JPH03210481A - プリント回路基板検査用可動プローブ式多点コンタクト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプリント回路基板の検査修理・調整に使用する
プリント回路基板測定検査装置に用いるプローブコンタ
クト装置及びその制御方法に関するものである。

〔従来の技術〕

プリント基板に実装された各電子部品及びその動作を検
査する際、各検査位置にコンタクトプローブを接触させ
電気的性能をチェックするプリント回路基板測定検査装
置において、従来は第１５図に示すような可動プローブ
式のプリント基板測定検査装置が提案されており、この
装置はガイド６８により所定の位置に位置決めされ取付
けられた被検基板６９上に各々独立して移動できる３本
のＸＹ駆動軸６２の６対に取付けられたコンタクトプロ
ーブ（６３Ａ〜６３Ｃ）をそのＸＹ力方向び上下方向の
制御を行なう位置制御部６５によって３ケ所検査箇所に
位置決めし、接触させることができるようにしたもので
ある。

この可動プローブ式プリント基板測定検査装置は、コン
トロール部６６に格納されているテーブルから検査位置
制御データが読出され、このデータによって位置制御部
６５がＸＹ駆動軸を制御しコンタクトプローブ（６３Ａ
〜６３Ｃ）のうち２本または３本を位置決め接触させる
。そして電気性能検査部６４により所定電圧を加え測定
を行い、測定が終了すると、コンタクトプローブを上昇
させ次のデータを読む。以上の検査を１つのプリント基
板の内の検査しようとする予め設定された測定回数たけ
繰り返し行なう。なおこのテーブルのデータを変更させ
ることによりコンタクトプローブの位置決め本数及び回
数を設定することかできる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記可動プローブ式のプリント基板測定検査装置では、
被検基板上への位置決め方法として、コントロール部に
格納されている被検基板上の各検査箇所の位置座標デー
タに基づいてのみ、干渉の検証もしないでコンタクトプ
ローブの位置決めをしているため、この格納位置座標デ
ータに誤り等の不備かあった場合コンタクトプローブの
位置決め動作中にコンタクトプローブ及びそのＸＹ駆動
軸が干渉しあうなど各検査箇所への正確な位置決めか簡
単に行われない可能性がある。

また、検査座標が互いに接近している場合に可動プロー
ブを高速で位置決めすると、勢い余って所定の位置より
オーバする、いわゆるオーバランを起こし、プローブか
干渉する恐れもある。

本発明はコンタクトプローブ及びＸＹ駆動軸が干渉する
ことなく、被検基板の全域にわたり、コンタクトプロー
ブの被検基板上の少なくとも４ケ所以上の検査箇所への
正確な位置決めと接触が容易に行なえるプリント回路基
板検査用プローブコンタクト装置を提供することをその
目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

前記問題点を解決すべく、本発明はプリント回路基板の
電気的検査を行なう基板検査装置において、被検基板を
両側より挟むように対向して設けられ各々独立して移動
可能な高さの異なる少なくとも２段以上で合計４個以上
のＸ軸駆動部と、このＸ軸駆動部より垂直方向で被検基
板上に位置しＸ軸駆動部と対を成し各々独立して移動可
能でありしかもリミットセンサを有する少なくとも４個
以上のＹ軸駆動部と、この対向するＸ軸駆動部の両側よ
り被検基板−ヒに位置した高さの等しいＹ軸駆動部同志
が向かい合った側に取付けられ各々独立して移動可能な
少なくとも４個以上のＺ軸駆動部と、このＺ軸駆動部と
対を成し被検基板のチェックランド及びこれに相当する
ランド座標位置に接触する少なくとも４本以上のコンタ
クトプローブと、被検基板を位置決めし固定する保持ビ
ンと、取付台とを備えて電気的検査に必要なチェック信
号を得るようにしたことを特徴とする。

〔作　用〕

本発明ではまず最初、最接近位置の１カ所に全てのコン
タクトプローブを位置決めして集める動作を行い、この
動作のうちでリミットセンサ等により検出を行い干渉の
可能性を検証する。干渉の可能性がないことか確認され
た時点で各検査座標位置に該当するコンタクトプローブ
を位置決めする。

