JPH0658978A - 移動式プローバ機構 - Google Patents
移動式プローバ機構Info
- Publication number
- JPH0658978A JPH0658978A JP4229163A JP22916392A JPH0658978A JP H0658978 A JPH0658978 A JP H0658978A JP 4229163 A JP4229163 A JP 4229163A JP 22916392 A JP22916392 A JP 22916392A JP H0658978 A JPH0658978 A JP H0658978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin head
- pin
- probe
- wiring pattern
- grid point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基板に対して小数のプローブピンｐ
を有するピンヘッドを移動して、配線パターンの任意の
格子点を検査できる移動式プローバ機構を提供する。 【構成】 配線パターンの格子点に対する１個のプロー
ブピンｐを有する１ピンヘッド４と、数個ないしは十数
個の格子点に対応する小数のプローブピンｐを有する多
ピンヘッド５とを具備し、これらを独立にＸ，Ｙ方向に
移動して、配線パターンの任意に指定された格子点の位
置に停止する、それぞれ２組のＸ移動機構32.33 とＹ移
動機構35,36 、および停止した１ピンヘッドと多ピンヘ
ッドとを独立に下降して、それぞれのプローブピンを指
定された格子点に押接する２組のＺ移動機構37,38 とに
より構成される。 【効果】 各ピンヘッド４，５は小数のプローブピンｐ
により経済的に構成され、保全作業も容易であるなどの
利点があり、プリント基板の特定の格子点に対する検査
に寄与する。
を有するピンヘッドを移動して、配線パターンの任意の
格子点を検査できる移動式プローバ機構を提供する。 【構成】 配線パターンの格子点に対する１個のプロー
ブピンｐを有する１ピンヘッド４と、数個ないしは十数
個の格子点に対応する小数のプローブピンｐを有する多
ピンヘッド５とを具備し、これらを独立にＸ，Ｙ方向に
移動して、配線パターンの任意に指定された格子点の位
置に停止する、それぞれ２組のＸ移動機構32.33 とＹ移
動機構35,36 、および停止した１ピンヘッドと多ピンヘ
ッドとを独立に下降して、それぞれのプローブピンを指
定された格子点に押接する２組のＺ移動機構37,38 とに
より構成される。 【効果】 各ピンヘッド４，５は小数のプローブピンｐ
により経済的に構成され、保全作業も容易であるなどの
利点があり、プリント基板の特定の格子点に対する検査
に寄与する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板の配線
パターン検査用の移動式プローバ機構に関する。
パターン検査用の移動式プローバ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３(a) は、電子計算機などに使用され
る大型のプリント基板（以下単に基板という）１とその
配線パターン11を例示するもので、基板１の大きいもの
は、縦幅ＷH と横幅ＷL が数十ｃｍあり、この表面に配
線パターン11がプリントされている。配線パターン11は
(b) に示すように、例えば２．５４ｍｍの間隔ｄをなす
格子点ｑを基準とし、これに沿って形成されている。配
線パターン1 には断線や短絡、または絶縁不良などは絶
対に許されないので、プローバ機構を有する検査装置に
より、導通および絶縁試験を行って良否が検査されてい
る。
る大型のプリント基板（以下単に基板という）１とその
配線パターン11を例示するもので、基板１の大きいもの
は、縦幅ＷH と横幅ＷL が数十ｃｍあり、この表面に配
線パターン11がプリントされている。配線パターン11は
(b) に示すように、例えば２．５４ｍｍの間隔ｄをなす
格子点ｑを基準とし、これに沿って形成されている。配
線パターン1 には断線や短絡、または絶縁不良などは絶
対に許されないので、プローバ機構を有する検査装置に
より、導通および絶縁試験を行って良否が検査されてい
る。
【０００３】図４は、上記の大型の基板１に対するプロ
ーバ機構２の基本構成を示す。図４(a) において、ベー
ス盤211 に固定された２本（または４本）のスライド棒
212 と、その上端に固定された固定板213 によりフレー
ム21が形成される。ベース盤211 には基板１を位置決め
して載置する載置台25が設けられる。各スライド棒212
