JP7014159B2 - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7014159B2 JP7014159B2 JP2018519532A JP2018519532A JP7014159B2 JP 7014159 B2 JP7014159 B2 JP 7014159B2 JP 2018519532 A JP2018519532 A JP 2018519532A JP 2018519532 A JP2018519532 A JP 2018519532A JP 7014159 B2 JP7014159 B2 JP 7014159B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic material
- region
- convergent
- sensing elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0011—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables comprising means, e.g. flux concentrators, flux guides, for guiding or concentrating the magnetic flux, e.g. to the magnetic sensor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0047—Housings or packaging of magnetic sensors ; Holders
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
11 開口部
20 センサ基板
21 素子形成面
22~26 絶縁層
31~34 外部磁性体
35 磁性ブロック
36 凹部
41~44 磁性体層
51~54,61~64 ボンディングパッド
71,73 切り欠き部
72,74 独立パターン
100~119 磁気センサ
BW ボンディングワイヤ
G1~G4 ギャップ
L1,L2 直線
M1~M3 主領域
R1~R4 感磁素子
S1~S8 収束領域
φ 磁束
Claims (12)
- センサ基板と、
第1乃至第4の外部磁性体と、
前記センサ基板上に設けられた第1、第2及び第3の磁性体層と、
前記センサ基板上に設けられ、ブリッジ接続される第1、第2、第3及び第4の感磁素子と、を備え、
前記第1の磁性体層は、第1の主領域と、前記第1の主領域から離れるに従って幅が狭くなる第1、第2、第3及び第4の収束領域とを含み、
前記第2の磁性体層は、第2の主領域と、前記第2の主領域から離れるに従って幅が狭くなる第5及び第7の収束領域とを含み、
前記第3の磁性体層は、第3の主領域と、前記第3の主領域から離れるに従って幅が狭くなる第6及び第8の収束領域とを含み、
前記第1、第2、第3及び第4の収束領域の端部と、前記第5、第6、第7及び第8の収束領域の端部は、それぞれ第1、第2、第3及び第4のギャップを介して対向し、
前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子は、それぞれ前記第1、第2、第3及び第4のギャップによって形成される磁路上に配置され、
前記第1の外部磁性体は、前記第1の主領域を覆うように設けられ、
前記第1乃至第4のギャップの延在方向である第1の方向における前記第1の外部磁性体の幅は、前記第1の主領域の前記第1の方向における幅よりも広く、これにより、前記第1の主領域の前記第1の方向における全幅が前記第1の外部磁性体によって覆われ、
前記第2の外部磁性体は、前記第1の方向と直交する第2の方向における一方側に位置する前記センサ基板の第1の側面を覆うことにより第2の主領域の近傍に設けられ、
前記第3の外部磁性体は、前記第2の方向における他方側に位置する前記センサ基板の第2の側面を覆うことにより第3の主領域の近傍に設けられ、
前記第2及び第3の外部磁性体は、前記センサ基板の底部に位置する前記第4の外部磁性体を介して接続されており、
前記第1の磁性体層は、前記第2及び第3の磁性体層によって前記第2の方向から挟まれており、
前記第1の磁性体層の前記第1及び第3の収束領域は、前記第1の主領域から前記第2の磁性体層に向かって前記第2の方向の前記一方側に延在し、
前記第1の磁性体層の前記第2及び第4の収束領域は、前記第1の主領域から前記第3の磁性体層に向かって前記第2の方向の前記他方側に延在することを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1の収束領域と前記第4の収束領域は、前記第1乃至第4のギャップの延在方向である第1の方向に延在する第1の直線を対称軸として線対称であり、
前記第2の収束領域と前記第3の収束領域は、前記第1の直線を対称軸として線対称であることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記第1の収束領域と前記第3の収束領域は、前記第1乃至第4のギャップの延在方向と直交する第2の方向に延在する第2の直線を対称軸として線対称であり、
前記第2の収束領域と前記第4の収束領域は、前記第2の直線を対称軸として線対称であり、
前記第5の収束領域と前記第7の収束領域は、前記第2の直線を対称軸として線対称であり、
前記第6の収束領域と前記第8の収束領域は、前記第2の直線を対称軸として線対称であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサ。 - 前記第1及び第3の感磁素子は、前記第1及び第2の磁性体層と重なりを有しており、
前記第2及び第4の感磁素子は、前記第1及び第3の磁性体層と重なりを有していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の磁気センサ。 - 前記第1の磁性体層には、ループ状の外周を有する外周が閉じた独立したスペースパターンである切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子は、それぞれ前記第1、第2、第3及び第4のギャップによって形成される磁路上に配置された複数の感磁素子が直列接続されてなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 平面視で、前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子をそれぞれ構成する前記複数の感磁素子間に配置された第4の磁性体層をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の磁気センサ。
- 前記第4の磁性体層は、前記第1、第2、第3及び第4の感磁素子をそれぞれ構成する前記複数の感磁素子と重なりを有していることを特徴とする請求項7に記載の磁気センサ。
- 前記第4の磁性体層は、前記第1乃至第4のギャップの延在方向である第1の方向に分割されていることを特徴とする請求項7又は8に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4の感磁素子は、いずれも磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4の感磁素子を構成する磁気抵抗素子の感度方向は互いに同一であることを特徴とする請求項10に記載の磁気センサ。
- 前記第1乃至第4の感磁素子を構成する磁気抵抗素子は、スピンバルブ型GMR素子であることを特徴とする請求項10又は11に記載の磁気センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016103210 | 2016-05-24 | ||
JP2016103210 | 2016-05-24 | ||
PCT/JP2017/019009 WO2017204151A1 (ja) | 2016-05-24 | 2017-05-22 | 磁気センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017204151A1 JPWO2017204151A1 (ja) | 2019-03-22 |
JP7014159B2 true JP7014159B2 (ja) | 2022-02-01 |
Family
ID=60412322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018519532A Active JP7014159B2 (ja) | 2016-05-24 | 2017-05-22 | 磁気センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10890630B2 (ja) |
EP (1) | EP3467529B1 (ja) |
JP (1) | JP7014159B2 (ja) |
CN (1) | CN109154640B (ja) |
