第２のガス吸着体６２は、平行に配置されている。これにより、ガラスパネルユニット１０のデザイン性がよくなる場合がある。第１のガス吸着体６１及び第２のガス吸着体６２は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す場合に限られず、どのように形状や位置に形成してもよい。

第１５態様によれば、溶媒が前記ゼオライトからなる粒子及び前記セリウム化合物からなる粒子を覆うようにして存在するため、前記ゼオライトからなる粒子及び前記セリウム化合物からなる粒子は空気と接しにくくなる。これにより、ゲッタ材は空気を吸着しにくくなる。したがって、ゲッタペーストの保存が容易となり、ガラスパネルユニット（１０；１０Ａ）を製造する際の煩雑性を軽減できる。

第１６態様は、ガラスパネルユニット（１０；１０Ａ）の製造方法であって、加工工程と、組立工程と、接合工程と、排気工程とを含む。前記加工工程は、ゼオライトからなる粒子を含有する第１のゲッタペーストと、セリウム化合物からなる粒子を含有する第２のゲッタペーストと、をそれぞれ得るゲッタペースト作製工程を含む。前記組立工程は、組立て品（１００；１０１）を用意する工程である。前記組立て品（１００；１０１）は、第１ガラス板（２００；２０）と、第２ガラス板（３００；３０）と、枠状の周壁（４１０）と、内部空間（５００）と、第１のガス吸着体（６１；６０１）と、第２のガス吸着体（６２；６０２）と、排気口（７００）とを備える。第２ガラス板（３００；３０）は、第１ガラス板（２００；２０）に対向する。周壁（４１０）は、第１ガラス板（２００；２０）と第２ガラス板（３００；３０）との間にある。内部空間（５００）は、第１ガラス板（２００；２０）と、第２ガラス板（３００；３０）と、周壁（４１０）とで囲まれる。第１のガス吸着体（６１；６０１）は、内部空間（５００）内に配置され、かつ前記第１のゲッタペーストから形成される。第２のガス吸着体（６２；６０２）は、内部空間（５００）内に配置され、かつ前記第２のゲッタペーストから形成される。排気口（７００）は、前記内部空間（５００）と外部空間とをつなぐ。前記接合工程は、周壁（４１０）を溶融させて第１ガラス板（２００；２０）と第２ガラス板（３００；３０）とを気密に接合させる工程である。前記排気工程は、排気口（７００）を介して内部空間（５００）を排気して真空空間（５０）とする工程である。

第１８態様は、第１４～第１７態様のいずれか１つのガラスパネルユニット（１０；１０Ａ）の製造方法であって、周壁（４１０）は、有機バインダ及び有機溶剤のうちの一方または両方を含有する。

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