JPS6374104A - 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録再生装置、特に、ビデオテープレコー
ダ等の高密度記録用磁気ヘッドとして好適な複合型磁気
ヘッドとその製造方法に関する。

（従来例とその問題点） 最近、磁気記録再生装置における高性能化、超小型化を
実現するために、磁気テープの記録媒体に高密度記録を
可能とする高抗磁力を有するメタルテープが広く使用さ
れているが、一方ではこのような高抗磁力を有する磁気
テープを充分記録可能とする磁気ヘッドの研究開発が進
められている。

このような磁気ヘッドには、飽和磁束密度の高い金属磁
性材料と高周波特性に優れたフェライト磁性材とを組合
せて磁気コア本体とした、いわゆる複合型磁気ヘッドが
実現化されている。

第１５図は従来の複合型磁気ヘッドの磁気コア本体１０
を示す斜視図である。図中、１１．１２は磁気コア半体
で、例えばセンダスト（登録商標）、アモルファス、パ
ーマロイ等の金属系磁性材からなる薄板１３．１４の両
面を例えばＭｎ−７ｎフエライト、Ｎ＋−、Ｚｎフェラ
イト等の酸化物系磁性材１５．１６及び１７．１８にて
夫々挟持する如く一体の接合して構成してなり、その対
向する突合せ面１１ａ、１２ａの少なくとも一方、例え
ば図示のように突合せ面１１ａ側に巻線窓１９を形成す
ると共に、これ等一対の磁気コア半体１１゜１２は例え
ばＳｉＯ２等のギャップ材を介して突合せ一体に接合さ
れ、磁気ギャップ２０を形成している。２２．２３はテ
ープ摺動面２１上の磁気ギャップ２０の幅を所定のトラ
ック幅に規制するためのトラック幅規制用溝であり、磁
気ギャップ２０の両側に夫々形成され、用溝２２．２３
内にモールドガラス２４．２５を溶融充填している。

然しながら、酸化物系磁性材と金属系磁性材とはその熱
膨張係数が大きく異なり、酸化物系磁性材の平面上に金
属系磁性膜を形成すると、この金属系磁性膜が非常に剥
離しやすいため、前記複合型磁気ヘッド１０では、予め
トラック幅厚にラップした金属系磁性材からなる薄板１
３．１４を用いるようにしているが、金属系磁性材をト
ラック幅厚さにラップする作業が非常に面倒であるばか
りか、この薄板１３．１４は非常にもろくて壊れ易（、
特にトラック幅が狭くなると薄板１３゜１４はの厚さも
薄くなりその傾向も大となるため、生産性を著しく阻害
するものであった。又、磁気ギャップ２０両側に夫々ト
ラック幅規制用溝２２゜２３を形成するようにしている
ため、トラック幅の精度があまりよくないと共に、溝入
れ加工時に誤ってプレートが薄板１３．１４に接触する
と、同部位の薄板１３．１４が飛んでしまう虞れもある
等生産性が悪いものであった。

このため、図示しないが、酸化物系磁性部材からなる一
対の磁気コア半体の突合せ部にＸ状又は傾斜する金属系
磁性膜を有すると共に、磁気ギャップ部の両側にモール
ドガラスを溶融充填した複合型磁気ヘッドが一部提供さ
れているが、これら等はいずれも、酸化物系磁性材から
なるブロックにＶ溝を形成し、このＶ溝に金属系磁性膜
を形成するようにしているため、同■溝加工作業が非常
に面倒で量産性が悪い等の問題点があった。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点を解決するためになされたものであ
り金属系磁性膜の両面を結晶化ガラス又はセラミックか
らなる非磁性材と酸化物系磁性材とで挟持してなる一対
の磁気コア半体を、前記非磁性材同志及び酸化物系磁性
材同志が互いに対向するように突合せ接合すると共に、
前記酸化物系磁性材の磁気ギャップ近傍部にトラック幅
規制用溝を有する磁気コア本体からなることを特徴とす
る複合型磁気ヘッドとその製造方法を提供するものであ
る。

