JPS63806A - 複合型磁気ヘツド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、記録媒体に情報を高密度に記録し、かつこ
の高密度に記録された情報を再生することのできる複合
型（ｎ気ヘッドに係り、特に高保磁力記録媒体に対して
良好な記録再生特性を発揮することのできる複合型磁気
ヘッド及びその製造方法に関するものである。

〔従来の技術］ 記録媒体に高密度に情報を記録すると共に、その高密度
に記録された情報を再生することのできる高密度記録再
生装置が各種提案されているが、特に高保磁力の記録媒
体に情報を記録し、かつその記録した情報を再生するの
に有効なタイプの磁気ヘッドとして複合型のものが提案
されている。

すなわち、この複合型磁気ヘッドは、例えば第１０図及
び第１１図に示すように、磁気ヘッドコア１００の基体
側に高透磁率、軟磁気特性の良好なフェライト等を用い
た磁性基体１０１と、この磁性基体１０１の先端側の記
録再生の主要部となる作動ギャップ１０２近傍を含む部
分に形成した切り欠き１０３に埋め込まれ、高飽和磁束
密度を有すると共に先端面がトラック幅に対応する厚さ
を有し、センダスト合金或いはパーマロイ合金等を用い
た磁性膜薄体１０４とから構成されており、更に補強材
として、作動ギャップ１０２近傍にトラック幅絞り用の
切り欠き溝を形成し、その切り欠き溝にガラス等の非磁
性の非磁性体１０５を充填した構成のものが知られてい
る。

〔解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような構成の複合型磁気ヘッドにあ
っては、先の切り欠き１０３に確実に密着させて磁性膜
薄体１０４を埋め込むことは非常に困難であり、通常数
ミクロン程度以上の隙間１０６が形成される。このため
、磁性基体１０１とＫｎ性膜薄体１０４との間が磁気的
に不連続となる虞れがあり、インダクタンス低下に伴う
記録再生特性の劣化の一因ともなっている。

そこで、例えば第１２図及び第１３図に示すような構成
のものが提案されている。すなわち、このタイプのもの
は、非磁性基体１０７上にトラック幅に対応する厚さの
磁性膜体１０８を形成し、その磁性膜体１０８の上に非
磁性材１０９を接着・接合した構成となっており、先の
タイプのように隙間が形成されず記録再生特性が良好な
ものである。しがしながら、このようなタイプの磁気ヘ
ッドにあっては、通常第１３図に示すように、非磁性基
体１０７を用意し、この全面にスパッタリング等の物理
蒸着によってトランク幅厚の磁性膜体１０８を形成し、
その上に非磁性材体１０７′を接着・接合し、これを２
つに切断してギャップ突き合わせ面を研磨した後コイル
巻線用溝（回路）を形成し、ギャップスペーサを介して
これらを接着・接合することによって磁気ヘッドのコア
体が得られるが、ここでいま説明してきたようにその製
造方法は極めて面倒であり、■、磁性に欠ける等の欠点
を有している。

そこで、この発明は、上記した従来の欠点を除去するこ
とを目的とするものであり、換言すれば、記録再生特性
が良好で、かつ耐摩耗性が図られ特に高検６■力記録媒
体に対して好適な複合型磁気ヘッドを提供することを目
的とすると共に、その複合型磁気ヘッドの量産性に優れ
た製造方法を提供することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

すなわち、この第１の発明の複合型る〃気ヘッドは高透
磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体と高飽和磁束密度を
有し、かつ記録媒体に対向する先端面がトランク幅に対
応する厚さを有する磁性膜体とからなる一対の半コア体
同士をギャップ対向面側にギャップスペーサを介して接
着・接合して形成した複合型磁気ヘッドであって、前記
磁性膜体を補強・挟持するようにして前記侑性拮体の先
端面側に、非磁性を有し高硬度の補強体が接着・接合さ
れていると共に、記録媒体面に対して垂直な深さ方向に
沿って前記補強体の記Ｓ、％媒体に対向する面側から前
記磁性基体に到達する部位己こ互って縦断面略Ｖ字形の
■溝が形成され、かつ前記磁性膜体が、前記Ｖ溝に物理
蒸着して形成されたものである。