WO (1) | WO2017204151A1 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6652108B2 (ja) | 2017-05-23 | 2020-02-19 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6828676B2 (ja) | 2017-12-27 | 2021-02-10 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JPWO2019139110A1 (ja) * | 2018-01-11 | 2021-01-28 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6981299B2 (ja) * | 2018-02-21 | 2021-12-15 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7020176B2 (ja) * | 2018-02-27 | 2022-02-16 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7077679B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-05-31 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7192227B2 (ja) * | 2018-03-19 | 2022-12-20 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7095350B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2022-07-05 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7069960B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2022-05-18 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7070020B2 (ja) * | 2018-04-20 | 2022-05-18 | Tdk株式会社 | 磁路形成部材及びこれを用いた磁気センサ |
JP7115242B2 (ja) * | 2018-06-07 | 2022-08-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP2019215182A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP2019219182A (ja) * | 2018-06-15 | 2019-12-26 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
WO2020040168A1 (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁場計測装置、磁場計測方法、磁場計測プログラム |
JP7147462B2 (ja) * | 2018-10-23 | 2022-10-05 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7115224B2 (ja) * | 2018-11-02 | 2022-08-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP2020106309A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP6936405B2 (ja) | 2018-12-26 | 2021-09-15 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁場計測装置 |
CN111766293A (zh) * | 2019-04-02 | 2020-10-13 | 中国石油天然气集团有限公司 | 多规格连续管缺陷检测装置 |
JP7375419B2 (ja) * | 2019-09-26 | 2023-11-08 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7006670B2 (ja) * | 2019-10-24 | 2022-01-24 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
JP7316719B2 (ja) | 2020-08-25 | 2023-07-28 | 株式会社東芝 | 磁気センサ及び検査装置 |
JP7284739B2 (ja) | 2020-09-14 | 2023-05-31 | 株式会社東芝 | 磁気センサ及び検査装置 |
JP7414703B2 (ja) | 2020-12-14 | 2024-01-16 | 株式会社東芝 | 磁気センサ及び検査装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004158668A (ja) | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Asahi Kasei Corp | ハイブリッド磁気センサ及びその製造方法 |
JP2005159273A (ja) | 2003-05-27 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 磁電変換素子、磁気検出装置及び地磁気センサ |
JP2008170368A (ja) | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Mitsubishi Electric Corp | 磁界検出装置および磁界検出装置の製造方法 |
JP2009276159A (ja) | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Sae Magnetics (Hk) Ltd | 磁気センサ |
JP2013108923A (ja) | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Tdk Corp | 三次元磁界センサおよびその製造方法 |
US20150028863A1 (en) | 2013-07-29 | 2015-01-29 | Innovative Micro Technology | Microfabricated magnetic field transducer with flux guide |
JP2015219061A (ja) | 2014-05-15 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 磁界検出センサ及びそれを用いた磁界検出装置 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49135587A (ja) * | 1973-04-28 | 1974-12-27 | ||
FR2713782B1 (fr) * | 1993-12-14 | 1996-01-05 | Thomson Csf | Capteur magnétique à effet magnéto-résistif. |
JP2715997B2 (ja) * | 1995-06-16 | 1998-02-18 | 日本電気株式会社 | 磁気センサ |
FR2754905B1 (fr) * | 1996-10-22 | 1998-11-20 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'un capteur magnetique magnetoresistif et capteur obtenu par ce procede |
JP4287905B2 (ja) | 2003-07-31 | 2009-07-01 | 光照 木村 | 半導体磁気センサとこれを用いた磁気計測装置 |
DE112008001414T5 (de) | 2007-05-28 | 2010-04-22 | Mitsubishi Electric Corp. | Magnetfelddetektionsvorrichtung |
US8451003B2 (en) * | 2009-07-29 | 2013-05-28 | Tdk Corporation | Magnetic sensor having magneto-resistive elements on a substrate |
US8659292B2 (en) * | 2010-03-05 | 2014-02-25 | Headway Technologies, Inc. | MR sensor with flux guide enhanced hard bias structure |
JP5494591B2 (ja) | 2010-09-28 | 2014-05-14 | 株式会社村田製作所 | 長尺型磁気センサ |
CN102435961B (zh) * | 2010-09-28 | 2014-10-08 | 株式会社村田制作所 | 长型磁传感器 |
CN202083786U (zh) * | 2011-01-07 | 2011-12-21 | 江苏多维科技有限公司 | 薄膜磁电阻传感元件、多个传感元件的组合及与该组合耦合的电子装置 |
CN103299202B (zh) * | 2011-01-13 | 2015-01-14 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 磁传感器 |
JP2013172040A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Alps Electric Co Ltd | 磁気センサとその製造方法 |
