JPH06203323A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

磁気ヘッド及びその製造方法

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JPH06203323A
JPH06203323A JP14522393A JP14522393A JPH06203323A JP H06203323 A JPH06203323 A JP H06203323A JP 14522393 A JP14522393 A JP 14522393A JP 14522393 A JP14522393 A JP 14522393A JP H06203323 A JPH06203323 A JP H06203323A
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magnetic
thin film
magnetic head
metal thin
track width
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JP14522393A
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English (en)
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Ho-Sop Song
昊 燮 宋
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Sansei Denki KK
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
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Sansei Denki KK
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/1875"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
    • G11B5/1877"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 磁気ヘッド、接合ガラスの組成物を拡がり性
が良好でラッピング工程が不要で、製造時間、費用の軽
減と生産効率の増大が可能の磁気ヘッドの製造方法を提
供する。 【構成】 磁気記録媒体との接触面に断面形状が突出さ
れた突起部をそれぞれ持つ一対の磁気コア部材を備え、
磁気コア部材100,102中のどの一つの磁気コア部
材の突起部116には磁気コア部材を構成するフェライ
トより高い飽和磁速密度を持つ高い強磁性体が被覆さ
れ、突起部の先端部は磁気ギャップを形成し、磁気コア
部材が所定の組成を持つ接合用ガラス112で相互結合
して磁気コア部材の突起部116はギャップ形成面に対
し垂直に形成し、ここに第1非磁性薄膜114aと第1
非磁性金属薄膜114bの内膜を積層、この内膜上に高
飽和磁速密度を持つ強磁性金属薄膜114cを積層、強
磁性金属薄膜上に第2非磁性薄膜114dと第2非磁性
金属薄膜114eを積層した構成。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ビデオテープレコー
ダに使用するに適合した磁気ヘッド及びその製造方法に
関し、さらに詳しくはトラックの断面を垂直形にして寸
法の精密度が高いトラック幅を得ることができ、磁気フ
ェライトブロックのクラック現状を防止できる磁気ヘッ
ド及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ビデオテープレコーダの記録媒体として
用いられる磁気テープの記録密度が増加することにより
高い残留の磁速密度Br及び高い保磁力Hcを持つ磁気
テープ、例えば、金属粉末が結合剤により非磁性器材に
被覆されて磁気記録層を形成する金属磁気テープが多く
使われている。
【0003】磁気ヘッドが金属テープとディジタルオー
ディオテープなどに使われる場合、ヘッドの磁気ギャッ
プの磁界強度はこれらテープの高保磁力のため増加され
なくてはならない。それ故にテープに記録された信号を
消去するための磁気消去のヘッドは、もっと高い飽和磁
速密度を持たなくてはならない。
【0004】従って、金属酸化物からなる磁気フェライ
トブロックの磁気ギャップの形成面にスパッタリングに
より高飽和の磁速密度を持つ強磁性の薄膜を積層させた
磁気ヘッドが開発されたことがあるが、これに対し概略
的に説明する。
【0005】図5は、従来の技術による磁気ヘッドを示
した斜視図である。図5を参照すれば、一対の磁気コア
部材10と12との突き合わされ面の間に磁気ギャップ
