JPS63806A - Composite type magnetic head and its manufacture - Google Patents
Composite type magnetic head and its manufactureInfo
- Publication number
- JPS63806A JPS63806A JP14419486A JP14419486A JPS63806A JP S63806 A JPS63806 A JP S63806A JP 14419486 A JP14419486 A JP 14419486A JP 14419486 A JP14419486 A JP 14419486A JP S63806 A JPS63806 A JP S63806A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- block
- magnetic film
- recording medium
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 5
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000005557 antagonist Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、記録媒体に情報を高密度に記録し、かつこ
の高密度に記録された情報を再生することのできる複合
型（ｎ気ヘッドに係り、特に高保磁力記録媒体に対して
良好な記録再生特性を発揮することのできる複合型磁気
ヘッド及びその製造方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is directed to a composite type (N-type head) capable of recording information on a recording medium at high density and reproducing the information recorded at high density. In particular, the present invention relates to a composite magnetic head that can exhibit good recording and reproducing characteristics particularly for high coercive force recording media, and a method for manufacturing the same.
〔従来の技術］
記録媒体に高密度に情報を記録すると共に、その高密度
に記録された情報を再生することのできる高密度記録再
生装置が各種提案されているが、特に高保磁力の記録媒
体に情報を記録し、かつその記録した情報を再生するの
に有効なタイプの磁気ヘッドとして複合型のものが提案
されている。[Prior Art] Various high-density recording and reproducing devices have been proposed that are capable of recording information at high density on a recording medium and reproducing the information recorded at high density. A composite type magnetic head has been proposed as a type of magnetic head that is effective for recording information on and reproducing the recorded information.
すなわち、この複合型磁気ヘッドは、例えば第１０図及
び第１１図に示すように、磁気ヘッドコア１００の基体
側に高透磁率、軟磁気特性の良好なフェライト等を用い
た磁性基体１０１と、この磁性基体１０１の先端側の記
録再生の主要部となる作動ギャップ１０２近傍を含む部
分に形成した切り欠き１０３に埋め込まれ、高飽和磁束
密度を有すると共に先端面がトラック幅に対応する厚さ
を有し、センダスト合金或いはパーマロイ合金等を用い
た磁性膜薄体１０４とから構成されており、更に補強材
として、作動ギャップ１０２近傍にトラック幅絞り用の
切り欠き溝を形成し、その切り欠き溝にガラス等の非磁
性の非磁性体１０５を充填した構成のものが知られてい
る。That is, as shown in FIGS. 10 and 11, for example, this composite magnetic head includes a magnetic base 101 made of ferrite or the like having high magnetic permeability and good soft magnetic properties on the base side of a magnetic head core 100, and The magnetic substrate 101 is embedded in a notch 103 formed in a portion including the vicinity of the operating gap 102, which is the main part for recording and reproducing, on the tip side of the magnetic substrate 101, and has a high saturation magnetic flux density and a tip surface with a thickness corresponding to the track width. It is composed of a thin magnetic film 104 made of sendust alloy or permalloy alloy, etc., and a notch groove for narrowing the track width is formed near the working gap 102 as a reinforcing material. A structure filled with a non-magnetic material 105 such as glass is known.
しかしながら、このような構成の複合型磁気ヘッドにあ
っては、先の切り欠き１０３に確実に密着させて磁性膜
薄体１０４を埋め込むことは非常に困難であり、通常数
ミクロン程度以上の隙間１０６が形成される。このため
、磁性基体１０１とＫｎ性膜薄体１０４との間が磁気的
に不連続となる虞れがあり、インダクタンス低下に伴う
記録再生特性の劣化の一因ともなっている。However, in a composite magnetic head having such a configuration, it is very difficult to embed the thin magnetic film 104 in a secure manner in the notch 103, and the gap 106 is usually a few microns or more. is formed. For this reason, there is a risk of magnetic discontinuity between the magnetic substrate 101 and the Kn film thin body 104, which is also a factor in the deterioration of recording and reproducing characteristics due to the decrease in inductance.
