JPS62206463A

JPS62206463A - 基板検査機

Info

Publication number: JPS62206463A
Application number: JP61048293A
Authority: JP
Inventors: Mitsuaki Kageyama; 蔭山　光明; Sumio Tajima; 田島　澄雄; Katsunobu Ikeda; 池田　克信
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1986-03-07
Filing date: 1986-03-07
Publication date: 1987-09-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野コこの発明は、印刷回路基板または同様な基板（この明細
書では基板と総称する）の導通検査、絶縁検査などの検
査を行う基板検査機に関する。

［従来の技術］基板の導通検査、絶縁検査などを行う基板検査機は、検
査すべき基板をプレスエレベータに設けられた基板保持
台」二に位置決め保持させ、プレスエレベータによって
プローバへ押し付け、その基板のテストポイントをプロ
ーバのプローブピンに押接させて検査を行う構成となっ
ている。

一般に基板関係ではインチ系によって寸法が決定すして
おり、プローブピンおよび基板のテストポイントとなる
スルーホール、パッドなとは通常、２．５４ｍｎ＋（１
００ミル）間隔の格子」−に配列されている。

［解決しようとする問題点コさて、検査の対象となる基板として、第２図に示すよう
な内層基板１０がある。この内層基板１０は絶縁フィル
ムに２枚分の基板パターン１２Ａ。

１２Ｂを印刷したものである。１４Ａ、１８Ｂは基板パ
ターン１２Ａの基準穴であって、１４Ｂ。

１６Ｂは基板パターン１２Ｂの基準穴である。基板パタ
ーン１２Ａ、１２Ｂのスルーホール、パ・ソドなどは、
それらの対応する基準穴を原点とした２、５４ｍｍ間隔
の格子」二に配置されている。しかし、基板パターン１
２Ａ用の基準穴１４Ａ、１６Ａと基板パターン１２Ｂ用
の基準穴１４Ｂ、１６Ｂとの間隔は、その格子間隔の整
数倍となっていない。

従来の基板検査機において、このような２面構成の内層
基板１０を検査する場合、つぎのような問題があった。

基板保持台にはプローブピンの配列格子１ユに位置決め
ピンが設けられており、内層基板１０は、その基準穴１
４Ａおよび１６Ａ（または基準穴１４Ｂ、１６Ｂ）と位
置決めピンとの嵌合によって位置決めされる。したがっ
て、一方の基板パターン１２Ａ（または１２Ｂ）のテス
トポイントとプローブピンとの位置は一致するが、他方
の基板パターンのテストポイントはプローブピンと位置
がずれてしまう。

このような場合、従来の基板検査機においては、例えば
基板パターン１２Ａの検査を行ってから、内層基板１０
を水平に１８０度向きを変えて基板保持台に１ｆセツト
し、他方の基板パターン１２Ｂの検査を行う必要があり
、非能率的であった。また、そのような操作が必要であ
ったため、基板のハンドリングの自動化が容易でなかっ
た。

［発明の目的］したがって、この発明の目的は、そのような内層基板な
どの検査を効率化できるようにした基板検査機を提供す
ることにある。

［問題点を解決するための手段］この目的を達成するために、この発明は、プローバに配
列された多数のプローブピンに基板を押し付け、そのテ
ストポイントを前記プローブピンに押接して前記基板の
導通検査などを行う基板検査機において、基板を位置決
めして保持するための基板保持台をプレスエレベータ」
―に特定方向にスライド可能に支持する手段と、前記基
板保持体を前記特定方向に移動させるため手段とを設け
るものである。

［作用］このような構成であるから、基板保持台に基板を保持し
たまま、基板とプローブピンとの相対的位置を調整でき
る。

したがって、例えば第２図の内層基板１０を検査する場
合、一方の基板パターン（１２Ａ）のテストポイントの
配列格子とプローブピンの配列格子と一致するように基
板保持台を位置させて、その基板パターンに関する検査
を行い、つぎに基板保持台を移動させて他方の基板パタ
ーン（１２Ｂ）のテストポイントの配列格子とプローブ
ピンの配列格子とを一致させ、その基板パターンに関す
る検査を行うことができる。

このように、従来と違って、基板の向きを変えて基板保
持台に再セットするというような面倒な操作が不要とな
り、検査を効率的に行うことができる。また、基板ハン
ドリングの自動化も容易になる。

［実施例コ以下、この発明の一実施例について図面を参照し説明す
る。

第１図は、この発明による基板検査機の一実施例の要部
の構成を簡略化して示す概略部分断面正面図である。

この図において、２２はプローバであり、固定板２４に
固定されている。このプローバ２２の下面側には多数の
プローブピン２６が格子状に配列されて設けられている
。このプローブピン２６の配列格子のピッチは２．５４
ｉ＋ｍである。各プローブピン２６は、その先端（図中
下端）力月二下に移動可能であり、内蔵スプリングによ
って下向きに付勢されている。

３０は基板をプローバ２２に押し付けるためのプレスエ
レベータであり、エアーシリンダ３２によって昇降させ
られるようになっている。３４は基板保持台であり、プ
レスエレベータ３０に固定されたレール３６に沿って左
右にスライド可能に支持されている。なお、レール３６
は前後に２本並設されている。