14が形成され、一方の側の磁気コア部材12には、巻
線用溝16が形成され、この巻線溝16にはコイル18
が巻かれている。
【0006】このような磁気ヘッドはディジタルオーデ
ィオテープレコーダ、ディジタルビデオテープレコーダ
または8mmビデオテープレコーダなどに使われてお
り、一対の磁気コア部材10,13はMnZn系の単結
晶フェライトなどの強磁性体とからなり、磁気ギャップ
14には例えば、SiO2 からなる非磁性の薄膜が介在
されている。
【0007】しかし、このような従来の磁気ヘッドは一
対の磁気コア部材10,12を接合する場合に接合ガラ
スを使うが、このような接合の時にBiO2 が接合ガラ
スにより接触されて接合ガラスと一体化される現状が発
生した。
【0008】このために、結合温度において溶融するよ
うになり磁気ギャップ14の長さが変化して磁気の特性
が劣化されるという問題点があった。
【0009】このような問題点を解決するために、特開
昭62−295204号には磁気ギャップの接触を防止
して磁気特性の劣化を起こさないようにした磁気ヘッド
が記載されている。
【0010】図6Aは、このように磁気ギャップの浸蝕
を防止するための従来の磁気ヘッドを示した斜視図で、
この磁気ヘッドは、フェライトなどの強磁性の材料から
なる一対の磁気コア部材20と22を包含し、磁気コア
部材20には巻線溝24と補強溝26が形成されてお
り、巻線溝24には、コイル28が巻かれている。一対
の磁気コア部材20と22の対向面には、トラック幅の
規制切欠溝29が形成され、この切欠溝29と補強溝2
6には所定の溶融点を持つ接合用ガラス30が充填され
て、この接合用ガラス30により一対の磁気コア部材2
0と22が相互接合されることができる。
【0011】磁気コア部材22のトラック幅規制の切欠
溝29を含む突き合わせ面にはSiO2 を含む積層膜3
1が形成されている。この積層膜31は、図6Bに示し
たごとく、磁気コア部材22の表面から順次的にクロム
からなる第1非磁性の金属薄膜31a(約200Å)、
センダスト(Fe−Al−Si合金)からなる強磁性薄
膜31b(約2.6μm)、SiO2 からなる第1非磁
性薄膜31c(約1.8μm)、クロムCrからなる第
2非磁性金属膜31d(約1.2〜1.3μm)及びS
iO2 からなる第2非磁性薄膜31e(約200〜50
0Å)とからなる。
【0012】ここで、第1非磁性金属薄膜31aは、磁
気フェライトコア部材22とセンダスト31bとの接着
強度を向上させるために使われ、SiO2 からなる第1
非磁性薄膜31cとクロムCrからなる第2非磁性金属
薄膜は磁気ギャップを形成するように用いられる。
【0013】このように、磁気ギャップの形成のために
SiO2 からなる第1非磁性薄膜31cをクロムCrか
らなる第2非磁性金属薄膜31dでかぶせ、これらの積
層膜の前、後にそれぞれクロムCrからなる第1非磁性
金属薄膜31a、センダスト31b及びSiO2 からな
る第2非磁性薄膜を積層することにより、接合のときに
磁気ギャップを形成する第1非磁性薄膜31cのSiO
2 と接合ガラス30との反応を小さくすることができる
ので、磁気ギャップの長さを少し変化させることにより
磁気特性の劣化を防止するようにしている。
【0014】そして、図7Aには、図6Aに示した磁気
ヘッドと類似した磁気ヘッドが示しているが、図7Aに
示した磁気ヘッドは、トラック幅規制切欠溝49を半円
形でない傾斜形に形成させたことを除外すれば、図6A
に示した磁気ヘッドと類似した性能を持つ。
【0015】従って、図7A及び図7Bで図6A及び図
6Bと類似した参照番号は、類似した構造を持ち、それ
による機能もまた類似するのでそれらに対する詳細な説
明は省略する。
【0016】図9A〜C及び図10A〜Cは、図6Aに
示した磁気ヘッドの製造工程をそれぞれ示したもので、
フェライトなどの強磁性の材料を切断して所定の直四角
形状からなる一対の磁気コアブロック20aと22a
は、少なくともその一方の側に、例えば、磁気コアブロ
ック22aの突き合わせられる面をなめらかに研磨加工
したあとに図9Aに示したごとく、磁気コアブロック2
0a,22aなどの長さの方向を沿って所定の間隔にト
ラック幅規制切欠溝29を形成させ、磁気コアブロック
20aには、巻線溝24と補強溝26とをそれぞれその
長さの方向へ連績されるように形成する。
【0017】その次に、図9Bに示す磁気コアブロック
22aの上には、図6Bに示したごとき、積層膜すなわ
ち第1非磁性金属薄膜31a、センダスト31b、第1
非磁性薄膜31c、第2非磁性金属薄膜31d及び第2
非磁性薄膜31eをスパタリングのような適宜な方法で
形成させる。
【0018】また、磁気コアブロック20aのトラック
幅規制切欠溝29と巻線溝24及び補強溝26の上には
SiO2 −PbO系のガラス30aをたなに上げて置
く。