コンタクトプローブのチェックランド座標位置への位置
決め手順として、まず被検基板上のコンタクトすべき各
ランド座標位置のうちコンタクトプローブが干渉する恐
れのある最接近ランド座標位置の一方を見い出す。次い
で各ランド座標位置へ接触させるコンタクトプローブの
うち、後に位置決め動作するコンタクトプローブと干渉
する恐れのないように、見い出した最接近ランド座標位
置に割り付けるのに最適な１本のコンタクトプローブを
そのランド座標位置にＸＹ軸駆動部で位置決めする。そ
の後、池のコンタクトプローブすべてを、見い出した最
接近ランド座標位置にリミットセンサが働くまで、残り
のＸＹ軸駆動部により最接近させる。次に、見い出した
最接近ランド座標位置のＸ座標を基準にして子方向で最
も離れた接触すべきランド座標位置から順次に、子方向
に移動可能なコンタクトプローブで後に動作する位置決
めされていないコンタクトプローブと干渉すル恐しのな
いコンタクトプローブを割り付けて、位置決めする。一
方向においても同様な位置決めを行なう。すべてのコン
タクトプローブが位置決めされた後に各ランド座標位置
にコンタクトプローブをＺ軸駆動部により接触させる。

〔実施例〕

（第１実施例） 以下本発明の第１実施例を図面を参照して説明する。

（構　成） 第１図（ｂ）に、本実施例のプリント回路基板検査装置
の上面より見た図を示し、第１図（ａ）に第１図（ａ）
の−点鎖線の断面を矢印の方向より見た図を示す。

本発明プリント回路基板検査用可動プローブ式多点コン
タクト装置は、被検基板１３上を各々独立して移動可能
な４個のＸ軸駆動部５．　６．　７．　８と、リミット
センサを有するＹ軸駆動部１，２３．４と、被検基板１
３のチェックランド及びこれに相当するランド座標位置
に各々独立に接触可能なコンタクトプローブＰＬ、　Ｐ
２．　Ｐ３．　Ｐ４を有するＺ軸駆動部９．１０．１１
１２とを備える。被検基板１３の固定台１５への固定は
、取付台１６に固定され被検基板を位置決め固定する段
付き保持ピン１４に被検基板をセントし、この取付台１
６を固定台１５で固定することにより行う。Ｘ軸駆動部
５〜８は、その被検基板１３を両側より挟むように隣接
して２軸づつ向かい合って配置させ、この２軸のうち被
検基板１３に近い側のＸ駆動軸５．７か低（、遠い側に
Ｘ駆動軸６．８か高くなるようにしている。Ｙ軸駆動部
Ｌ　　２．　３．　４はＸ軸駆動部５．　６．　７８と
それぞれ対になるように配置し、それぞれＸ軸駆動部よ
り垂直方向で被検基板１３上に位置するようにしている
。

リミットセンサについては、背の高いＸ軸駆動部６，８
と対になった２つのＹ軸駆動部２．４同志が向かい合っ
た面にリミットセンサＳ１が設けられ、隣接したＸ軸駆
動部５−６．７−８と対になった２組のＹ軸駆動部１−
２．３−４同志が向かい合った面にそれぞれリミットセ
ンサＳ２ｂ、　Ｓ２ａか設けられている。

Ｚ軸駆動部９．１０．１１．１２はＹ軸駆動部１，２３
．４とそれぞれ対とし、高さが等しいＹ軸駆動部２−３
．１−３同志か向かい合う側に位置させる。

コンタクトプローブＰＬ、　Ｐ２．　Ｐ３．　Ｐ４はＺ
軸駆動部９、　１０．１２．１１とそれぞれ対とし、背
の高さの等しいＺ軸駆動部９−１１．１０−１２か向か
い合う側に位置させる。この装置のＸＹ力方向おける最
接近する他のコンタクトプローブとの距離、すなわちコ
ンタクトプローブ間の最小ピッチを０．５ｍｍとする。