JP5701807B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2015-04-15 | 株式会社東芝 | 圧力センサ及びマイクロフォン |
CN103116143B (zh) * | 2013-01-22 | 2015-01-14 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一体式高精度三轴磁传感器 |
JP6021239B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2016-11-09 | マグネデザイン株式会社 | 3次元磁界検出素子および3次元磁界検出装置 |
JP6074344B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2017-02-01 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
JP6190226B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2017-08-30 | 株式会社東芝 | 慣性センサ |
DE102014116953B4 (de) * | 2014-11-19 | 2022-06-30 | Sensitec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Magnetfeldsensorvorrichtung, sowie diesbezüglicheMagnetfeldsensorvorrichtung |
CN104931900B (zh) * | 2015-06-15 | 2017-12-29 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 一种基于异常磁阻效应的高灵敏度矢量磁场传感器 |
JP6480837B2 (ja) * | 2015-09-04 | 2019-03-13 | 株式会社東芝 | センサ、情報端末、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
DE112018005674T5 (de) * | 2018-01-25 | 2020-09-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Magnetsensor und stromsensor |
JP6791237B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-11-25 | Tdk株式会社 | 磁気センサ装置 |
JP7006633B2 (ja) * | 2019-02-13 | 2022-01-24 | Tdk株式会社 | 磁気センサシステム |
-
2017
- 2017-05-22 JP JP2018519532A patent/JP7014159B2/ja active Active
- 2017-05-22 CN CN201780032067.5A patent/CN109154640B/zh active Active
- 2017-05-22 US US16/302,264 patent/US10890630B2/en active Active
- 2017-05-22 EP EP17802743.9A patent/EP3467529B1/en active Active
- 2017-05-22 WO PCT/JP2017/019009 patent/WO2017204151A1/ja unknown
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004158668A (ja) | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Asahi Kasei Corp | ハイブリッド磁気センサ及びその製造方法 |
JP2005159273A (ja) | 2003-05-27 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Works Ltd | 磁電変換素子、磁気検出装置及び地磁気センサ |
JP2008170368A (ja) | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Mitsubishi Electric Corp | 磁界検出装置および磁界検出装置の製造方法 |
JP2009276159A (ja) | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Sae Magnetics (Hk) Ltd | 磁気センサ |
JP2013108923A (ja) | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Tdk Corp | 三次元磁界センサおよびその製造方法 |
US20150028863A1 (en) | 2013-07-29 | 2015-01-29 | Innovative Micro Technology | Microfabricated magnetic field transducer with flux guide |
JP2015219061A (ja) | 2014-05-15 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 磁界検出センサ及びそれを用いた磁界検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3467529A4 (en) | 2020-03-04 |
CN109154640B (zh) | 2021-03-23 |
EP3467529B1 (en) | 2021-12-01 |
US20190293735A1 (en) | 2019-09-26 |
CN109154640A (zh) | 2019-01-04 |
EP3467529A1 (en) | 2019-04-10 |
US10890630B2 (en) | 2021-01-12 |
WO2017204151A1 (ja) | 2017-11-30 |
JPWO2017204151A1 (ja) | 2019-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7014159B2 (ja) | 磁気センサ | |
EP2682773B1 (en) | Separately packaged bridge magnetic-field angle sensor | |
JP6652108B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6822127B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7020176B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7069960B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6972900B2 (ja) | 磁気センサ | |
WO2019139110A1 (ja) | 磁気センサ | |
JP7095350B2 (ja) | 磁気センサ | |
CN109655767B (zh) | 一种集成磁结构 | |
TWI468716B (zh) | 整合式磁阻感測裝置 | |
CN111693911B (zh) | 磁传感器装置 | |
US8395383B2 (en) | Current sensor including magnetic detecting element | |
JP7192227B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6185298B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7077679B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7119351B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP7070020B2 (ja) | 磁路形成部材及びこれを用いた磁気センサ | |
KR20230089608A (ko) | 3축 자기저항 센서 | |
JP2014219350A (ja) | 磁気センサ及び磁場成分演算方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210312 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211116 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20211116 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20211125 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20211130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211221 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220103 |