【0019】このように、たなに上げられているSiO
2 30aを1次に加熱溶融させて、図9Cのように、ト
ラック幅規制切欠溝29と巻線溝24及び補強溝26に
SiO2 30aを充填したあと、SiO2 30aを研削
したあと、トラック幅規制切欠溝29と巻線溝24及び
補強溝26から外へ出るSiO2 30aを研磨などで除
去する。
【0020】そのあとに磁気コアブロック20aの突き
合せ面にSiO2 30aなどでスパタリングしたあと、
図10Bに示すように磁気コアブロック20a,22a
などを突き合わせてSiO2 30aの溶融温度で2次加
熱することにより磁気コアブロック20a,22aなど
がSiO2 30aにより接合される。
【0021】接合が終わった磁気コアブロック20a,
22aなどを図10Bに示したごとく、切断線Cを沿っ
て切開すると共に補強溝26の下側部にある不必要な部
分を切断線Dを沿って切開することにより図10Cのよ
うに少なくとも一つ以上の半製品の磁気ヘッドを得るこ
とができ、そのあとに半製品の磁気ヘッドは磁気記録媒
体との接触面が円弧形状に研磨され、巻線溝24にコイ
ル28が巻かれるので図6Aに示したごとき構造を持つ
磁気ヘッドを得ることができる。
【0022】しかし、図6Aと図7Aに示した従来の磁
気ヘッドは次のような欠点があった。
【0023】図2Aと図3Aに示した構造を持つ従来の
技術の磁気ヘッドのトラック幅規制切欠溝29,49の
それぞれの形状は図8Aと図8Bとに示している。先
ず、図8Aのようなトラック幅規制切欠卯溝29を持つ
磁気ヘッドにおいて、図9A〜C及び図11A〜Cを参
照してすでに説明したごとく、トラック幅規制切欠溝2
9を含む磁気コアブロック20aの上には接合用のガラ
ス棒が置かれて溶ける。その次に、溶けられたガラスを
除去するためにラッピングのような研磨加工をすること
になるが、このラッピングのときにすでに形成された磁
気コアブロック30aの最上側部分であるトラック幅T
wが増すことがある。すなわち、ラッピング前のトラッ
ク幅Twの長さがL1 であったと仮定する場合に、ラッ
ピング作業が誤り遂行されれば、実際のトラック幅Tw
はL2 になるので最終的に形成されるトラック幅は増え
るようになる。
【0024】図8Bの場合も上述したものと同様にトラ
ック幅が増すことがある。従って、磁気コアブロック2
0または40のラッピングのあとトラック幅Twは磁気
コアブロック22または42の形成されたトラック幅よ
り大きくなるので製品の不良原因になるだけでなく生産
効率が低くなる問題点があった。
【0025】一方、磁気フェライトコア部材20とFe
−Al−Si合金(センダスト)31bとの接着強度を
恒常させるためにクロムCrからなる非磁性金属薄膜3
1aが使われているが、強磁性金属薄膜であるセンダス
ト31bと非磁性金属薄膜31aの熱膨脹係数が相異な
るため(すなわち、クロムCrの熱膨脹係数は約70×
10-6/℃であり、センダストの熱膨脹係数は約140
〜150×10-7/℃であってクロムCrがセンダスト
より熱膨脹係数がずっと大きいため)、磁気フェライト
コア部材内に微細なクラックが図11のように発生され
ることが観察された。
【0026】このようなクラックは、初期には磁気特性
の劣化にそれほど大きな問題がないか、時間が経過する
ことによりクラックが漸次さらに大きくなって強磁性金
属薄膜が剥離され、磁気フェライトコア部材が壊れるよ
うになる問題点があった。
【0027】また、フェライトコアの部材内に発生され
たクラックは、磁速密度に影響をあたえるもので磁気ヘ
ッドの消去効率が急激に減少する問題点があった。
【0028】また、従来の磁気ヘッドは、図9A〜C及
び図10A〜Cに示すような工程で製造されるが、この
製造方法はトラック、巻線溝及び補強溝形成、スパタリ
ングによる積層膜形成接合ガラスモールディング、ガラ
ス研削、ラッピング、磁気コアブロック結合及びガラス
接合のような複雑な工程を含むので製造時間及び製造費
用が相当に所要される問題点があった。
【0029】その上に、超精密を要する接合ガラス研削
及びラッピングのような工程を必ず遂行しなければなら
ないが、このときに工程に瑕疵ある場合に相互結合され
た磁気コアブロックのトラック幅が相異して磁気ヘッド
の不良率が増加する問題点があった。
【0030】また、接合ガラスは、2個の磁気フェライ
ト部材を相互固く接合できる硬度、拡がり性を持たなけ
ればならなく、気泡が発生されないようにしなければな
らないのに、従来の技術による磁気ヘッドに用いられる
接合ガラスは積層膜との反応により気泡を発生するの
で、このような気泡はガラスの中に囲まれ孔になって記
録媒体との接触面に現われるため記録媒体のひっかき現
状が発生される問題点があった。
【0031】
【発明が解決しようとする課題】従って、この発明の目
的は、磁気ヘッドの不良率を減らし生産効率を向上させ