には、上下移動機構23により昇降する昇降板22が取り付
けられ、その底面には、(b) に示すように、基板１のす
べての格子点ｑに対応する位置にそれぞれプローブピン
ｐが植設されたプローブ板24が設けられる。ここで、植
設されたプローブピンｐの個数をみると、例えば基板１
の有効範囲を４００ｍｍの方形とし、格子間隔を２．５
４ｍｍとすると、総数は約３万個の多数に達する。以上
により構成されたプローバ機構２の各プローブピンｐ
は、ケーブルにより検査部（図示省略）に接続される。
検査においては、載置台25に被検査の基板１が位置決め
して載置され、これに対して上下移動機構23によりプロ
ーブ板24を下降すると、各プローブピンｐが配線パター
ン11の全格子点ｑに同時に押接され、各格子点ｑが一括
してプローブされて、それぞれの相互間の導通と絶縁が
検査部により検査される。
ーバ機構２の基本構成を示す。図４(a) において、ベー
ス盤211 に固定された２本（または４本）のスライド棒
212 と、その上端に固定された固定板213 によりフレー
ム21が形成される。ベース盤211 には基板１を位置決め
して載置する載置台25が設けられる。各スライド棒212
には、上下移動機構23により昇降する昇降板22が取り付
けられ、その底面には、(b) に示すように、基板１のす
べての格子点ｑに対応する位置にそれぞれプローブピン
ｐが植設されたプローブ板24が設けられる。ここで、植
設されたプローブピンｐの個数をみると、例えば基板１
の有効範囲を４００ｍｍの方形とし、格子間隔を２．５
４ｍｍとすると、総数は約３万個の多数に達する。以上
により構成されたプローバ機構２の各プローブピンｐ
は、ケーブルにより検査部（図示省略）に接続される。
検査においては、載置台25に被検査の基板１が位置決め
して載置され、これに対して上下移動機構23によりプロ
ーブ板24を下降すると、各プローブピンｐが配線パター
ン11の全格子点ｑに同時に押接され、各格子点ｑが一括
してプローブされて、それぞれの相互間の導通と絶縁が
検査部により検査される。
【０００４】上記のプローバ機構２は基本構成であっ
て、基板１には、上記と異なる間隔の格子点を基準とす
る配線パターンが混在する場合があり、これに対して格
子変換とよばれる機構がプローバ機構２に付加される。
また、配線パターン11に対する温湿度などの環境条件を
変えて繰り返し検査を行うために、プローブピンｐを部
分的に植設した特殊のプローブ板24を使用する方式な
ど、各種のバリエィションのものが考案されて実用され
ている。
て、基板１には、上記と異なる間隔の格子点を基準とす
る配線パターンが混在する場合があり、これに対して格
子変換とよばれる機構がプローバ機構２に付加される。
また、配線パターン11に対する温湿度などの環境条件を
変えて繰り返し検査を行うために、プローブピンｐを部
分的に植設した特殊のプローブ板24を使用する方式な
ど、各種のバリエィションのものが考案されて実用され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のプローバ機構２
におけるプローブ板24には、全格子点ｑに対応するプロ
ーブピンｐが植設されているので、あらゆる配線パター
ン11に対応できる長所があるが、反面、プローブピンｐ
の個数は３万個またはそれ以上の多数であるため価格が
高価であり、また、すべてのプローブピンｐの動作を良
好とするための保全作業は、必ずしも容易ではないなど
の欠点がある。一方、同一の基板１を量産する場合、各
基板には特定の格子点に不良または異常が発生すること
が多く、その不良原因を解析するために、前記した特殊
のプローブ板24により、特定の格子点に対する検査が繰
り返して行われる。多品種少量の基板においても事情は
同様である。しかし、その場合の特定の格子点の座標
は、基板の生産ロットなどによりに種々に変化するの
で、特殊のプロープ板24は、その全面にかなりの多数の
プローブピンｐを分散して設けることが必要である。そ
こで、これを一歩進めて、小数のプローブピンｐを有す
るピンヘッドを設け、これを所望の格子点ｑの位置に移
動する方式とすれば、プローブピンｐの個数が大幅に減
少して安価に構成できるとともに、保全作業が極めて容
易となる。さらに、ピンヘッドを着脱可能とし、格子間
隔の異なる配線パターンにそれぞれ適するピンヘッドを
使用すれば、前記した格子変換機構が不要となる利点が
ある。この発明は上記の考えによりなされたもので、小
数のプローブピンｐを有するピンヘッドを具備し、これ
を移動して任意の格子点を検査できる移動式プローバ機
構を提供することを目的とする。
