JPS5952562A - 霧化器 - Google Patents
霧化器Info
- Publication number
- JPS5952562A JPS5952562A JP16463082A JP16463082A JPS5952562A JP S5952562 A JPS5952562 A JP S5952562A JP 16463082 A JP16463082 A JP 16463082A JP 16463082 A JP16463082 A JP 16463082A JP S5952562 A JPS5952562 A JP S5952562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- nozzle orifice
- plate
- atomizer
- nozzle plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油などの液体燃料、水、薬液などの液体の
霧化器に関するものであシ、さらに詳しくは、圧電振動
子などの電気振動子を利用した霧化器に関するものであ
る。
霧化器に関するものであシ、さらに詳しくは、圧電振動
子などの電気振動子を利用した霧化器に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点 。
従来この種の霧化器は、第1図に示すように構成されて
いる。すなわち電気振動子1の相対向する平滑面には、
電極膜2a、2bが形成され、電極膜2bとノズル板3
とは、樹脂接着剤や金属鑞材などによる接着層4aを介
して接合がされていた0さらにノズ次板3の他々の面と
、支持容器6は上記と同様の接着層−すを介して接合さ
れていたO 電気振動子1は、主成分がPbO,TiO2,ZrO2
゜NbO,Mgoからなるセラミック体で、円形中央部
に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜2a・2b
は、銀糸の厚膜用導電性ペーストの焼結体などが用いら
れ、ノズル板3はディスク状に加工された金属板で、振
動子からの振動が加振され易いように薄板(厚さ約50
μnl程度)が用いられ、その中央部には液体(図面省
略)が微細に噴霧化され易いキうにノズル孔6(孔径約
70〜100μm)が、1あるいは1以上設けられてい
た。なお、電極膜2aは外部リード線接続用電極であり
、支持容器5には液体通路7.および液体室8が設けら
れ、このように霧化ポンプユニットは構成されていた。
いる。すなわち電気振動子1の相対向する平滑面には、
電極膜2a、2bが形成され、電極膜2bとノズル板3
とは、樹脂接着剤や金属鑞材などによる接着層4aを介
して接合がされていた0さらにノズ次板3の他々の面と
、支持容器6は上記と同様の接着層−すを介して接合さ
れていたO 電気振動子1は、主成分がPbO,TiO2,ZrO2
゜NbO,Mgoからなるセラミック体で、円形中央部
に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜2a・2b
は、銀糸の厚膜用導電性ペーストの焼結体などが用いら
れ、ノズル板3はディスク状に加工された金属板で、振
動子からの振動が加振され易いように薄板(厚さ約50
μnl程度)が用いられ、その中央部には液体(図面省
略)が微細に噴霧化され易いキうにノズル孔6(孔径約
70〜100μm)が、1あるいは1以上設けられてい
た。なお、電極膜2aは外部リード線接続用電極であり
、支持容器5には液体通路7.および液体室8が設けら
れ、このように霧化ポンプユニットは構成されていた。
この構成では、ノズル板3が超音波振動により加振され
、ノズル孔6から液体を噴霧化させるため、その際の液
体通過でノズル孔6の表面が次第にエツチングされノズ
ル孔が大きくなり、従って霧化粒径ならびに霧化量が変
化しやすいという欠点を有していた。
、ノズル孔6から液体を噴霧化させるため、その際の液
体通過でノズル孔6の表面が次第にエツチングされノズ
ル孔が大きくなり、従って霧化粒径ならびに霧化量が変
化しやすいという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は、かかる従来の欠点を除去するもので、霧化器
の動作時、ノズル孔表面におよぼすエツチング現象を抑
制することを目的とする。
の動作時、ノズル孔表面におよぼすエツチング現象を抑
制することを目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明は、リング形状を有し
一対の電極を設けた電気振動子と、この電気振動子で加
振されるーないし一以上のノズル孔を設けたノズル板と
、前記ノズル板を支持する支持容器とから構成され、前
記のノズル板に設けられたノズル孔及びノズル孔周囲部
の表面に耐摩耗性の高い薄膜を形成したものである。
一対の電極を設けた電気振動子と、この電気振動子で加
振されるーないし一以上のノズル孔を設けたノズル板と
、前記ノズル板を支持する支持容器とから構成され、前
記のノズル板に設けられたノズル孔及びノズル孔周囲部
の表面に耐摩耗性の高い薄膜を形成したものである。
この構成によって、ノズル表面は耐摩耗性の薄膜で保護
される。従って、ノズル表面におよばずエツチング現象
は抑制され、霧化粒径ならびに霧化量の安定した霧化ポ
ンプユニットが得られる。
される。従って、ノズル表面におよばずエツチング現象
は抑制され、霧化粒径ならびに霧化量の安定した霧化ポ
ンプユニットが得られる。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を、第2図、第3図を用いて説
明する。尚、これらの図において第1図と同じものにつ
いては、同一番号を付している。
明する。尚、これらの図において第1図と同じものにつ