そこで、例えば第１２図及び第１３図に示すような構成
のものが提案されている。すなわち、このタイプのもの
は、非磁性基体１０７上にトラック幅に対応する厚さの
磁性膜体１０８を形成し、その磁性膜体１０８の上に非
磁性材１０９を接着・接合した構成となっており、先の
タイプのように隙間が形成されず記録再生特性が良好な
ものである。しがしながら、このようなタイプの磁気ヘ
ッドにあっては、通常第１３図に示すように、非磁性基
体１０７を用意し、この全面にスパッタリング等の物理
蒸着によってトランク幅厚の磁性膜体１０８を形成し、
その上に非磁性材体１０７′を接着・接合し、これを２
つに切断してギャップ突き合わせ面を研磨した後コイル
巻線用溝（回路）を形成し、ギャップスペーサを介して
これらを接着・接合することによって磁気ヘッドのコア
体が得られるが、ここでいま説明してきたようにその製
造方法は極めて面倒であり、■、磁性に欠ける等の欠点
を有している。Therefore, configurations as shown in FIGS. 12 and 13, for example, have been proposed. That is, this type has a structure in which a magnetic film 108 having a thickness corresponding to the track width is formed on a non-magnetic substrate 107, and a non-magnetic material 109 is bonded and bonded onto the magnetic film 108. Unlike the previous type, no gaps are formed and the recording and reproducing characteristics are good. However, in this type of magnetic head, as shown in FIG. 13, a non-magnetic substrate 107 is usually prepared, and a magnetic film as thick as the trunk width is deposited on the entire surface of the substrate by physical vapor deposition such as sputtering. form 108,
On top of that, a non-magnetic material 107' is glued and joined, and this
The core body of the magnetic head is obtained by cutting the two pieces, polishing the gap abutting surfaces, forming grooves (circuits) for coil winding, and gluing and joining them through gap spacers. As explained above, the manufacturing method is extremely troublesome, and it has drawbacks such as (1) and lack of magnetism.
そこで、この発明は、上記した従来の欠点を除去するこ
とを目的とするものであり、換言すれば、記録再生特性
が良好で、かつ耐摩耗性が図られ特に高検６■力記録媒
体に対して好適な複合型磁気ヘッドを提供することを目
的とすると共に、その複合型磁気ヘッドの量産性に優れ
た製造方法を提供することを目的とするものである。Therefore, the purpose of this invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks of the conventional technology.In other words, it is an object of the present invention to provide a material with good recording/reproducing characteristics and wear resistance, especially for high-quality 6-power recording media. The object of the present invention is to provide a composite magnetic head that is suitable for use in the manufacturing process, and also to provide a method for manufacturing the composite magnetic head that is excellent in mass productivity.
すなわち、この第１の発明の複合型る〃気ヘッドは高透
磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体と高飽和磁束密度を
有し、かつ記録媒体に対向する先端面がトランク幅に対
応する厚さを有する磁性膜体とからなる一対の半コア体
同士をギャップ対向面側にギャップスペーサを介して接
着・接合して形成した複合型磁気ヘッドであって、前記
磁性膜体を補強・挟持するようにして前記侑性拮体の先
端面側に、非磁性を有し高硬度の補強体が接着・接合さ
れていると共に、記録媒体面に対して垂直な深さ方向に
沿って前記補強体の記Ｓ、％媒体に対向する面側から前
記磁性基体に到達する部位己こ互って縦断面略Ｖ字形の
■溝が形成され、かつ前記磁性膜体が、前記Ｖ溝に物理
蒸着して形成されたものである。That is, the composite magnetic head of the first invention has a magnetic base with high magnetic permeability and good soft magnetic properties, and a high saturation magnetic flux density, and the tip surface facing the recording medium corresponds to the trunk width. A composite magnetic head is formed by adhering and joining a pair of half-core bodies made of a thick magnetic film on the gap-opposing surfaces via a gap spacer, the magnetic film being reinforced and sandwiched. A non-magnetic, high-hardness reinforcing member is adhered and bonded to the front end surface side of the transparent antagonist, and the reinforcing member is attached along the depth direction perpendicular to the surface of the recording medium. % Grooves each having a substantially V-shaped vertical cross section are formed at the portions reaching the magnetic substrate from the side facing the medium, and the magnetic film is physically vapor deposited in the V-groove. It was formed by
また、この第２の発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は
、高透磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体ブロックの記
録媒体に対向する先端面側に非磁性の補強体ブロックを
接合して複ブロック体を形成する工程と、前記複ブロッ
ク体の前記記録媒体に対向する面側から前記磁性基体ブ
ロックに到達するまでの一定深さ寸法にｖ４を形成して
■溝ブロック体を形成する工程と、この■溝ブロック体
の前記Ｖ溝に高飽和磁束密度を有する磁性膜体を物理蒸
着して蒸着ブロフク化を形成する工程と、この堆積ブロ
ック体の磁性膜体が形成された面側に前記磁性膜体を露
出させ鏡面状に切削・研磨して鏡面ブロック体を形成す
る工程と、この鏡面ブロック体を２つの半コア体ブロッ
クに切断すると共に少な（とも−方側の半コアブロック