これは現状のランド隣接ピンチの限界か０．５ｍｍとい
うことに依存するものである。

（作　用） 第１．　２．　３．　４および５図を用いて説明する。

第１図（ａ）においてＹ軸駆動部３．４が互いに接近し
ていき同一垂直上に並んだ時、すなわちリミットセンサ
Ｓ２ａ同志か最接近した時にコンタクトプローブＰ３と
Ｐ４とがＸ軸において最小ピッチ０．５ｍｍの距離に位
置することになり、それ以上接近するとリミットセンサ
Ｓ２ａが働きＹ軸駆動部３はＹ軸駆動部４の右へ、逆に
Ｙ軸駆動部４はＹ軸駆動部３の左へ移動することはでき
なくなる。Ｙ軸駆動部１．２においても同様に互いに接
近していき同一垂直上に並んだ時、すなわちリミットセ
ンサＳ２ｂ同志か最接近したときにコンタクトプローブ
Ｐ１とＰ２とかＸ軸において最小ピンチ０．５ｍｍの距
離に位置することになり、それ以上接近するとりミント
スセンサＳ２ｂが働きＹ軸駆動部１はＹ軸駆動部２の左
へ、逆にＹ軸駆動部２はＹ軸駆動部１の右へ移動するこ
とはできなくなる。さらにＹ軸駆動部２．４か互いに接
近していき２本のコンタクトプローブＰ３とＰ２とのＸ
軸におけるピンチが０５化より小さくなるとリミットセ
ンサＳ１か働き、それ以上Ｙ軸駆動部２，４は互いに接
近することはできなくなる。つまり４本のコンタクトプ
ローブ同志か最接近する時は第２図（ａ）のように、横
側面から見た時はコンタクトプローブＰ４とＰ３．　Ｐ
３とＰ２Ｐ２とｐＨそれぞれのピッチが０．５ｍｍで、
上面から見た時は第２図（ｂ）のように、すべてのコン
タクトプローブが一直線上に重なった状態となり、これ
をリミットセンサＳ２ａ、　Ｓ２ｂおよびＳｌて検出す
る。

このコンタクト装置とＸＹＺ軸の動き及びセンサ部の感
知を管理・制御するコントロール部とは第３図に示すよ
うに接続する。

第４図は本実施例の動作フローチャートであり第５図に
示す被検基板のランド座標位置の例を用いて説明する。

位置決めの際のコンタクトプローブ同志の干渉防止のた
め、読込まれたデータのＸ座標において小さいものから
順次にコンタクトプローブＰＬ、　Ｐ２．　Ｐ３．　Ｐ
４を割当て、また、以下で見出す最接近ランド座標ピン
チのリミットを１０ｍｍとする。まずコントロール部２
に検査項目の４個のＸＹランド座標デデーＤｉ、　Ｄ２
．　Ｄ３．　Ｄ４か読込まれる。このランド座標のうち
コンタクトプローブか干渉する恐れのある最接近したラ
ンド座標位置ＤＩＤ２を見出す（第５図（ａ））。この
最接近したランド座標位置のうちＸ座標の小さいものか
ら数えて２番目であるデータＤ２に対応するコンタクト
プローブＰ２を選択する。ここで前のデータによってラ
ンド座標位置Ｄ２−上に位置決めされていたコンタクト
プローブＰ２か今回のデータによってランド座標位置Ｄ
２まで移動する際に他のコンタクトプローブと干渉する
恐れのある場合は（第５図（ｂ））、１度すべてのコン
タクトプローブを原点復帰させて（第５図（Ｃ））から
コンタクトプローブＰ２を位置決めする（第５図（ｄ）
）。干渉するおそれのない場合（第５図（ｅ））はその
ままコンタクトプローブＰ２を位置決めする（第５図（
ｆ））。次に上記最接近したランド座標位置Ｄｉ、　Ｄ
２間のピンチが１０ｍｍ以下の場合、残りのコンタクト
プローブＰｉ、　Ｐ３．　Ｐ４を順次にその最接近ラン
ド座標位置Ｄ２にリミットセンサＳ１．　Ｓ２が働く直
前まで最接近させる（第５図軸））。なお、このピンチ
か１０ｍｍを越える場合は、このコンタクトプローブ同
志の最接近は行わない。

そして位置決めされたランド座標位置Ｄ２を除いた残り
の位置決めされていないランド座標位置ＤＩＤ３．　Ｄ
４のＸ座標に基ついて、それぞれ対応したコンタクトプ
ローブＰＬ、　Ｐ３．　Ｐ４を割当てる。ここで前のデ
ータによるランド座標位置Ｄｉ”、Ｄ３−およびＤ４−
上に位置決めされていたコンタクトプローブＰＬ、　Ｐ
３．　Ｄ４が今回のデータによるランド座標位置Ｄｉ、
　Ｄ３．　Ｄ４まで移動する際に池のコンタクトプロー
ブと干渉する恐れのある場合は１度コンタクトプローブ
Ｐ２を除いた池の、すべてのコンタクトプローブを原点
復帰させる（第５図（ｈ））。そして位置決めされたラ
ンド座標位置Ｄ２のＸ座標を中心にして土方向の最も近
いランド座標位置から遠くのランド座標位置に順次に、
次に一方向の最も近くのランド座標位置から遠くのラン
ド座標位置に順次にＤ３→Ｄ３→Ｄ１に対してコンタク
トプローブをＰ３→Ｐ４→Ｐ１と内側から位置決めする
（第５図（ｋ））。

