JPS63195513A - 光学式非接触位置測定装置 - Google Patents
光学式非接触位置測定装置Info
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- JPS63195513A JPS63195513A JP62027084A JP2708487A JPS63195513A JP S63195513 A JPS63195513 A JP S63195513A JP 62027084 A JP62027084 A JP 62027084A JP 2708487 A JP2708487 A JP 2708487A JP S63195513 A JPS63195513 A JP S63195513A
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- parallel
- measured
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- slits
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 40
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は位置測定装置に関し、特に光学的に非接触で被
測定面の位置を測定する装置に関する。
測定面の位置を測定する装置に関する。
（従来の技術〕
従来、この種の装置は、三角測量の原理を用い、被測定
面の位置の変化による角度の変化を光電変換素子を用い
て測定する装置と、被測定面の位置の定点からのずれ（
変位）によって生ずる像点のずれを光電変換素子によっ
て検出し、サーボ機構によってそのずれを補償するよう
に装置を移動し、その移動量を測定する補償法による装
置に大別される。
面の位置の変化による角度の変化を光電変換素子を用い
て測定する装置と、被測定面の位置の定点からのずれ（
変位）によって生ずる像点のずれを光電変換素子によっ
て検出し、サーボ機構によってそのずれを補償するよう
に装置を移動し、その移動量を測定する補償法による装
置に大別される。
第４図は三角測量の原理を用いた従来の変位測定装置を
示す図である。
示す図である。
レーザ光源（不図示）からのレーザビームは被測定面Ｓ
上の点Ｐで反射して、度盛円盤１３にとり付けられテレ
スコープ、スリットおよび光電変換素子によって構成さ
れている角度検出器１２に入射する。被測定面Ｓの、レ
ーザビーム方向の変位ΔＺによる、角度検出器１２の角
度変化はΔθ＝Δｚ−ｓｉｎφ／Ｒ−−−−−−（１）
である。ここで、φは点Ｐと度盛円盤１１の中心を結ぶ
直線とレーザビームのなす角度であり、Ｒは点Ｐと度盛
円盤１３の中心との間の距離である。
上の点Ｐで反射して、度盛円盤１３にとり付けられテレ
スコープ、スリットおよび光電変換素子によって構成さ
れている角度検出器１２に入射する。被測定面Ｓの、レ
ーザビーム方向の変位ΔＺによる、角度検出器１２の角
度変化はΔθ＝Δｚ−ｓｉｎφ／Ｒ−−−−−−（１）
である。ここで、φは点Ｐと度盛円盤１１の中心を結ぶ
直線とレーザビームのなす角度であり、Ｒは点Ｐと度盛
円盤１３の中心との間の距離である。
第５図は補償法による変位測定器の１例のナイフェツジ
型定点センサの構成図である。
型定点センサの構成図である。
、 やや発散したレーザ光線は微小ミラー７で反射され
てレンズＩＡに入射し、面Ｓ上の点Ｐで結像して反射さ
れる。反射光は再びレンズＩＡに入射し点Ｑで結像する
。ナイフェツジ遮へい板１５は、その先端に設けられた
ナイフェツジが点Ｑに位置決めされ、レンズＩＡの光軸
に垂直に配設されている。
てレンズＩＡに入射し、面Ｓ上の点Ｐで結像して反射さ
れる。反射光は再びレンズＩＡに入射し点Ｑで結像する
。ナイフェツジ遮へい板１５は、その先端に設けられた
ナイフェツジが点Ｑに位置決めされ、レンズＩＡの光軸
に垂直に配設されている。
また、受光ダイオード１６Ａ 、 １６Ｂは光軸とナイ
フェツジによって定義される平面について面対称に配置
されている。定点センサ１４全体は、サーボ機構によっ
て移動され、その移動量は計測される。被測定面Ｓが点