におけるプローブ板24には、全格子点ｑに対応するプロ
ーブピンｐが植設されているので、あらゆる配線パター
ン11に対応できる長所があるが、反面、プローブピンｐ
の個数は３万個またはそれ以上の多数であるため価格が
高価であり、また、すべてのプローブピンｐの動作を良
好とするための保全作業は、必ずしも容易ではないなど
の欠点がある。一方、同一の基板１を量産する場合、各
基板には特定の格子点に不良または異常が発生すること
が多く、その不良原因を解析するために、前記した特殊
のプローブ板24により、特定の格子点に対する検査が繰
り返して行われる。多品種少量の基板においても事情は
同様である。しかし、その場合の特定の格子点の座標
は、基板の生産ロットなどによりに種々に変化するの
で、特殊のプロープ板24は、その全面にかなりの多数の
プローブピンｐを分散して設けることが必要である。そ
こで、これを一歩進めて、小数のプローブピンｐを有す
るピンヘッドを設け、これを所望の格子点ｑの位置に移
動する方式とすれば、プローブピンｐの個数が大幅に減
少して安価に構成できるとともに、保全作業が極めて容
易となる。さらに、ピンヘッドを着脱可能とし、格子間
隔の異なる配線パターンにそれぞれ適するピンヘッドを
使用すれば、前記した格子変換機構が不要となる利点が
ある。この発明は上記の考えによりなされたもので、小
数のプローブピンｐを有するピンヘッドを具備し、これ
を移動して任意の格子点を検査できる移動式プローバ機
構を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、移動式プロ
ーバ機構であって、異なるサイズの各種の基板を、それ
ぞれ位置決めして載置する載置台と、基板の配線パター
ンの１個の格子点に対する１個のプローブピンを有する
１ピンヘッド、および数個ないしは十数個の格子点に対
応する小数のプローブピンを有する多ピンヘッドとを具
備する。制御部の制御により、１ピンヘッドと多ピンヘ
ッドとを独立にＸ，Ｙ方向に移動して、配線パターンの
任意に指定された格子点の位置に停止する２組のＸＹ移
動機構と、停止した１ピンヘッドと多ピンヘッドとを独
立に下降して、それぞれのプローブピンを指定された格
子点に押接する２組のＺ移動機構とにより構成される。
ーバ機構であって、異なるサイズの各種の基板を、それ
ぞれ位置決めして載置する載置台と、基板の配線パター
ンの１個の格子点に対する１個のプローブピンを有する
１ピンヘッド、および数個ないしは十数個の格子点に対
応する小数のプローブピンを有する多ピンヘッドとを具
備する。制御部の制御により、１ピンヘッドと多ピンヘ
ッドとを独立にＸ，Ｙ方向に移動して、配線パターンの
任意に指定された格子点の位置に停止する２組のＸＹ移
動機構と、停止した１ピンヘッドと多ピンヘッドとを独
立に下降して、それぞれのプローブピンを指定された格
子点に押接する２組のＺ移動機構とにより構成される。
【０００７】
【作用】上記の移動式プローバ機構においては、載置台
に対して異なるサイズの各種の被検査基板がそれぞれ位
置決めして載置される。制御部により制御された２組の
ＸＹ移動機構により、１ピンヘッドと多ピンヘッドは独
立にＸまたはＹ方向に移動し、配線パターンの任意に指
定された共通の格子点と、小数の格子点に停止する。つ
いで、各ピンヘッドは２組のＺ移動機構により下降し、
それぞれのプローブピンが対応する格子点に押接され、
共通の格子点と小数の各格子点の間の導通または絶縁検
査がなされる。ただし、多ピンヘッドの各プローブピン
の相互間の検査では、１ピンヘッドは使用しない。な
お、格子点に対する任意の指定は検査部により行われ
る。
に対して異なるサイズの各種の被検査基板がそれぞれ位
置決めして載置される。制御部により制御された２組の
ＸＹ移動機構により、１ピンヘッドと多ピンヘッドは独
立にＸまたはＹ方向に移動し、配線パターンの任意に指
定された共通の格子点と、小数の格子点に停止する。つ
いで、各ピンヘッドは２組のＺ移動機構により下降し、
それぞれのプローブピンが対応する格子点に押接され、
共通の格子点と小数の各格子点の間の導通または絶縁検
査がなされる。ただし、多ピンヘッドの各プローブピン
の相互間の検査では、１ピンヘッドは使用しない。な
お、格子点に対する任意の指定は検査部により行われ
る。
【０００８】
【実施例】図１および図２は、この発明の移動式プロー
バ機構３の一実施例を示す平面図であり、図２(a) は部
分断面図、図２(b) はプローバ機構３に対する検査部６
と制御部７の接続系統図をそれぞれ示す。図１に示すプ
ローバ機構３において、Ｘ，Ｙ軸を図示の方向とし、ベ
ース盤31に、異なるサイズの各種の基板（図示一点鎖線
