JPWO2008153064A1 - プラズマ処理装置および処理方法 - Google Patents
プラズマ処理装置および処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2008153064A1 JPWO2008153064A1 JP2009519277A JP2009519277A JPWO2008153064A1 JP WO2008153064 A1 JPWO2008153064 A1 JP WO2008153064A1 JP 2009519277 A JP2009519277 A JP 2009519277A JP 2009519277 A JP2009519277 A JP 2009519277A JP WO2008153064 A1 JPWO2008153064 A1 JP WO2008153064A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- processing apparatus
- plasma processing
- plasma
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 458
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 328
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 328
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims abstract description 62
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract description 50
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 154
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 118
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 118
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 98
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 30
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 24
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 16
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 15
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 14
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 12
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 9
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 101000574352 Mus musculus Protein phosphatase 1 regulatory subunit 17 Proteins 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/511—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using microwave discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
- H01J37/32266—Means for controlling power transmitted to the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
1 プラズマ処理装置
2 容器本体
3 蓋体
4 処理容器
10 サセプタ
11 給電部
12 ヒータ
20 排気口
25 誘電体
34 マイクロ波源
35 同軸管
45 金属棒
50 溝
51 表面波伝搬部
55 ガス配管
56 冷媒配管
61 ガス放出孔
図1は、本発明の実施の形態にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図2中のY−Y断面)である。図2は、このプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図1中のX−X断面)である。図3は、図1中のZ−Z断面における蓋体3の上部における横断面図である。図4は、誘電体25にマイクロ波を伝搬させる電極部47の斜視図である。図5は、誘電体25の斜視図である。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
