JPS62123318A - 直熱型流量センサ - Google Patents
直熱型流量センサInfo
- Publication number
- JPS62123318A JPS62123318A JP61111191A JP11119186A JPS62123318A JP S62123318 A JPS62123318 A JP S62123318A JP 61111191 A JP61111191 A JP 61111191A JP 11119186 A JP11119186 A JP 11119186A JP S62123318 A JPS62123318 A JP S62123318A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resistor
- flow rate
- resistance layer
- membrane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
- G01P5/10—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables
- G01P5/12—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring thermal variables using variation of resistance of a heated conductor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は膜式抵抗を有する直熱型流量センサ、たとえば
内燃機関の吸入空気量を検出するための空気流量センサ
に関する。
内燃機関の吸入空気量を検出するための空気流量センサ
に関する。
一般に、電子制御式内燃機関においては、基本燃料噴射
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性の良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
量、基本点火時期等の制御のために機関の吸入空気量は
重要な運転状態パラメータの１つである。従来、このよ
うな吸入空気量を検出するための空気流量センサ（エア
フローメータとも言う）はベーン式のものが主流であっ
たが、最近、小型、応答性の良い等の利点を有する温度
依存抵抗を用いた熱式のものが実用化されている。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流量センサとしては
、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱型の空気流
量センサは、機関の吸気通路に設けられた発熱抵抗、お
よびその上流、下流側に設けられた２つの温度依存抵抗
を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗は発熱
抵抗による過熱前の空気流の温度を検出するものであり
、つまり、外気温度補償用であり、また、下流側の温度
依存抵抗は加熱抵抗によって加熱された空気流の温度を
検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗と上流側
の温度依存抵抗との温度差が一定になるように発熱抵抗
の電流値をフィードバンク制御し、発熱抵抗に印加され
る電圧により空気流量（質量）を検出するものである。
、傍熱型と直熱型とがある。たとえば、傍熱型の空気流
量センサは、機関の吸気通路に設けられた発熱抵抗、お
よびその上流、下流側に設けられた２つの温度依存抵抗
を備えている。この場合、上流側の温度依存抵抗は発熱
抵抗による過熱前の空気流の温度を検出するものであり
、つまり、外気温度補償用であり、また、下流側の温度
依存抵抗は加熱抵抗によって加熱された空気流の温度を
検出する。これにより、下流側の温度依存抵抗と上流側
の温度依存抵抗との温度差が一定になるように発熱抵抗
の電流値をフィードバンク制御し、発熱抵抗に印加され
る電圧により空気流量（質量）を検出するものである。
なお、上流側の外気温度補償用温度依存抵抗を削除し、
下流側の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵
抗を制御すると、体積容量としての空気流量が検出でき