体にコイルｅ Ｎｔ％用溝を形成したのちこれらの半コ
ア体ブロックをギャップスペーサを介して接合・一体化
しコア体ブロックを形成する工程と、このコア体ブロッ
クを夫々前記磁性膜体を１個ずつ含むように一定厚に切
り出して複数個の磁気ヘッドコアを形成する工程とを有
するものである。In addition, the method for manufacturing a composite magnetic head according to the second invention includes bonding a non-magnetic reinforcing block to the end surface side facing the recording medium of the magnetic base block having high magnetic permeability and good soft magnetic properties. a step of forming a double block body; and a step of forming a groove block body by forming v4 at a constant depth from the side of the double block body facing the recording medium until reaching the magnetic base block; and this (2) step of physically depositing a magnetic film having a high saturation magnetic flux density in the V-groove of the groove block body to form a vapor deposition block, and a step of forming a vapor deposition block on the side of the deposited block body on which the magnetic film is formed. A process of exposing the magnetic film body and cutting and polishing it into a mirror finish to form a mirror block body, and cutting the mirror block body into two half-core blocks and a small half-core block body on the − side. After forming a groove for the coil e Nt%, these half core body blocks are joined and integrated via a gap spacer to form a core body block, and each of these core body blocks is coated with one magnetic film body. The method includes the step of cutting out a plurality of magnetic head cores with a constant thickness so as to include the magnetic head cores.
この第１の発明の複合型磁気ヘンドは、補強体の記録媒
体に接触摺動する先端面側から磁性基体含む部分に形成
したＶ溝に磁性膜体を物理蒸着させて形成したものであ
り、磁性基体と磁性膜体との間に隙間が形成される虞れ
がないため、記録再生特性の劣化が存効に防止されてい
るものである。The composite magnetic hend of the first invention is formed by physical vapor deposition of a magnetic film in a V-groove formed in a portion containing a magnetic base from the front end side of the reinforcing body that slides in contact with the recording medium, Since there is no risk of a gap being formed between the magnetic base and the magnetic film, deterioration of recording and reproducing characteristics is effectively prevented.
また、この第１の発明の複合型６ｆｉ気ヘツドは、先端
面側の記録媒体に接触摺動する部分が高硬度の補強体で
形成されており、耐摩耗性の向上が図られているもので
ある。In addition, in the composite type 6fi air head of the first invention, the part on the front end side that comes into contact with and slides on the recording medium is formed of a high-hardness reinforcing body, and the abrasion resistance is improved. It is.
また、この第２の発明の複合型磁気ヘッドの製造方法は
、磁性膜体を縦断面略Ｖ字形のＶ溝にスパッタリングな
どで物理蒸着させて形成しているため、基体上全面に亙
ってその磁性膜体を物理蒸着させるよりも成膜時間が大
幅に短縮化され、これによって製造時間も大幅に短縮化
させることができるものである。また、この第２の発明
の複合型磁気ヘンドは、半コアブロック体同士を各磁性
膜体の重なり部分が一部ずれた状態で接合・一体化させ
ると、狭トラツク幅を有する複合型磁気ヘッドを多数個
容易に製造することができるものである。In addition, in the method for manufacturing a composite magnetic head according to the second invention, since the magnetic film is formed by physical vapor deposition by sputtering or the like in a V-groove having a substantially V-shaped longitudinal section, the magnetic film is formed over the entire surface of the substrate. The time required to form the magnetic film is significantly shorter than that required by physical vapor deposition, and therefore the manufacturing time can also be significantly shortened. Further, in the composite magnetic head of the second invention, when the half-core block bodies are joined and integrated with each other with the overlapping portions of the respective magnetic films partially shifted, a composite magnetic head having a narrow track width can be formed. can be easily manufactured in large numbers.
以下、この発明の一実施例について添付図面を参照しな
がら説明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
第１図はこの発明に係る複合型（ｄ気ヘッドを示すもの
であり、この複合型磁気ヘッドは、コア１が、磁性基体
２と、補強体３と、磁性膜体４とから構成されている。FIG. 1 shows a composite magnetic head according to the present invention, in which a core 1 is composed of a magnetic base 2, a reinforcing body 3, and a magnetic film 4. There is.
なお、図中符号５はコイル巻線用窓である。In addition, the code|symbol 5 in the figure is a window for coil winding.