以上のように構成された本発明の実施の形態にかかるプラズマ処理装置1において、例えば基板Gの上面にアモルファスシリコンが成膜される場合について説明する。先ず、基板Gが処理容器4の内部に搬入され、サセプタ10上に基板Gが載置される。その後、密閉された処理容器4内において所定のプラズマ処理が行われる。
処理容器4内に生成されるプラズマPの誘電率は、εr′−jεr″で表わされる。プラズマPの誘電率には損失成分もあるため複素数で表現される。プラズマPの誘電率の実部εr′は通常−1よりも小さい。プラズマPの誘電率は、次式(1)で表される。
δ=−1/Im(k) ・・・(4)
kは、前述したように波数である。
nc = ε0 me ω2/e2 ・・・(5)
式(4)によれば、進入長δは、数mm〜数10mmとなり、電子密度が高いほど短くなる。また、電子密度neが、カットオフ密度ncより充分大きい場合、進入長δは、周波数にあまり依存しない。
導体表面波TMの伝搬モデルとして、図6に示すように、導体である蓋体3(表面波伝搬部51)の下面とプラズマPとの間に形成された無限に広い厚さtのシースgをz方向に導体表面波TMが伝搬する場合について説明する。シースgの誘電率をεr=1、プラズマPの誘電率をεr’−jεr’'とする。マクスウェルの方程式から、図6のy方向の磁界Hyが満たす方程式を導くと、次のようになる。
1Np/m=20/ln(10)dB/m=8.686dB/m
以上のように、この実施の形態にかかるプラズマ処理装置1によれば、2GHz以下のマイクロ波を使用することにより、誘電体26の周囲から表面波伝搬部51全体に伝搬させた導体表面波TMにより均一なプラズマPを生成させることができる。しかし一方で、導体表面波TMが不適切な位置まで伝搬すると、処理容器4内に生成されるプラズマPが不均一になる要因となるおそれがある。また、導体表面波TMがゲートバルブやビューポートにまで伝搬すると、導体表面波TMがもつエネルギにより、これらの機器の近傍に設けられたOリングが焼損したり、これらの機器の直近にてプラズマが生成され、機器表面に反応生成物が付着して不具合を生じさせるおそれがある。そこで、この実施の形態のプラズマ処理装置1では、蓋体3の下面に露出している各誘電体25の周囲を溝50で取り囲む構成とし、この溝50で囲まれた表面波伝搬部51のみに導体表面波TMを有効に伝搬させるようにした。また、発明者らは、伝搬抑制の効果を高めるために溝50の形状の適正化を図った。
溝50の形状の最適化をする際に、計算に用いる電子密度をどのように設定するかが重要である。導体表面波がプラズマ中に入り込む深さは進入長δ程度であり、数mm〜十数mmである(表1参照)。このようにプラズマの表面に近い部分の電子密度を様々な処理条件において実測すると、1×1011cm−3〜1×1012cm−3であった。そこで、電子密度neを1×1011cm−3〜1×1012cm−3の範囲に定めて検討を行った。図8に示したように、断面が略矩形状の溝50を選択した。溝50の幅をW、深さをDとする。
つぎに、発明者らは、溝50の幅Wとシース厚さtとの関係および溝50の幅Wと進入長δとの関係に着目して溝50の幅Wの適正値についてつぎのように考察した。図11(a)に示したように、溝50の幅Wがシース厚さtの2倍以下である場合(2t≧W)、溝50の内部空間はすべてシース領域となる。この結果、溝50がある部分とない部分とのシース厚さtに段差が生じず、溝50を設けても、導体表面波TMにとっては、溝50はないものと同じになる。よって、2t≧Wでは、溝50は伝搬抑制の機能を果たさない。
溝のコーナ部(図8のコーナCa、Cb)やエッジ部では、インピーダンスが不連続になるため伝搬する導体表面波の一部が反射する。コーナ部やエッジ部の角が丸くなるとインピーダンスの不連続性が緩和されるため、透過量が増加する。特に、コーナ部やエッジ部の曲率半径Rが導体表面波の波長に対して無視できない程度に大きくなると、透過量が大きく増加する。
上述したように、溝50を設けることにより、表面波伝搬部51全体に伝搬させた導体表面波TMによりプラズマPを生成させることができる。即ち、溝50で囲まれた表面波伝搬部51の下面全体でプラズマPを生成させることができるので、溝50の位置によって、処理容器4内で生成されるプラズマPの領域を制御することが可能である。
処理容器4の内部において行われるプラズマ処理においては、サセプタ10上に載置された基板Gの表面へのイオン入射が重要な役割を担っている。例えば、プラズマ成膜処理では、基板Gの表面にプラズマ中のイオンを入射させながら成膜を行うことにより、基板Gの温度が低温でも高品質な薄膜を短時間で形成することができる。また、プラズマエッチング処理では、基板Gの表面へのイオンの垂直入射による異方性エッチングにより、微細なパターンを正確に形成することが可能になる。このように、何れのプラズマ処理においても、良好なプロセスを行うには基板Gの表面へのイオン入射エネルギをプロセス毎に最適な値に制御することが不可欠となる。基板Gの表面へのイオン入射エネルギは、高周波電源13からサセプタ10を通して基板Gに印加される高周波バイアス電圧によって制御することができる。
(Vs/Vg)=(Ag/As)4 (15)
Brian Chapman、 "Glow Discharge Processes、" A Wiley
Interscience Publication、 1980.