る（参照：特公昭５４．−９６６２号公報）。
下流側の温度依存抵抗の温度が一定になるように発熱抵
抗を制御すると、体積容量としての空気流量が検出でき
る（参照：特公昭５４．−９６６２号公報）。
他方、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流量
センサは、機関の吸気通路に設けられた温度検出兼用の
発熱抵抗、およびその上流側に設けられた温度依存抵抗
を備えている。この場合、傍熱型と同様に、上流側の温
度依存抵抗は発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検
出するものであり、つまり、外気温度補償用である。こ
れにより、発熱抵抗とその上流側の温度依存抵抗との温
度差が一定になるように発熱抵抗の電流値をフィードバ
ック制御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流量
（質量）を検出するものである。なお、この場合にも、
外気温度補償用温度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度
が一定になるように発熱抵抗を制御すると、体積容量と
しての空気流量が検出できる。
センサは、機関の吸気通路に設けられた温度検出兼用の
発熱抵抗、およびその上流側に設けられた温度依存抵抗
を備えている。この場合、傍熱型と同様に、上流側の温
度依存抵抗は発熱抵抗による加熱前の空気流の温度を検
出するものであり、つまり、外気温度補償用である。こ
れにより、発熱抵抗とその上流側の温度依存抵抗との温
度差が一定になるように発熱抵抗の電流値をフィードバ
ック制御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流量
（質量）を検出するものである。なお、この場合にも、
外気温度補償用温度依存抵抗を削除し、発熱抵抗の温度
が一定になるように発熱抵抗を制御すると、体積容量と
しての空気流量が検出できる。
しかしながら、上記発熱抵抗を基板に抵抗パターンを形
成した膜式抵抗として構成した場合は耐熱性樹脂によっ
てこの抵抗パターンは被覆保護されて構成されており、
従って、空気流に含まれる浮遊粒子が膜式抵抗のよどみ
部分、境界層部分等に付着してもバーンオフさせること
は不可能である。なぜなら、浮遊粒子の主成分であるカ
ーボン粒子のバーンオフ温度は通常８００℃以上要求さ
れるのに対し、模式抵抗の抵抗パターンを被覆保護する
耐熱性樹脂の溶融温度は４００℃程度と低いからである
。従って、膜式抵抗に付着された浮遊粒子はそのまま残
存し、この結果、熱容量の増大、熱放散特性の変化を招
き、延いては、流量センサの感度および応答速度の低下
および変化を招くという問題点があった。また、模式抵
抗の抵抗パターンを被覆保護する耐熱性樹脂を使用しな
い構成にして、バーンオフを実行した場合、模式抵抗が
８００℃以上の温度に繰り返しさらされるため、膜式抵
抗の抵抗値が変化し、出力がドリフトするという問題点
があった。
成した膜式抵抗として構成した場合は耐熱性樹脂によっ
てこの抵抗パターンは被覆保護されて構成されており、
従って、空気流に含まれる浮遊粒子が膜式抵抗のよどみ
部分、境界層部分等に付着してもバーンオフさせること
は不可能である。なぜなら、浮遊粒子の主成分であるカ
ーボン粒子のバーンオフ温度は通常８００℃以上要求さ
れるのに対し、模式抵抗の抵抗パターンを被覆保護する
耐熱性樹脂の溶融温度は４００℃程度と低いからである
。従って、膜式抵抗に付着された浮遊粒子はそのまま残
存し、この結果、熱容量の増大、熱放散特性の変化を招
き、延いては、流量センサの感度および応答速度の低下
および変化を招くという問題点があった。また、模式抵
抗の抵抗パターンを被覆保護する耐熱性樹脂を使用しな
い構成にして、バーンオフを実行した場合、模式抵抗が
８００℃以上の温度に繰り返しさらされるため、膜式抵
抗の抵抗値が変化し、出力がドリフトするという問題点
があった。
従って、本発明の目的は膜式抵抗およびこの膜式抵抗を
備える基板への浮遊粒子の付着を防止、あるいはごく少
量に抑制し、感度および応答速度が永く保証し得る直熱
型流量センサを提供することにある。
備える基板への浮遊粒子の付着を防止、あるいはごく少
量に抑制し、感度および応答速度が永く保証し得る直熱
型流量センサを提供することにある。