（実施例） 第１図は本発明になる複合型磁気ヘッドの第１の実施例
である磁気コア本体４０の斜視図であり、第２図は第１
図に示す磁気コア本体４０の磁気ギャップ近傍における
テープ摺動面の一部拡大正面図であり、以下第１図及び
第２図を用いて説明する。

同図において、４１及び４２は、突合せ面４１ａ。

４２ａを有する一対の磁気コア半体であり、これら一対
の磁気コア半体は突合せ面４１ａ、４２８間に例えば５
ｉＯｚ等の薄膜からなるギャップ材を介して突合され、
テープ摺動面４３上に磁気ギャップ４４を有する磁気コ
ア本体４０を構成している。

磁気コア半体４１及び４２は結晶化ガラスあるいはセラ
ミック等からなる耐摩耗性の高い非磁性材４５．４６の
上にセンダストあるいはアモルファス等からなる金趨系
磁性［１４７及び４８をスパッタリング等の薄膜形成手
段により形成し、その上に例えば１Ｖｌｎ−７ｎフエラ
イト等の酸化物系磁性材の４９．５０をそれぞれ接合す
ることにより構成されている。

５１は巻線窓であり、一方の磁気コア半体４１の突合せ
面４１ａ上に形成され、図示しないコイルがこの巻線窓
５１を利用して巻回される。

５２はトラック幅規制用溝であり、磁気ギャップ４４近
傍部の酸化物系磁性材４９．５０側に形成されている。

５３はこのトラック幅規制用溝５２に溶融充填されたモ
ールドガラスであり、テープ摺動面４３の一部を形成し
ている。

上記の構成から明らかなように、本発明になる磁気コア
本体４０では金屑系磁性膜４７及び４８を両面から結晶
化ガラスまたはセラミック等の非磁性材４５．４６と酸
化物系磁性材４９．５０によってそれぞれ挾んだ構造と
なっているが、非磁性基板４５．４６の摩耗特性は酸化
物系磁性材４９．５０に近いものを容易に選択すること
が出来るため偏摩耗の少ない複合型磁気ヘッドが可能で
ある。

第３図は本発明になる複合型磁気ヘッドの第２の実施例
である磁気コア本体６０を示す斜視図−であるが、同一
構成要素には同一符号を付し、説明は省略すると共に前
記の磁気コア本体４０と異なる点のみを説明する。

第３図において、第１図の磁気コア本体４０と異なる点
は、磁気コア本体６０を構成する磁気コア半体６１及び
６２において、酸化物系磁性材６３及び６４が単結晶フ
ェライト材から出来ており、その磁化容易軸６５．６６
が磁気ギャップ４４に向って傾斜する様に構成した点で
ある。

上記のような構成とする事により、記録時には磁束を磁
気ギャップ方向に流れやすくすることが出来る等の効果
により一段と優れた磁気特性を有する複合型磁気ヘッド
を可能とするものである。

次に、第１図に示した本発明になる磁気コア本体４０の
製造方法について説明する。

第４図〜第１２図は、第１図に示す第１の実施例である
磁気コア本体４０の製造方法の一実施例を説明するため
の主要工程の概略説明図である。

第１の工程は以下に示す通りであり、第４図（ａ　）に
示すように結晶化ガラスまたはセラミックからなる複数
の非磁性基板７０を用意し、同図（ｂ）に示すように非
磁性基板７０の両面７０ａ及び７０ｂを鏡面研磨したの
ち、同図（Ｃ）。

（ｄ　）に示すように非磁性基板７０の両面７０ａ及び
７０ｂに、例えばセンダスト等の金属系磁性膜７１をス
パッタリング蒸着イオンブレーティング等の真空薄膜形
成手段により形成する。この時、金属系磁性！１７１　
Ｇ；ｔＡｆ２０３　、Ｓｉ　０２　。