いては、同一番号を付している。
第2図において、電気振動子1は外径10M。
開口径3.5語、厚さ1.OJBのリング状の従来と同
じものを選び、その対向する平滑面上には、電極膜2a
、2bが形成されている。ノズル板3はコバールのディ
スク状薄板(厚さ約60μm)で、中央付近に複数個の
ノズル孔6(孔径7o〜100μm)を設けたものを選
んだ。また、ノズル板3の一部を含めたノズル孔周囲部
6′ならびにノズル孔6の表面は、第3図に示す如くク
ロムの薄膜9が真空蒸着により形成されている0尚、ノ
ズル板3はコバール以外に、ステンレス、ニッケル、チ
タン、洋白、鉄、鉄−ニッケルなど通常の金属薄板でも
良い。薄膜9は、クロム以外に、炭化ケイ素、二酸化ケ
イ素、炭化硼素など耐摩耗性に優れたものであれば良く
、形成方法も真空蒸着の他、スパッタリングなどでも可
能である0 ついで、電気振動子1(電極膜2b)とノズル板3なら
びにノズル板3と支持容器5は、樹脂接着剤や金属鑞材
なとの接着層4a、4bを介して接合される。尚、液体
通路7および液体室8は従来と同じである。
じものを選び、その対向する平滑面上には、電極膜2a
、2bが形成されている。ノズル板3はコバールのディ
スク状薄板(厚さ約60μm)で、中央付近に複数個の
ノズル孔6(孔径7o〜100μm)を設けたものを選
んだ。また、ノズル板3の一部を含めたノズル孔周囲部
6′ならびにノズル孔6の表面は、第3図に示す如くク
ロムの薄膜9が真空蒸着により形成されている0尚、ノ
ズル板3はコバール以外に、ステンレス、ニッケル、チ
タン、洋白、鉄、鉄−ニッケルなど通常の金属薄板でも
良い。薄膜9は、クロム以外に、炭化ケイ素、二酸化ケ
イ素、炭化硼素など耐摩耗性に優れたものであれば良く
、形成方法も真空蒸着の他、スパッタリングなどでも可
能である0 ついで、電気振動子1(電極膜2b)とノズル板3なら
びにノズル板3と支持容器5は、樹脂接着剤や金属鑞材
なとの接着層4a、4bを介して接合される。尚、液体
通路7および液体室8は従来と同じである。
上記構成の霧化器と従来の霧化器を比較するため、連続
霧化動作試験をおこなった。連続霧化動作試験は、液体
に灯油を珀い、一定電圧を印加し1000 Hrsの霧
化動作をし、ノズル孔6の孔径比較ならびに霧化量につ
いて調べたOその結果、本実施例の霧化器では、試験後
の孔径変化カビ3チ以内で霧化量も安定であったのに対
し、従来構成ではエツチングにより、孔径が約10〜2
0%増大し、霧化量も変化していることが確認された。
霧化動作試験をおこなった。連続霧化動作試験は、液体
に灯油を珀い、一定電圧を印加し1000 Hrsの霧
化動作をし、ノズル孔6の孔径比較ならびに霧化量につ
いて調べたOその結果、本実施例の霧化器では、試験後
の孔径変化カビ3チ以内で霧化量も安定であったのに対
し、従来構成ではエツチングにより、孔径が約10〜2
0%増大し、霧化量も変化していることが確認された。
また本実施例の場合では、孔径ならびに霧化量に変化が
見られず、従って霧化i径も殆んど変って尚、実施例で
は、ノズル孔6ならびにノズル孔6周囲部の表面に、薄
膜を形成した構成を述べたが、他にノズル孔の表面に薄
膜を形成した場合についても同様の効果が得られる。
見られず、従って霧化i径も殆んど変って尚、実施例で
は、ノズル孔6ならびにノズル孔6周囲部の表面に、薄
膜を形成した構成を述べたが、他にノズル孔の表面に薄
膜を形成した場合についても同様の効果が得られる。
発明の効果
本発明の霧化器によれば、次の効果が得られる。
すなわちノズル孔、ノズル周囲部の表面に耐摩耗性の優
れた薄膜を形成するため、液体通過によるエツチング現
象が抑制され、従って霧化粒径ならびに霧化量の安定化
が得られる。
れた薄膜を形成するため、液体通過によるエツチング現
象が抑制され、従って霧化粒径ならびに霧化量の安定化
が得られる。
第1図は従来の霧化器の構成を示す断面図、第2図は本
発明の霧化器の一実施例を示す断面図、第3図は同要部
の拡大断面図である。 1・・・・・・−気振動子、2a・・・・・・電極膜、
2b・・・・・・電極膜、3・・・・・・ノズル板、4
a・・・・・・接着層、4b・・・・・・接着層、5・
・・・・・支持容器、6・・・・・・ノズル孔、6′・
・・・・・ノズル周囲部、7・・・・・・液体通路、8
・・・・・・液体室、9・・・・・・薄膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名wS
l 図 第2図 第3図 ゝ−□□□−−〜N 329
発明の霧化器の一実施例を示す断面図、第3図は同要部
の拡大断面図である。 1・・・・・・−気振動子、2a・・・・・・電極膜、
2b・・・・・・電極膜、3・・・・・・ノズル板、4
a・・・・・・接着層、4b・・・・・・接着層、5・
・・・・・支持容器、6・・・・・・ノズル孔、6′・
・・・・・ノズル周囲部、7・・・・・・液体通路、8
・・・・・・液体室、9・・・・・・薄膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名wS
l 図 第2図 第3図 ゝ−□□□−−〜N 329
Claims (1)
- リング形状で一対の電極を設けた電気振動子と、この電
気振動子で加振されるーないし一以上のノズル孔を設け
たノズル板と、前記ノズル板を支持する支持容器とから
構成され、前記のノズル板に設けられたノズル孔及びノ
ズル孔周囲部の表面に耐摩耗性の高い薄膜を形成した霧