または二点鎖線で例示）１に対して、４個の位置決め具
311 を位置変更を可能として固定する。また、ベース盤
31に２組のＸ移動機構32,33 とスライド棒34とを図示の
位置に配設する。各Ｘ移動機構32,33 は、モータ321,33
1 により回転するボールスクリュウ322,332 と、これら
に係合してＸ方向に移動する雌ねじ323,333 、および各
雌ねじ323,333 に固定され、スライド棒34に沿ってＸ方
向に移動する移動バー324,334 とよりなる。次に、各移
動バー324,334 に対してＹ移動機構35,36 をそれぞれ設
ける。各Ｙ移動機構35,36 は、各移動バー324,334 の図
示右端に固定されたモータ351,361と、各モータ351,361
に直結したプーリ352,362 、これらに対応したプーリ3
52,362 、各プーリの間に展張されたタイミングベルト3
53,363 、および各タイミングベルト353,363 に結合さ
れ、各移動バー324,334 に沿ってＹ方向に移動する移動
子354,364 とよりなる。次に、各移動子354,364 に対し
てそれぞれＺ移動機構37,38 を設け、各Ｚ機構に１個の
プローブピンを有する１ピンヘッド４と、数個〜十数個
（図では９個）のプローブピンｐを有する多ピンヘッド
５をそれぞれ固定する。図２(a) はＺ移動機構37の詳細
を示し、移動子354 に固定されたモータ371 と、これに
より回転するボールスクリュウ372 と、これに噛合する
雌ねじ373 よりなり、適当な結合具374 により雌ねじ37
3 に１ピンヘッド４が固定される。Ｚ移動機構38も同様
であるが、これに対する多ピンヘッド５は、各種の格子
間隔の配線パターン11に適合するものを交換可能として
固定する。以上の移動式プローバ機構３は、(b) のよう
に各ピンヘッド４，５は検査部６に、各Ｘ移動機構32,3
3 、各Ｙ移動機構35,36 および各Ｚ移動機構37,38 は、
それぞれ制御部７に接続されて検査、制御系統が構成さ
れる。
バ機構３の一実施例を示す平面図であり、図２(a) は部
分断面図、図２(b) はプローバ機構３に対する検査部６
と制御部７の接続系統図をそれぞれ示す。図１に示すプ
ローバ機構３において、Ｘ，Ｙ軸を図示の方向とし、ベ
ース盤31に、異なるサイズの各種の基板（図示一点鎖線
または二点鎖線で例示）１に対して、４個の位置決め具
311 を位置変更を可能として固定する。また、ベース盤
31に２組のＸ移動機構32,33 とスライド棒34とを図示の
位置に配設する。各Ｘ移動機構32,33 は、モータ321,33
1 により回転するボールスクリュウ322,332 と、これら
に係合してＸ方向に移動する雌ねじ323,333 、および各
雌ねじ323,333 に固定され、スライド棒34に沿ってＸ方
向に移動する移動バー324,334 とよりなる。次に、各移
動バー324,334 に対してＹ移動機構35,36 をそれぞれ設
ける。各Ｙ移動機構35,36 は、各移動バー324,334 の図
示右端に固定されたモータ351,361と、各モータ351,361
に直結したプーリ352,362 、これらに対応したプーリ3
52,362 、各プーリの間に展張されたタイミングベルト3
53,363 、および各タイミングベルト353,363 に結合さ
れ、各移動バー324,334 に沿ってＹ方向に移動する移動
子354,364 とよりなる。次に、各移動子354,364 に対し
てそれぞれＺ移動機構37,38 を設け、各Ｚ機構に１個の
プローブピンを有する１ピンヘッド４と、数個〜十数個
（図では９個）のプローブピンｐを有する多ピンヘッド
５をそれぞれ固定する。図２(a) はＺ移動機構37の詳細
を示し、移動子354 に固定されたモータ371 と、これに
より回転するボールスクリュウ372 と、これに噛合する
雌ねじ373 よりなり、適当な結合具374 により雌ねじ37
3 に１ピンヘッド４が固定される。Ｚ移動機構38も同様
であるが、これに対する多ピンヘッド５は、各種の格子
間隔の配線パターン11に適合するものを交換可能として
固定する。以上の移動式プローバ機構３は、(b) のよう
に各ピンヘッド４，５は検査部６に、各Ｘ移動機構32,3
3 、各Ｙ移動機構35,36 および各Ｚ移動機構37,38 は、
それぞれ制御部７に接続されて検査、制御系統が構成さ
れる。
【０００９】図１および図２により移動式プローバ機構
３の使用方法を説明する。被検査の基板１は、予め前記
の図４(a) のプローバ機構２により検査されて特定の不
良格子点ｑが検出されているものとし、または、最初か
ら特定の格子点ｑの検査を行うものとする。これらの特