上記問題点を解決するために、本発明においては、
薄い平板状に形成された基板と、
この基板に形成され抵抗温度特性を有し、通電により発
熱する発熱部を備える抵抗層と、前記抵抗層が形成され
た前記基板上に設けられ、前記抵抗層を覆うパッシベー
ション膜とを有する膜式抵抗と、 流体の流れる通路内にて前記膜式抵抗が流体の流れと平
行となるように前記膜式抵抗を保持する保持部材と を備え、しかも 前記基板の少なくとも上流側の面が流体の流れに対して
傾斜した面となるように構成されていることを特徴とす
る直熱型流量セン４すとしている。
熱する発熱部を備える抵抗層と、前記抵抗層が形成され
た前記基板上に設けられ、前記抵抗層を覆うパッシベー
ション膜とを有する膜式抵抗と、 流体の流れる通路内にて前記膜式抵抗が流体の流れと平
行となるように前記膜式抵抗を保持する保持部材と を備え、しかも 前記基板の少なくとも上流側の面が流体の流れに対して
傾斜した面となるように構成されていることを特徴とす
る直熱型流量セン４すとしている。
上述の構成によれば、膜式抵抗の基板の少なくとも上流
側の面が流体の流れに対して傾斜した面となるよう構成
されていることにより、膜式抵抗の少なくとも上流側で
のよどみ部分、境界層部分がなくなる、あるいは少なく
なるため、その部分への吸入空気中の浮遊粒子の付着を
防止もしくはごく少量に抑制できる。
側の面が流体の流れに対して傾斜した面となるよう構成
されていることにより、膜式抵抗の少なくとも上流側で
のよどみ部分、境界層部分がなくなる、あるいは少なく
なるため、その部分への吸入空気中の浮遊粒子の付着を
防止もしくはごく少量に抑制できる。
第３図は本発明に係る膜式抵抗を有する直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図である。
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図である。
第３図において、内燃機関１の吸気通路２にはエアクリ
ーナ３および整流格子４を介して空気が吸入される。こ
の空気通路２内に保持部材（たとえばアルミニウム）５
が設けられ、そこに空気流量を計測するための通電によ
り発熱する発熱部を備えた抵抗温度特性を有する抵抗層
を備える膜式抵抗６が設けられている。膜式抵抗６はフ
レキシブル配線７によって、外気補償を行なう膜式抵抗
６と同様抵抗温度特性を有する抵抗層を備える温度依存
抵抗８と共に、ハイブリッド基板に形成されたセンサ回
路９に接続されている。
ーナ３および整流格子４を介して空気が吸入される。こ
の空気通路２内に保持部材（たとえばアルミニウム）５
が設けられ、そこに空気流量を計測するための通電によ
り発熱する発熱部を備えた抵抗温度特性を有する抵抗層
を備える膜式抵抗６が設けられている。膜式抵抗６はフ
レキシブル配線７によって、外気補償を行なう膜式抵抗
６と同様抵抗温度特性を有する抵抗層を備える温度依存
抵抗８と共に、ハイブリッド基板に形成されたセンサ回
路９に接続されている。
センサ回路９は外気温度に対して膜式抵抗６の温度が一
定になるように該抵抗６の発熱量をフィードバック制御
し、そのセンサ出力Ｖ０を制御回路１０に供給する。制
御回路１０はたとえばマイクロコンピュータによって構
成され、燃料噴射弁１１の制御等を行なうものである。
定になるように該抵抗６の発熱量をフィードバック制御
し、そのセンサ出力Ｖ０を制御回路１０に供給する。制
御回路１０はたとえばマイクロコンピュータによって構
成され、燃料噴射弁１１の制御等を行なうものである。
センサ回路９は、第４図に示すごとく、膜式抵抗６、温
度依存抵抗８とブリッジ回路を構成する抵抗９１，９２
、比較器９３、比較器９３の出力によって制御されるト
ランジスタ９４、電圧バッファ９５により構成される、
つまり、空気流量が増加して膜式抵抗６ （この場合、
白金抵抗）の温度が低下し、この結果、膜式抵抗６の抵
抗値が下降してＶ、≦Ｖ、ｌとなると、比較器９３の出
力によってトランジスタ９４の導電率が増加する。従っ
て、膜式抵抗６の発熱量が増加し、同時に、トランジス
タ９４のコレクタ電位すなわら電圧バッファ９５の出力
電圧ＶＱは上昇する。逆に空気流量が減少して膜式抵抗
６の温度が上昇すると、膜式抵抗６の抵抗値が増加して
Ｖ、＞Ｖ、となり、比較器９３の出力によってトランジ
スタ９４の導電率が減少する。従って、膜式抵抗６の発