基板保持台３４の最上部は交換可能なパレット３８とな
っており、検査すべき基板は符号４０で示すようにパレ
ット３８　ｈに位置決め保持される。

この位置決めのために、基板４０の位置決め穴に対応し
た位置決めピン４２がパレット３８に植設されている。

４４は基板保持台３４を図中左右方向に移動させるため
のモータであり、その回転軸はジヨイント４６を介して
スクリューシャフト４８に結合されている。スクリュー
シャフト４８は軸受５０゜５２によって回転自在にプレ
スエレベータ３０に支持されている。モータ４４の回転
によってスクリューシャフト４８に沿い移動するナツト
５４は、基板保持台３４に固定されている。

５６は原点センサである。基板保持台３４がその原点に
位置している場合に、この原点センサ５６の出力信号が
オン状態になる。この信号は図示しない処理制御部に入
力される。また、モータ４４およびエアーシリンダ３２
の駆動制御もその処理制御部によってなされる。処理制
御部には導通検査、絶縁検査などのための電子回路が設
けられており、その電子回路はプローブピン２６と電気
的に接続されている。

次に第２図に示した内層基板１０を検査する場合を想定
し、この基板検査機の動作を説明する。

この場合、内層基板１０の基準穴（位置決め穴）１４Ａ
、１４Ｂ、１６Ａ、１６Ｂに対応した位置決めピン４２
が設けられたパレット３８が基板保持台３４にセットさ
れ、内層基板１０は符号４０にλバすように位置決め保
持される。

最初、基板保持台３４を原点に位置させるようにモータ
４４が制御される。基板保持台３４が原点に位置した時
に、基準穴１４Ａ、ＩＥ３Ａがプローブピン２６の配列
格子に一致するように位置決めピン４２の位置が決定さ
れるでいる。

エアーシリンダ３２が順方向駆動されてプレスエレベー
タ３０が押し上げられ、内層基板１０はプローバ２２に
押し付けられる。これにより、内層基板１０の一方の基
板パターン１２Ａのテストポイントはプローブピン２６
に押接させられ、処理制御部の検査のための電子回路と
接続され、検査される。他方の基板パターン１２Ｂのテ
ストポイントの配列格子はプローブピン２６の配列格子
と位置がずれるため、そのテストポイントとプローブピ
ン２６とは押接しない。

このようにして、基板パターン１２Ａについての導通検
査、絶縁検査などが終了すると、エアーシリンダ３２は
逆方向駆動されてプレスエレベータ３０は降下する。

この降下が完ｒすると、基板保持台３４をその原点から
内層基板１０に対応した特定の距離および方向に移動さ
せるように、処理制御部によってモータ４４が駆動され
る。これにより、基板パターン１２Ｂ用の基準穴１４Ｂ
、１６Ｂの位置とプローブピン配列格子とが一致し、従
って基板パターン１２Ｂのテストポイントの位置がプロ
ーブピン２６と対応するようになる。

なお、このような基板保持台３４の移動制御のための情
報は予め処理制御部に記憶されており、その情報に基づ
いてモータ４４の駆動制御が行われる。

このような基板保持台３４の移動が完了すると、エアー
シリンダ３２が順方向駆動されてプレスエレベータ３０
は再び−に昇し、内層基板１０は再びプローバ２２に押
し付けられる。この場合、基板パターン１２Ｂのテスト
ポイントとプローブピン２６とが押接し、その検査が実
行される。

この検査が完了すと、プレスエレベータ３０が降下させ
られ、次に基板保持台３４は原点に戻される。

なお、基板保持台の構造、それを移動可能に支持したり
移動させる手段などは適宜変更してよいものである。

また、この発明は、基板のパターンの形状検査などを行
う基板検査機についても同様に適用し得るものである。

［発明の効果］以上説明したように、この発明は、基板を位置決めして
保持するための基板保持台をプレスエレベータ−にに特
定方向にスライド可能に支持する手段と、前記基板保持
体を前記特定方向に移動させるため手段とを設けるもの
であって、基板保持台に基板を保持したまま、基板とプ
ローブピンとの相対的位置を調整できる。したがって、
この発明によれば、前記内層基板のような基板も効率的
に検査すことができる基板検査機を実現でき、また、そ
のような基板のハンドリングの自動化も容易に実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による基板検査機の一実施例の要部の
構成を簡略化して示す概略部分断面正面図、第２図は２
而分の基板パターンが印刷された内層基板の概略平面図
である。２２・・・プローバ、２６・・・プローブピン、３０・
・・プレスエレベータ、３４・・・基板保持台、３６・
・・レール、４４・・・モータ、４８・・・スクリュー
シャフト、５４・・・ナツト。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）プローバに配列された多数のプローブピンに基板
を押し付け、そのテストポイントを前記プローブピンに
押接して前記基板の導通検査などを行う基板検査機であ
って、基板を位置決めして保持するための基板保持台を
プレスエレベータ上に特定方向にスライド可能に支持す
る手段と、前記基板保持体を前記特定方向に移動させる
ための駆動手段とを備えることを特徴とする基板検査機
。