磁性基体２は高透磁率、軟磁気特性の良好なもの、例え
ばフェライト等で形成されている。また、この磁性基体
２の記ｉ、Ａ媒体と対向する面側である先端面側には長
手方向に沿って縦断面略Ｖ字形を有し、次に説明する補
強体３例のものと一体的に形成されたステップ溝が設け
られている。そして、この磁性基体２は、作動ギヤノブ
６となる二酸化珪素（ＳｉＯ□）等のギャップスペーサ
を介してもｎ性基体ブロックを２個接着・接合して形成
した構成となっているが、−方側のプロ・７りには先の
コイル巻線用窓を形成するだめの溝を形成したものが使
用されている。The magnetic base 2 is made of a material with high magnetic permeability and good soft magnetic properties, such as ferrite. In addition, the distal end side of the magnetic base 2, which is the side facing the medium A, has a substantially V-shaped longitudinal section along the longitudinal direction, and is integrated with the three examples of reinforcing bodies described below. A stepped groove is provided. The magnetic base 2 is formed by adhering and joining two n-type base blocks through a gap spacer such as silicon dioxide (SiO□), which becomes the operating gear knob 6. The pro-7 on the side has a groove formed therein to form the window for the coil winding.
補強体３は、非磁性、高硬度の例えば結晶化ガラス、セ
ラミック等を磁性基体２の記録媒体（１略）に対向する
先端面側に設けたものであり、磁性基体４を両側から挾
持するようにして、そのｗ長形状の磁性膜体４の機械的
強度の増大を図ると共に、記録媒体に接触１ｇ動する先
端面側の記ｉ、Ａ媒体に対する耐摩耗性の向上が図られ
ており、長間に亙って常時安定した媒体摺動動作を行う
ことができるようになっている。また、この補強体３の
記録媒体に対向する先端面側から磁性基体２の一部に到
達する部位には、中央部において長手方向に沿って第２
図に示すような段部７ａを設けた１１断面略■字形を有
し、基端面倒に向けて先♀Ｊりのステップ■溝７が形成
されているが、その形状については、必ずしもそのよう
な段部を設ける必要はない。そして、この補強体３は、
先の磁性基体２と同様に、磁性基体ブロックの先端面側
に接着・接合された補強体ブロックを接着・接合して形
成した構成となっており、良好な媒体摺動特性を発揮で
きるよう、先端面側がカーブ状にＲ加工されている。The reinforcing body 3 is a non-magnetic, highly hard material such as crystallized glass or ceramic provided on the front end side of the magnetic base 2 facing the recording medium (1 omitted), and holds the magnetic base 4 from both sides. In this way, the mechanical strength of the w-shaped magnetic film body 4 is increased, and the abrasion resistance against the medium on the front end side that moves 1g in contact with the recording medium is improved. , it is possible to perform stable medium sliding operation at all times over a long period of time. In addition, in a portion of the reinforcing body 3 that reaches a part of the magnetic base 2 from the front end side facing the recording medium, a second
As shown in the figure, the cross section has a roughly ■-shaped cross section with a stepped portion 7a, and a step ■ groove 7 is formed toward the proximal end. There is no need to provide a stepped portion. This reinforcing body 3 is
Similar to the magnetic base 2 described above, it has a structure in which a reinforcing block is adhered and joined to the tip side of the magnetic base block, and in order to exhibit good media sliding characteristics, The tip side is rounded into a curve.
磁性膜体４は、飽和磁束密度の高いもの、例えばＦｅ−
Ａｌ−３ｉ（センダスト）合金、Ｎ１−Ｆｅ（パーマロ
イ）合金等の結晶質合金若しくは非晶質合金によって先
に説明したように補強体３及び磁性基体２に形成された
■溝に対してスパッタリング等によって物理蒸着された
ものである。The magnetic film 4 is made of a material having a high saturation magnetic flux density, for example, Fe-
Sputtering, etc., is applied to the grooves formed in the reinforcing body 3 and the magnetic base 2 using crystalline alloys or amorphous alloys such as Al-3i (sendust) alloy and N1-Fe (permalloy) alloy, as described above. It was physically vapor deposited by.
また、この磁性膜体４は従来より公知のように渦電流損
失を低減するため中間層として二酸化硅素（ＳｉＯｚ）
等の絶縁層を介在させることにより磁気ヘッドとしての
特性を大幅に向上させることが可能となっている。そし
て、この磁性膜体４は、互いにギャップ突き合わせ面に
二酸化珪素（Ｓｉ０２）等のギャップスペーサを介して
接着・接合して形成されている。In addition, this magnetic film body 4 is made of silicon dioxide (SiOz) as an intermediate layer in order to reduce eddy current loss, as is conventionally known.