前のデータランド座標位置Ｄｉ　−、Ｄ３−　、　Ｄ４
−から今回のデータランド座標位置Ｄ１．　Ｄ３．　Ｄ
４ヘコンタクトプローブか移動する際、他のコンタクト
プローブと干渉する恐れかない場合には、原点復帰させ
ずにランド座標位置Ｄ２のＸ座標を中心にして＋方向に
最も離れたランド座標位置から近いランド座標位置に順
次に、次に一方向の最も離れたランド座標位置から近い
ランド［標位置に順次にＤ４→Ｄ３→Ｄ１に対しコンタ
クトプローブをＰ４→Ｐ３→ｐｔと外側から位置決めす
る（第５図（ｋ））。

、すべてのコンタクトプローブ（ＰＬ、　Ｐ２．　Ｐ３
．　Ｐ４）が位置決めされ後、各々のコンタクトプロー
ブに対応したランド座標位置にコンタクトプローブを接
触させ（Ｄｉ−Ｐｉ、　Ｄ２−Ｐ２．　Ｄ３−Ｐ３．　
Ｄ４−Ｐ４）測定を行なう。測定終了後各々のランド座
標位置（Ｄｉ、　Ｄ２Ｄ３．　Ｄ４）から、すべてのコ
ンタクトプローブＰＬ、　Ｐ２゜Ｐ３．　Ｐ４を離し、
次のデータを読込む。次のランド座標位置データかあっ
たら、最接近ランド座標を算出し上記のように動作させ
る。次のデータがない場合には、各々のコンタクトプロ
ーブを原点復帰させ、すべての動作を終了させる。

この実施例の動作において、最接近ランド座標間が１０
ｍｍ以下でもコンタクトプローブの位置決め時のオーバ
ーラン等によるコンタクトプローブ同志の干渉の恐れか
ないことが明らかな場合は、その次のコンタクトプロー
ブの最接近という実動作をせずにシミュレーションで行
なうことも可能である。

（効　果） 本実施例によれば、動作シミュレーションにより、すべ
ての実動作をしないで、検査ランド座標間ピンチの大小
にかかわらず、正確、迅速かつ適切なコンタクトプロー
ブの割付け、そして他のコンタクトプローブとの干渉の
ない少なくとも４点のランド座標位置への位置決めか可
能となる。

（第２実施例） （構成） 第６図（ｂ）に、本発明の第２実施例の上面から見た図
を示（−１第６図（ａ）に同図（ｂ）の−点鎖線の断面
を矢印の方向より見た図を示し、第７図に本実施例の被
検基板位置決めベース板の略式構成図をそれぞれ示す。

被検基板１３は被検基板保持具取付ベース板７−５上に
位置決め固定する。この被検基板保持具取付ベース板７
−５は、その板上の１つの隅に固定されている基準位置
決め保持具７−１と、このベース板７−５上に規則正し
く並んだ、ユニバーサルで取付可能な取付穴７−４と、
被検基板１３の端部に沿ってベース板上を自由に移動可
能で取付は穴７−４に取付は可能な保持ビン７−２と、
被検基板１３域内を自由に移動でき、実装部品に干渉し
ないで、取付穴に取付は可能で被検基板１３を下から抑
える抑えビン７−３と、被検基板１３域内を自由に移動
でき、取付穴に取付は可能な、被検基板上の検査座標位
置に接触するコンタクトプローブ７６とから成っている
。このコンタクトプローブ７６を設ける理由は、基板の
両面に回路か設けられているため、表面からのコンタク
トプローブによる接続では裏面との接続状態か検査でき
ないからである。

Ｘ、　Ｙ、　Ｚ軸駆動部、リミットセンサ、コンタクト
プローブ、被検基板位置決め保持ピン、取付台、固定台
等の構成と、コンタクトプローブ間の最小ピッチとは第
１実施例につき説明した所と同一であるためその詳細な
説明は省略する。

（作　用） 本例では、被検基板１３の原点を持つ端を基準位置決め
保持具７−１にあてつけ、残りの３つの端を保持ピン７
−２によって、この被検基板１３か動かないように取付
穴７−４に取付ける。

同時に被検基板１３の下面に実装された部品に干渉する
ことなく　必要な本数分だけ抑えビン７−３を立てて取
付穴に取付ける。さらに、位置決め固定される被検基板
１３の下面の検査座標位置にコンタクトプローブが接触
するようにコンタクトブロ−プアー６を適切な取付穴に
取付ける。

Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動部、コンタクトプローブの動き、ノミ
ットセンサの働き及びシュミレ−ション方法は第１実施
例につき説明した所と同様であるため、その詳細な説明
は省略する。

（効　果） 本実施例によれば、被検基板の大きさにかかわらず位置
決め固定が極めて容易になる。またＺ軸駆動部に設けら
れたコンタクトプローブの被検基板上への接触時に被検
基板のそりか防止でき、被検基板の保護及び検査座標位
置への正確な接触か可能となる。さらに被検基板の両面
にわたって検査座標位置がある場合でも極めて容易に基
板検査のためのコンタクトプローブの接触か可能となる
。

（第３実施例） （構　成） 第８図（ｂ）に本実施例の上面から見た図を示し、第８
図（ａ）に同図（ｂ）の−点鎖線の断面を矢印の方向よ
り見た図を示す。

本例において、位置決め固定された被検基板の上面上に
位置するＸ、　Ｙ、　Ｚ軸駆動部、リミットセンサ、コ
ンタクトプローブの構成は第１実施例につき説明した所
と同様であり、従ってその詳細な説明は省略する。位置
決め固定された被検基板１３の下面上を各々独立して移
動可能なＸ軸駆動部５６−．７−、］および、リミット
センサを有するＸ軸駆動部１−．２−．３−．４並びに
被検基板１３の下面上に存在するチヱソクランド及びこ
れに相当するランド座標位置に各々独立して接触可能な
コンタクトプローブＰＬ−，Ｐ２−、Ｐ３″、　Ｐ４−
　を有するＺ軸駆動部９−．１０”、１１”、１２−が
被検基板の下面に位置している被検基板１３はこれを位
置決め固定する保持具１４により固定台１５に固定され
ている。Ｘ軸駆動部５−．６−．７−．８−はその被検
基板１３を両側より挟むように隣接した２軸か向かい合
っており、その２軸のうち被検基板１３に近い側のＸ軸
駆動部６−．８”か低く、遠い側のＸ軸駆動部５−１７
−か高くなるように１−でいる。Ｘ軸駆動部１−．２−
．３”、４−はＸ軸駆動部５−９６＋、　　７−、ｓ−
それぞれと対とし、それぞれＸ軸駆動部より垂直方向に
被検基板下に位置させる。

リミットセンサとしては、Ｘ軸駆動部６−１８′と対を
なすＸ軸駆動部２−４のそれぞれか向かい合った面にリ
ミットセンサＳ１を位置させ、隣接したＸ軸駆動部５−
−６−、７−−８−と対をなす２組のＸ軸駆動部１　”
−２＋、　３　’−４”それぞれが向かい合った面に、
リミットセンサＳ２ｂ’、Ｓ２ａを取付けるようにして
いる。Ｚ軸駆動部９’、１Ｆ１１−　１２−はそれぞれ
Ｘ軸駆動部１−．２−．３−４′と対とし、高さの等し
いＸ軸駆動部１−３−２−−４−か向かい合う側に位置
させ、コンタクトプローブＰＬ”、Ｐ２″、　Ｐ３−、
　Ｐ４−はそれぞれＺ軸駆動部９−　、１０’、　１１
　”　、　１２−と対とし高さの等しいＺ軸駆動部！−
１１”、　１０”−１２’が向かい合う側に位置させる
。コンタクトプローブ間の最小ピッチは第１実施例の場
合と同様とする。

（作　用） 本例によれば、被検基板１３に対し上に位置するＸ軸（
１，２，３，４）、Ｙ軸（５，６，７，８）、Ｚ軸（９
１０、１１１２）、駆動部、リミットセンサ（Ｓｌ、　
Ｓ２ａ。

５２ｂ）、コンタクトプローブ（Ｐｉ、　Ｐ２．　Ｐ３
．　Ｐ４）は位置決め固定された被検基板の上面に存在
する検査ランド座標位置に対して動作し、被検基板１３
の下に位置するＸ軸（１”、　２−、３　”、　４　”
）、Ｙ軸（５６−，７−、ＥＩ）、Ｚ軸（９−，１０−
、１１−、１２−）駆動部、リミットセンサ（８１”、
　５２ａ−、５２ｂ−）、コンタクトプローブ（ＰＬ−
、Ｐ２−、Ｐ３−、Ｐ４Ｎは位置決め固定された被検基
板１３の下面に存在する検査ランド座標位置に対して動
作する。そしてこれらのＸＹ軸駆動部、コンタクトプロ
ーブの動き、リミットセンサの働き及びシュミレーショ
ン方法は第１実施例につき説明した所と同一であるため
、その詳細な説明は省略する。