るための磁気ヘッドを提供することにある。
【0032】この発明の他の目的は、磁気フェライトコ
ア部材の内膜を非磁性酸化物と非磁性金属薄膜で形成さ
せてクラックの発生を防止することにより磁気ヘッドの
消去効率を極大化するための磁気ヘッドを提供すること
にある。
【0033】この発明の又他の目的は、接合ガラスの組
成物を拡がり性が良好で気泡の発生がなく、ラッピング
のような高精密度を要する工程が不要で、製造時間及び
製造費用を軽減させることができ、生産効率を増大させ
ることができる磁気ヘッドの製造方法を提供することに
ある。
【0034】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、この発明は、磁気記録媒体との接触面に断面形状が
突出された突起部をそれぞれ持つ一対の磁気コア部材を
備え、磁気コア部材中のいづれか一つの磁気コア部材の
突起部には磁気コア部材を構成するフェライトより高い
飽和磁速密度を持つ高い強性体が被覆され、突起部の先
端部は磁気ギャップを形成し、磁気コア部材が所定の組
成を持つ接合用ガラスにより相互結合されるようにし、
磁気コア部材の突起部はギャップの形成面に対し垂直に
形成され、この垂直突起部には第1非磁性薄膜と第1非
磁性金属薄膜からなる内膜が積層され、この内膜の上に
は高飽和磁速密度を持つ強磁性金属薄膜が積層され、強
磁性金属薄膜の上には第2非磁性薄膜と第2非磁性金属
薄膜が積層されている点にある。
【0035】この発明による磁気ヘッドによれば、磁気
コア部材は、高い透磁率を持つ磁性体であるMn−Zn
フェライト、Ni−Znフェライト、結晶化ガラス、セ
ラミックなどが用いられることもできる。
【0036】この発明による磁気ヘッドの強磁性金属薄
膜材料では、蒸着またはスパタリングなどの薄膜形成の
技術で形成される非結晶磁性合金、Fe−Al−Si合
金(センダスト)、Ni−Fe合金または窒化鉄などの
ような高い飽和磁速密度を持つことが望ましい。
【0037】非磁性薄膜は、SiO2 、Al2 3 、T
2 5 中のいづれか一つで形成されるとか2個以上が
混合されて用いられることもできる。そして、非磁性金
属薄膜は、クロムCr、チタンTi、アルミニウムAl
中のいづれか一つで形成されることが望ましい。
【0038】この発明による磁気ヘッドの積層膜におい
て、第1非磁性薄膜と第1非磁性金属薄膜からなる内膜
はクラック発生を効率的に予防し磁気特性の劣化を惹起
させない程度の厚さを持つことが望ましいが、内膜の厚
さは0.01μm〜0.03μmが望ましい。
【0039】別のこの発明は、高透磁率材料からなる一
対の磁気フェライトブロックのギャップ形成側の面に多
数のトラック幅規制用の溝を形成して隣接されたトラッ
ク幅規制溝の間に垂直形の突出部が形成されるようにす
る段階と、磁気フェライトブロックを一つに一体化する
ために前記ブロック中のいづれか一つのブロックのギャ
ップ形成側の面にトラック幅規制溝と直交するコイル巻
線溝を形成する段階と、トラック幅規制溝と垂直形突出
部の表面が形成されたいづれか一つの磁気フェライトブ
ロックの上に非磁性酸化物からなる第1非磁性薄膜、非
磁性金属物質からなる第1非磁性金属薄膜、高飽和磁速
密度を持つ物質からなる強磁性金属薄膜、第1非磁性薄
膜と同一な物質からなる第2非磁性薄膜及び第1非磁性
金属薄膜と同一な物質からなる第2非磁性金属薄膜を順
次的に積層させる段階と、一対の磁気コアブロックのギ
ャップ形成面を接合用ガラスを使用して2個の磁気フェ
ライトブロックを所定の位置に切断して一対の磁気コア
部材からなる磁気ヘッドを得る段階と、前記磁気ヘッド
の磁気記録媒体の接触面を円弧の形態に研削する段階と
からなることを特徴とする。
【0040】この発明による磁気ヘッドの製造方法にお
いて、磁気フェライトブロックの接合に用いられるガラ
スの組成物は15〜40重量%のSiO2 、45〜75
重量%のPbO、0〜15重量%のZnO、0〜3重量
%のK2 O、0〜6重量%のNa2 O、0〜3重量%の
Al2 3 、5〜20重量%のBi2 3 及び1〜2重
量%のB2 3 を含むことにより接合面に対する拡がり
性が優れ、気泡が発生されないようにすることが望まし
い。
【0041】
【実施例】以下、添付した図面を参照してこの発明によ
る磁気ヘッド及びその製造方法の望ましい実施例を詳細
に説明する。
【0042】図1Aは、この発明による磁気ヘッドを示
した斜視図であるが、強磁性の材料からなる一対の磁気
コア部材100と102の一方の側、例えば、磁気コア
部材102には巻線溝104と補強溝106が形成され
ている。この巻線溝104には、コイル108が巻かれ
ている。磁気コア部材100と102は、フェライトの
ような磁性材料が用いられるが、例えば、高い透磁率を
持つ磁性材料であるNi−Znフェライト、または結晶