Ｐにあるとき（結像点が点Ｑにあるとき）、受光ダイオ
ード＋６Ａ 、 １６Ｂ’の差動出力ＥＡ−Ｅ、がＯに
なるように装置は予め調節されている。被測定面Ｓが点
Ｐからずれて、結像点が点Ｑからずれると、受光ダイオ
ード１６Ａまたは１６Ｂに入射する光の一部がナイフェ
ツジ遮へい板１５によって遮へいされ、差動出力ＥＡ−
ＥＢが０でなくなる。サーボ機構は、この差動出力を０
にするように定点センサ１４を移動させ、その移動量を
測定することにより被測定面Ｓの変位を知ることができ
る。
フェツジによって定義される平面について面対称に配置
されている。定点センサ１４全体は、サーボ機構によっ
て移動され、その移動量は計測される。被測定面Ｓが点
Ｐにあるとき（結像点が点Ｑにあるとき）、受光ダイオ
ード＋６Ａ 、 １６Ｂ’の差動出力ＥＡ−Ｅ、がＯに
なるように装置は予め調節されている。被測定面Ｓが点
Ｐからずれて、結像点が点Ｑからずれると、受光ダイオ
ード１６Ａまたは１６Ｂに入射する光の一部がナイフェ
ツジ遮へい板１５によって遮へいされ、差動出力ＥＡ−
ＥＢが０でなくなる。サーボ機構は、この差動出力を０
にするように定点センサ１４を移動させ、その移動量を
測定することにより被測定面Ｓの変位を知ることができ
る。
上述した三角測量による変位測定装置では、式（１）か
ら明らかなように、任意のΔ２に対して、φがπ／２に
等しいときΔθは最大になるので、レーザビームに対し
て直角に近い方向に角度検出器１２を置くことが望まし
いが、この場合には第６図に示されているようなシャド
ウ効果（反射光が突出部によって遮られて検出器に入射
しない現象）が起こるおそれがあるという欠点がある。
ら明らかなように、任意のΔ２に対して、φがπ／２に
等しいときΔθは最大になるので、レーザビームに対し
て直角に近い方向に角度検出器１２を置くことが望まし
いが、この場合には第６図に示されているようなシャド
ウ効果（反射光が突出部によって遮られて検出器に入射
しない現象）が起こるおそれがあるという欠点がある。
また、第５図のナイフェツジ型定点センサは被測定面に
発散光束が入射するため、被測定面の位置が変化すると
像の位置ばかりでなく大きさも変化するのでサーボ機構
を用いなければ位置測定をすることができず、また、被
測定面が傾いていて反射光線の強度分布が光軸に対して
軸対称になっていない場合には精度の高い測定値が得ら
れないという欠点がある。
発散光束が入射するため、被測定面の位置が変化すると
像の位置ばかりでなく大きさも変化するのでサーボ機構
を用いなければ位置測定をすることができず、また、被
測定面が傾いていて反射光線の強度分布が光軸に対して
軸対称になっていない場合には精度の高い測定値が得ら
れないという欠点がある。
本発明の目的は、以上の問題点を解決し、被測定面が複
雑な３次元自由曲面で１反射率、粗さ、曲率、反射面の
傾斜角が異っても精度よく、かつ、死角（シャドウ効果
）を生ずることなく、被測定面の変位を広範囲に非接触
で測定することができる光学式非接触位置測定装置を提
供することである。
雑な３次元自由曲面で１反射率、粗さ、曲率、反射面の
傾斜角が異っても精度よく、かつ、死角（シャドウ効果
）を生ずることなく、被測定面の変位を広範囲に非接触
で測定することができる光学式非接触位置測定装置を提
供することである。
本発明の光学式非接触位置測定装置は、光軸に平行で中
心に孔を有する凸レンズと、前記凸レンズに隣接して被
測定面と反対側に前記光軸に垂直に設置されていて光軸
との交点に孔を有し、さらに２個の平行な直線スリット
を有する遮へい板と、平行光線を発生する平行光線発生
手段と、前記平行光線発生手段から出射された平行光線
を面記光軸上に反射し、前記遮へい板の孔および前記凸
レンズの中心の孔を経て被測定面に入射させる反射手段
と、ＣＣＤラインセンサと、前記遮へい板と前記ＣＣＤ
ラインセンサの間に配設された円筒レンズと、前記ＣＣ
Ｄラインセンサの出力を入力として、被測定面の位置を
算出する演算手段を有し、前記直線スリットは、いずれ
も前記光軸を含む所定の平面に垂直になるように設けら
れ、前記ＣＣＤラインセンサは前記所定の平面内に、か