By interposing an insulating layer such as, it is possible to significantly improve the characteristics of a magnetic head. The magnetic film bodies 4 are bonded and bonded to each other on gap abutting surfaces via gap spacers such as silicon dioxide (Si02).
したがって、この実施例に係る複合型磁気ヘッドによれ
ば、記録媒体に接触摺動する部位に非磁性高硬度の補強
体３を設けており、媒体摺動特性が良好であり、磁性媒
体を狭トラツク幅に形成しても有効にその機械的強度を
保持することができるものである。Therefore, according to the composite magnetic head according to this embodiment, the non-magnetic high-hardness reinforcing body 3 is provided at the portion that contacts and slides on the recording medium, and the medium sliding characteristics are good and the magnetic medium can be narrowed. Even if it is formed to have a track width, its mechanical strength can be effectively maintained.
また、この実施例に係る複合型磁気ヘッドによれば、長
期間にわたってこの磁気ヘッドを使用しても、先端側の
記録媒体摺動面が第２図に示すように深さｈまで摩耗す
るまで、トラック幅が一定に保持されているため、常に
一定かつ安定した記録再生を行うことができる。Further, according to the composite magnetic head according to this embodiment, even if this magnetic head is used for a long period of time, the recording medium sliding surface on the leading end side will wear out to a depth h as shown in FIG. Since the track width is kept constant, constant and stable recording and reproduction can be performed at all times.
次に、この発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法につ
いて第３図乃至第９図を参照しながら説明する。Next, a method for manufacturing a composite magnetic head according to the present invention will be explained with reference to FIGS. 3 to 9.
（１）高透磁率、軟磁気特性の良好な例えばフェライト
等で形成された磁性基体２となる一定寸法の磁性基体ブ
ロック８の一方の面上に、高硬度、高強度、非磁性の例
えば結晶化ガラス或いはセラミック等からなり補強体３
となる磁性基体ブロック８と同寸法の補強体ブロック９
をガラスボンディング等によって接着・接合して複ブロ
ック体１０を形成する（第３図参照）。(1) On one side of the magnetic base block 8 of a certain size, which is the magnetic base 2 made of a material such as ferrite with high magnetic permeability and good soft magnetic properties, a crystal of high hardness, high strength, non-magnetic material, etc. Reinforcement body 3 made of fused glass or ceramics, etc.
A reinforcement block 9 having the same dimensions as the magnetic base block 8
are bonded and joined by glass bonding or the like to form a multi-block body 10 (see FIG. 3).
（２）この複ブロック体ＩＯの記録媒体に対向する面倒
、すなわち補強体ブロック９の面側から磁性基体ブロッ
ク７に到達するまでの所定深さ寸法にステップ■溝を複
数個形成し、■溝ブロック体１２を形成する（第４図参
照）。(2) A plurality of step grooves are formed at a predetermined depth dimension from the side of the multi-block body IO facing the recording medium, that is, from the surface side of the reinforcement block 9 to the magnetic base block 7; A block body 12 is formed (see FIG. 4).
（３）この■溝フ゛ロック体１２のステップＶン簿１１
を有する面側に高飽和磁束密度を有する例えばＦｅ−Ａ
ｌ−３ｉ （センダスト）合金或いはＮｉ−Ｆｅ （
パーマロイ）合金等の結晶質合金若しくは非晶質合金の
磁性膜体１３をスパッタリング等によって物理蒸着して
蒸着ブロンク体１４を形成する（第５図参照）。(3) Step V-type register 11 of this ■groove block body 12
For example, Fe-A has a high saturation magnetic flux density on the side with
l-3i (Sendust) alloy or Ni-Fe (
A magnetic film body 13 made of a crystalline alloy such as a permalloy alloy or an amorphous alloy is physically deposited by sputtering or the like to form a vapor deposited bronch body 14 (see FIG. 5).
この場合、磁性膜体は二酸化硅素（Ｓ１０□）等の絶縁
層を中間層として介在させ多層に積層させることも可能
である。In this case, the magnetic film may be laminated in multiple layers with an insulating layer such as silicon dioxide (S10□) interposed as an intermediate layer.