電子密度が高くなるとシースに印加されるマイクロ波電界強度が大きくなる。表面波伝搬部51に微小な角部があると、角部に電界が集中して過熱され、異常放電(アーク放電)が発生することがある。一度異常放電が発生すると、金属表面を溶かしながら放電部が動き回り、金属表面に大きな損傷を与えてしまう。表面波伝搬部51の中心線平均粗さがシースの厚さよりも十分小さければ、微小な角部があっても金属表面に平均的に電界がかかるから、電界が集中することはなく、異常放電も起こらない。
以下、プラズマ処理装置1の他の実施の形態を説明する。なお、先に図1等で説明したプラズマ処理装置1と共通の構成要素については、同一の符号を付することにより、重複説明を省略する。
図15は、第1の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図16中のY−Y断面)である。図16は、第1の変形例にかかるプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図15中のX−X断面)である。図17は、図15中のZ−Z断面における蓋体3の上部における横断面図である。
図18は、第2の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図である。図19は、図18中のZ−Z断面における蓋体3の上部における横断面図である。
図20は、第3の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図21中のY−Y断面)である。図21は、第3の変形例にかかるプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図20中のX−X断面)である。
図22は、第4の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図23中のY−Y断面)である。図23は、第4の変形例にかかるプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図22中のX−X断面)である。
図24は、第5の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図25中のY−Y断面)である。図25は、第5の変形例にかかるプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図24中のX−X断面)である。
図26は、第6の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図27中のY−Y断面)である。図27は、第6の変形例にかかるプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図26中のX−X断面)である。
図28は、第7の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図29中のY−Y断面)である。図29は、第7の変形例にかかるプラズマ処理装置1が備える蓋体3の下面図(図28中のX−X断面)である。
図30は、第8の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図である。図31は、(図30のA−A断面図である。本変形例について、同軸管35以下の構造は図14等に示す第1の変形例とほぼ同一である。4本の分岐同軸管101が、紙面に垂直方向にλg(分岐同軸管101の管内波長)の間隔で等間隔に配置されている。それぞれの分岐同軸管101には、4本の同軸管35がλgの間隔で等間隔に接続されている。同軸管35の下方にはマイクロ波を4分岐する分配導波管74を介して金属棒45が設けられているので、金属棒45、および金属電極70の縦横のピッチはλg/2となる。
先に示した図7より、周波数を下げると減衰量が減小することが分かる。これは、次のように説明される。式(1)によれば、周波数を下げるとプラズマPの誘電率の実部εr′が負に大きくなり、プラズマインピーダンスが小さくなることが分かる。従って、プラズマにかかるマイクロ波電界がシースにかかるマイクロ波電界と比較して弱くなり、プラズマ中におけるマイクロ波の損失が小さくなるため、導体表面波TMの減衰量が減小する。
図32は、第9の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図33中のD−O’−O−E断面)である。図33は、図32中のA−A断面図である。図34は、この実施の形態で使用される誘電体25の平面図である。蓋体3の下面には、例えばAl2O3からなる4つの誘電体25が取付けられている。誘電体25として、例えばフッ素樹脂、石英などの誘電材料を用いることもできる。図34に示すように、誘電体25は正方形の板状に構成されている。誘電体25の四隅には、対角線に対して直角に切り落とされた平坦部150が形成されているので、厳密には、誘電体25は8角形である。しかしながら、誘電体25の幅Lに比べて、平坦部150の長さMは十分に短く、誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる。
また、本実施形態においては、溝50は処理容器内部から見ると8角形の形状になっているが、4角形の形状になっていてもよい。こうすれば、4角形の溝50の角と誘電体25との間にも、同様の直角二等辺三角形の領域が形成される。また溝50で仕切られた外側の領域において、サイドカバー175には、蓋体3下面の周辺部を覆うサイドカバー外側部分179が形成されている。
この第9の変形例にかかるプラズマ処理装置1では、誘電体25および金属電極151が、接続部材152によって蓋体3の下面に取り付けられているが、金属電極151を蓋体3に電気的に接続させている接続部材152の周辺では、誘電体25中をマイクロ波が伝搬することができない。接続部材152の周辺を抜けたマイクロ波は、誘電体25の角部まで回折の効果である程度は回り込むが、誘電体25の角部のマイクロ波電界強度は、他の部分より弱くなる傾向がある。あまり弱くなると、プラズマの均一性が悪化してしまう。
誘電体25の端部まで誘電体25中を伝搬したマイクロ波は、誘電体25に隣接した金属表面上(即ち、金属カバー165下面、金属電極151下面およびサイドカバー内側部分178下面)を導体表面波として伝搬していく。このとき、図35に示したように、処理容器4内に露出している誘電体25の部分の両側に形成される2つの表面波伝搬部部分aを対称な形状にするとともに、これら2つの表面波伝搬部部分aにマイクロ波のエネルギが等分に分配されるようにすれば、2つの表面波伝搬部部分aには密度および分布が等しいプラズマが励起され、表面波伝搬部全体として均一なプラズマが得られやすい。
図39は、第10の変形例にかかるプラズマ処理装置1の蓋体3の下面図である。この変形例10にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる8つの誘電体25が取付けられている。第9の変形例と同様、図39に示すように、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面には、4つの誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが3箇所に形成される。
また、本実施形態においては、溝50は処理容器内部から見ると8角形の形状になっているが、4角形の形状になっていてもよい。こうすれば、4角形の溝50の角と誘電体25との間にも、同様の直角二等辺三角形の領域が形成される。また溝50で仕切られた外側の領域において、サイドカバー175には、蓋体3下面の周辺部を覆うサイドカバー外側部分179が形成されている。