熱量が減少し、同時に、電圧バッファ９５の出力電圧■
。
度依存抵抗８とブリッジ回路を構成する抵抗９１，９２
、比較器９３、比較器９３の出力によって制御されるト
ランジスタ９４、電圧バッファ９５により構成される、
つまり、空気流量が増加して膜式抵抗６ （この場合、
白金抵抗）の温度が低下し、この結果、膜式抵抗６の抵
抗値が下降してＶ、≦Ｖ、ｌとなると、比較器９３の出
力によってトランジスタ９４の導電率が増加する。従っ
て、膜式抵抗６の発熱量が増加し、同時に、トランジス
タ９４のコレクタ電位すなわら電圧バッファ９５の出力
電圧ＶＱは上昇する。逆に空気流量が減少して膜式抵抗
６の温度が上昇すると、膜式抵抗６の抵抗値が増加して
Ｖ、＞Ｖ、となり、比較器９３の出力によってトランジ
スタ９４の導電率が減少する。従って、膜式抵抗６の発
熱量が減少し、同時に、電圧バッファ９５の出力電圧■
。
は低下する。このようにして膜式抵抗６の温度は外気温
度によって定まる値になるようにフィードバック制御さ
れ、出力電圧■。は空気流量を示すことになる。
度によって定まる値になるようにフィードバック制御さ
れ、出力電圧■。は空気流量を示すことになる。
第５図は第３図の膜式抵抗６の近傍の拡大図、第６図は
第５図のＶｌ−Ｖｌ線断面図である。第５図。
第５図のＶｌ−Ｖｌ線断面図である。第５図。
第６図に示すように、膜式抵抗６においては、その一端
のみが断熱部材１２を介して抵抗層の形成される面が流
れと平行、すなわち基板の最小寸法部分である厚み部分
が流れと対向するように保持部材５に支持されている。
のみが断熱部材１２を介して抵抗層の形成される面が流
れと平行、すなわち基板の最小寸法部分である厚み部分
が流れと対向するように保持部材５に支持されている。
なお、膜式抵抗６を両持保持により保持部材５に固定す
ると、膜式抵抗６が歪ゲージの作用、従って、膜式抵抗
６の歪みによりその出力変化を招くという欠点が生ずる
。
ると、膜式抵抗６が歪ゲージの作用、従って、膜式抵抗
６の歪みによりその出力変化を招くという欠点が生ずる
。
上述の模式抵抗６０片持保持はこのような歪ゲージ作用
を防止するものである。
を防止するものである。
また、フレキシブル配線７は、２つのフレキシブルな絶
縁樹脂フィルムに挟まれた、パターン形成された導体（
たとえばＣｕ）により構成されており、ボンディングワ
イヤに比較して、腐食、断線等に強い構造をなしている
。
縁樹脂フィルムに挟まれた、パターン形成された導体（
たとえばＣｕ）により構成されており、ボンディングワ
イヤに比較して、腐食、断線等に強い構造をなしている
。
また温度依存抵抗８は模式抵抗６への空気の流れを乱さ
ない位置にに模式抵抗６と同様にして保持部材５に固定
されており、フレキシブル配線７′が接続されている。
ない位置にに模式抵抗６と同様にして保持部材５に固定
されており、フレキシブル配線７′が接続されている。
第１Ａ図は第５図の模式抵抗６の部分拡大図、第１Ｂ図
は第１Ａ図のｌ３−Ｂ線断面図である。第１Ａ図、第１
Ｂ図に示すように、模式抵抗６においては、シリコン単
結晶基板６１を熱酸化して得られた二酸化シリコン（Ｓ
ｉＯ□）層（図示せず）上に上記抵抗層をなす白金（Ｐ
ｔ）パターン層６２が形成されている。白金パターン層
６２のうち特に抵抗値が大きい部分６２ａは通電により
発熱する発熱部として作用すると共に、その抵抗値より
この発熱部６２ａの温度が検出される。さらに、白金パ
ターン層６２上にはこの白金パターン層６２を保護する
ためにパッシベーション膜（ＳｉＯｚもしくはｓｉ、Ｎ
ａ）６３が基板６１の白金パターン［６２が形成された
面全体を覆うように設けられている。
は第１Ａ図のｌ３−Ｂ線断面図である。第１Ａ図、第１
Ｂ図に示すように、模式抵抗６においては、シリコン単
結晶基板６１を熱酸化して得られた二酸化シリコン（Ｓ
ｉＯ□）層（図示せず）上に上記抵抗層をなす白金（Ｐ
ｔ）パターン層６２が形成されている。白金パターン層
６２のうち特に抵抗値が大きい部分６２ａは通電により
発熱する発熱部として作用すると共に、その抵抗値より
この発熱部６２ａの温度が検出される。さらに、白金パ
ターン層６２上にはこの白金パターン層６２を保護する
ためにパッシベーション膜（ＳｉＯｚもしくはｓｉ、Ｎ
ａ）６３が基板６１の白金パターン［６２が形成された
面全体を覆うように設けられている。
本発明によれば、模式抵抗６の基板６１の上流側にテー
パ６１ｂを設け、下流側にテーパ６１ｃを設けである。