つ遮へい板に平行に設置さね、前記円筒レンズは、母線
がＣＣＤラインセンサに平行で前記所定の平面について
面対称に配置されている。
心に孔を有する凸レンズと、前記凸レンズに隣接して被
測定面と反対側に前記光軸に垂直に設置されていて光軸
との交点に孔を有し、さらに２個の平行な直線スリット
を有する遮へい板と、平行光線を発生する平行光線発生
手段と、前記平行光線発生手段から出射された平行光線
を面記光軸上に反射し、前記遮へい板の孔および前記凸
レンズの中心の孔を経て被測定面に入射させる反射手段
と、ＣＣＤラインセンサと、前記遮へい板と前記ＣＣＤ
ラインセンサの間に配設された円筒レンズと、前記ＣＣ
Ｄラインセンサの出力を入力として、被測定面の位置を
算出する演算手段を有し、前記直線スリットは、いずれ
も前記光軸を含む所定の平面に垂直になるように設けら
れ、前記ＣＣＤラインセンサは前記所定の平面内に、か
つ遮へい板に平行に設置さね、前記円筒レンズは、母線
がＣＣＤラインセンサに平行で前記所定の平面について
面対称に配置されている。
反射手段によって凸レンズの中心の孔から出射された平
行光線が測定系の光軸上に出射され、反射光が同じ光軸
を有する光学系で観測されるため、死角は存在しない。
行光線が測定系の光軸上に出射され、反射光が同じ光軸
を有する光学系で観測されるため、死角は存在しない。
被測定面からの反射光がレンズ系およびスリットによっ
てＣＣＤラインセンサ上に結像する位置についての情報
は、ＣＣＤラインセンサの、光が入射したＣＯＤ素子の
アドレスから得られる。すなわち、出力電圧が極大にな
るＣＣＤ素子番号が必要な情報であるから、従来のアナ
ログ光電変換出力を用いる装置のように検出器への入射
光の強さまたは光量の変化に測定値が依存することはな
く、したがって被測定面の反射率や外部からの妨害信号
に影響されない再現性のある測定結果が得られる。また
、ＣＣＤラインセンサによる結像位置検出は、従来技術
のように光の強度分布がレンズの光軸に関して軸対称で
あることを前提にしていない。したがって、被測定面が
光軸に対して垂直でなく、その結果、光の強度分布が光
軸に関して非対称であっても測定結果は影響されない。
てＣＣＤラインセンサ上に結像する位置についての情報
は、ＣＣＤラインセンサの、光が入射したＣＯＤ素子の
アドレスから得られる。すなわち、出力電圧が極大にな
るＣＣＤ素子番号が必要な情報であるから、従来のアナ
ログ光電変換出力を用いる装置のように検出器への入射
光の強さまたは光量の変化に測定値が依存することはな
く、したがって被測定面の反射率や外部からの妨害信号
に影響されない再現性のある測定結果が得られる。また
、ＣＣＤラインセンサによる結像位置検出は、従来技術
のように光の強度分布がレンズの光軸に関して軸対称で
あることを前提にしていない。したがって、被測定面が
光軸に対して垂直でなく、その結果、光の強度分布が光
軸に関して非対称であっても測定結果は影響されない。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の光学式非接触位置測定装置の一実施例
の要部の断面図、第２図は第１図の装置の光学系の要部
の配置を示す図、第３図は第１図のＣＣＤラインセンサ
ｌＯの出力信号を示す図である。
の要部の断面図、第２図は第１図の装置の光学系の要部
の配置を示す図、第３図は第１図のＣＣＤラインセンサ
ｌＯの出力信号を示す図である。
焦点路、＠ｆが３６ｍｍの凸レンズ１の中心には光軸２
に平行に直径約３■の孔３が設けられている。
に平行に直径約３■の孔３が設けられている。
凸レンズ１に隣接して被測定面と反対側に遮へい板４が
、光軸２に垂直に設置され、遮へい板４の光軸２との交
点に直径約３０１１１１の孔５が設けられている。また
、遮へい板４には、幅が０．１ｍｍの２本の平行な直線
スリット６＾、 ６Ｂが設けられ、それぞれのスリット
６Ａ、６Ｂは光軸２を含む１つの平面を対称面（以下鉛
直対称面２０と記す）として面対称に設けられている。
、光軸２に垂直に設置され、遮へい板４の光軸２との交
点に直径約３０１１１１の孔５が設けられている。また
、遮へい板４には、幅が０．１ｍｍの２本の平行な直線