定の格子点ｑの座標データは、検査部６のメモリに記憶
される。基板１は載置台（ベース盤）31に対して、４個
の位置決め具311 により位置決めして載置される。Ｚ移
動機構38には、被検査基板１の配線パターン11の格子間
隔に適合する多ピンヘッド５を装着する。検査部６より
制御部７に対して共通格子点と小数の検査格子点の座標
が指定される。制御部７によりＸ移動機構32,33 とＹ移
動機構35,36 が制御され、１ピンヘッド４と多ピンヘッ
ド５は、指定された共通格子点と、小数の検査格子点の
座標位置に独立に移動して停止する。ついで、各ピンヘ
ッド４，５はＺ移動機構37,38 により独立に下降し、そ
れぞれのプローブピンｐが対応する格子点に押接され
る。検査部６より共通格子点と、小数の検査格子点の間
に検査電圧が加圧されて、導通または絶縁検査がなされ
る。ただし、検査が検査格子点の相互間の場合は、１ピ
ンヘッド４を使用せず多ピンヘッド５のみにより検査さ
れる。
３の使用方法を説明する。被検査の基板１は、予め前記
の図４(a) のプローバ機構２により検査されて特定の不
良格子点ｑが検出されているものとし、または、最初か
ら特定の格子点ｑの検査を行うものとする。これらの特
定の格子点ｑの座標データは、検査部６のメモリに記憶
される。基板１は載置台（ベース盤）31に対して、４個
の位置決め具311 により位置決めして載置される。Ｚ移
動機構38には、被検査基板１の配線パターン11の格子間
隔に適合する多ピンヘッド５を装着する。検査部６より
制御部７に対して共通格子点と小数の検査格子点の座標
が指定される。制御部７によりＸ移動機構32,33 とＹ移
動機構35,36 が制御され、１ピンヘッド４と多ピンヘッ
ド５は、指定された共通格子点と、小数の検査格子点の
座標位置に独立に移動して停止する。ついで、各ピンヘ
ッド４，５はＺ移動機構37,38 により独立に下降し、そ
れぞれのプローブピンｐが対応する格子点に押接され
る。検査部６より共通格子点と、小数の検査格子点の間
に検査電圧が加圧されて、導通または絶縁検査がなされ
る。ただし、検査が検査格子点の相互間の場合は、１ピ
ンヘッド４を使用せず多ピンヘッド５のみにより検査さ
れる。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による移
動式プローバ機構においては、載置台に載置された被検
査基板に対して、それぞれ独立に移動する１ピンヘッド
と多ピンヘッドにより、配線パターンの任意に指定され
た共通格子点と、小数の検査格子点に対してプローブピ
ンが押接され、これらの格子点の相互間の導通または絶
縁検査がなされるもので、従来の全格子点に一括してプ
ローブピンを押接するプロープ板に比較して、各ピンヘ
ッドは１個または小数のプローブピンにより経済的に構
成され、保全作業も容易であるなどの利点があり、パタ
ーン配線の特定の格子点に対する検査に寄与するところ
には大きいものがある。
動式プローバ機構においては、載置台に載置された被検
査基板に対して、それぞれ独立に移動する１ピンヘッド
と多ピンヘッドにより、配線パターンの任意に指定され
た共通格子点と、小数の検査格子点に対してプローブピ
ンが押接され、これらの格子点の相互間の導通または絶
縁検査がなされるもので、従来の全格子点に一括してプ
ローブピンを押接するプロープ板に比較して、各ピンヘ
ッドは１個または小数のプローブピンにより経済的に構
成され、保全作業も容易であるなどの利点があり、パタ
ーン配線の特定の格子点に対する検査に寄与するところ
には大きいものがある。
【図１】 図１は、この発明の一実施例を示す移動式プ
ローバ機構３の平面図である。
ローバ機構３の平面図である。
【図２】 図２(a) は、図１の部分断面図であり、図２
(b) は、移動式プローバ機構３に対する検査部６と制御
部７の接続系統図をそれぞれ示す。
(b) は、移動式プローバ機構３に対する検査部６と制御
部７の接続系統図をそれぞれ示す。
【図３】 図３(a) は大型のプリント基板１とその配線
パターン11の一例を示す図、図３(b) は配線パターン11
の格子点ｑの説明図である。
パターン11の一例を示す図、図３(b) は配線パターン11
の格子点ｑの説明図である。
【図４】 図４(a) は一括プローブ方式のプローバ機構
２の基本構成図、図４(b) はプローバ機構２に設けられ
たプローブ板24の説明図である。
２の基本構成図、図４(b) はプローバ機構２に設けられ
たプローブ板24の説明図である。
１…プリント基板、単に基板、11…配線パターン、２…
プローバ機構、21…フレーム、211 …ベース盤、212 …
スライド棒、213 …固定板、22…昇降板、23…上下移動