（効　果） 本例によれば、被検基板の検査ランド座標がその基板の
両面に亘って位置している場合でも片面検査後に基板を
反転させることなく、この検査ランド座標位置へのコン
タクトプローブの位置決めを極めて迅速に行うことがで
きる。

（第４実施例） （構成） 第９図（ｂ）に本実施例の上面から見た図を示し、第９
図（ａ）に同図（ｂ）の１点鎖線の断面を矢印より見た
図を示す。本例では、被検基板１６′かその被検基板を
位置決め固定する保持ピン１４’により、Ｘ−Ｙ方向に
各々独立して移動可能なＸ−Ｙ可動ステージ１３′にセ
ットされている。Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動部、リミットセンサ
、コンタクトプローブ等の構成とコンタクトプローブ間
の最小ピッチは第１実施例につき説明した所と同一であ
り、従ってその説明は省略する。

（作用） 第１０図は本実施例の動作フローチャートであり、第１
１図に示す被検基板の検査座標位置データの例を用いて
説明する。

検査項目の４個のＸＹランド座標デデーＤｌ、　Ｄ２Ｄ
３．　Ｄ４か読込まれ、そのうちコンタクトプローブか
干渉する恐れのある最接近したランド座標位置Ｄｉ、　
Ｄ２を見出す（第１１図（ａ））。その最接近したラン
ド座標位置のうちＸ座標の小さいものから数えて２番目
データＤ２に対応するコンタクトプローブＰ２を選択し
、Ｘ−Ｙ可動ステージ１３′を移動させコンタクトプロ
ーブＰ２を位置決めする（第１１図（ｂ）破線→実線）
。次にその最接近ランド座標位置Ｄｉ、　０２間ピッチ
が１０ｍｍ以下の場合、残りのコンタクトプローブＰＬ
、　Ｐ３．　Ｐ４を順次にその最接近ランド座標位置Ｄ
２にリミットセンサ８１．　Ｓ２が働く直前まで最接近
させる（第１１図（Ｃ））。　なおそのピッチが１０ｍ
ｍを越える場合はそのコンタクトプローブ同志の最接近
はしない。その後のリミットセンサに対する駆動部の動
きと、シミュレーションとはすべて第１実施例につき説
明した所と同一であるため、その詳細な説明は省略する
（第５図のそれぞれｇ、　ｈ。

ｉ、ｊは第１１図のｃ、ｄ、ｆ、ｅに対応する）。

（効果） 本例によれば、被検基板上の検査ランド座標位置へのコ
ンタクトプローブの位置決めにおいて、各コンタクトプ
ローブの動きとＸ−Ｙ可動ステージの動きとを併用する
ことにより極めて迅速なコンタクトプローブの検査ラン
ド座標位置への位置決めが可能となる。

（第５実施例） （構成） 第１２図（ｂ）に本実施例の上面より見た図を示し、第
１２図（ａ）に同図（ｂ）の１点鎖線の断面を矢印より
見た図を示す。本例は、２段構成の第１実施例の構成に
対して、さらに被検基板を挟んで両側に１個づつで、被
検基板５１上を各々独立して移動可能なＸ軸駆動部４１
．４６と、そのＸ軸駆動部と対をなしリミットセンサ５
２ａ−９Ｓ２ｂ−を有するＹ軸駆動部３１、３６と、被
検基板５１のチェックランド及びこれに相当するランド
座標位置に各々独立して接触可能なコンタクトプローブ
ＰＬ、　Ｐ６を有するＺ軸駆動部２１．２６とを追加し
た３段構成とする。その他の構成と、コンタクトプロー
ブ間の最長ピッチとは第１実施例につき説明した所と同
一であるため、その詳細な説明は省略する。

（作用） 以下に出てくるコンタクトプローブ同志の接近は第２図
におけるコンタクトプローブＰ３とＰ２やＰ４とＰ３あ
るいはＰ２とＰｌと同様の状態をいい、その時のリミッ
トセンサの働きおよびＸ−Ｙ軸駆動部の動きは第１実施
例につき説明した所と同一であるため、その詳細な説明
は省略する。

第１３図は本実施例の動作フローチャートであり、第１
４図に示す被検基板の検査座標位置例を用いて説明する
。読込まれた検査ランド座標データのＸ座標の昇順にコ
ンタクトプローブＰＬ、　Ｐ２．　Ｐ３．　Ｐ４゜Ｐ５
．　Ｐ６を割り当てる。（Ｄｉ−ＰＬ、　Ｄ２−Ｐ２．
　Ｄ３−Ｐ３．　Ｄ４−Ｐ４．　Ｄ５−Ｐ５．　Ｄ６−
Ｐ６）。