図40は、第11の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図41中のD−O’−O−E断面)である。図41は、図40中のA−A断面図である。この第11の変形例にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる8つの誘電体25が取付けられている。先と同様、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面には、4つの誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが3箇所に形成される。
図42は、第12の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図43中のD−O’−O−E断面)である。図43は、図42中のA−A断面図である。この第12の変形例にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる4つの誘電体25が取付けられている。各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面中央には、誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが形成される。
図44は、第13の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図45中のB−O−C断面)である。図45は、図44中のA−A断面図である。この第13の変形例にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる1つの誘電体25が取付けられている。誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。
図46は、第14の変形例にかかるプラズマ処理装置1の概略的な構成を示した縦断面図(図47中のD−O’−O−E断面)である。図47は、図46中のA−A断面図である。この第14の変形例にかかるプラズマ処理装置1は、蓋体3の下面に例えばAl2O3からなる8つの誘電体25が取付けられている。先と同様、図34に示すように、各誘電体25は実質的に正方形と見なすことができる板状である。各誘電体25は、互いの頂角同士を隣接させるように配置されている。また、隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線L’上に、各誘電体25の頂角が隣接して配置される。このように8つの誘電体25を、互いの頂角同士を隣接させ、かつ、互いに隣り合う誘電体25同士において、中心点O’を結ぶ線上に、各誘電体25の頂角が隣接するように配置することにより、蓋体3の下面には、4つの誘電体25に囲まれた正方形の領域Sが3箇所に形成される。
ここで、図48〜54は、誘電体25、金属電極151、金属カバー165(金属カバー165a)の外縁部分の形状を示す断面図(断面の位置は、図33中の断面Fに相当する。)である。図48に示すように、誘電体25の外縁25’が、処理容器4の内部から見て、金属電極151の外縁151’よりも内側にあり、誘電体25の側面(外縁25’)のみが処理容器4の内部に露出していても良い。また、誘電体25の外縁25’が、処理容器4の内部から見て、金属電極151の外縁151’と同じ位置でも良い。
図50、51に示すように、蓋体3に、金属カバー165と同様の形状の金属カバー165aを一体的に形成し、蓋体3下面において、金属カバー165aに隣接して設けられた凹部165bに誘電体25を挿入しても良い。この場合、金属カバー165a下面の中心線平均粗さを、2.4μm以下、さらには0.6μm以下とすることが望ましい。
図55に示すように、菱形の誘電体25を用いても良い。この場合、誘電体25の下面に取り付けられる金属電極151は、誘電体25の相似の僅かに小さい菱形とすれば、金属電極151の周囲において、誘電体25の周辺部が菱形の輪郭を現す状態で処理容器4の内部に露出することとなる。
上述したように、誘電体25および金属電極151は蓋体3の下面に対して接続部材152によって取り付けられている。この場合、図57に示すように、弾性部材156の下部に配置される下部ワッシャー156aと螺子(接続部材152)の隙間を小さくする必要がある。なお、弾性部材156には、ウェーブワッシャ、皿バネ、バネワッシャ、金属バネ等が用いられる。また、弾性部材156を省略しても良い。
溝50、50’、50”として、図61(a)に示す半円矩形の溝、図61(b)に示すアリ溝、図61(c)に示すノッチ220の左右に対照的に配置された溝、図61(d)に示すC形状の溝、図61(e)に示す容器本体2の上面と蓋体3下面で構成される溝、図61(f)に示す大きさが異なる二重溝などが例示できる。
Claims (42)
- プラズマ処理される基板を収納する金属製の処理容器と、前記処理容器内にプラズマを励起させるために必要な電磁波を供給する電磁波源とを備え、前記電磁波源から供給される電磁波を前記処理容器の内部に透過させる、前記処理容器の内部に一部を露出した1または2以上の誘電体を前記処理容器の蓋体下面に備えたプラズマ処理装置であって、
前記処理容器の内部に露出した金属面に沿って電磁波を伝搬させる表面波伝搬部が、前記誘電体に隣接して設けられている、プラズマ処理装置。 - 前記誘電体の露出部分の面積が、前記表面波伝搬部の面積の1/2以下である、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の露出部分の面積が、前記表面波伝搬部の面積の1/5以下である、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の露出部分の面積が、基板上面の面積の1/5以下である、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電磁波源から供給される電磁波の周波数が2GHz以下である、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内面には、連続する溝が設けられており、前記誘電体は前記溝で囲まれた範囲内に配置されている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記溝により、前記表面波伝搬部が区画されている、請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器の内面には、連続する凸部が設けられており、前記誘電体は前記凸部で囲まれた範囲内に配置されている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記凸部により、前記表面波伝搬部が区画されている、請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の上部には、前記誘電体の上面に下端が隣接または近接し、電磁波を前記誘電体に伝える1または複数の金属棒を備えている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体が概ね円柱形状であり、前記誘電体の周面に、前記処理容器の外部と内部とを隔てるシール部材を備えている、請求項10に記載のプラズマ処理装置。
- 前記金属棒と前記蓋体との間に、前記処理容器の外部と内部とを隔てるシール部材を備えている、請求項10に記載のプラズマ処理装置。
