JPWO2017204151A1 - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
Description
11 開口部
20 センサ基板
21 素子形成面
22〜26 絶縁層
31〜34 外部磁性体
35 磁性ブロック
36 凹部
41〜44 磁性体層
51〜54,61〜64 ボンディングパッド
71,73 切り欠き部
72,74 独立パターン
100〜119 磁気センサ
BW ボンディングワイヤ
G1〜G4 ギャップ
L1,L2 直線
M1〜M3 主領域
R1〜R4 感磁素子
S1〜S8 収束領域
φ 磁束
Claims (15)
- センサ基板と、
センサ基板上に設けられた第1、第2及び第3の磁性体層と、
ブリッジ接続される第1、第2、第3及び第4の感磁素子と、を備え、
前記第1の磁性体層は、第1の主領域と、前記第1の主領域から離れるに従って幅が狭くなる第1、第2、第3及び第4の収束領域とを含み、
前記第2の磁性体層は、第2の主領域と、前記第2の主領域から離れるに従って幅が狭くなる第5及び第7の収束領域とを含み、
前記第3の磁性体層は、第3の主領域と、前記第3の主領域から離れるに従って幅が狭くなる第6及び第8の収束領域とを含み、
前記第1、第2、第3及び第4の収束領域の端部と、前記第5、第6、第7及び第8の収束領域の端部は、それぞれ第1、第2、第3及び第4のギャップを介して対向し、
前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子は、それぞれ前記第1、第2、第3及び第4のギャップによって形成される磁路上に配置されることを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1の主領域を覆うよう、前記センサ基板上に設けられた第1の外部磁性体をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4のギャップの延在方向である第1の方向における前記第1の外部磁性体の幅は、前記第1の主領域の前記第1の方向における幅よりも広く、これにより、前記第1の主領域の前記第1の方向における全幅が前記第1の外部磁性体によって覆われていることを特徴とする請求項2に記載の磁気センサ。
- 前記第2の主領域の近傍に設けられた第2の外部磁性体と、前記第3の主領域の近傍に設けられた第3の外部磁性体とをさらに備えることを特徴とする請求項2又は3に記載の磁気センサ。
- 前記第1の収束領域と前記第4の収束領域は、前記第1乃至第4のギャップの延在方向である第1の方向に延在する第1の直線を対称軸として線対称であり、
前記第2の収束領域と前記第3の収束領域は、前記第1の直線を対称軸として線対称であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1の収束領域と前記第3の収束領域は、前記第1乃至第4のギャップの延在方向と直交する第2の方向に延在する第2の直線を対称軸として線対称であり、
前記第2の収束領域と前記第4の収束領域は、前記第2の直線を対称軸として線対称であり、
前記第5の収束領域と前記第7の収束領域は、前記第2の直線を対称軸として線対称であり、
前記第6の収束領域と前記第8の収束領域は、前記第2の直線を対称軸として線対称であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1及び第3の感磁素子は、前記第1及び第2の磁性体層と重なりを有しており、
前記第2及び第4の感磁素子は、前記第1及び第3の磁性体層と重なりを有していることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1の磁性体層には、ループ状の外周を有する切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子は、それぞれ前記第1、第2、第3及び第4のギャップによって形成される磁路上に配置された複数の感磁素子が直列接続されてなることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 平面視で、前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子をそれぞれ構成する前記複数の感磁素子間に配置された第4の磁性体層をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載の磁気センサ。
- 前記第4の磁性体層は、前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子をそれぞれ構成する前記複数の感磁素子と重なりを有していることを特徴とする請求項10に記載の磁気センサ。
- 前記第4の磁性体層は、前記第1乃至第4のギャップの延在方向である第1の方向に分割されていることを特徴とする請求項10又は11に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4の感磁素子は、いずれも磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4の感磁素子を構成する磁気抵抗素子の感度方向は互いに同一であることを特徴とする請求項13に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4の感磁素子を構成する磁気抵抗素子は、スピンバルブ型GMR素子であることを特徴とする請求項13又は14に記載の磁気センサ。
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