まずコントロール部に検査項目の６個のＸＹランド座標
デデーＤｉ、　Ｄ２．　Ｄ３．　Ｄ４．　Ｄ５．　Ｄ６
が読込まれる。すべてのコンタクトプローブを原点復帰
させる。第１４図加工のランド座標位置Ｄ３にコンタク
トプローブＰ３を位置決めする（第１４図（ｂ）。ラン
ド座標間（Ｄ３とＤ４）のピッチが１０ｍｍ以下の場合
には、コンタクトプローブＰ４をＰ３に接近させる（第
１４図（Ｃ））。そのピッチが１０ｍｍより大きい場合
は接近はしない。次いで、コンタクトプローブＰ４を位
置決めする（第１４図（ｄ））。ランド座標Ｄ３とＤ４
間を除いた、最接近ランド座標位置を見つける。その見
つけた最接近ランド座標位置（Ｘ座標）がデータＤ３．
　Ｄ４より小さい場合（データＤ３とＤ２またはＤ２と
Ｄｉ）と、大きい場合（データＤ３とＤ５またはＤ５と
０６）とに分けて説明する。

まずその見つけたランド座標位置がデータＤ３Ｄ４より
小さい場合、ランド座標位置Ｄ２およびＤ３間のピッチ
を１０ｍｍと比べる。そのピッチが１０ｍｍ以下の場合
、コンタクトプローブＰ２をＰ３に接近させて（第１４
図（ｅ））、コンタクトプローブＰ２を位置決めする（
第１４図（ｆ））。そのピッチが１１０１１Ｉより大き
い場合はコンタクトプローブＰ２をそのまま位置決めす
る（第１４図（ｆ））。同様にしてランド座標位置Ｄ２
とＤＩＤ４とＤ５およびＤ５とＤ６のピンチを１０ｍｍ
と比べ、１０ｍｍ以下ならば「接近」という動作を経由
してそれぞれ順次に位置決めする。１０ｍｍよりも大き
ければそのまま位置決めする。

その見つけたランド座標位置かＤ３．　Ｄ４より大きい
場合、同様にしてランド座標位置Ｄ４とＤ５．　Ｄ６と
Ｄ５．　Ｄ２とＤ３およびＤ２とＤＩのピッチを１０ｍ
ｍと比へ、１０＋ｎｍよりも小さければ「接近」という
動作を経由してそれぞれ順次に位置決めする。１０ｍｍ
よりも大きければそのまま位置決めする。

コンタクトプローブすへてか位置決めされたら（第１４
図（ｉ））、各コンタクトプローブに対応したランド座
標位置にコンタクトプローブを接触させ（Ｐ１→Ｄｉ、
　Ｐ２−Ｄ２．　Ｐ３−Ｄ３．　Ｐ４−Ｄ４．　Ｐ５−
Ｄ５．　Ｐ６−Ｄ６）測定を行なう。測定終了後各々の
コンタクトプローブを各ランド座標位置から離し、次の
データを読む。次のランド座標位置データがあったら、
コンタクトプローブを原点復帰させて上述したところと
同様に動作させる。次のデータがなかったならば、各々
のコンタクトプローブを原点復帰させてずへての動作を
終了させる。

実動作を行わずに動作ンユミレーションによる方法は第
１実施例につき説明した所と同様であるため、その詳細
な説明は省略する。

（効果） 本例によれば、動作シュミレーションによりすべての実
動作をせずに検査ランド座標、ピッチの大小にかかわら
ず、正確、迅速な他のコンタクトプローブとの干渉のな
い少なくとも６点のランド座標位置への位置決めが可能
となる。