（４）蒸着ブロック体１４の磁性膜体１３が形成された
面倒を研にしてその磁性膜体１３の幅寸法ＴＷがトラン
ク幅となるまで補強体ブロック９を露出させると共に、
鏡面上に研磨・加工して鏡面ブロック体１５を形成する
（第６図参照）。(4) Polishing the surface of the vapor deposition block body 14 where the magnetic film body 13 is formed and exposing the reinforcing body block 9 until the width dimension TW of the magnetic film body 13 becomes the trunk width,
A mirror block body 15 is formed by polishing and processing the mirror surface (see FIG. 6).
（５）次に、この鏡面ブロック体１５を２つの半コア体
ブロック１６に切断すると共に、少なくとも一方の半コ
ア体ブロック１６にコイル巻線用；背１７を形成させた
後、これらの半コア体ブロック１６を作動ギャップ（凹
路）となる接着材、例えば二酸化珪素（Ｓｉｎｇ）等の
ギャップスペーサ（凹路）を用いて接着・接合しコア体
ブロック１８を形成する（第７図参照）。(5) Next, this mirror block body 15 is cut into two half-core body blocks 16, and at least one half-core body block 16 is formed with a spine 17 for coil winding, and then these half-core bodies The core body block 18 is formed by bonding and bonding the body block 16 using an adhesive material, such as a gap spacer (concave passage) such as silicon dioxide (Sing), which becomes an operating gap (concave passage) (see FIG. 7).
（６）このようにして得られたコア体ブロック１８を磁
性膜体１３を１個づつ含むようにして、即ち第８回に示
すラインαに沿って切り出していくとコア体１９が得ら
れる（第９図参照）。(6) The core body block 18 obtained in this manner is cut out so as to include one magnetic film body 13 at a time, that is, along the line α shown in the 8th section, the core body 19 is obtained (9th section). (see figure).
（７）最後に、このコア体１９の磁性膜体が含まれてい
る先端面側をＲ加工（第９図の実線Ａ方向に加工する）
した後、コイル巻線用７Ｆ５１７に銅線を巻装すると、
この実施例に係る複合型磁気ヘッドが出来上がる。(7) Finally, the tip side of the core body 19 that includes the magnetic film is rounded (processed in the direction of the solid line A in Fig. 9).
After that, when the copper wire is wound on the 7F517 for coil winding,
A composite magnetic head according to this example is completed.
以上説明してきたように、この実施例に係る複合型磁気
ヘッドの製造方法によれば、第３工程において磁性基体
ブロック８の一面全体に亙ってではなくステップ■溝１
１のみに磁性膜体を物理蒸着させるだけですむので、成
膜時間の大幅な短縮化を図ることができる。As explained above, according to the method for manufacturing a composite magnetic head according to this embodiment, in the third step, instead of covering the entire surface of the magnetic base block 8,
Since it is sufficient to physically deposit the magnetic film only on the first layer, the film forming time can be significantly shortened.
また、この実施例に係る複合型磁気へ・７ドの製造方法
によれば、第５工程において、半コアブロック体１６同
士の接合・一体化に際し、これら双方の半コアブロック
体１６の磁性ブロック１３同士の重なり部分を少なくす
るようにずらして接合・一体化させると、多数個の狭ト
ランク幅のコア体１９が得られる。Further, according to the method for manufacturing a composite magnetic hexagonal wire according to this embodiment, in the fifth step, when joining and integrating the half-core block bodies 16, the magnetic blocks of both half-core block bodies 16 are By shifting and joining/integrating the core bodies 13 so as to reduce the overlapping portion thereof, a large number of core bodies 19 having a narrow trunk width can be obtained.
以上説明してきたように、この発明に係る複合型磁気ヘ
ッドによれば、磁性基体と磁性膜体との間にギャップが
形成されていないため、記録再生特性が良好で高品質の
複合型磁気へ・ンドを提供することができる。As explained above, according to the composite magnetic head according to the present invention, since no gap is formed between the magnetic base and the magnetic film, a composite magnetic head with good recording and reproducing characteristics and high quality can be obtained.・Able to provide
また、この発明に係る複合型磁気ヘッドによれば、高硬
度非磁性の補強体を記録媒体に接触摺動する先端面側に
設けているため、耐摩耗性に優れ、長期間にわたって高
信頼性を発揮することができる。Furthermore, according to the composite magnetic head according to the present invention, since the high-hardness non-magnetic reinforcing body is provided on the tip side that slides in contact with the recording medium, it has excellent wear resistance and high reliability over a long period of time. can demonstrate.
