JP7077679B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態による磁気センサ10Aの外観を示す略斜視図である。また、図2は磁気センサ10Aの略上面図であり、図3は図2に示すA-A線に沿った略断面図である。
図10は、本発明の第2の実施形態による磁気センサ10Bの外観を示す略斜視図である。また、図11は、図10の断面Bにおける外部磁性体40の形状を示す断面図である。
20 センサ基板
20a 素子形成面
21 第1の側面
22 第2の側面
23 裏面
30,30a 第1の外部磁性体
40,40a 第2の外部磁性体
41 第1の部分
42 第2の部分
43 第3の部分
43a 絞り形状部
43b 幅広部
43c 幅狭部
51~53 磁性体層
61~64 端子電極
G1~G4 ギャップ
M1~M3 主領域
OH1 第1のオーバーハング部分
OH2 第2のオーバーハング部分
R1~R4 感磁素子
S1~S8 収束領域
φ 磁束
Claims (7)
- 第1及び第2の感磁素子を含む複数の感磁素子が形成された素子形成面と、前記素子形成面とは反対側に位置する裏面と、前記素子形成面及び前記裏面と略直交し、互いに反対側に位置する第1及び第2の側面とを有するセンサ基板と、
前記素子形成面上において、前記第1の感磁素子と前記第2の感磁素子との間に設けられた第1の外部磁性体と、
前記第1の側面を覆う第1の部分、前記第2の側面を覆う第2の部分及び前記裏面を覆う第3の部分を有する第2の外部磁性体と、を備え、
前記第1の感磁素子は、平面視で、前記第1の外部磁性体と前記第2の外部磁性体の前記第1の部分との間に位置し、
前記第2の感磁素子は、平面視で、前記第1の外部磁性体と前記第2の外部磁性体の前記第2の部分との間に位置し、
前記第2の外部磁性体の前記第1及び第2の部分は、前記素子形成面を超えて突出しており、
前記第2の外部磁性体は、前記第1の部分から前記素子形成面側に折り曲げられた第1のオーバーハング部分と、前記第2の部分から前記素子形成面側に折り曲げられた第2のオーバーハング部分とをさらに有し、
前記第2の外部磁性体の前記第3の部分は、前記第1及び第2の感磁素子の配列方向である第1の方向における幅が、前記裏面から離れるにしたがって狭くなる絞り形状部を含み、
前記絞り形状部の前記素子形成面と平行な断面は、前記第1の方向に延在する第1及び第2の辺と、前記第1の方向と直交する第2の方向に延在する第3及び第4の辺とを有し、
前記第3及び第4の辺を構成し、前記絞り形状部の前記幅を規定する端面は、曲面であることを特徴とする磁気センサ。 - 前記絞り形状部の前記素子形成面と平行な断面は、面取りされた矩形状であることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記第2の方向から見て、前記第1のオーバーハング部分と前記第1の部分は曲線的に繋がり、前記第2のオーバーハング部分と前記第2の部分は曲線的に繋がることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。
- 平面視で前記センサ基板の前記素子形成面と重なる第1、第2及び第3の磁性体層をさらに備え、
前記第1の感磁素子は、前記第1の磁性体層と前記第2の磁性体層との間の第1のギャップによって形成される磁路上に設けられ、
前記第2の感磁素子は、前記第1の磁性体層と前記第3の磁性体層との間の第2のギャップによって形成される磁路上に設けられ、
前記第1の外部磁性体は、前記第1の磁性体層上に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1のオーバーハング部分は前記第2の磁性体層の少なくとも一部を覆い、前記第2のオーバーハング部分は前記第3の磁性体層の少なくとも一部を覆うことを特徴とする請求項4に記載の磁気センサ。
- 前記素子形成面から最も離れた前記第1の外部磁性体の先端は、曲面によって構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記裏面から最も離れた前記第2の外部磁性体の前記第3の部分の先端は、曲面によって構成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の磁気センサ。
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2018
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