化ガラス、セラミックなどの非磁性材が使われることも
できる。
【0043】一対の磁気コア部材100と102の対向
面には、トラック幅規制切欠溝110が形成されるが、
この切欠溝110と補強溝106には接合ガラス112
が充填されている。この接合ガラス112は、磁気コア
部材100,102を固く接合する。
【0044】磁気コア部材100の突出部には、SiO
2 を含む積層膜114が形成されているが、この積層膜
114は図1Bに拡大して示したごとく、磁気コア部材
110の突起部の表面から非磁性物質からなる第1非磁
性薄膜114a、非磁性金属物質からなる第1非磁性金
属薄膜114b、強磁性体からなる強磁性金属薄膜11
4c、第1非磁性薄膜114aと同一な物質からなる第
2非磁性薄膜114d及び第1非磁性薄膜114bと同
一な物質からなる第2非磁性金属薄膜114eが順次的
に積層されている。
【0045】図1Bにおいて、第1非磁性薄膜114a
は、SiO2 、Al2 3 、Ta25 中のいづれか一
つに形成されることもでき、第2非磁性金属薄膜114
bはクロムCr、チタンTi、アルミニウムAl中のい
づれか一つに形成されることもできる。
【0046】また、強磁性金属薄膜114cは、物理的
蒸着またはスパタリングなどの薄膜形成技術に形成され
る非晶質磁性合金、Fe−Al−Si系合金(センダス
ト)、Ni−Fe合金、窒化鉄などの高い飽和磁速密度
を持つ強磁性体で構成されることもできる。
【0047】第2非磁性薄膜114dは、第1非磁性薄
膜114aと同一な材料に構成されることが望ましい
が、これは、例えば、SiO2 、Al2 3 、Ta2
5 中のいづれか一つに形成されることもできる。そし
て、第2非磁性金属薄膜114bと同一なクロムCr、
チタンTi、アルミニウムAl中のいづれか一つに形成
されることもできる。
【0048】一方、これらの積層膜114において、第
1非磁性薄膜114aが0.005μm以上、第1非磁
性薄膜114bが0.005μm以上、強磁性金属薄膜
114cは2.0〜3.0μm、第2非磁性薄膜114
dと第2非磁性金属薄膜114eはそれぞれ2.0μm
と1.2μm以上の厚さを持つことが望ましい。
【0049】図1Bにおいてわかるように、第1非磁性
薄膜114aと第1非磁性金属薄膜114bはこの発明
による磁気ヘッドの内膜を形成するが、この内膜の厚さ
は0.01μm〜0.03μmの範囲が望ましい。
【0050】また、第2非磁性薄膜114bと第2非磁
性金属薄膜114cは、磁気ギャップを形成するように
なる。
【0051】ここで、内膜の厚さが0.01μm〜0.
03μmに制限する理由は、この内膜の厚さが0.01
μm以下になるとクラック防止の役割を十分にすること
ができなく、また0.03μm以上になると磁気特性の
劣化が発生されるためである。
【0052】図1Cに詳細に拡大して示したごとく、規
制用切欠溝110は、磁気コア部材100または102
のギャップ形成側の面に対し垂直に延長された部位11
0aと垂直延長部位110aに対し所定の角度に傾斜に
なる傾斜部位110bを含んでいることを知ることがで
きる。このように、トラック幅規制用切欠溝110を垂
直延長部位110aと傾斜部位110bとから形成した
理由は前述したごとく、2個の磁気コア部材100と1
02の最終結合のときにトラック幅Twが交わらないよ
うにし、全体的には加工時間を最小化し不良率を減らす
ためのものである。
【0053】図1A〜Cでは、垂直部位110aに連な
る傾斜部位110bが示されたが、この発明による磁気
ヘッドはこれに限定されることでなく、垂直部位110
aが必ず存在すれば傾斜部位110bはどんな形状でも
よい。
【0054】すなわち、垂直延長部位110aがある場
合に傾斜部位110bは、ラウンディングの形状をして
もよい。結局、磁気コア部材100と102のギャップ
形成側の面から所定の長さだけ垂直延長部位110aを
形成させることによりこの発明による磁気ヘッドのトラ
ック幅Twは加工前の長さL1 と加工後の長さL2 が恒
常一定になるので磁気特性の劣化が全くなくなる。
【0055】また、磁気コア部材の後に非磁性金属薄膜
(クロム層)が直接積層され熱処理されることにより磁
気コア部材にクラックが発生される従来の技術による磁
気ヘッドとは異なりこの発明による磁気ヘッドは磁気コ
ア部材100,102の上に非磁性薄膜(例えば、Si
2 層)を形成させることにより磁気コア部材にはクラ
ックが全く発生しなくなる(図4参照)。
【0056】図2A〜C及び図3A〜Cは、この発明に
よる磁気ヘッドの製作工程を示す斜視図であるが、図2
Aにおいて参照番号100aと102aはフェライトな
どの強磁性材料を切断して所定の直四角形に切断された
磁気フェライトブロックを表示する。
【0057】磁気フェライトブロック100a,102
aの表面は、なめらかに研磨加工され、図2Bに示した