- 前記処理容器内にプラズマ処理に必要なガスを放出する1または複数のガス放出孔が設けられている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記ガス放出孔が、前記蓋体の下面に設けられている、請求項13に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の下面に金属電極が設けられ、前記金属電極の周囲または内方において前記誘電体が前記処理容器の内部に露出している、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体を貫通して前記金属電極に電気的に接続された、電磁波を前記誘電体に伝える金属棒を備えている、請求項15に記載のプラズマ処理装置。
- 前記金属棒と前記蓋体との間に、前記金属容器の外部と内部とを隔てるシール部材を備えていることを特徴とする、請求項16に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の上面と前記蓋体との間および前記誘電体の下面と前記金属電極との間に、前記処理容器の外部と内部とを隔てるシール部材を備えている、請求項15に記載のプラズマ処理装置。
- 前記金属電極には、前記処理容器内にプラズマ処理に必要なガスを放出する1または複数のガス放出孔が設けられており、前記金属棒には、前記ガス放出孔にガスを通すガス流路が形成されている、請求項16に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体に形成された穴を貫通し、前記金属電極と前記蓋体とを接続する一または複数の接続部材を備えている、請求項15に記載のプラズマ処理装置。
- 前記接続部材は、金属からなる、請求項20に記載のプラズマ処理装置。
- 前記金属電極には、前記処理容器内にプラズマ処理に必要なガスを放出する1または複数のガス放出孔が設けられており、前記接続部材には、前記ガス放出孔にガスを通すガス流路が形成されている、請求項20に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電磁波源から供給される電磁波を前記誘電体に伝搬させる一または複数の導波管を備える、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体は、前記導波管の下面に形成されたスロットに挿入されている、請求項23に記載のプラズマ処理装置。
- 前記導波管内を伝搬する電磁波の波長を調節する波長調節機構を備えている、請求項23に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体と前記蓋体との間に、前記処理容器の外部と内部とを隔てるシール部材を備えている、請求項23に記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体の内部に前記誘電体が内蔵され、前記蓋体の下面に形成した一または複数の開口部から、前記誘電体の下面が部分的に処理容器内に露出させられている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体の下面に複数の開口部が同心円状に配置されている、請求項27に記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体の下面がラジアルラインスロットアンテナである、請求項28に記載のプラズマ処理装置。
- 前記蓋体の下面に保護膜が設けられている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記表面波伝搬部は少なくとも表面が金属である部分によって構成され、かつ前記金属の表面に延在する溝又は凸部によって画成されている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の前記容器内部に露出する面が、前記表面波伝搬部によって囲まれている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の前記容器内部に露出する面が前記容器内部に沿って延在する形状をなし、かつ該延在面の両側が前記表面波伝搬部によって囲まれている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の前記容器内部に露出する面が、互いに離隔する複数個である、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記誘電体の前記容器内部に露出する面が、円周または多角形を構成するように連続してまたは不連続に延在して配置されている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記円周または多角形の内部の表面波伝搬部の中心部に表面波非伝搬部が設けられている、請求項35に記載のプラズマ処理装置。
- 前記円周または多角形の内部の表面波非伝搬部は、溝又は凸部によって画成されている、請求項35に記載のプラズマ処理装置。
- 前記表面波伝搬部に沿って伝搬した電磁波によって前記表面波伝搬部と前記基板の処理面との間にプラズマが励起される、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記容器内面の前記誘電体が露出していない部分に、プラズマ励起用ガスを前記容器内部に放出するガス放出口を設けた、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記表面波伝搬部の表面が、電磁波伝搬に実質的に影響を与えない薄さの保護膜によって覆われている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記表面波伝搬部の中心線平均粗さが、2.4μm以下である、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 金属製の処理容器に基板を収納し、電磁波源から前記処理容器の蓋体下面に露出している1または2以上の誘電体を透過させて前記処理容器内に電磁波を供給し、前記処理容器内にプラズマを励起させて、基板を処理するプラズマ処理方法であって、
前記処理容器内に処理ガスを供給し、
前記電磁波源から周波数が2GHz以下の電磁波を供給し、
前記処理容器の内部に露出する前記誘電体の露出面から前記処理容器の内面に沿って電磁波を伝搬させることにより、前記処理容器内にプラズマを励起させ、基板を処理することを特徴とするプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009519277A JP4944198B2 (ja) | 2007-06-11 | 2008-06-11 | プラズマ処理装置および処理方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007153580 | 2007-06-11 | ||
JP2007153580 | 2007-06-11 | ||
JP2009519277A JP4944198B2 (ja) | 2007-06-11 | 2008-06-11 | プラズマ処理装置および処理方法 |
PCT/JP2008/060692 WO2008153064A1 (ja) | 2007-06-11 | 2008-06-11 | プラズマ処理装置および処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008153064A1 true JPWO2008153064A1 (ja) | 2010-08-26 |