パ６１ｂを設け、下流側にテーパ６１ｃを設けである。
このようなテーパ６１ｂ、６１ｃはシリコン単結晶基板
６１の異方性エツチングにより得られる。たとえば、シ
リコン単結晶基板６１のフラット面（１００）もしくは
（１１０）面で構成すると、テーパ６１ｂ、６１ｃの面
は（１１１）面である。すなわち、異方性エツチングと
は、シリコン単結晶の（１１１）面のエツチング速度が
他の面、たとえば（１００）もしくは（１１０）面のエ
ツチング速度に比して著しく小さいというエンチング速
度の相違を利用して行っているものである。
６１の異方性エツチングにより得られる。たとえば、シ
リコン単結晶基板６１のフラット面（１００）もしくは
（１１０）面で構成すると、テーパ６１ｂ、６１ｃの面
は（１１１）面である。すなわち、異方性エツチングと
は、シリコン単結晶の（１１１）面のエツチング速度が
他の面、たとえば（１００）もしくは（１１０）面のエ
ツチング速度に比して著しく小さいというエンチング速
度の相違を利用して行っているものである。
このように、基板６１のＬ流側のテーパ６１ｂにより模
式抵抗６の上流側での空気流のよどみ部分、境界°層部
分をほとんどないようにでき、吸入空気中の浮遊粒子の
付着を防止もしくは減少できる。また、基板６１の下流
側のテーパ６１ｃにより、加速直後のバツクファイヤ、
バルブオーパラツブ時における燃焼室からの燃焼ガスの
吹き返し等における空気流の逆流による浮遊粒子の付着
も同様にして、防止もしくは減少され、同時にセンサが
被る衝撃波が緩衝される。
式抵抗６の上流側での空気流のよどみ部分、境界°層部
分をほとんどないようにでき、吸入空気中の浮遊粒子の
付着を防止もしくは減少できる。また、基板６１の下流
側のテーパ６１ｃにより、加速直後のバツクファイヤ、
バルブオーパラツブ時における燃焼室からの燃焼ガスの
吹き返し等における空気流の逆流による浮遊粒子の付着
も同様にして、防止もしくは減少され、同時にセンサが
被る衝撃波が緩衝される。
なお、上述のテーパ形状は異方性エツチングによる（１
１１）面に限定されるものではなく、機械的な加工によ
るテーパ形状であってもよい。
１１）面に限定されるものではなく、機械的な加工によ
るテーパ形状であってもよい。
第２Ａ図は第５図の模式抵抗６の全体を示す正面図、第
２Ｂ図は第２Ａ図のＢ−Ｂ線断面図である。第２Ａ図、
第２Ｂ図において、シリコン単結晶基板６１には凹み６
１ａが形成されており、この凹み６１ａにｐｔパターン
層６２が形成されている。なお、Ｐ＋、Ｐｚはリード取
出し部である。
２Ｂ図は第２Ａ図のＢ−Ｂ線断面図である。第２Ａ図、
第２Ｂ図において、シリコン単結晶基板６１には凹み６
１ａが形成されており、この凹み６１ａにｐｔパターン
層６２が形成されている。なお、Ｐ＋、Ｐｚはリード取
出し部である。
一般に、発熱部６２ａとリード取出し部Ｐ＋。
Ｐ２との距離はできるだけ大きい方が好ましい。
さらに、Ｐｔパターン層６２における発熱部６２ａの抵
抗値はリード部６２ｂの抵抗値よりも十分に大きいこと
が好ましく、例えば１０倍程度が好ましい。そのため、
発熱部６２ａの線幅を小さくするか、あるいは厚さを小
さくすることで発熱部６２ａの抵抗値を大きくすること
も一案であるが、比較的低い印加電圧で発熱部６２ａの
温度を上昇させる場合、安定した発熱を得ることが難し
い。
抗値はリード部６２ｂの抵抗値よりも十分に大きいこと
が好ましく、例えば１０倍程度が好ましい。そのため、
発熱部６２ａの線幅を小さくするか、あるいは厚さを小
さくすることで発熱部６２ａの抵抗値を大きくすること
も一案であるが、比較的低い印加電圧で発熱部６２ａの
温度を上昇させる場合、安定した発熱を得ることが難し
い。
他方、リード部６２ｂの線幅を大きくするか厚さを大き
くすることでリード部６２ｂの抵抗値を小さくすること
も一案であるが、発熱部６２ａとリード取出部Ｐ＋、Ｐ
ｚとの間の断熱効果が低下し、しかもリード部６２ｂを
覆うパッシベーション膜６３が相対的に大きくなり、こ
の結果、浮遊粒子の付着が増加することになる。
くすることでリード部６２ｂの抵抗値を小さくすること
も一案であるが、発熱部６２ａとリード取出部Ｐ＋、Ｐ
ｚとの間の断熱効果が低下し、しかもリード部６２ｂを
覆うパッシベーション膜６３が相対的に大きくなり、こ
の結果、浮遊粒子の付着が増加することになる。
第２Ａ図、第２Ｂ図においては、基板６１の凹み６１ａ
