JPWO2007007476A1 - 弾性境界波フィルタ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(発明の効果)
101…LiNbO3基板
102…電極パターン
103…SiO2膜
104a,104b…端子
110…縦結合共振子型弾性境界波フィルタ
111,112…反射器
113〜115…IDT
120…弾性境界波共振子
130…弾性境界波共振子
141…配線
Claims (4)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された誘電体膜と、
前記圧電基板と誘電体膜との境界に配置された複数のIDTを有する少なくとも1つの縦結合共振子型弾性境界波フィルタと、
前記圧電基板と、前記誘電体膜の境界に形成されたIDTを有する少なくとも2個の一端子対弾性境界波共振子とを備え、
少なくとも1つの前記一端子対弾性境界波共振子が、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタに直列に接続されている直列接続弾性境界波共振子とされており、
少なくとも1つの残りの前記一端子対弾性境界波共振子が、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタに並列に接続されている並列接続弾性境界波共振子とされており、
前記直列接続弾性境界波共振子の***振周波数が、前記縦結合共振子型弾性境界波フィルタの通過帯域よりも高周波側にあり、
前記並列接続弾性境界波共振子の共振周波数が、前記直列接続弾性境界波共振子の***振周波数以上に位置していることを特徴としている、弾性境界波フィルタ装置。 - 前記圧電基板が、LiNbO3単結晶基板であり、該圧電基板のオイラー角のφ及びθが、−31°≦φ≦31°かつ90°≦θ≦130°の範囲にある、請求項1に記載の弾性境界波フィルタ装置。
- 前記IDTが、Al、Ti、Pt、Fe、Ni、Cr、Cu、Ag、W、Ta及びAuからなる群から選択した1種の金属または該金属を主体とする合金からなる、請求項1または2に記載の弾性境界波フィルタ装置。
- 前記誘電体膜が、SiO2、SiN、水晶、LBO、ランガサイト、ランガナイト及びガラスからなる群から選択された1種の材料からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波フィルタ装置。
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