JP4944198B2 JP4944198B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=40129669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009519277A Active JP4944198B2 (ja) | 2007-06-11 | 2008-06-11 | プラズマ処理装置および処理方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20100183827A1 (ja) |
JP (1) | JP4944198B2 (ja) |
KR (1) | KR101117150B1 (ja) |
CN (1) | CN101632329B (ja) |
DE (1) | DE112008001548B4 (ja) |
TW (1) | TW201001480A (ja) |
WO (1) | WO2008153064A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9157152B2 (en) * | 2007-03-29 | 2015-10-13 | Tokyo Electron Limited | Vapor deposition system |
US8568556B2 (en) | 2007-06-11 | 2013-10-29 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and method for using plasma processing apparatus |
JP5520455B2 (ja) * | 2008-06-11 | 2014-06-11 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP5478058B2 (ja) * | 2008-12-09 | 2014-04-23 | 国立大学法人東北大学 | プラズマ処理装置 |
JP5222744B2 (ja) * | 2009-01-21 | 2013-06-26 | 国立大学法人東北大学 | プラズマ処理装置 |
WO2010140526A1 (ja) * | 2009-06-01 | 2010-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の給電方法 |
JP5885904B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2016-03-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4875190B2 (ja) * | 2009-08-31 | 2012-02-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
WO2011125704A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP5631088B2 (ja) * | 2010-07-15 | 2014-11-26 | 国立大学法人東北大学 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP2012089334A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Tokyo Electron Ltd | マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 |
KR101132672B1 (ko) | 2011-10-14 | 2012-04-03 | 주식회사 아이온커뮤니케이션즈 | 전자 계약서를 이용한 통합 인증 시스템 |
CN103503580A (zh) * | 2012-02-23 | 2014-01-08 | 国立大学法人东北大学 | 等离子处理装置和等离子处理方法 |
US9267205B1 (en) * | 2012-05-30 | 2016-02-23 | Alta Devices, Inc. | Fastener system for supporting a liner plate in a gas showerhead reactor |
JP2014026773A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2015109249A (ja) * | 2013-10-22 | 2015-06-11 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP6383674B2 (ja) * | 2014-02-19 | 2018-08-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
US20160211351A1 (en) * | 2015-01-20 | 2016-07-21 | Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences | Apparatus and method for epitaxially growing sources and drains of a finfet device |
JP6593004B2 (ja) * | 2015-07-22 | 2019-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
FR3042092B1 (fr) * | 2015-10-05 | 2019-07-26 | Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes | Dispositif elementaire de production d’un plasma avec applicateur coaxial |
WO2017159838A1 (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 株式会社Jcu | プラズマ生成装置 |
JP6283438B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-02-21 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波放射アンテナ、マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 |
JP2019106358A (ja) * | 2017-12-14 | 2019-06-27 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波プラズマ処理装置 |
US11393661B2 (en) * | 2018-04-20 | 2022-07-19 | Applied Materials, Inc. | Remote modular high-frequency source |
JP7182916B2 (ja) * | 2018-06-26 | 2022-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP7125058B2 (ja) * | 2018-12-06 | 2022-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法 |
CN113519088B (zh) * | 2019-03-04 | 2024-06-25 | 株式会社村田制作所 | 天线装置以及通信装置 |
JP7300957B2 (ja) * | 2019-10-08 | 2023-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及び天壁 |