スリット６＾、 ６Ｂが設けられ、それぞれのスリット
６Ａ、６Ｂは光軸２を含む１つの平面を対称面（以下鉛
直対称面２０と記す）として面対称に設けられている。
本実施例では、スリット６八。
６Ｂは、光軸２を含み、かつ鉛直対称面に直交する平面
（以下、水平対称面２１と記す）に対して対称に（上下
対称）に２４ｍｍの間隔で配置されている。
（以下、水平対称面２１と記す）に対して対称に（上下
対称）に２４ｍｍの間隔で配置されている。
１ｉｅ−Ｎｅレーザ光源９から出射した平行光線はミラ
ー８で反射され、さらに光軸２上に配設された微小ミラ
ー７で光−抛２上に反射される。ＣＣＤラインセンサｌ
Ｏは、遮へい板４からの距離＆が１００ｍｍの位置に、
鉛直対称面２０内に遮へい板４に平行に設置されている
。円筒レンズ１１は、その母線２２がＣＣＤラインセン
サｌＯと平行になる向きに、かつ、鉛直対称面２０につ
いて面対称になるように配設されている。
ー８で反射され、さらに光軸２上に配設された微小ミラ
ー７で光−抛２上に反射される。ＣＣＤラインセンサｌ
Ｏは、遮へい板４からの距離＆が１００ｍｍの位置に、
鉛直対称面２０内に遮へい板４に平行に設置されている
。円筒レンズ１１は、その母線２２がＣＣＤラインセン
サｌＯと平行になる向きに、かつ、鉛直対称面２０につ
いて面対称になるように配設されている。
次に、本実施例の動作について説明する。
微小ミラー７によって光軸２上に反射されたレーザ光は
遮へい板４および凸レンズ１の孔５および３を通過して
非測定面Ｓで反射される。反射光は凸レンズ１に入射し
て屈折し、スリット６八。
遮へい板４および凸レンズ１の孔５および３を通過して
非測定面Ｓで反射される。反射光は凸レンズ１に入射し
て屈折し、スリット６八。
６Ｂを通過して円筒レンズｌ’ｌによって、その母線２
２に垂直な向きに屈折してＣＣＤＣＣラインセンサ上に
収束する。被測定面Ｓ上のレーザ光の入射点が凸レンズ
１の焦点Ｆであるときには、スリット６＾、 ６Ｂを通
過した光線は平行ななるが（第１図実線の光路）、被測
定面Ｓが変位してレーザ光が点Ｐに入射すると、スリッ
ト６Ａ、 ６Ｂを通過した光線は発散または収束する（
第１図点線の光路）。被測定面Ｓが変位してレーザ光の
入射点がＦからΔ２だけ変位したとき、２つの光線が入
射するＣＣＤ素子間隔Ｘは で与えられる。したがってｄ ＝ ２４ｍｍ、 Ｊ２
＝ １００ｍｍ、ｆ＝３６ｍｍを代入し、Ｘを求めれ
ば、ΔＺを計算によって求めることができる。Ｘは、Ｃ
ＣＤ出力のピーク間隔をＣＣＤラインセンサ番号から求
めることにより容易に求められる。
２に垂直な向きに屈折してＣＣＤＣＣラインセンサ上に
収束する。被測定面Ｓ上のレーザ光の入射点が凸レンズ
１の焦点Ｆであるときには、スリット６＾、 ６Ｂを通
過した光線は平行ななるが（第１図実線の光路）、被測
定面Ｓが変位してレーザ光が点Ｐに入射すると、スリッ
ト６Ａ、 ６Ｂを通過した光線は発散または収束する（
第１図点線の光路）。被測定面Ｓが変位してレーザ光の
入射点がＦからΔ２だけ変位したとき、２つの光線が入
射するＣＣＤ素子間隔Ｘは で与えられる。したがってｄ ＝ ２４ｍｍ、 Ｊ２
＝ １００ｍｍ、ｆ＝３６ｍｍを代入し、Ｘを求めれ
ば、ΔＺを計算によって求めることができる。Ｘは、Ｃ
ＣＤ出力のピーク間隔をＣＣＤラインセンサ番号から求
めることにより容易に求められる。
本実施例の測定範囲は凸レンズ１の焦点を基準としてΔ
ｚ＝−２〜＋２２＋ｎｍであり、この装置によって分解
できる変位は、ＣＣＤラインセンサ１０か２０５９素子
の場合約１２μｓである。
ｚ＝−２〜＋２２＋ｎｍであり、この装置によって分解
できる変位は、ＣＣＤラインセンサ１０か２０５９素子
の場合約１２μｓである。
なお、本実施例においてはスリット６八、 ６Ｂは鉛直
対称面２０と水平対称面２１の両方について面対称にな
るように設けであるが、スリット６Ａ、 ６Ｂは鉛直対
称面に垂直であればよく、必ずしも鉛直対称面２０、水
平対称面２】について対称である必要はない。
対称面２０と水平対称面２１の両方について面対称にな
るように設けであるが、スリット６Ａ、 ６Ｂは鉛直対
称面に垂直であればよく、必ずしも鉛直対称面２０、水