Ｔａ　２０ｓ等の絶縁膜を介して形成してもよい。

第２の工程は以下に示す通りであり、第５図（ａ　）に
示すように、例えば、フェライト等の酸化物系磁性材か
らなる複数の酸化物系磁性基板７２を用意し、同図（ｂ
）に示すように酸化物系磁性基板７２の両面７２ａ、７
２ｂを鏡面研磨する。

第３の工程は以下に示す通りであり、第６図に示すよう
に、第４図（ｄ）で得られた複数の非磁性基板７０と第
５図（ｂ）で得られた複数の酸化物系磁性基板７２とを
接合用ガラスを介して順次積層し、第１の積層ブロック
７３を得る。

第４の工程は以下に示す通りであり、第７図に示すよう
に前記第３の工程で得られた第１の積層ブロック７３を
略磁気コア本体４０の高さｈとなるように切断、研磨す
ることにより第２の積層ブロック７４を得たのち、第８
図に示すように、切断面７５を切断１１１７６に沿って
切断することにより一対のコアブロック半体７７を得る
。この時、この切断線７６を必要に応じて積層面の法線
７８に対してθなるアジマス角を持たせることが出来る
ものである。また、前記コアブロック半体７７の後記す
る突合せ面となる断面は研磨により仕上げる。

第５の工程は以下に示す通りであり、第９図に示すよう
に、第４の工程で得られた一対のコアブロック半体７７
ａ及び７７ｂの対向する切断面を突合せ面７９及び８０
に選び、この突合せ面内の金属系磁性！１７１に隣接す
る酸化物系磁性材７２の接合面に沿って、ブレード等の
切断手段により、トラック幅規制用溝８１群を形成した
のち、第１０図に示すように、これらのトラック幅規制
用溝８１の中にモールドガラス８２を充填し、余分なモ
ールドガラスがついた突合せ面７９及び８０を研磨によ
り除去する。

第６の工程は以下に示す通りであり、第１０図に示すよ
うに、少なくとも一方のコアブロック半体、例えば７７
ｂの突合せ面８０に巻線溝８３を形成すると共に、必要
に応じてコアブロック半体７７ａ及び７７ｂの突合せ面
７９及び８０の後部端に接着用溝８４を形成し、更に、
突合せ面７９及び８０の背面に巻線ガイド溝８５を形成
する。

第７の工程は以下に示す通りであり、第１１図に示すよ
うに、前記第６の工程で得られたコアブロック半体７７
ａ、７７ｂを突合せ面７９．８０間に、例えば、ＳｉＯ
２等からなるギャップ材を介して酸化物系磁性材７２．
７２同志及び非磁性材７０．７０同志が互いに対向する
ように突合せ、巻線溝８３の一部と接着用溝８４の中に
接着ガラス８６を溶融充填することにより接合一体化し
コアブロック８７を得る。

第８の工程は以下に示す通りであり、第１１図に示すよ
うに、前記第７の工程で得られたコアブロック８７を所
定の切断線８８に沿って切断することにより、第１２図
に示す先端研磨前の磁気コア本体８９を得る。この時、
切断線は少なくともトラック規制用溝８１に充填された
モールドガラス８２を通る必要がある。

その後、磁気コア本体８９に所定の先端研磨を施すこと
により第１図に示す磁気コア本体４０を得ることが出来
る。

上述の如く、本発明の製造方法によれば、金属系磁性ｌ
ｌ１７１は結晶化ガラスまたはセラミックからなる非磁
性基板７ｏ上に接合されるものであるが、これらの結晶
化ガラスまたはセラミックは金属系磁性膜７１とほぼ同
一の熱膨張係数を有するものを幅広く選択することが出
来るため、熱膨張係数の相違による剥離現象の発生の防
止と強固な接合を可能とする。

また、トラック幅規制用溝８１の加工は酸化物系磁性材
７２側だけでよく、溝加工工程は半分で済むと同時に溝
加工によって得られるトラック幅の精度も倍加し、しか
も、溝加工中にブレードが金属系磁性膜７１に仮に接触
したとしても、金属系磁性ｌｌ１７１は非磁性板７ｏに
強固に接合しているため壊れる虞れはなくなり、加工精
度の向上と共に、歩留りの向上と分度性の向上を高める
上で大きな効果が期待出来るものである。