また、この第２の発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は
、高透磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体ブロックの記
録媒体に対向する先端面側に非磁性の補強体ブロックを
接合して複ブロック体を形成する工程と、前記複ブロッ
ク体の前記記録媒体に対向する面側から前記磁性基体ブ
ロックに到達するまでの一定深さ寸法にｖ４を形成して
■溝ブロック体を形成する工程と、この■溝ブロック体
の前記Ｖ溝に高飽和磁束密度を有する磁性膜体を物理蒸
着して蒸着ブロフク化を形成する工程と、この堆積ブロ
ック体の磁性膜体が形成された面側に前記磁性膜体を露
出させ鏡面状に切削・研磨して鏡面ブロック体を形成す
る工程と、この鏡面ブロック体を２つの半コア体ブロッ
クに切断すると共に少な（とも−方側の半コアブロック
体にコイルｅ　Ｎｔ％用溝を形成したのちこれらの半コ
ア体ブロックをギャップスペーサを介して接合・一体化
しコア体ブロックを形成する工程と、このコア体ブロッ
クを夫々前記磁性膜体を１個ずつ含むように一定厚に切
り出して複数個の磁気ヘッドコアを形成する工程とを有
するものである。

〔作用〕

この第１の発明の複合型磁気ヘンドは、補強体の記録媒
体に接触摺動する先端面側から磁性基体含む部分に形成
したＶ溝に磁性膜体を物理蒸着させて形成したものであ
り、磁性基体と磁性膜体との間に隙間が形成される虞れ
がないため、記録再生特性の劣化が存効に防止されてい
るものである。

また、この第１の発明の複合型６ｆｉ気ヘツドは、先端
面側の記録媒体に接触摺動する部分が高硬度の補強体で
形成されており、耐摩耗性の向上が図られているもので
ある。

また、この第２の発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は
、磁性膜体を縦断面略Ｖ字形のＶ溝にスパッタリングな
どで物理蒸着させて形成しているため、基体上全面に亙
ってその磁性膜体を物理蒸着させるよりも成膜時間が大
幅に短縮化され、これによって製造時間も大幅に短縮化
させることができるものである。また、この第２の発明
の複合型磁気ヘンドは、半コアブロック体同士を各磁性
膜体の重なり部分が一部ずれた状態で接合・一体化させ
ると、狭トラツク幅を有する複合型磁気ヘッドを多数個
容易に製造することができるものである。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例について添付図面を参照しな
がら説明する。

第１図はこの発明に係る複合型（ｄ気ヘッドを示すもの
であり、この複合型磁気ヘッドは、コア１が、磁性基体
２と、補強体３と、磁性膜体４とから構成されている。

なお、図中符号５はコイル巻線用窓である。

磁性基体２は高透磁率、軟磁気特性の良好なもの、例え
ばフェライト等で形成されている。また、この磁性基体
２の記ｉ、Ａ媒体と対向する面側である先端面側には長
手方向に沿って縦断面略Ｖ字形を有し、次に説明する補
強体３例のものと一体的に形成されたステップ溝が設け
られている。そして、この磁性基体２は、作動ギヤノブ
６となる二酸化珪素（ＳｉＯ□）等のギャップスペーサ
を介してもｎ性基体ブロックを２個接着・接合して形成
した構成となっているが、−方側のプロ・７りには先の
コイル巻線用窓を形成するだめの溝を形成したものが使
用されている。

補強体３は、非磁性、高硬度の例えば結晶化ガラス、セ
ラミック等を磁性基体２の記録媒体（１略）に対向する
先端面側に設けたものであり、磁性基体４を両側から挾
持するようにして、そのｗ長形状の磁性膜体４の機械的
強度の増大を図ると共に、記録媒体に接触１ｇ動する先
端面側の記ｉ、Ａ媒体に対する耐摩耗性の向上が図られ
ており、長間に亙って常時安定した媒体摺動動作を行う
ことができるようになっている。また、この補強体３の
記録媒体に対向する先端面側から磁性基体２の一部に到
達する部位には、中央部において長手方向に沿って第２
図に示すような段部７ａを設けた１１断面略■字形を有
し、基端面倒に向けて先♀Ｊりのステップ■溝７が形成
されているが、その形状については、必ずしもそのよう
な段部を設ける必要はない。そして、この補強体３は、
先の磁性基体２と同様に、磁性基体ブロックの先端面側
に接着・接合された補強体ブロックを接着・接合して形
成した構成となっており、良好な媒体摺動特性を発揮で
きるよう、先端面側がカーブ状にＲ加工されている。

