JPS6258785B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、灯油などの液体燃料、水、薬液など
の液体の霧化器に関するものであり、さらに詳し
くは、圧電振動子などの電気振動子を利用した霧
化器に関するものである。

従来例の構造とその問題点 従来この種の霧化器は、第１図に示すように構
成されている。すなわち電気振動子１の相対向す
る平滑面には、電極膜２ａ，２ｂが形成され、電
極膜２ｂとノズル板３とは、樹脂接着剤や金属鑞
材などによる接着層４ａを介して接合がされてい
た。さらにノズル板３の他方の面と、支持容器５
は上記と同様の接着層４ｂを介して接合されてい
た。

電気振動子１は、主成分がPbO、TiO₂、
ZrO₂、NbO、MgOからなるセラミツク体で、円
形中央部に開口部を設けたリング形状を有し、電
極膜２ａ，２ｂは、銀系の厚膜用導電性ペースト
の焼結体などが用いられ、ノズル板３はデイスク
状に加工された金属板で、振動子からの振動が加
振され易いように薄板（厚さ約50μｍ程度）が用
いられ、その中央部には液体（図面省略）が微細
に噴霧化され易いようにノズル孔６（孔径約70〜
100μｍ）が、１あるいは１以上設けられてい
た。なお、電極膜２ａは外部リード線接続用電極
であり、支持容器５には液体通路７および液体室
８が設けられ、このように霧化ポンプユニツトは
構成されていた。

この構成では、ノズル板３が超音波振動により
加振され、ノズル孔６から液体を噴霧化させるた
め、その際の液体通過でノズル孔６の表面が次第
にエツチングされノズル孔が大きくなり、従つて
霧化粒径ならびに霧化量が変化しやすいという欠
点を有していた。

発明の目的 本発明は、かかる従来の欠点を除去するもの
で、霧化器の動作時、ノズル孔表面におよぼすエ
ツチング現象を抑制することを目的とする。

発明の構成 この目的を達成するために本発明は、リング形
状を有し一対の電極を設けた電気振動子と、この
電気振動子で加振される一ないし一以上のノズル
孔を設けたノズル板と、前記ノズル板を支持する
支持容器とから構成され、前記のノズル板に設け
られたノズル孔及びノズル孔周囲部の表面に耐摩
耗性の高い薄膜を形成したものである。

この構成によつて、ノズル表面は耐摩耗性の薄
膜で保護される。従つて、ノズル表面におよぼす
エツチング現象は抑制され、霧化粒径ならびに霧
化量の安定した霧化ポンプユニツトが得られる。

実施例の説明 以下、本発明の一実施例を、第２図、第３図を
用いて説明する。尚、これらの図において第１図
と同じものについては、同一番号を付している。

第２図において、電気振動子１は外径10mm、開
口径3.5mm、厚さ1.0mmのリング状の従来と同じも
のを選び、その対向する平滑面上には、電極膜２
ａ，２ｂが形成されている。ノズル板３はコバー
ルのデイスク状薄板（厚さ約50μｍ）で、中央付
近に複数個のノズル孔６（孔径70〜100μｍ）を
設けたものを選んだ。また、ノズル板３の一部を
含めたノズル孔周囲部６′ならびにノズル孔６の
表面は、第３図に示す如くクロムの薄膜９が真空
蒸着により形成されている。尚、ノズル板３はコ
バール以外に、ステンレス、ニツケル、チタン、
洋白、鉄、鉄−ニツケルなど通常の金属薄板でも
良い。薄膜９は、クロム以外に、炭化ケイ素、二
酸化ケイ素、炭化硼素など耐摩耗性に優れたもの
であれば良く、形成方法も真空蒸着の他、スパツ
タリングなどでも可能である。

ついで、電気振動子１（電極膜２ｂ）とノズル
板３ならびにノズル板３と支持容器５は、樹脂接
着剤や金属鑞材などの接着層４ａ，４ｂを介して
接合される。尚、液体通路７および液体室８は従
来と同じである。

上記構成の霧化器と従来の霧化器を比較するた
め、連続霧化動作試験をおこなつた。連続霧化動
作試験は、液体に灯油を用い、一定電圧を印加し
10000Hrsの霧化動作をし、ノズル孔６の孔径比
較ならびに霧化量について調べた。その結果、本
実施例の霧化器では、試験後の孔径変化が±３％
以内で霧化量も安定であつたのに対し、従来構成
ではエツチングにより、孔径が約10〜20％増大
し、霧化量も変化していることが確認された。ま
た本実施例の場合では、孔径ならびに霧化量に変
化が見られず、従つて霧化粒径も殆んど変つてい
ないものと考えられる。

尚、実施例では、ノズル孔６ならびにノズル孔
６周囲部の表面に、薄膜を形成した構成を述べた
が、他にノズル孔の表面に薄膜を形成した場合に
ついても同様の効果が得られる。

発明の効果 本発明の霧化器によれば、次の効果が得られ
る。

すなわちノズル孔、ノズル周囲部の表面に耐摩
耗性の優れた薄膜を形成するため、液体通過によ
るエツチング現象が抑制され、従つて霧化粒径な
らびに霧化量の安定化が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の霧化器の構成を示す断面図、第
２図は本発明の霧化器の一実施例を示す断面図、
第３図は同要部の拡大断面図である。 １……電気振動子、２ａ……電極膜、２ｂ……
電極膜、３……ノズル板、４ａ……接着層、４ｂ
……接着層、５……支持容器、６……ノズル孔、
６′……ノズル周囲部、７……液体通路、８……
液体室、９……薄膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ リング形状で一対の電極を設けた電気振動子
   と、この電気振動子で加振される一ないし一以上
   のノズル孔を設けたノズル板と、前記ノズル板を
   支持する支持容器とから構成され、前記のノズル
   板に設けられたノズル孔及びノズル孔周囲部の表
   面に耐摩耗性の高い薄膜を形成した霧化器。