次に、第３図に示した本発明の第２の実施例になる磁気
コア本体６０の製造方法についた説明するが、航記第１
の実施例になる磁気コア本体４０の製造方法と略同−の
ため、同一構成要素には同一符号を付し、説明を省略す
ると共に前記製造工程と異なる点のみを説明する。

まず、前記第２の工程における酸化物系磁性基板７２と
して、例えば、Ｍｎ−Ｚｎ単結晶フェライトのように磁
化容易軸を有する単結晶フェライト材を用いる。第３工
程における第１の積層ブロック７３を得る工程において
は、第１３図と示すように、単結晶フェライト材７２の
磁化容易軸９０が、後方から第１のｌａ層ブロック７３
の一方の側面９１に向って傾斜するように積層する。

次に前記第５工程における隣接する一対のコアブロック
半体７７ａ及び７７ｂのトラック幅規制用溝の加工工程
における突合せ面７９．８０　（第９因）を第２の実施
例では第１４図に示すように磁化容易軸９０が同一方向
に向って傾斜する面を突合せ面７９．８０”として前記
同様トラック幅規制用溝群８１．８１′を形成し、図示
しないモールドガラスを充填したのちコアブロック半体
７７ｂを反転して、第１実施例同様、酸化物系磁性材及
び非磁性材同志が互いに対向するようにして前記第６〜
第８の工程をそのまま用いることにより第３図に示す第
２の実施例の磁気コア本体６０を容易に得ることが出来
るものである。

（発明の効果） （１）上述の如く本発明の磁気コア本体は、金属系磁性
膜の両面を結晶化ガラス又はセラミックからなる非磁性
材と酸化物系磁性材とで挟持してなる一対の磁気コア半
体を、前記非磁性材同志及び酸化物系磁性材同志が互い
に対向するように突合せ接合すると共に、前記酸化物系
磁性材の磁気ギャップ近傍部にトラック幅規制用溝を有
する磁気コア本体からなる構造のため、偏摩耗の発生の
少ない複合型磁気ヘッドが可能であり、また、第２実施
例のように単結晶フェライトを用い、その磁化容易軸を
磁気ギャップに向って傾斜するように構成とすることに
より一段と磁気特性の優れた複合型磁気ヘッドを可能と
する。