平対称面２】について対称である必要はない。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、
（１）位置検出手段としてＣＣＤラインセンサを用い、
被測定面で反射して２個のスリットを通過した光線をＣ
ＣＤラインセンサ上に収束させることにより、被測定面
の変位Δ２がピーク出力のＣＣＤラインセンサ番号のみ
に依存するようにすることができ、その結果、被測定面
の反射率、粗さ、曲率、傾きによる影響が低減され、（
２） レンズ系の光軸上に平行光線を出射し、反射光を
同じ光軸の光学系でひろうため、測定の死角が生ぜず、
（３）非接触測定であるので接触測定では支障のある弾
性体、軟体、または高温容器中の物体等の変位測定にも
用いることができる効果がある。
被測定面で反射して２個のスリットを通過した光線をＣ
ＣＤラインセンサ上に収束させることにより、被測定面
の変位Δ２がピーク出力のＣＣＤラインセンサ番号のみ
に依存するようにすることができ、その結果、被測定面
の反射率、粗さ、曲率、傾きによる影響が低減され、（
２） レンズ系の光軸上に平行光線を出射し、反射光を
同じ光軸の光学系でひろうため、測定の死角が生ぜず、
（３）非接触測定であるので接触測定では支障のある弾
性体、軟体、または高温容器中の物体等の変位測定にも
用いることができる効果がある。
第１図は本発明の光学式非接触位置測定装置の３施例の
構成図、第２図は第１図の装置の光学系の要部の配置を
示す図、第３図は第１図のＣＯＤライセンサＩＯの出力
信号を示す図、第４図は三角測計の原理を用いた従来の
変位測定装置を示す図、第５図は補償法による変位測定
器の１例のナイフェツジ型定点センサの構成図、第６図
はシャドウ効果を説明する図である。 １・・・・・・・・・凸レンズ、 ２・・・・・・・・・光軸、 ３．５−・・孔、 ４−−−−−−・・・遮へい板、 ６Ａ、 ６Ｂ・・・スリット、 ７・・・・・・・・・微小ミラー、 ８・・・・・・・・・ミラー、 ９−−・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源、 ＩＯ・・・・・・−ＣＣＤラインセンサ、１１・・・・
・・・・・円筒レンズ、 ２０・・・・・・・・・鉛直対称面、 ２１・・・・・・・・・水平対称面、 ２２・・・・・・・・・母線。
構成図、第２図は第１図の装置の光学系の要部の配置を
示す図、第３図は第１図のＣＯＤライセンサＩＯの出力
信号を示す図、第４図は三角測計の原理を用いた従来の
変位測定装置を示す図、第５図は補償法による変位測定
器の１例のナイフェツジ型定点センサの構成図、第６図
はシャドウ効果を説明する図である。 １・・・・・・・・・凸レンズ、 ２・・・・・・・・・光軸、 ３．５−・・孔、 ４−−−−−−・・・遮へい板、 ６Ａ、 ６Ｂ・・・スリット、 ７・・・・・・・・・微小ミラー、 ８・・・・・・・・・ミラー、 ９−−・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源、 ＩＯ・・・・・・−ＣＣＤラインセンサ、１１・・・・
・・・・・円筒レンズ、 ２０・・・・・・・・・鉛直対称面、 ２１・・・・・・・・・水平対称面、 ２２・・・・・・・・・母線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光軸に平行で中心に孔を有する凸レンズと、前記凸レン
ズに隣接して被測定面と反対側に前記光軸に垂直に設置
されていて光軸との交点に孔を有し、さらに２個の平行
な直線スリットを有する遮へい板と、 平行光線を発生する平行光線発生手段と、 前記平行光線発生手段から出射された平行光線を前記光
軸上に反射し、前記遮へい板の孔および前記凸レンズの
中心の孔を経て被測定面に入射させる反射手段と、 ＣＣＤラインセンサと、 前記遮へい板と前記ＣＣＤラインセンサの間に配設され
た円筒レンズと、 前記ＣＣＤラインセンサの出力を入力として、被測定面
の位置を算出する演算手段を有し、前記直線スリットは
、いずれも前記光軸を含む所定の平面に垂直になるよう
に設けられ、前記ＣＣＤラインセンサは前記所定の平面
内に、かつ遮へい板に平行に設置され、前記円筒レンズ