〔発明の効果〕

上述したように、本発明によれば、コンタクトプローブ
及びＸＹ軸軸動動部同志干渉しない多数のコンタクトプ
ローブの適切な割付は及び被検基板全域にわたる、極め
て接近集中した、あるいは点在した検査座標位置へのコ
ンタクトプローブの正確かつ迅速な位置決め、接触が極
めて容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ｂ）は本発明における第１実施例の上面より見
た構成図、 第１図（ａ）は同図（ｂ）の−点鎖線の断面を矢印より
見た断面図、 第２図（ａ）は第１実施例における４本のコンタクトプ
ローブか最接近した際の状態を示す横断面図、 第２図（ｂ）は第１実施例における４本のコンタクトプ
ローブか最接近した時の上面から見た構成図、 第３図は本発明の第１．２，３．４．５実施例の全体構
成図、 第４図は本発明の第１実施例の動作フローチャート図、 第５図は本発明の第１実施例の被検基板上の検査ランド
座標位置へのコンタクトプローブの位置決め手順の説明
図、 第６図（ｂ）は本発明の第２実施例の上面より見た構成
図、 第６図（ａ）は同図（ｂ）の−点鎖線の断面を矢印から
見た側面図、 第７図は本発明の第２実施例の被検基板位置決めベース
板の全体概略図、 第８図（ｂ）は本発明の第３実施例の上面から見た構成
図、 第８図（ａ）は同図（ｂ）の−点鎖線の断面を矢印から
見た側面図、 第９図（ｂ）は本発明の第４実施例の上面から見た構成
図、 第９図（ａ）は同図（ｂ）の−点鎖線の断面を矢印から
見た側面図、 第１０図は本発明の第４実施例の動作フローチャート図
、 第１１図は本発明の第４実施例の被検基板上の検査ラン
ド座標位置へのコンタクトプローブの位置決め手順の説
明図、 第１２図（ｂ）は本発明の第５実施例の上面より見た構
成図、 第１２図（ａ）は同図（ｂ）の−点鎖線の断面を矢印よ
り見た側面図、 第１３図は本発明の第５実施例の動作フローチャート図
、 第１４図は本発明の第５実施例の被検基板上の検査ラン
ド座標位置へきコンタクトプローブの位置決め手順説明
図、 第１５図は従来のプリント基板測定検査装置の略式全体
構成図である。 １．２．３．４　・・・　Ｙ軸駆動部 ５．６．７．８　・・・　Ｘ軸駆動部 ９．１０．１１．１２　　・・・　Ｚ軸駆動部１３　　
・・・　被検基板 １４　　・・・　被検基板位置決め保持ピン１５　　・
・・　固定台 １６　　・・・　取付台

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、プリント回路基板の電気的検査を行なう基板検査装
   置において、被検基板を両側より挟むように対向して設
   けられ各々独立して移動可能な高さの異なる少なくとも
   ２段以上で合計４個以上のＸ軸駆動部と、このＸ軸駆動
   部より垂直方向で被検基板上に位置しＸ軸駆動部と対を
   成し各々独立して移動可能でありしかもリミットセンサ
   を有する少なくとも４個以上のＹ軸駆動部と、この対向
   するＸ軸駆動部の両側より被検基板上に位置した高さの
   等しいＹ軸駆動部同志が向かい合った側に取付けられ各
   々独立して移動可能な少なくとも４個以上のＺ軸駆動部
   と、このＺ軸駆動部と対を成し被検基板のチェックラン
   ド及びこれに相当するランド座標位置に接触する少なく
   とも４本以上のコンタクトプローブと、被検基板を位置
   決めし固定する保持ピンと、取付台とを備えて電気的検
   査に必要なチェック信号を得るようにしたことを特徴と
   するプリント回路基板検査用可動プローブ式多点コンタ
   クト装置。 ２、請求項１に記載のプリント回路基板検査用可動プロ
   ーブ式多点コンタクト装置において、被検基板のチェッ
   クランド及びこれに相当するランド座標位置へのコンタ
   クトプローブの位置決め手段は以下の手順： １、コンタクトすべき各ランド座標位置のうちコンタク
   トプローブが干渉する恐れのある最接近ランド座標位置
   の一方を見い出す、 ２、各ランド座標位置へ接触させるコンタクトプローブ
   と干渉する恐れもなく見い出した最接近ランド座標位置
   に割り付けるのに最適な１本のコンタクトプローブを得
   てこのランド座標位置へ位置決めする、 ３、他のすべてのコンタクトプローブを見い出した最接
   近ランド座標位置にリミットセンサが働くまで最接近さ
   せる、 ４、見い出した最接近ランド座標位置のＸ座標を基準に
   して＋方向で最も離れた接触すべきランド座標位置から
   順次に＋方向に移動可能なコンタクトプローブで、後に
   動作する位置決めされていないコンタクトプローブと干
   渉する恐れのないコンタクトプローブを割り付けて、位
   置決めする、 ５、一方向においても同様な動きをする、 ６、すべてのコンタクトプローブが位置決めされた後に
   ランド座標位置にそのコンタクトプローブが接触する、 で行なうようにしたことを特徴とするプリント回路基板
   検査用可動プローブ式多点コンタクト装置。