機構、24…プローブ板、25…載置台、３…移動式プロー
バ機構、31…ベース盤、311 …位置決め具、32,33 …Ｘ
移動機構、321,331 …モータ、322,332 …ボールスクリ
ュウ、323,333 …雌ねじ、324,334 …移動バー、34…ス
ライド棒、35,36 …Ｙ移動機構、351,361 …モータ、35
2,362 …プーリ、353,363 …タイミングベルト、354,36
4 …移動子、37,38 …Ｚ移動機構、371 …モータ、372
…ボールスクリュウ、373 …雌ねじ、374 …結合具、４
…１ピンヘッド、５…多ピンヘッド、６…検査部、７…
制御部、ｑ…配線パターンの格子点、ｄ…格子点の間
隔、ｐ…プローブピン。
プローバ機構、21…フレーム、211 …ベース盤、212 …
スライド棒、213 …固定板、22…昇降板、23…上下移動
機構、24…プローブ板、25…載置台、３…移動式プロー
バ機構、31…ベース盤、311 …位置決め具、32,33 …Ｘ
移動機構、321,331 …モータ、322,332 …ボールスクリ
ュウ、323,333 …雌ねじ、324,334 …移動バー、34…ス
ライド棒、35,36 …Ｙ移動機構、351,361 …モータ、35
2,362 …プーリ、353,363 …タイミングベルト、354,36
4 …移動子、37,38 …Ｚ移動機構、371 …モータ、372
…ボールスクリュウ、373 …雌ねじ、374 …結合具、４
…１ピンヘッド、５…多ピンヘッド、６…検査部、７…
制御部、ｑ…配線パターンの格子点、ｄ…格子点の間
隔、ｐ…プローブピン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｔ 6921−4Ｅ
Claims (1)
- 【請求項１】 異なるサイズの各種のプリント基板を、
それぞれ位置決めして載置する載置台と、該プリント基
板の配線パターンの、１個の格子点に対する１個のプロ
ーブピンを有する１ピンヘッド、および数個ないしは十
数個の格子点に対応する小数のプローブピンを有する多
ピンヘッドとを具備し、制御部の制御により、該１ピン
ヘッドと多ピンヘッドとを独立にＸ，Ｙ方向に移動し
て、前記配線パターンの任意に指定された格子点の位置
に停止する２組のＸＹ移動機構と、該停止した１ピンヘ
ッドと多ピンヘッドとを独立に下降して、それぞれのプ
ローブピンを該指定された格子点に押接する２組のＺ移
動機構とにより構成されたことを特徴とする、移動式プ
ローバ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4229163A JPH0658978A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 移動式プローバ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4229163A JPH0658978A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 移動式プローバ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0658978A true JPH0658978A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16887776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4229163A Pending JPH0658978A (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 移動式プローバ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658978A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1217382A2 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-26 | Hansaem Digitec Co. Ltd. | Test pin unit for PCB test device and feeding device of the same |
| KR100490056B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2005-08-24 | 삼성전자주식회사 | 기판검사장치 |