ごとく、磁気フェライトブロック100a,102aの
長さ方向へは所定の間隔にトラック幅規制切欠溝110
が形成され、隣接されたトラック幅規制切欠溝110の
間には垂直延長部位110aによる垂直突出部120が
形成されるようにした。
【0058】図2Bにおいて、トラック幅規制切欠溝1
10は、磁気フェライトブロック100a,102aに
長さ方向へ連績されるように形成したが、このトラック
幅規制切欠溝110は磁気フェライトブロック100
a,102aの一部分にだけ形成させることもできる。
【0059】一方、磁気フェライトブロック102aの
ギャップ形成側の面にはトラック幅規制切欠溝110と
直交するコイル巻線溝104と補強溝106が形成され
る。
【0060】ここで、トラック幅規制切欠溝110が磁
気フェライトブロック100a,102aの長さの方向
へ連績されるように形成された場合に補強溝106は必
要ないが、トラック幅規制切欠溝110が磁気フェライ
トブロック100a,102aの一部分にだけ形成され
た場合補強溝106が必要である。
【0061】また、巻線104と補強溝106は、磁気
フェライトブロック100a,102aにすべて形成さ
れることもできる。
【0062】このように、トラック幅規制切欠溝110
と巻線溝104または補強溝106が形成された状態で
スパタリングは、物理的蒸着法、または化学めっき法の
ような薄膜形成技術を使って磁気フェライトブロック1
00aの上だけ積層膜114が形成される。この発明に
おいて、薄膜形成技術は、スパタリング法が最も望まし
い。
【0063】図2Cに示した磁気フェライトブロック1
00aの上には、一番先にSiO2、Al2 3 または
Ta2 5 のような非磁性酸化物が約0.005μmの
厚さでスパタリングされて第1非磁性薄膜114aを形
成する。
【0064】このように、第1非磁性薄膜114aが形
成されたあとには、クロムCr、チタンTi、またはア
ルミニウムAlのような非磁性金属が第1非磁性薄膜1
14aの上に約0.005μmの厚さでスパタリングさ
れることにより第1非磁性金属薄膜114bが形成され
ることができる。
【0065】ここで、第1非磁性薄膜114aと第1非
磁性金属薄膜114bは、この発明に最も必須的である
内幕を形成するので、磁気フェライトブロック100a
と第1非磁性金属薄膜14との間にはSiO2 、Al2
3 またはTa2 5 のような非磁性酸化物が存在する
ようになるので第1非磁性金属薄膜(クロムCr、チタ
ンTi、アルミニウムAl)による磁気フェライトブロ
ック100aのクラック現状が全く発生しなくなる。
【0066】この発明の内膜上には、センダスト、非晶
質磁性合金、Ni−Fe合金または窒化物のように高い
飽和磁速密度を持つ強磁性金属が2〜3μm程度にスパ
タリングされて強磁性金属薄膜114cを形成するよう
になる。
【0067】強磁性金属薄膜114cの上には、磁気ギ
ャップを形成するための第2非磁性酸化物と第2非磁性
金属が順次にスパタリングされるが、第2非磁性酸化物
は第1非磁性酸化物と同一なものすなわち、S2
Al2 3 、またはTa2 5 が望ましい。第2非磁性
酸化物が約2μm程度にスパタリングされることにより
第2非磁性薄膜114dを形成するようになる。
【0068】それから、第2非磁性薄膜114dの上に
は、第1非磁性金属すなわち、アルミニウムAl、チタ
ンTiまたはクロムCrのような金属が約1.2μm程
度にスパタリングされて第2非磁性金属薄膜114eを
形成するようになる。
【0069】このように、磁気フェライトブロック10
0a,102aを垂直形に形成されることによりトラッ
ク幅が一定に維持されることができ、第1非磁性薄膜1
14aを磁気フェライトブロック100aと第1非磁性
金属薄膜114aとの間に積層することによりクロムC
rにより惹起される磁気フェライトブロック100aの
クラック現状が全く発生しなくなる。
【0070】磁気フェライトブロック100aの上に積
層膜114が積層されたあとには、図3Aのように一対
の磁気フェライトブロック100a,102aを対を合
わせたあと一対の磁気フェライトブロック100a,1
02aを接合させるために棒形状の接合用ガラス112
を巻線溝104と補強溝106に接合させて500〜8
00℃程度の範囲内における一定な温度に加熱したあと
冷却させた。
【0071】このとき、使われた接合用ガラス112の
組成を変化させて拡がり性及び硬度などを測定したが、
その結果は下記の<表1>に記載した。
【0072】
【表1】 前記の<表1>に示すごとく、15〜25重量%のSi
2 、50〜5重量%のPbO、0.5〜0.3重量%
のZnO、0.5〜1.5重量%のK2 O、2.0〜
5.0重量%のNa2 O、1.0〜3.0重量%のAl
2 3 、5.0〜15.0重量%のBi2 3 及び1.