（２１また、本発明になる製造方法によれば、金属系磁
性膜はこの金属系磁性膜とほぼ同一の熱膨張係数を有す
る結晶化ガラスなたはセラミックの上に真空薄膜形成手
段によって形成されるため、熱膨張係数の相違による剥
離現象が生じることはなく、また、トラック幅規制用溝
は酸化物系磁性材側だけでよく、溝加工工程は従来の半
分で済むと同時に溝加工によって得られるトラック幅の
精度も倍加し、しかも、溝加工中に金属系磁性膜が破壊
する恐れはなく、溝加工精度と共に歩留りの向上と量産
性の向上を高める上で大きな効果が期待出来るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる複合型磁気ヘッドの第１の実茄例
である磁気コア本体の斜視図、第２図は第１図に示す磁
気コア本体４０の磁気ギャップ近傍におけるテープｒＩ
Ｕ動面の一部拡大正面図、第３図は本発明になる複合型
磁気ヘッドの第２の実施例である磁気コア本体を示す斜
視図、第４〜第１２因は第１図に示する第１の実施例で
ある磁気コア本体の製造方法の一実施例を説明するため
の主要工程の概略説明図、第１３図及び第１４図は第３
図に示す本発明になる複合型磁気ヘッドの第２実施例で
ある磁気コア本体の製造方法の他の実施例を説明するた
めの主要工程の概略説明図、第１５図は従来の複合型磁
気ヘッドの磁気コア本体を示す斜視図である。 ４０．６０．８９・・・磁気コア本体、４１，４２゜６
１．６２・・・磁気コア半体、４１ａ、４２ａ、６３ａ
　。 ６４ａ　、７９，８０．８０−・−・突合せ面、４３　
・・・テープ暦勤面、４４・・・磁気ギャップ、４５，
４６゜７０・・・結晶化ガラス又はセラミックからなる
非磁性材（基板）、４７．４８．７１・・・金属系磁性
膜、４９．５０．６３．６４．７２・・・酸化物系磁性
材（基板）、５１・・・巻線窓、５２．８１．８１　”
・・・トラック幅規制用溝、５３．８２・・・モールド
ガラス、６５．６６．９０・・・磁化容易軸、７３・・
・積層ブロック、７７．７７ａ　、７７ｂ・・・コアブ
ロック半体、８３・・・巻線溝、８７・・・コアブロッ
ク。 第３図 （＾）　　　　　　　ｔ４Ｊ 第１１図 第１５図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）金属系磁性膜の両面を結晶化ガラス又はセラミッ
   クからなる非磁性材と酸化物系磁性材とで挟持してなる
   一対の磁気コア半体を、前記非磁性材同志及び酸化物系
   磁性材同志が互いに対向するように突合せ接合すると共
   に、前記酸化物系磁性材の磁気ギャップ近傍部にトラッ
   ク幅規制用溝を有する磁気コア本体からなることを特徴
   とする複合型磁気ヘッド。
2. （２）前記酸化物系磁性材は単結晶フェライトからなり
   、その磁化容易軸の方向が磁気ギャップ部に向って傾斜
   してなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   複合型磁気ヘッド。
3. （３）イ）結晶化ガラス又はセラミックからなる非磁性
   基板に金属系磁性膜を形成し、この非磁性基板と酸化物
   系磁性基板とを交互に積層して積層ブロックを得る工程
   、 ロ）この積層ブロックを所定の寸法に切断して一対のコ
   アブロック半体を得る工程、 ハ）この一対のコアブロック半体の突合せ面の酸化物系
   磁性材に、金属系磁性膜に隣接してトラック幅規制溝を
   形成すると共に、この溝内にモールドガラスを充填する
   工程、 ニ）トラック幅規制用溝内にモールドガラスを充填され
   た一対のコアブロック半体の少なくとも一方の突合せ面
   に巻線溝を形成した後、この一対のコアブロック半体を
   ギャップ材を介して酸化物系磁性材同志及び非磁性材同
   志が互いに対向するように突合せ一体に接合してコアブ
   ロックを得る工程、 ホ）このコアブロックを切断して磁気コア本体を得る工
   程、 より製造したことを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造
   方法。
4. （４）イ）結晶化ガラス又はセラミックからなる非磁性
   基板に金属系磁性膜を形成し、この非磁性基板と磁化容
   易軸の方向が平面上傾斜してなる単結晶フェライト基板
   とを交互に積層して積層ブロックを得る工程、 ロ）この積層ブロックを所定の寸法に切断して一対のコ
   アブロック半体を得る工程、 ハ）この一対のコアブロック半体の突合せ面を該単結晶
   フェライトの磁化容易軸が同一方向に向う面に選定し、
   同突合せ面の単結晶フェライトに金属系磁性膜に隣接し
   てトラック幅規制用溝を形成すると共に、この溝内にモ
   ールドガラスを充填する工程、 ニ）トラック幅規制用溝内にモールドガラスを充填され
   た一対のコアブロック半体の少なくとも一方の突合せ面
   に巻線溝を形成した後、両コアブロック半体の単結晶フ
   ェライトの磁化容易軸が磁気ギャップ部方向に向うよう
   に一方のコアブロック半体を反転すると共に、ギャップ
   材を介して単結晶フェライト同志及び非磁性材同志が互
   いに対向するように突合せ一体に接合してコアブロック
   を得る工程、 ホ）このコアブロックを切断して磁気コア本体を得る工
   程、 より製造したことを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造
   方法。