化器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16463082A JPS5952562A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 霧化器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16463082A JPS5952562A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 霧化器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5952562A true JPS5952562A (ja) | 1984-03-27 |
JPS6258785B2 JPS6258785B2 (ja) | 1987-12-08 |
Family
ID=15796847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16463082A Granted JPS5952562A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 霧化器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5952562A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62271505A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-25 | Mitsubishi Electric Corp | 多周波共用ホ−ンアンテナ |
AU633643B2 (en) * | 1990-03-30 | 1993-02-04 | General Electric Company | Deposition of a hard coating in a nozzle orifice |
CN103752452A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-30 | 李玉彬 | 一种复合雾化片 |
WO2015011608A1 (en) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Koninklijke Philips N.V. | A mesh for use in a nebuliser, and a method of manufacturing the same |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16463082A patent/JPS5952562A/ja active Granted
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62271505A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-25 | Mitsubishi Electric Corp | 多周波共用ホ−ンアンテナ |
AU633643B2 (en) * | 1990-03-30 | 1993-02-04 | General Electric Company | Deposition of a hard coating in a nozzle orifice |
WO2015011608A1 (en) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Koninklijke Philips N.V. | A mesh for use in a nebuliser, and a method of manufacturing the same |
CN105408028A (zh) * | 2013-07-22 | 2016-03-16 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于在雾化器中使用的网筛以及制作该网筛的方法 |
US20160158464A1 (en) * | 2013-07-22 | 2016-06-09 | Koninklijke Philips N.V. | A mesh for use in a nebuliser, and a method of manufacturing the same |
JP2016525407A (ja) * | 2013-07-22 | 2016-08-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | ネブライザにおいて使用するメッシュ、及びこのメッシュを製造する方法 |
RU2669082C2 (ru) * | 2013-07-22 | 2018-10-08 | Конинклейке Филипс Н.В. | Сетка для использования в небулайзере, а также способ ее изготовления |
CN105408028B (zh) * | 2013-07-22 | 2018-11-09 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于在雾化器中使用的网筛以及制作该网筛的方法 |
US11357931B2 (en) | 2013-07-22 | 2022-06-14 | Koninklijke Philips N.V. | Mesh for use in a nebuliser, and a method of manufacturing the same |
CN103752452A (zh) * | 2013-12-20 | 2014-04-30 | 李玉彬 | 一种复合雾化片 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6258785B2 (ja) | 1987-12-08 |
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