0〜2.0重量%のB2 5 からなるガラス組成物が拡
がり性が最も優れ気泡が発生されないだけでなく、硬度
が大きいので磁気フェライトブロック100a,102
aを直接接合することができる。
【0073】すなわち、図6A及び図9A〜C及び図1
0A〜Cに示したごとき、いろいろの工程を遂行する必
要がない結合ガラス112を磁気フェライトブロック1
00a,102aとの間に挿入させて直接溶着させるこ
とにより製造工程を簡略化できる。
【0074】このように、接合が完了された磁気フェラ
イトブロック100a,102aを図3Bの切断線Cを
沿って切断することにより図3Cのような磁気ヘッドを
得るようになる。
【0075】このように、得られた磁気ヘッドの磁気記
録媒体との接触面を円弧の形状に加工し、コイル108
を巻くことにより図1Aに示したごとき、磁気ヘッドを
得ることができる。
【0076】以上、この発明を添付された図面を参照し
て説明したが、この発明はこれに限定されず、請求範囲
を外れない限度内で多数の変更及び修正があり得るであ
ろう。例えば、トラック幅規制溝110は、磁気フェラ
イトブロック100a,102aの全体の長さ方向へ延
長される代わりに磁気記録媒体との接触面附近にだけ形
成されることもあり得るが、この場合には補強溝110
が必須的に形成されなければならなく、トラック幅規制
溝110が磁気フェライトブロック100a,102a
の全体長さの方向へ延長される場合には補強溝106が
必要でないこともあり得る。
【0077】
【発明の効果】以上のように、この発明による磁気ヘッ
ドによれば、磁気ヘッドのトラック形状を垂直に形成さ
せて磁気ヘッドの不良率を軽減し生産効率を向上させる
ことができ、積層膜の内膜を非磁性酸化物と非磁性金属
薄膜に形成させてクラックの発生を防止することにより
磁気ヘッドの消去効率を極大化するだけでなく、磁気ヘ
ッドのトラック形状を垂直形にして接合ガラスの組成物
の拡がり性が良好で気泡の発生がないようにしてラッピ
ング及び研磨加工のような高精密度を要する工程が必要
なく製造工程を簡略化することにより製造時間及び製造
費用を軽減させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による磁気ヘッドを示し、図1Aはそ
の斜視図、図1Bはその磁気ヘッドの磁気記録媒体の接
触面を拡大して示した平面図、図1Cは加工された磁気
フェライトブロックを示す平面図である。
【図2】図2A〜Cは、この発明による磁気ヘッドの製
造方法を示す斜視図である。
【図3】図3A〜Cは、図2A〜Cの続きで、この発明
による磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図である。
【図4】この発明により磁気フェライトブロックの上に
スパタリングにより形成された第1非磁性金属薄膜を、
電子走査顕微鏡で観察した写真に対応する輪郭を示した
図である。
【図5】従来の技術による磁気ヘッドを示した斜視図で
ある。
【図6】従来の技術による他の磁気ヘッドを示し、図6
Aはその斜視図、図6Bはその磁気記録媒体の接触面を
拡大して示した平面図である。
【図7】従来の技術による磁気ヘッドの別の例を示し、
図7Aはその斜視図、図7Bはその磁気記録媒体の接触
面を拡大して示した平面図である。
【図8】図8A及び図8Bそれぞれは、図6A及び図7
Aに示された従来の技術により加工される磁気フェライ
トブロックをそれぞれ拡大視した平面図である。
【図9】図9A〜Cは、図6Aに示された従来の技術に
よる磁気ヘッドの製造方法を示す斜視図である。
【図10】図10A〜Cは、図9A〜Cの続きの、図6
Aに示された従来の技術による磁気ヘッドの製造方法を
示す斜視図である。
【図11】磁気フェライトブロックの上にスパタリング
により形成された従来の技術によるクロムからなる第1
非磁性金属薄膜のクラックを、電子走査顕微鏡(SE
M)で観察した写真に対応する輪郭図である。
【符号の説明】
100,102 磁気コア部材 100a,102a 磁気フェライトブロック 104 巻線溝 106 補強溝 108 コイル 110 トラック幅規制切欠溝 110a 垂直延長部 110b 傾斜部 112 接合ガラス 114 積層膜 114a 第1非磁性薄膜 114b 第1非磁性金属薄膜 114c 強磁性金属薄膜 114d 第2非磁性薄膜 114e 第2非磁性金属薄膜 116 突起部

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気記録媒体との接触面に断面形状が突
    出された突起部を持つ一対の磁気コア部材を備え、 前記磁気コア部材中いづれか一つの磁気コア部材の突起
    部には、前記磁気コア部材を構成するフェライトより高
    い飽和磁速密度を持つ強性体が被膜され、前記突起部の
    先端部は磁気ギャップを形成し、 前記磁気コア部材が接合用ガラスにより相互結合される
    ようにした磁気ヘッドにおいて、 前記磁気コア部材の突起部は、ギャップの形成面に対し
    垂直に形成され、 前記垂直突起部には、非磁性酸化物で形成されて磁気コ
    ア部材のクラック現状を防止するための第1非磁性薄
    膜、非磁性物質からなる第1非磁性金属薄膜と、高飽和
    磁速密度を持つ物質からなる強磁性金属薄膜と、磁気ギ
    ャップを形成するために第1非磁性薄膜と同一な性質を
    持つ物質からなる第2非磁性薄膜及び第1非磁性金属薄
    膜などが磁気コア部材の表面から順次的に積層してされ
    たことを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記非磁性の薄膜がSiO2 ,Al2