また、この発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法によ
れば、磁性膜体をＶ字溝に形成するようになっているた
め、例えば基体全体にわたって形成するよりも製造時間
が大幅に短縮化でき、極めて実用的である。また、この
発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法によれば、半コ
アブロック体同士を磁性膜体の重なり部分をずらして接
合・一体化することによって簡単に狭トラツク幅のコア
が多数個製造することができる。Further, according to the method for manufacturing a composite magnetic head according to the present invention, since the magnetic film is formed in a V-shaped groove, the manufacturing time can be significantly reduced compared to, for example, forming it over the entire base. , extremely practical. Further, according to the method for manufacturing a composite magnetic head according to the present invention, a large number of cores with a narrow track width can be easily manufactured by joining and integrating half core blocks with the overlapping portions of the magnetic films shifted. can do.
第１図はこの発明に係る複合型Ｃ〃気へメトの構成を示
す概略斜視図、第２図はこの発明に係る複合型磁気ヘッ
ドのステップＶＶ３を示す拡大断面図、第３図乃至第９
図はこの発明に係る複合型磁気ヘッドの製造方法を示す
工程図、第１０図及び第１１図は従来型の複合型磁気ヘ
ッドを示す概略斜視図及び要部拡大図、第１２図は他の
複合型磁気ヘッドを示す概略斜視図、第１３図は第１２
図に示す複合型磁気ヘッドの製造方法を示す説明図。
２・・・磁性基体、 ４・・・磁性膜体、６・・
・ギャップ、 ３・・・補強体、７・・・ステッ
プ■溝、 ８・・・磁性基体ブロック、９・・・、補強
ブロック、１０・・・複ブロック体、１１・・・■溝、
１２・・・■溝ブロック体、１３・・・磁
性膜体、１４・・・蒸着ブロック体、 １５・・・鏡面
ブロック体、工６・・・半コア体ブロック、 １８・・
・コア体ブロック、１９・・・コア体。FIG. 1 is a schematic perspective view showing the structure of a composite magnetic head according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged sectional view showing step VV3 of the composite magnetic head according to the present invention, and FIGS.
10 and 11 are schematic perspective views and enlarged views of main parts of a conventional composite magnetic head, and FIG. 12 is a process diagram showing a method for manufacturing a composite magnetic head according to the present invention. A schematic perspective view showing a composite magnetic head, FIG.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing the composite magnetic head shown in the figure. 2...Magnetic substrate, 4...Magnetic film, 6...
・Gap, 3... Reinforcement body, 7... Step ■Groove, 8... Magnetic base block, 9..., Reinforcement block, 10... Double block body, 11... ■Groove,
12...■ Groove block body, 13... Magnetic film body, 14... Vapor deposition block body, 15... Mirror block body, Work 6... Half core body block, 18...
- Core body block, 19... Core body.
Claims (1)
束密度を有し、かつ記録媒体に対向する先端面がトラッ
ク幅に対応する厚さを有する磁性膜体とからなる一対の
半コア体同士をギャップ対向面側にギャップスペーサを
介して接着・接合して形成した複合型磁気ヘッドであっ
て、 前記磁性膜体を補強・挟持するようにして前記磁性基体
の先端面側に、非磁性を有し高硬度の補強体が接着・接
合されていると共に、 記録媒体面に対して垂直な深さ方向に沿って前記補強体
の記録媒体に対向する面側から前記磁性基体に到達する
部位に互って縦断面略Ｖ字形のＶ溝が形成され、かつ、 前記磁性膜体が前記Ｖ溝に物理蒸着して形成された ことを特徴とする複合型磁気ヘッド。 ２、高透磁率、軟磁気特性の良好な磁性基体ブロックの
記録媒体に対向する先端面側に非磁性の補強体ブロック
を接合して複ブロック体を形成する工程と、 前記複ブロック体の前記記録媒体に対向する面側から前
記磁性基体ブロックに到達するまでの一定深さ寸法にＶ
溝を形成してＶ溝ブロック体を形成する工程と、 このＶ溝ブロック体の前記Ｖ溝に高飽和磁束密度を有す
る磁性膜体を物理蒸着して蒸着ブロック体を形成する工
程と、 この蒸着ブロック体の磁性膜体が形成された面側に前記
磁性膜体を露出させ鏡面状に切削・研磨して鏡面ブロッ
ク体を形成する工程と、 この鏡面ブロック体を２つの半コア体ブロックに切断す
ると共に少なくとも一方側の半コアブロック体にコイル
巻線用溝を形成したのちこれらの半コア体ブロックをギ
ャップスペーサを介して接合・一体化しコア体ブロック
を形成する工程と、このコア体ブロックを夫々前記磁性
膜体を１個ずつ含むように一定厚に切り出して複数個の
磁気ヘッドコアを形成する工程と を有することを特徴とする複合型磁気ヘッドの製造方法
。[Claims] 1. A magnetic film body having a magnetic substrate with high magnetic permeability and good soft magnetic properties, a high saturation magnetic flux density, and a tip surface facing a recording medium having a thickness corresponding to the track width. A composite magnetic head is formed by adhering and joining a pair of half-core bodies on opposite sides of the gap with a gap spacer interposed therebetween, wherein the magnetic base is reinforced and sandwiched between the magnetic film bodies. A non-magnetic and highly hard reinforcing body is adhered and joined to the tip side of the reinforcing body, and the side of the reinforcing body facing the recording medium along the depth direction perpendicular to the recording medium surface. A composite magnet, characterized in that V-grooves each having a substantially V-shaped vertical section are formed mutually at a portion reaching the magnetic substrate, and the magnetic film is formed by physical vapor deposition on the V-groove. head. 2. forming a multi-block body by joining a non-magnetic reinforcing block to the front end side facing the recording medium of a magnetic base block with high magnetic permeability and good soft magnetic properties; V at a constant depth from the side facing the recording medium to the magnetic base block.
a step of forming a V-groove block body by forming a groove; a step of physically depositing a magnetic film having a high saturation magnetic flux density on the V-groove of the V-groove block body to form a vapor deposition block body; A process of exposing the magnetic film on the side of the block on which the magnetic film is formed and cutting and polishing it into a mirror-like finish to form a mirror-finished block; and cutting the mirror-finished block into two half-core blocks. At the same time, a groove for coil winding is formed in at least one half-core block body, and then these half-core body blocks are joined and integrated via a gap spacer to form a core body block, and this core body block is A method for manufacturing a composite magnetic head, comprising the step of forming a plurality of magnetic head cores by cutting them to a constant thickness so that each core includes one of the magnetic film bodies.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14419486A JPS63806A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Composite type magnetic head and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14419486A JPS63806A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Composite type magnetic head and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63806A true JPS63806A (en) | 1988-01-05 |
Family
ID=15356396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14419486A Pending JPS63806A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Composite type magnetic head and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63806A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0235609A (en) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head and its manufacture |
| US8547665B2 (en) * | 2008-01-03 | 2013-10-01 | International Business Machines Corporation | Magnetic head having a material formed in one or more recesses extending into the media support surface of at least one of the substrate and the closure |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14419486A patent/JPS63806A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0235609A (en) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic head and its manufacture |
| US8547665B2 (en) * | 2008-01-03 | 2013-10-01 | International Business Machines Corporation | Magnetic head having a material formed in one or more recesses extending into the media support surface of at least one of the substrate and the closure |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63806A (en) | Composite type magnetic head and its manufacture | |
| JPH0475563B2 (en) | ||
| JPH0833977B2 (en) | Magnetic head for perpendicular magnetization and method of manufacturing the same | |
| JPS60231903A (en) | Composite type magnetic head and its production | |
| KR0155468B1 (en) | Magnetic head and method of fabrication thereof | |
| JP2542971B2 (en) | Flying magnetic head | |
| JP2000268311A (en) | Magnetic head | |
| JPH0548244Y2 (en) | ||
| JP2545304B2 (en) | Flying magnetic head | |
| KR940004485B1 (en) | Magnetic head and manufacturing method thereof | |
| JP2947658B2 (en) | Magnetic head | |
| JP3103702B2 (en) | Magnetic head | |
| JPS62281110A (en) | Composite type magnetic head and its manufacture | |
| JPS62183012A (en) | Magnetic head and its manufacture | |
| JPS59203210A (en) | Magnetic core and its production | |
| JPH0386905A (en) | Magnetic head and production of magnetic head | |
| JPS63104208A (en) | Composite magnetic head and its manufacture | |
| JPS6374104A (en) | Composite type magnetic head and its production | |
| JPS62298909A (en) | Production of composite magnetic head | |
| JPH08180308A (en) | Core thin-film magnetic head | |
| JPS63225904A (en) | Composite type magnetic head and its production | |
| JPS63306505A (en) | Production of composite type magnetic head core | |
| JPS637503A (en) | Manufacture of composite magnetic head | |
| JPS61294615A (en) | Magnetic head | |
| JPH01122005A (en) | Magnetic head |