磁性膜体４は、飽和磁束密度の高いもの、例えばＦｅ−
Ａｌ−３ｉ（センダスト）合金、Ｎ１−Ｆｅ（パーマロ
イ）合金等の結晶質合金若しくは非晶質合金によって先
に説明したように補強体３及び磁性基体２に形成された
■溝に対してスパッタリング等によって物理蒸着された
ものである。

また、この磁性膜体４は従来より公知のように渦電流損
失を低減するため中間層として二酸化硅素（ＳｉＯｚ）
等の絶縁層を介在させることにより磁気ヘッドとしての
特性を大幅に向上させることが可能となっている。そし
て、この磁性膜体４は、互いにギャップ突き合わせ面に
二酸化珪素（Ｓｉ０２）等のギャップスペーサを介して
接着・接合して形成されている。

したがって、この実施例に係る複合型磁気ヘッドによれ
ば、記録媒体に接触摺動する部位に非磁性高硬度の補強
体３を設けており、媒体摺動特性が良好であり、磁性媒
体を狭トラツク幅に形成しても有効にその機械的強度を
保持することができるものである。

また、この実施例に係る複合型磁気ヘッドによれば、長
期間にわたってこの磁気ヘッドを使用しても、先端側の
記録媒体摺動面が第２図に示すように深さｈまで摩耗す
るまで、トラック幅が一定に保持されているため、常に
一定かつ安定した記録再生を行うことができる。

次に、この発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法につ
いて第３図乃至第９図を参照しながら説明する。

（１）高透磁率、軟磁気特性の良好な例えばフェライト
等で形成された磁性基体２となる一定寸法の磁性基体ブ
ロック８の一方の面上に、高硬度、高強度、非磁性の例
えば結晶化ガラス或いはセラミック等からなり補強体３
となる磁性基体ブロック８と同寸法の補強体ブロック９
をガラスボンディング等によって接着・接合して複ブロ
ック体１０を形成する（第３図参照）。

（２）この複ブロック体ＩＯの記録媒体に対向する面倒
、すなわち補強体ブロック９の面側から磁性基体ブロッ
ク７に到達するまでの所定深さ寸法にステップ■溝を複
数個形成し、■溝ブロック体１２を形成する（第４図参
照）。

（３）この■溝フ゛ロック体１２のステップＶン簿１１
を有する面側に高飽和磁束密度を有する例えばＦｅ−Ａ
ｌ−３ｉ　　（センダスト）合金或いはＮｉ−Ｆｅ　（
パーマロイ）合金等の結晶質合金若しくは非晶質合金の
磁性膜体１３をスパッタリング等によって物理蒸着して
蒸着ブロンク体１４を形成する（第５図参照）。

この場合、磁性膜体は二酸化硅素（Ｓ１０□）等の絶縁
層を中間層として介在させ多層に積層させることも可能
である。

（４）蒸着ブロック体１４の磁性膜体１３が形成された
面倒を研にしてその磁性膜体１３の幅寸法ＴＷがトラン
ク幅となるまで補強体ブロック９を露出させると共に、
鏡面上に研磨・加工して鏡面ブロック体１５を形成する
（第６図参照）。

（５）次に、この鏡面ブロック体１５を２つの半コア体
ブロック１６に切断すると共に、少なくとも一方の半コ
ア体ブロック１６にコイル巻線用；背１７を形成させた
後、これらの半コア体ブロック１６を作動ギャップ（凹
路）となる接着材、例えば二酸化珪素（Ｓｉｎｇ）等の
ギャップスペーサ（凹路）を用いて接着・接合しコア体
ブロック１８を形成する（第７図参照）。

（６）このようにして得られたコア体ブロック１８を磁
性膜体１３を１個づつ含むようにして、即ち第８回に示
すラインαに沿って切り出していくとコア体１９が得ら
れる（第９図参照）。

（７）最後に、このコア体１９の磁性膜体が含まれてい
る先端面側をＲ加工（第９図の実線Ａ方向に加工する）
した後、コイル巻線用７Ｆ５１７に銅線を巻装すると、
この実施例に係る複合型磁気ヘッドが出来上がる。

以上説明してきたように、この実施例に係る複合型磁気
ヘッドの製造方法によれば、第３工程において磁性基体
ブロック８の一面全体に亙ってではなくステップ■溝１
１のみに磁性膜体を物理蒸着させるだけですむので、成
膜時間の大幅な短縮化を図ることができる。