    3 ,Ta2 5 中のいづれか一つとからなることを特徴
    とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記非磁性の金属膜がクロムCr、チタ
    ンTi、アルミニウムAl中のいづれか一つとからなる
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記第1非磁性の薄膜と第1非磁性の金
    属薄膜とを含む薄膜の厚さが0.01〜0.03μmで
    あることを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記第1非磁性の薄膜は、 前記第1非磁性の金属薄膜による前記磁気コア部材のク
    ラックを防止できる程度の薄い厚さを有することを特徴
    とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記接合用のガラスは、 前記コア部材を相互接合において、適合した拡がり性と
    程度を持ち、気泡の発生がない組成物とからなることを
    特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記接合用ガラスの組成物は、15〜4
    0重量%のSiO2 、45〜75重量%のPbO、0〜
    15重量%のZnO、0〜3重量%のK2 O、0〜6重
    量%のNa2 O,0〜3重量%のAl23 、5〜20
    重量%のB2 5 を含んで拡がり性が優秀で気泡が発生
    されないようにしたことを特徴とする請求項6記載の磁
    気ヘッド。
  8. 【請求項8】 磁気記録媒体に記録された信号を消去す
    るための磁気ヘッドの製造方法において、高投射率の材
    料からなる一対の磁気フェライトブロックのギャップの
    形成側の面に多数のトラック幅規制用の溝を形成して隣
    接されたトラック幅の規制溝の間に垂直形の突出部が形
    成されるようにする段階と、 前記磁気フェライトブロックを一つに一体化するため
    に、前記ブロック中のいづれか一つのブロックのギャッ
    プ形成側の面に前記トラック幅の規制溝と直交するコイ
    ルの巻線用溝を形成する段階と、 前記トラック幅の規制溝と垂直形突出部の表面が形成さ
    れたいづれか一つの磁気フェライトブロック上に、非磁
    性酸化物で形成されて磁気コア部材のクラック現状を防
    止するための第1非磁性薄膜と、非磁性物質からなる第
    1非磁性金属薄膜と、高飽和磁速密度を持つ物質からな
    る強磁性金属薄膜と、磁気ギャップを形成するために第
    1非磁性薄膜と同一な性質を持つ物質からなる第2非磁
    性薄膜及び第1非磁性金属薄膜と同一な性質を持つ物質
    からなる第2非磁性の金属薄膜などが磁気コア部材の表
    面から順次的に積層させる段階と、一対の磁気フェライ
    トブロックのギャップの形成面を接合用のガラスを使っ
    て前記2個の磁気フェライトブロックを接合する段階
    と、 前記接合されたブロックを所定の位置に切断して一対の
    磁気コアの部材からなる磁気ヘッドを得る段階及び前記
    磁気ヘッドの磁気記録媒体との接触面を円弧の形態で研
    削する段階とからなることを特徴とする磁気ヘッドの製
    造方法。
  9. 【請求項9】 前記第1非磁性の薄膜は、SiO2 ,A
    2 3 ,Ta2 5 中のいづれか一つを磁気フェライ
    トブロックの上に積層させたことを特徴とする請求項8
    記載の磁気ヘッドの製造方法。
  10. 【請求項10】 前記第1非磁性の金属薄膜は、クロム
    Cr、チタンTi、アルミニウムAl中のいづれか一つ
    を前記第1非磁性の薄膜上に積層させたことを特徴とす
    る請求項8記載の磁気ヘッドの製造方法。
  11. 【請求項11】 前記第1非磁性の薄膜と、第1非磁性
    の金属薄膜を含む薄膜の厚さが0.01〜0.03μm
    であることを特徴とする請求項8記載の磁気ヘッドの製
    造方法。
  12. 【請求項12】 前記第1非磁性の薄膜が少なくとも
    0.005μm以上の厚さを持つように積層されたこと
    を特徴とする請求項11記載の磁気ヘッドの製造方法。
  13. 【請求項13】 前記第1非磁性の薄膜が少なくとも
    0.005μm以上の厚さで積層されたことを特徴とす
    る請求項11記載の磁気ヘッドの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記フェライトブロックに形成された
    トラック幅の規制溝により規制されるトラック幅が常に
    一定に維持されることを特徴とする請求項8記載の磁気
    ヘッドの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記接合用ガラスは、前記磁気フェラ
    イトブロックを相互接するのに適した拡がり性と硬度を
    持ち気泡の発生がないように15〜40%のSiO2
    45〜75重量%のPbO、0〜15重量%のZnO、
    0〜3重量%のK2 O、0〜6重量%のNa2 O,0〜
    3重量%のAl2 3 、5〜20重量%のBi2 3
    び1〜2重量%のB2 5を含む組成物からなることを
    特徴とする請求項8記載の磁気ヘッドの製造方法。
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