| KR100624143B1 (ko) * | 2004-06-03 | 2006-09-18 | 주식회사 한샘디지텍 | 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브장치 |
| KR200449521Y1 (ko) * | 2008-05-16 | 2010-07-15 | 김동언 | 휴대폰 커넥터 검사장치 |
| JP2015057605A (ja) * | 2006-05-31 | 2015-03-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 大面積基板上での電子デバイス検査のためのプローバ |
| KR102236670B1 (ko) | 2020-11-23 | 2021-04-06 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사 장치 |
| KR20220056580A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
| KR20220056584A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
| KR20220071625A (ko) * | 2020-11-24 | 2022-05-31 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
| KR20220071620A (ko) * | 2020-11-24 | 2022-05-31 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
-
1992
- 1992-08-05 JP JP4229163A patent/JPH0658978A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100490056B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2005-08-24 | 삼성전자주식회사 | 기판검사장치 |
| EP1217382A2 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-26 | Hansaem Digitec Co. Ltd. | Test pin unit for PCB test device and feeding device of the same |
| EP1217382A3 (en) * | 2000-12-21 | 2003-08-27 | Hansaem Digitec Co. Ltd. | Test pin unit for PCB test device and feeding device of the same |
| KR100624143B1 (ko) * | 2004-06-03 | 2006-09-18 | 주식회사 한샘디지텍 | 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브장치 |
| JP2015057605A (ja) * | 2006-05-31 | 2015-03-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 大面積基板上での電子デバイス検査のためのプローバ |
| KR200449521Y1 (ko) * | 2008-05-16 | 2010-07-15 | 김동언 | 휴대폰 커넥터 검사장치 |
| KR20220056580A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
| KR20220056584A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
| KR102236670B1 (ko) | 2020-11-23 | 2021-04-06 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사 장치 |
| KR20220071625A (ko) * | 2020-11-24 | 2022-05-31 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
| KR20220071620A (ko) * | 2020-11-24 | 2022-05-31 | 주식회사 에머릭스 | Pcba 검사장치 |
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