JP7394711B2 (ja) * | 2020-06-23 | 2023-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定器及びシースの厚さを求める方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03262119A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-21 | Canon Inc | プラズマ処理方法およびその装置 |
JPH10158847A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-16 | Toshiba Corp | マイクロ波励起によるプラズマ処理装置 |
JPH11214196A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ発生装置 |
JP2000286237A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Rohm Co Ltd | 半導体基板用プラズマ表面処理装置におけるラジアルラインスロットアンテナの構造 |
JP2004186303A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2004200307A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2005019508A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置及び処理方法 |
JP2005135801A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Canon Inc | 処理装置 |
JP2006310794A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置と方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR0156011B1 (ko) * | 1991-08-12 | 1998-12-01 | 이노우에 아키라 | 플라즈마 처리장치 및 방법 |
US5698036A (en) * | 1995-05-26 | 1997-12-16 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
TW312815B (ja) * | 1995-12-15 | 1997-08-11 | Hitachi Ltd | |
KR970071945A (ko) * | 1996-02-20 | 1997-11-07 | 가나이 쯔도무 | 플라즈마처리방법 및 장치 |
JP3217274B2 (ja) * | 1996-09-02 | 2001-10-09 | 株式会社日立製作所 | 表面波プラズマ処理装置 |
US6007673A (en) * | 1996-10-02 | 1999-12-28 | Matsushita Electronics Corporation | Apparatus and method of producing an electronic device |
KR100521120B1 (ko) * | 1998-02-13 | 2005-10-12 | 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 | 반도체소자의 표면처리방법 및 장치 |
US6388632B1 (en) * | 1999-03-30 | 2002-05-14 | Rohm Co., Ltd. | Slot antenna used for plasma surface processing apparatus |
TW516113B (en) * | 1999-04-14 | 2003-01-01 | Hitachi Ltd | Plasma processing device and plasma processing method |
TW480594B (en) * | 1999-11-30 | 2002-03-21 | Tokyo Electron Ltd | Plasma processing apparatus |
JP3645768B2 (ja) * | 1999-12-07 | 2005-05-11 | シャープ株式会社 | プラズマプロセス装置 |
JP3792089B2 (ja) * | 2000-01-14 | 2006-06-28 | シャープ株式会社 | プラズマプロセス装置 |
JP4632515B2 (ja) * | 2000-01-25 | 2011-02-16 | シャープ株式会社 | プラズマプロセス装置 |
JP3650025B2 (ja) * | 2000-12-04 | 2005-05-18 | シャープ株式会社 | プラズマプロセス装置 |
JP4402860B2 (ja) * | 2001-03-28 | 2010-01-20 | 忠弘 大見 | プラズマ処理装置 |
JP4183934B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2008-11-19 | 尚久 後藤 | マイクロ波プラズマ処理装置、マイクロ波プラズマ処理方法及びマイクロ波給電装置 |
US20030168012A1 (en) * | 2002-03-07 | 2003-09-11 | Hitoshi Tamura | Plasma processing device and plasma processing method |
JP4020679B2 (ja) * | 2002-04-09 | 2007-12-12 | シャープ株式会社 | プラズマプロセス装置 |
JP2004200646A (ja) * | 2002-12-05 | 2004-07-15 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP4341256B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2009-10-07 | 株式会社島津製作所 | プラズマ処理装置 |
WO2005078782A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US8136479B2 (en) * | 2004-03-19 | 2012-03-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Plasma treatment apparatus and plasma treatment method |
CN100593361C (zh) * | 2005-03-30 | 2010-03-03 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置和方法 |
JP5213150B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2013-06-19 | 国立大学法人東北大学 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置を用いた製品の製造方法 |
DE102006037144B4 (de) * | 2006-08-09 | 2010-05-20 | Roth & Rau Ag | ECR-Plasmaquelle |
-
2008