また、この実施例に係る複合型磁気へ・７ドの製造方法
によれば、第５工程において、半コアブロック体１６同
士の接合・一体化に際し、これら双方の半コアブロック
体１６の磁性ブロック１３同士の重なり部分を少なくす
るようにずらして接合・一体化させると、多数個の狭ト
ランク幅のコア体１９が得られる。

〔効果〕

以上説明してきたように、この発明に係る複合型磁気ヘ
ッドによれば、磁性基体と磁性膜体との間にギャップが
形成されていないため、記録再生特性が良好で高品質の
複合型磁気へ・ンドを提供することができる。

また、この発明に係る複合型磁気ヘッドによれば、高硬
度非磁性の補強体を記録媒体に接触摺動する先端面側に
設けているため、耐摩耗性に優れ、長期間にわたって高
信頼性を発揮することができる。

また、この発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法によ
れば、磁性膜体をＶ字溝に形成するようになっているた
め、例えば基体全体にわたって形成するよりも製造時間
が大幅に短縮化でき、極めて実用的である。また、この
発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法によれば、半コ
アブロック体同士を磁性膜体の重なり部分をずらして接
合・一体化することによって簡単に狭トラツク幅のコア
が多数個製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る複合型Ｃ〃気へメトの構成を示
す概略斜視図、第２図はこの発明に係る複合型磁気ヘッ
ドのステップＶＶ３を示す拡大断面図、第３図乃至第９
図はこの発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法を示す
工程図、第１０図及び第１１図は従来型の複合型磁気ヘ
ッドを示す概略斜視図及び要部拡大図、第１２図は他の
複合型磁気ヘッドを示す概略斜視図、第１３図は第１２
図に示す複合型磁気ヘッドの製造方法を示す説明図。 ２・・・磁性基体、　　　　４・・・磁性膜体、６・・
・ギャップ、　　　　３・・・補強体、７・・・ステッ
プ■溝、　８・・・磁性基体ブロック、９・・・、補強
ブロック、１０・・・複ブロック体、１１・・・■溝、
　　　　　　１２・・・■溝ブロック体、１３・・・磁
性膜体、１４・・・蒸着ブロック体、　１５・・・鏡面
ブロック体、工６・・・半コア体ブロック、　１８・・
・コア体ブロック、１９・・・コア体。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高透磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体と高飽和磁
   束密度を有し、かつ記録媒体に対向する先端面がトラッ
   ク幅に対応する厚さを有する磁性膜体とからなる一対の
   半コア体同士をギャップ対向面側にギャップスペーサを
   介して接着・接合して形成した複合型磁気ヘッドであっ
   て、 前記磁性膜体を補強・挟持するようにして前記磁性基体
   の先端面側に、非磁性を有し高硬度の補強体が接着・接
   合されていると共に、 記録媒体面に対して垂直な深さ方向に沿って前記補強体
   の記録媒体に対向する面側から前記磁性基体に到達する
   部位に互って縦断面略Ｖ字形のＶ溝が形成され、かつ、 前記磁性膜体が前記Ｖ溝に物理蒸着して形成された ことを特徴とする複合型磁気ヘッド。 ２、高透磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体ブロックの
   記録媒体に対向する先端面側に非磁性の補強体ブロック
   を接合して複ブロック体を形成する工程と、 前記複ブロック体の前記記録媒体に対向する面側から前
   記磁性基体ブロックに到達するまでの一定深さ寸法にＶ
   溝を形成してＶ溝ブロック体を形成する工程と、 このＶ溝ブロック体の前記Ｖ溝に高飽和磁束密度を有す
   る磁性膜体を物理蒸着して蒸着ブロック体を形成する工
   程と、 この蒸着ブロック体の磁性膜体が形成された面側に前記
   磁性膜体を露出させ鏡面状に切削・研磨して鏡面ブロッ
   ク体を形成する工程と、 この鏡面ブロック体を２つの半コア体ブロックに切断す
   ると共に少なくとも一方側の半コアブロック体にコイル
   巻線用溝を形成したのちこれらの半コア体ブロックをギ
   ャップスペーサを介して接合・一体化しコア体ブロック
   を形成する工程と、このコア体ブロックを夫々前記磁性
   膜体を１個ずつ含むように一定厚に切り出して複数個の
   磁気ヘッドコアを形成する工程と を有することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法
   。