は、母線がＣＣＤラインセンサに平行で前記所定の平面
について面対称に配置されている光学式非接触位置測定
装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62027084A JPH0652171B2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 光学式非接触位置測定装置 |
| EP88101956A EP0279347B1 (en) | 1987-02-10 | 1988-02-10 | Optical axis displacement sensor |
| DE88101956T DE3880854T2 (de) | 1987-02-10 | 1988-02-10 | Optische Achsenverschiebungsfühler. |
| US07/154,198 US4897536A (en) | 1987-02-10 | 1988-02-10 | Optical axis displacement sensor with cylindrical lens means |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62027084A JPH0652171B2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 光学式非接触位置測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63195513A true JPS63195513A (ja) | 1988-08-12 |
| JPH0652171B2 JPH0652171B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=12211209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62027084A Expired - Lifetime JPH0652171B2 (ja) | 1987-02-10 | 1987-02-10 | 光学式非接触位置測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4897536A (ja) |
| EP (1) | EP0279347B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0652171B2 (ja) |
| DE (1) | DE3880854T2 (ja) |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3920133A1 (de) * | 1989-06-20 | 1991-01-03 | Siemens Ag | Optischer sensor zur untersuchung der lage und/oder der kontur eines objekts |
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- 1988-02-10 EP EP88101956A patent/EP0279347B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-10 DE DE88101956T patent/DE3880854T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0652171B2 (ja) | 1994-07-06 |
| EP0279347B1 (en) | 1993-05-12 |
| US4897536A (en) | 1990-01-30 |
| DE3880854T2 (de) | 1993-12-23 |
| DE3880854D1 (de) | 1993-06-17 |
| EP0279347A2 (en) | 1988-08-24 |
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