- 2008-06-11 KR KR1020097026408A patent/KR101117150B1/ko active IP Right Grant
- 2008-06-11 DE DE112008001548T patent/DE112008001548B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2008-06-11 JP JP2009519277A patent/JP4944198B2/ja active Active
- 2008-06-11 US US12/663,764 patent/US20100183827A1/en not_active Abandoned
- 2008-06-11 WO PCT/JP2008/060692 patent/WO2008153064A1/ja active Application Filing
- 2008-06-11 CN CN2008800078371A patent/CN101632329B/zh active Active
- 2008-06-26 TW TW097124030A patent/TW201001480A/zh unknown
-
2012
- 2012-12-26 US US13/726,913 patent/US8733281B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03262119A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-21 | Canon Inc | プラズマ処理方法およびその装置 |
JPH10158847A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-16 | Toshiba Corp | マイクロ波励起によるプラズマ処理装置 |
JPH11214196A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | プラズマ発生装置 |
JP2000286237A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Rohm Co Ltd | 半導体基板用プラズマ表面処理装置におけるラジアルラインスロットアンテナの構造 |
JP2004186303A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2004200307A (ja) * | 2002-12-17 | 2004-07-15 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2005019508A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置及び処理方法 |
JP2005135801A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Canon Inc | 処理装置 |
JP2006310794A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-09 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置と方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112008001548T5 (de) | 2010-09-16 |
CN101632329A (zh) | 2010-01-20 |
DE112008001548B4 (de) | 2013-07-11 |
KR20100020974A (ko) | 2010-02-23 |
US8733281B2 (en) | 2014-05-27 |
TW201001480A (en) | 2010-01-01 |
WO2008153064A1 (ja) | 2008-12-18 |
JP4944198B2 (ja) | 2012-05-30 |
US20130112352A1 (en) | 2013-05-09 |
CN101632329B (zh) | 2012-10-31 |
US20100183827A1 (en) | 2010-07-22 |
KR101117150B1 (ko) | 2012-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4944198B2 (ja) | プラズマ処理装置および処理方法 | |
JP5213530B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US8327796B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
JP5747231B2 (ja) | プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置 | |
JP4918592B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の使用方法 | |
WO2007020810A1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
US9105450B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
US20090152243A1 (en) | Plasma processing apparatus and method thereof | |
WO2003012821A2 (en) | Method and apparatus for producing uniform process rates | |
KR101280567B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
JP7001456B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5419055B1 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
US20110114600A1 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
JP5202652B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPWO2008153052A1 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の使用方法 | |
KR100785960B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 | |
JP3208995B2 (ja) | プラズマ処理方法及び装置 | |
JPWO2013124898A1 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP2001358131A (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | |
IL159935A (en) | Method and apparatus for producing uniform process rates |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4944198 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |