JPS63306505A - 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、複合型磁気ヘッド用コアの製造法に係り、特
にＶＴＲ等の高周波信号の記録再生に適した磁気ヘッド
、なかでも、高保磁力媒体に対して好適な複合型磁気ヘ
ッドを与える複合型磁気ヘッド用コアを有利に製造し得
る方法に関するものである。

（背景技術） 高密−磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の保
磁カニＨｃを大きくすれば有利であることが知られてい
るが、高保磁力の磁気記録媒体に情報を記録するために
は、磁気ヘッドからの漏れ磁界を強くする必要がある。

ところが、現在、磁気ヘッドを構成するコアに用いられ
ているフェライト材は、その飽和磁束密度：Ｂ、が４０
００〜５０００ガウスであるため、得られる記録磁界の
強さに限度があり、磁気記録媒体の保磁力が１０００エ
ルステツドを越える場合には、記録が不充分になるとい
う欠点がある。

一方、金属磁性材料で総称されるＦｅ−／１ｔ−３ｉ合
金（センダスト）、Ｎ１−Ｆａ金合金パーマロイ）等の
結晶質合金、或いは非晶質合金を用いた磁気ヘッドは、
一般に、フェライト材より飽和磁束密度が高く、また摺
動ノイズが低いという優れた特性を有している。しかし
ながら、−ａに使用されるトラック幅（１０μｍ以上）
の厚みでは、渦電流損失により、ビデオ周波数領域での
実効透磁率がフェライトより低下し、再生効率が低下す
るという欠点を有する。また、耐摩耗性に関しては、フ
ェライトよりも数段劣うているのである。

そこで、上記のような問題を解決するために、フェライ
トと金属磁性材を組み合わせて、両者の良い点を利用し
た複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。

例えば、第１図に、そのような複合型磁気ヘッド用コア
の一つの斜視図が示されているように、コア部１，１′
が高透磁率のフェライトからなり、また記録作用の主要
部となる磁気ギャップ５の近傍部がスパッタリング等の
物理蒸着によって形成された金属磁性材２．２′からな
る構造の複合型磁気ヘッド用コアが提案されている。こ
の磁気ヘッド用コアにおいては、高密度記録のため、ト
ラック幅を狭くし、磁気ギャップ５の近傍にトラック幅
絞り用の切欠溝７，７を両側に設けて、そこに補強用の
非磁性材３が充填されている。なお、６はコイル＠線用
の窓（孔）である、第２図には、かかる従来の磁気ヘッ
ド用コアの記録媒体対向面の平面図が示されているが、
そこにおいて、フェライトコア部１，１′と金属磁性材
２，２′の結合境界部４，４′が擬似ギャップとして作
用して、記録再生特性を損なう欠点があることが認めら
れている。特に、結合境界部４．４′と磁気ギャップ５
が平行になると、その境界部で相当量の信号を拾うこと
になり、再生出力の周波数特性にうねりが生ずる、所謂
コンタ効果が激しくなるという問題を内在しているので
ある。

また、他の複合型磁気ヘッド用コアとして、第３図に示
される如き構造も知られている。この第３図に示される
磁気ヘッド用コアは、非磁性基板１１の上に高飽和磁束
密度を有する金属磁性材１２をスパッタリング或いは真
空蒸着等の物理蒸着によりトラック幅に等しい膜厚に形
成せしめ、その上に非磁性材１１′をガラス薄膜で接着
した後、三等分してギャップ突合せ面をラップし、更に
その後コイル巻線用窓１３を形成し、そしてギャップ突
合せ面に所定の非磁性膜を適用して、それを介して接合
することにより、製造されることとなるが、このような
磁気ヘッド用コアにあっては、次のような問題が内在し
ているのである。即ち、トラック幅が２０μｍ以上と大
きい場合において、金属磁性材１２は単層膜では渦電流
損失により高周波特性が悪いところから、非磁性材を介
して多層構造とする必要があり、また上記第１図に示さ
れる磁気ヘッド用コアに比べて、コア１個当たりの金属
磁性材１２形成面積が大きくなり、非生産的であるので
あり、更にはトラック幅は金属磁性材１２の膜厚で決定
されるために、バッチ内での膜厚精度が厳しく要求され
、且つ磁気ヘッド用コアの組立てが非常に煩雑となる問
題を内在しているのである。

さらに、特開昭５８−１５５５１３号公報には、第４図
（ａ）及び（ｂ）に示される如き構造の複合型磁気ヘッ
ド用コアも提案されている。この磁気ヘッド用コアは、
磁気記録媒体対向面における断面形状が突出している突
起部を有する二個の高透磁率フェライトブロック２１．
２１’の該突出部の少なくとも両側面に、フェライトよ
り飽和磁束密度の高い磁性体２２．２２’が被着され、
該突出部の先端において、磁気ギャップ２３を介して、
該磁性体２２．２２’が相対峙し、且つ該突出部の先端
におけるフェライトの幅がトラック幅より小なるように
構成されている。なお、２５．２６は、それぞれ、非磁
性埋設材、コイル巻線用窓を示す。

このような構造の場合において、フェライト２１．２１
’　と金属磁性材２２．２２’の境界結合部２４．２４
’が磁気ギャップ２３に対して大きく傾斜しているため
、第１図に示される如き磁気ヘッド用コアにおけるよう
な再生出力のコンタ効果がない利点があるものの、フェ
ライトブロックの突起部の強度が弱く、所望の形状が得
難い上に、磁気ギャップ２３の形成面の研磨量によりト
ラ・ツク幅が変動し易いため、トラック幅の精度を得る
ことも難しく、従って歩留りが低く、量産性に乏しいと
いう問題を内在している。

そしてまた、特開昭６１−２６５７１４号公報や特開昭
６１−２７３７０６号公報等には、フェライトと金属磁
性材とを組み合わせてなる複合型磁気ヘッド用コアとし
て、フェライトと磁性材との接合部に凹凸部を設けて、
左右のコア部上の凹凸部の位置を非対称の位置に配した
り、前記磁性材中に磁気ギャップ部に向って延びる少な
くとも一本の微小間隙を形成せしめた構造のものが明ら
かにされ、そこでは、そのような磁気ヘッド用コアが、
次のように製造されている。

すなわち、所定のフェライトブロックに、縞状にスリッ
トを入れてなるレジスト膜を付与して、エツチングせし
めることにより、波形の凹凸面を形成したフェライトブ
ロックと為し、次いでそのような波形の凹凸面に金属磁
性材からなる磁性層を形成し、そして°その表面を研磨
して平坦な面とした後、トラック幅を規定する溝を互い
に平行に複数条形成し、次いでコイル巻線用の溝を形成
した後、二つのフェライトブロックを組み合わせて接合
せしめることにより、一体的な組合せ体と為し、更にそ
の後、このフェライトブロック組合せ体を所定の位置に
て切断して、目的とする複合型磁気ヘッド用コアを順次
切り出すようにした製造手法が、明らかにされているの
である。

しかしながら、このような複合型磁気ヘッド用コアの製
造・方式にあっては、金属磁性材からなる磁性層の形成
の後にトラック幅規定溝に非磁性材（ガラス）を流し込
むこととなるために、次のような問題を内在しているの
である。即ち、金属磁性材がアモルファス合金或いはパ
ーマロイ合金の場合において、そのような磁性材が５０
０℃以上に熱せられると、その磁気特性が劣化し、特に
アモルファス合金の場合、結晶化するために、大幅に劣
化するようになるところから、５００℃以下でトラック
幅規定溝にガラスを流し込まねばならず、それ故低融点
ガラスを使用しなければならない、而して、低融点ガラ
スの場合、−磁気記録媒体の摺動時の耐摩耗性に難点が
あるのみならず、強度が弱く、研削、切断等に欠けを生
じるという難点を有しているのである。

また、金属磁性材がセンダストの場合にあっては、上記
した如き高融点ガラスの流し込みにより、その磁気特性
が劣化するという問題はないが、５００℃以上、例えば
７００〜８００℃以上に熱すると、フェライトとの熱膨
張係数差が大きいため（センダスト：１５０ｘｌＯ−’
、フェライト：１１０〜１２０Ｘ１０−’）、ガラス融
着時にセンダストの内部応力が大きくなり、またセンダ
ストの材質自体が粘りがなく、脆く且つフェライトの波
形表面に付着しているため、このガラス融着時或いは後
の研削、切断加工時にクランクが入ったり、或いは剥離
し易い等という問題を惹起する。

何れにしても、このような、金属磁性材からなる磁性膜
を形成した後に、トラック幅規定溝に非磁性材（ガラス
）を流し込む方式に従う複合型磁気ヘッド用コアの°製
造手法には、実用上において幾つかの難点があり、工業
的に有利に採用し得るものではなかったのである。

（発明の目的） ここにおいて、本発明は、かかる事情に鑑みて為された
ものであって、その目的とするところは、上記従来の複
合型磁気ヘッド用コア及びその製造手法における問題を
解決し、高保磁力記録媒体にも優れた記録再生特性を示
す磁気ヘッド用コアを提供し、且つその容易な製造方法
を提供するものであり、特にトラック幅精度の向上を容
易にし、且つリソグラフィー技術とエツチング技術によ
って、フェライトと金属磁性材との結合境界面を磁気ギ
ャップに対して斜めとなるようにすることにより、再生
出力におけるコンタ効果のない複合型磁気ヘッド用コア
を有利に製造することにある。

（発明の構成） そして、本発明は、かかる目的を達成するために、第一
及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、環状の
磁路を構成する一方、それらフェライトブロックの突合
せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してなる組合せ体
を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において、（ａ）前
記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のものの
他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なくと
も磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互い
に平゛行な少なくとも２つの溝を、前記突合せ面に平行
な方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向におい
て形成する第一工程と、（ｂ）該トラック幅規定溝の形
成されたフェライトブロックの突合せ面に所定の非磁性
材を適用して、該トラック幅規定溝内に該非磁性材を埋
設する第二工程と、（ｃ）ｉｆフェライトブロックの突
合せ面に適用された非磁性材の不要部分を除去して、前
記トラック幅規定溝に挟まれたトラック部を露呈せしめ
る第三工程と、（ｄ）前記トラック部の一部が、所定幅
で前記トラック幅規定溝の形成方向に延びる少なくとも
１つの露出部として露呈せしめられるように、所定のレ
ジスト膜を前記フェライトブロックの突合せ面に形成し
た後、かかる露出部を介して、該トラック部をエツチン
グせしめ、凹凸面を形成する第四工程と、＜ｅ）該フェ
ライトブロックのエツチングされた突合せ面に所定の金
属磁性材を被着させる第五工程と、（ｆ）該金属磁性材
の被着されたフェライトブロックの突合せ面の所定厚さ
部分を除去し、前記トラック部の凹凸面上に形成された
該金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつつ、前記トラ
ック幅規定溝に埋設されている非磁性材を露呈せしめる
第六工程と、（ｇ）該第六工程に先立って或いは該第六
工程の後に、前記第一及び第二のフェライトブロックの
少なくとも一方の突合せ面に、コイル巻線用の溝を形成
する第七工程と、（ｈ）前記第一工程乃至第七工程の終
了した第一及び第二のフェライトブロックの少なくとも
一方のものの突合せ面の少なくとも磁気ギャップ形成部
位に、所定厚さの非磁性層を形成する第八工程と、（ｉ
）該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトブロ
ックの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ、互
いに接合して、一体化する第九工程と、（ｊ）かかる接
合一体化された第一及び第二のフェライトブロック組合
せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも１個の複合型
磁気ヘッド用コアを得る第十工程とを含むことを特徴と
する複合型磁気ヘッド用コアの製造法を、その要旨とす
るものである。

なお、かかる本発明手法における一実施形態によれば、
前記第四工程において、前記露出部が、複数において、
前記トラック部上に所定間隔を隔てて形成され、それら
複数の露出部を介して該トラック部がエツチングされる
ことにより、該トラック部の幅方向において波形の一部
を構成する湾曲乃至は屈曲面が形成され、以て磁気ギャ
ップに対して傾斜した面が形成せしめられる。

また、本発明手法にあっては、前記第五工程に先立って
、前記フェライトブロックの突合せ面の少なくとも露呈
されたトラック部の表面上に、該トラック部を構成する
フェライトとその上に被着される前記金属磁性材とを密
着させるガラス層を形成する操作が、必要に応じて実施
されることとなる。

（発明の具体的構成・実施例） ところで、かかる本発明において、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアを製造するために用いられる組合せ体を
与える第一及び第二のフェライトブロックには、従来か
らの高透磁率のフェライト材が用いられ、一般に、複数
の磁気ヘッド用コアが製造され得るように、所定厚さの
長手板状のブロックとして用いられて、それらの突合せ
によって、環状の磁路が構成せしめられるのである。な
お、この高透磁率のフェライトブロックとしては、Ｍｎ
−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の単結晶体
若しくは多結晶体或いはそれらの複合体が用いられ、特
に単結晶体を用いる場合にあっては、その（１００）　
、　　（１１０）　、　　（３１１）　。

（３３２）等の結晶面がギャップ対向面（フェライトブ
ロック突合せ面）として有利に選択されることとなる。

そして、本発明にあっては、先ず、第一工程において、
上記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
とも磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する互い
に平行な少なくとも二つの溝が、該突合せ面に平行な方
向で且つ磁気ギャップとは直交する方向において形成さ
れることとなる。

ところで、第５図（ａ）には、所定の高透磁率フェライ
トブロック３１のギャップ対向面（突合せ面）３１ａに
おける磁気ギャップ形成部位にトラック幅を規定する溝
３２の複数が形成された例が示されているが、このトラ
ック幅規定溝は、第５図（ａ）の如く、フェライトブロ
ック３１の稜部（磁気ギャップ形成部位）のみに形成さ
れる他、第５図（ｂ）に示される如く、コア後部（磁気
記録媒体対向面３１ｂとは反対側の部分）まで通して形
成された溝３２′であっても、何等差し支えない、なお
、このトラック幅規定溝３２．３２’の溝形状は適宜に
選択され、例えば、第６図（ａ）や（ｂ）の如き形状に
おいて設けられることとなるが、後工程においてギャッ
プ対向面３１ａの研磨量の大小が生じても、トラック幅
の変動が小さい形状、即ちギャップ対向面３１ａに直角
な直線部を有する第６図＜ａ＞に示される如き溝形状が
、第６図（ｂ）の溝形状よりも、好適に採用される。

そして、このようにして、トラック幅規定溝３２の設け
られたフェライトブロック３１には、第７図に示される
ように、第二工程として、そのトラック幅規定溝３２の
形成されたギャップ対向面３１ａ上に所定の非磁性材３
３が適用され、以てかかるトラック幅規定溝３２内にも
、該非磁性材３３が埋設、充填せしめられることとなる
。なお、この非磁性材３３は、ガラス、セラミック系の
無機接着剤或いは硬質樹脂等が用いられるが、磁気記録
媒体の走行性等の安定性面からは、ガラスが適している
。

次いで、このようにして、非磁性材３３をトラック幅規
定溝３２内に埋設した後、フェライトブロック３１のギ
ャップ形成面３１ａ上の不要な非磁性材３３部分を少な
くとも除去して、該トラック幅規定溝３２．３２にて挟
まれたトラック部が露呈せしめられる（第三工程）、こ
の非磁性材３３の不要部分の除去には、一般に、砥石に
より研削除去せしめる手法が採用され、またそのような
除去操作によって、フェライトブロック３１のギャップ
対向面３１ａの所定厚さ部分が除去せしめられる。そし
て、このような除去操作によって、第８図に示される如
く、トラック幅規定溝３２内にのみ非磁性材３３が埋設
されてなるフェライトブロック３１が得られるのである
。

第四工程では、かかるトラック幅規定溝３２内に所定の
非磁性材３３が埋設されてなるフェライトブロック３１
に対して、そのトラック部が露呈されたギャップ対向面
３１ａに、第９図に示されるように、トラック部の一部
を残して、所定のレジスト膜３４が形成される。即ち、
トラック部の一部が、所定幅でトラック幅規定溝３２の
形成方向に延びる少なくとも一つの露出部（３５）とし
て露呈せしめられるように、レジスト膜３４がフェライ
ト３１のギャップ対向面３１ａ上に形成されるのである
。

なお、かかるレジスト膜３４のパターニングは、紫外光
、Ｘ線、電子線等にて行なわれる。また、レジスト膜３
４のパターンは、第１０図（ａ）に示される如（、トラ
ック部の中央に１〜３μｍ程度の幅の細いスリット３５
を一本人れた形態、また第１０図（ｂ）に示される如く
、そのような細いスリット３５を二本人れた形態、或い
は第１０図（ｃ）に示される如く、中央部にレジスト膜
３４を残して、トラック部の幅方向の両端部に、狭いス
リット状の露出部（３５）が、それぞれ形成された形態
等が、好適に採用されることとなる。

特に、かかるトラック部の幅が、例えば５０．ｕｎ以上
と大きい場合、かかるスリット３５の数を少なくとも２
つ以上として、それを所定の間隔を隔てて縞状に配置す
ることが望ましい、なお、トラック幅が大きく、スリッ
ト数が少ない場合においては、トラック幅全体をエツチ
ングしようとすると、深さ方向のエツチング量が増え、
金属磁性材の所要厚みが厚くなって、非生産的となる。

これを解決するため、スリット幅を大きくすると、工・
７チングされたフェライト表面のギャップに対する傾斜
が小さくなり、コンタ効果の改善効果が小さくなる。

次いで、かかる所定のレジスト膜３４が形成されたフェ
ライトブロック３１には、公知の電解エツチング処理或
いは化学エツチング処理が施される。その結果、レジス
ト膜３４にて被覆されていないトラック部の露出面、換
言すればレジスト膜３４のスリット３５に対応するトラ
ック部部分が、該スリット３５を介してエツチングされ
、そして第１１図に示されるように、トラック部の表面
が凹凸面３６となるのである。なお、このエツチング条
件としては、トラック幅規定溝３２内に埋設された非磁
性材３３に対するフェライトのエツチング比の極めて大
きい条件が選ばれることとなる。

そして、このエツチングｄ後、レジスト膜３４を除去す
ると、第１２図に拡大して示される如き形状にエツチン
グされた凹凸面３６を有するトラック部が露呈する。な
お、この露呈されるトラック部の表面形状に関し、第１
２図（ａ）、（ｂ）。

（ｃ）は、第１０図（ａ）、　　（ｂ）、　　（Ｃ）の
レジスト＠３４の形□成形態にそれぞれ対応するもので
あって、何れの形状においても、磁気ギャップに対して
傾斜した表面形状として、換言すればトラック部の幅方
向において、波形の一部を構成する湾曲乃至は屈曲面と
して形成されているのである。

そして、このエツチング処理の施されたフェライトブロ
ック３１には、第１３図に示されるように、そのギヤツ
ブ対向面３１ａ全面に対して、フェライトより飽和磁束
密度の高い金属磁性材３７がスパッタリング等によって
被着せしめられる（第五工程）。この金属磁性材３７に
は、Ｆｅ−３ｉ（Ｓｉ：６．５重量％）、Ｆｅ−Ａｆｆ
ｉ−３ｉ合金（センダスト）　、Ｎ　ｔ　　Ｆ　ｅ合金
（パーマロイ）等で代表される公知の結晶質合金があり
、一方非晶質合金としても、例えばＦｅ−ｃｏ−３ｔ　
−Ｂ系で代表される周知のメタル−メタロイド系合金や
Ｃｏ−Ｚｒ、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ等の周知のメタル−メタ
ル系合金等が用いられる。また、このような磁性材の被
着には、他に真空蒸着、イオンブレーティング、ＣＶＤ
、メッキ等でも可能であるが、組成変動等が大きいこと
や、被着物質が限定されることから、スパッタリング法
が好適に採用される。

なお、このような金属磁性材３７の被着に先立ち、フェ
ライトブロック３１の少なくともトラック部の凹凸面３
６上に、中間層として、ガラス層を、例えば数十〜１０
０人程度０厚さにおいて被着せしめることにより、かか
る金属磁性材の層の密着性をより高めることが可能であ
る。なお、この中間ガラス層の存在により、擬催ギャッ
プによる再生出力が増え、コンタ効果が心配されるが、
エツチングされたトラック部のフェライト界面が、ギャ
ップに対して充分に傾斜せしめられるようにすれば、そ
れ程問題となるものではない。

次いで、かかる金属磁性材３７の被着されたフェライト
ブロック３１には、そのギャップ対向面３１ａに対して
、通常の切削、研磨操作が施され、かかるフェライトブ
ロック３１に被着した金属磁性材３７の不要部、フェラ
イト部分及び非磁性材３３の一部が除去せしめられる（
第六工程）。即ち、この金属磁性材３７の被着されたフ
ェライトブロック３１のギャップ対向面３１ａの所定厚
さ部分を除去することにより、第１４図に示されるよう
に、トラック部の凹凸面３６上に形成された金属磁性材
３７の被着層を所定厚さで残しつつ、トラック幅規定溝
３２に埋設されている非磁性材３３を露呈せしめて、か
かる残存する金属磁性材層とフェライト部分にて構成さ
れるトラック部の幅が規定されることとなる。

また、かかる第六工程に先立つか、或いはその工程の後
で、二つのフェライトブロック３１，３１′の少なくと
も一方に、そのギャップ対向面３１ａ側において、コイ
ル巻線用の溝３８が形成される。なお、ここでは、一方
のフェライトブロック３１にのみ、上記第一工程乃至第
六工程が適用されているが、また他方のフェライトブロ
ック３１′に対しても、同様に第一工程乃至第六工程が
付与されていても、何等差し支えなく、特に本発明にあ
っては、二つのフェライトブロック３１゜３１′に対し
て、それぞれ上記第一工程乃至第六工程が有利に適用さ
れることとなる。そして、その後、フェライトブロック
３１．３１’の互いに突き合わされるギャップ対向面（
３１ａ）には、表面研摩が施されて最終仕上げが行なわ
れ、第１５図に示されるように、ギヤ・ノブ対向仕上げ
面３９を有するフェライトブロック３１．３１’　とさ
れる。

そして、かかる第七工程で得られたフェライトブロック
３１．３１’の少なくとも一方のギャップ対向仕上げ面
３９（３９’）のギャップ形成部位に、ＳｉＯ２、ガラ
ス等のギャップ形成用非磁性材が所定厚みにスパッタリ
ングにて適用され、所定厚さのギャップ形成層が形成さ
れることとなる（第八工程）、このとき、前記金属磁性
材３７として、Ｆｅ−３ｉＳＦｅ−Ａｌ−３ｉ等の結晶
質合金を用いた場合にあっては、５００℃以上に温度を
上げて、かかる金属磁性材の熱処理が同時に出来るＳｉ
ｎｇ或いは高融点ガラスを、前記ギャップ形成用非磁性
材として用いることが望ましく、またＮｉ−Ｆｅ合金や
非晶質合金を金属磁性材として用いた場合にあっては、
４００℃〜４５０℃で接合、熱処理が可能な低融点ガラ
スを、前記ギャップ形成用非磁性材として用いることが
望ましい。

次いで、かかる第八工程で得られた二つのフ工ライトブ
ロック３１．３１’を、それぞれのギャップ対向仕上げ
面３９．３９’をそれぞれのトラック部が合致するよう
に整列、対向させて、環状の磁路を構成せしめ、そして
加熱、加圧することにより、常法にて接合、一体化せし
めて、第１６図に示される如き、組合せ体としてのフェ
ライトブロック接合体４０を形成せしめる（第九工程）
。

そして、この場合、接合は、トラック幅規定溝３２内に
充填された非磁性材３３がガラスならば、このガラスと
ギャップ形成用の非磁性材としてのガラスの接合により
行なわれることとなる。

また、かかる第九工程で接合されたフェライトブロック
接合体（組合せ体）４０を、トラック幅を中心にして第
１７図において点線で示される所要のコア幅（Ｔ）とな
るように切断せしめることにより、目的とする複合型磁
気ヘッド用コアが順次切り出され、以てその少なくとも
１個が取得されることとなる。なお、このコアの切り出
しに際して、場合により、公知の如く、アジマス角だけ
傾けて切断する方法も採用される。

このようにして得られた、本発明に従う複合型磁気ヘッ
ド用コアの構造が、第１８図に斜視図として示されてい
る。この構造は、第一工程において、フェライトブロッ
ク３１の稜部にのみトラック幅規定溝３２を形成した第
５図（ａ）の場合に対応しており、また第１９図は、か
かる磁気ヘッド用コアの磁気記録媒体対向面からみた要
部の形態が示されている。一方、第２０図に示される磁
気ヘッド用コアの構造は、前記第一工程でフェライトブ
ロック３１の後部までトラック幅規定溝３２′を形成し
た第５図（ｂ）の場合に対応する構造のものである。な
お、これらの図において、４１は、左右のトラック部の
金属磁性材層３７．３７′間に形成される磁気ギャップ
である。

そして、このようにして、本発明に従って得られた複合
型磁気ヘッド用コアには、更に公知の如く、そのコイル
巻線用の溝３８によって形成され孔４２を利用して、コ
イルが巻装され、以て目的とする複合型磁気ヘッドとさ
れるのである。

以上、本発明に従う磁気ヘッド用コアの製造手法につい
て、ＶＴＲ用磁気ヘッド用コアの製造例に基づいて、詳
細に説明してきたが、本発明が、かかる例示の具体例に
のみ限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て種々なる変更、修正、改良等を加えた形態において実
施され得るものであることが、理解されるべきである。

また、本発明に従う複合型磁気ヘッド用コアの製造手法
は、単に例示のＶＴＲ用ヘッドに止まらず、ＦＤＤ用ヘ
ッド、ＲＤＤ用ヘッド、更にはＤＡＴ用ヘッド等の磁気
ヘッドのためのコアの製造にも、適用可能であることは
、言うまでもないところである。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明に従う複合型磁
気ヘッド用コアの製造手法は、（ａ）得られる複合型磁
気ヘッド用コアにおいて、従来のものに比べ、主磁気回
路がフェライトから構成されており、金属磁性材は磁気
ギャップ近傍のみに存在する構成のため、渦電流損失を
小さく出来る方法となっていること、（ｂ）フェライト
と金属磁性材の結合境界面が磁気ギャップに対して斜め
となっている凹凸構造により、コンタ効果が無視出来、
また密着を良くするために、フェライトと金属磁性材の
中間層としてガラス層を設けても、そのようなコンタ効
果が無視出来る利点を有していること、 （Ｃ）トラック幅規定用の溝に予め埋設された非磁性材
とフェライトのエツチング速度の比を利用して、高精度
のトラック幅からなる磁気ヘッド用コアが量産出来るこ
と、 （ｄ）レジストを用いたリソグラフィー技術とエツチン
グ技術の組合せにより、多数のフェライトブロックを同
時に且つ均一な形状にエツチングすることが出来、ひい
てはヘッド特性の均一な磁気ヘッド用コアが量産出来る
こと、（ｅ）予めトラック幅規定溝内に非磁性材を流し
込んだ後に、金属磁性材からなる磁性膜を形成するもの
であるところから、耐摩耗性、加工時の欠は等の問題の
ない、高融点ガラスの使用が可能であり、特に金属磁性
材としてアモルファス合金やパーマロイ合金を用いた場
合にあっては熱劣化がなく、一方センダストを用いた場
合にあっては、後の加工工程においてクランク、剥離等
の問題がないところから、磁気ヘッド用コアの工業的な
製造が有利に行なわれ得ること、 等の数々の大きな利点を有しているのである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、それぞれ、従来の複合型磁気ヘッ
ド用コアの一例を示す斜視図及び上面図であり、第３図
は、従来の複合型磁気ヘッド用コアの他の例を示す斜視
図であり、第４図＜ａ＞及び（ｂ）は、それぞれ、従来
の複合型磁気ヘッド用コアの更に他の例を示す斜視図及
び上面図である。 第５図乃至第２０図は、本発明の一実施例に係る各工程
の説明図であって、第５図（ａ）及び（ｂ）は、それぞ
れ異なるトラック幅規定溝を設けたフェライトブロック
の斜視図、第６図（ａ）及び（ｂ）は、それぞれトラッ
ク幅規定溝の異なる断面形態を示す断面略図、第７図は
第二工程を終了した状態のフェライトブロックの要部斜
視図、第８図は第三工程を終了した状態を示すフェライ
トブロックの斜視図、第９図は第四工程においてレジス
ト膜の形成された状態を示すフェライトブロックの斜視
図、第１Ｏ図（ａ）、（ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ異
なる形態のレジスト膜を設けてなるフェライトブロック
の要部斜視図、第１１図は第四工程におけるエツチング
後の状態を示すフェライトブロックの斜視図、第１２図
（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ異なるレジスト
膜のスリット形態に基づいて形成されたトラック部の凹
凸面の形態の異なる例を示す要部斜視図、第１３図は第
五工程の実施されたフェライトブロックの要部断面説明
図、第１４図は第六工程の施されたフェライトブロック
の斜視図、第１５図は第七工程の実施されたフェライト
ブロックの斜視図、第１６図は第九工程において二つの
フェライトブロックが一体化されてなる組合せ体の斜視
図、第１７図は策士工程において１個の複合型磁気ヘッ
ド用コアを得るための切断位置を説明する組合せ体の上
面図、第１８図及び第１９図は、それぞれ本発明の工程
に従って得られる複合型磁気ヘッド用コアの一例を示す
斜視図及び上面図、第２０図は本発明に従って得られる
複合型磁気ヘッド用コアの他の一例を示す第１８図に対
応する図である。 ３１．３１’　　：フエライトブロック３１ａ：ギャッ
プ対向面 ３２．３２’　　：）ラック幅規定溝 ３３．３３’　　：非磁性埋設材 ３４ニレジスト膜　　　　３５ニスリット３６：凹凸面
　　３７．３７’　　：金属磁性材３８：コイル巻線用
溝 ３つ：ギャップ対向仕上げ面 ４０：フェライトブロック接合体 ４１：磁気ギャップ 第１図。 第３図 ｖＫ４図（ａ） 第５図 第６図 （ａ）　　　　　　　（ｂ） 第１３図 第ｑ図 手続補正書（自発） 昭和６３年８月３日 昭和６２年　特許願　第１４２７４９号２、発明の名称 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　　特許出願人 名　称　　　　（４０６）日本碍子株式会社４、代理人 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１）明細書第２３頁第１３行の「・・・用いられる。 」の次に、改行することなく、下記の文章を挿入する。 記 「なお、Ｆｅ−３ｔ、Ｆｅ−Ａｊ！−３ｔ合金等を用い
る場合には、よく知られているように、耐食性向上等の
ために、５重１％以下のＣｒ、Ｔｉ、Ｔａ等の元素の添
加が適宜に行なわれる。」 （２）同　第２４頁第４行の「・・・可能である。」の
次に、改行することな（、下記の文章を挿入する。 記 「また、中間層として、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ等のうち少な
くとも１種の元素を用いれば、密着上有利となる。これ
ら磁性体を中間層として用いる場合、その厚さは１ｏｏ
ｏÅ以下とする。なお、これら中間層の存在により、擬
偵ギャップが増え、コンタ効果が心配されるが、エツチ
ングされたトラック部の界面がギヤツーに対して充分に
傾斜せしめられるようにすれば、問題とならない、」 （３）同　第２７頁第１１行の「・・・こととなる。 」の次に、改行することな（、下記の文章を挿入する。 記 「また、次のようにしても、組み合わせ体の接合は可能
である。即ち、ギャップ形成用の非磁性体として、Ｓ　
ｔｏ！　、Ａｌ２Ｏ３等の高融点酸化物をギャップ対向
面に形成する一方、コイル巻線溝、更に必要に応じて、
後部溝にガラス棒を差し込み、加熱、加圧することによ
り、これらの溝に入れたガラス棒を溶融させて、一対の
フェライトブロックを接合することも可能である。なお
、この溝に差し込み溶融せしめられるガラスにつき、前
記と同様に、金属磁性材の種類に応じて、その接合温度
が選択されることとなる。」 以　　上

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）第一及び第二のフェライトブロックを突き合わせ
   て、環状の磁路を構成する一方、それらフェライトブロ
   ックの突合せ部に所定間隙の磁気ギャップを形成してな
   る組合せ体を用いた磁気ヘッド用コアの製造法において
   、 前記二つのフェライトブロックの少なくとも一方のもの
   の他方のフェライトブロックに対する突合せ面の少なく
   とも磁気ギャップ形成部位に、トラック幅を規定する互
   いに平行な少なくとも２つの溝を、前記突合せ面に平行
   な方向で且つ前記磁気ギャップとは直交する方向におい
   て形成する第一工程と、 該トラック幅規定溝の形成されたフェライトブロックの
   突合せ面に所定の非磁性材を適用して、該トラック幅規
   定溝内に該非磁性材を埋設する第二工程と、 該フェライトブロックの突合せ面に適用された非磁性材
   の不要部分を除去して、前記トラック幅規定溝に挟まれ
   たトラック部を露呈せしめる第三工程と、 前記トラック部の一部が、所定幅で前記トラック幅規定
   溝の形成方向に延びる少なくとも１つの露出部として露
   呈せしめられるように、所定のレジスト膜を前記フェラ
   イトブロックの突合せ面に形成した後、かかる露出部を
   介して、該トラック部をエッチングせしめ、凹凸面を形
   成する第四工程と、 該フェライトブロックのエッチングされた突合せ面に所
   定の金属磁性材を被着させる第五工程と、 該金属磁性材の被着されたフェライトブロックの突合せ
   面の所定厚さ部分を除去し、前記トラック部の凹凸面上
   に形成された該金属磁性材の被着層を所定厚さで残しつ
   つ、前記トラック幅規定溝に埋設されている非磁性材を
   露呈せしめる第六工程と、 該第六工程に先立って或いは該第六工程の後に、前記第
   一及び第二のフェライトブロックの少なくとも一方の突
   合せ面に、コイル巻線用の溝を形成する第七工程と、 前記第一工程乃至第七工程の終了した第一及び第二のフ
   ェライトブロックの少なくとも一方のものの突合せ面の
   少なくとも磁気ギャップ形成部位に、所定厚さの非磁性
   層を形成する第八工程と、 該第八工程を終了した第一及び第二のフェライトブロッ
   クの突合せ面の磁気ギャップ形成部位を対向させ、互い
   に接合して、一体化する第九工程と、 かかる接合一体化された第一及び第二のフェライトブロ
   ック組合せ体を所定の位置にて切断し、少なくとも１個
   の複合型磁気ヘッド用コアを得る第十工程とを、 含むことを特徴とする複合型磁気ヘッド用コアの製造法
   。
2. （２）前記第四工程において、前記露出部が、複数にお
   いて、前記トラック部上に所定間隔を隔てて形成され、
   それら複数の露出部を介して該トラック部がエッチング
   されることにより、該トラック部の幅方向において波形
   の一部を構成する湾曲乃至は屈曲面が形成される特許請
   求の範囲第１項記載の製造法。
3. （３）前記第五工程に先立って、前記フェライトブロッ
   クの突合せ面の少なくとも露呈されたトラック部の表面
   上に、該トラック部を構成するフェライトとその上に被
   着される前記金属磁性材とを密着させるガラス層が形成
   される特許請求の範囲第１項または第２項記載の製造法
   。