にＰｔパターン層６２特にそのリード部６２ｂを形成し
ているので、発熱部６２ａとリード取出し部ＰＩ、Ｐ！
の距離を大きくとったまま、すなわら、発熱部６２ａの
断熱効果を大きくしたまま、リード部６２ｂの抵抗値を
小さくすることができる。さらにパッシベーション膜６
３の膜厚を薄く、しかも略平坦にすることが可能となり
、これにより、膜式抵抗６、特にそのパッシベーション
膜６３上に浮遊粒子が付着する可能性を低下させること
ができる。さらにまた、流量センサどしで、模式抵抗６
の熱容量（ヒートマス）を減少でき、熱拡散特性を向上
させ、優れた感度および速い応答速度を得ることができ
る。
にＰｔパターン層６２特にそのリード部６２ｂを形成し
ているので、発熱部６２ａとリード取出し部ＰＩ、Ｐ！
の距離を大きくとったまま、すなわら、発熱部６２ａの
断熱効果を大きくしたまま、リード部６２ｂの抵抗値を
小さくすることができる。さらにパッシベーション膜６
３の膜厚を薄く、しかも略平坦にすることが可能となり
、これにより、膜式抵抗６、特にそのパッシベーション
膜６３上に浮遊粒子が付着する可能性を低下させること
ができる。さらにまた、流量センサどしで、模式抵抗６
の熱容量（ヒートマス）を減少でき、熱拡散特性を向上
させ、優れた感度および速い応答速度を得ることができ
る。
なお、発熱部６２ａも基ｖｉ、６１の凹みに形成するこ
ともできる。
ともできる。
第７図は本発明の第２の実施例を示すもので、本実施例
においては膜式抵抗６が略り字形状に形成されており、
その一方の端部に発熱部６２ａが形成されている。この
ように形成された膜式抵抗６はその表面が空気の流れと
平行となるよう保持されるのは上記実施例と同様である
が°、さらに膜式抵抗６の発熱部６２ａが形成されてい
る部分が空気の流れに沿って平行に下流側ごと向くよう
に保持部材５に保持される。なお、この膜式抵抗６の基
板も上記実施例と同様空気流に対して上流側ならびに下
流側の面はテーパ状に形成されており、リード部、パッ
シベーション膜等も上記実施例と同様にして形成されて
いる。
においては膜式抵抗６が略り字形状に形成されており、
その一方の端部に発熱部６２ａが形成されている。この
ように形成された膜式抵抗６はその表面が空気の流れと
平行となるよう保持されるのは上記実施例と同様である
が°、さらに膜式抵抗６の発熱部６２ａが形成されてい
る部分が空気の流れに沿って平行に下流側ごと向くよう
に保持部材５に保持される。なお、この膜式抵抗６の基
板も上記実施例と同様空気流に対して上流側ならびに下
流側の面はテーパ状に形成されており、リード部、パッ
シベーション膜等も上記実施例と同様にして形成されて
いる。
この構成によれば、浮遊粒子の発熱部６２ａ近くへの付
着はこの発熱部６２ａ近くで空気流のよどみ部分や境界
層部分がほとんどないため防止あるいは極めて少なく抑
えられる。
着はこの発熱部６２ａ近くで空気流のよどみ部分や境界
層部分がほとんどないため防止あるいは極めて少なく抑
えられる。
また膜式抵抗６の上流側に浮遊粒子が付着しても、膜式
抵抗６の主たる熱拡散部分である発熱部６２ａから離れ
た位置に付着しているので、この付着部分での熱拡散特
性の変化が生じたとしても膜式抵抗６の全体からすれば
その熱拡散特性の変化↓よごくわずかなものであり、従
って感度および応答速度の低下を抑制できる。
抵抗６の主たる熱拡散部分である発熱部６２ａから離れ
た位置に付着しているので、この付着部分での熱拡散特
性の変化が生じたとしても膜式抵抗６の全体からすれば
その熱拡散特性の変化↓よごくわずかなものであり、従
って感度および応答速度の低下を抑制できる。
第８図は本発明の第３の実施例を示すもので、本実施例
では長方形状に形成された膜式抵抗６を空気流と対向す
る膜式抵抗６の厚み部分が空気流に対して所定角度θだ
け傾斜するように保持部材５に固定している。
では長方形状に形成された膜式抵抗６を空気流と対向す
る膜式抵抗６の厚み部分が空気流に対して所定角度θだ
け傾斜するように保持部材５に固定している。
この構成によれば、膜式抵抗６の基板にテーパ部を形成
することなく、膜式抵抗６の上流側、ならびに下流側の
面が空気の流れ方向に対して傾斜した面とすることがで
き、上記実施例と同様の効果が達成できる。なお上記実
施例と同様にテーパ部を基板に形成すれば、さらに一層
浮遊粒子の付着が防止できるようになる。
することなく、膜式抵抗６の上流側、ならびに下流側の
面が空気の流れ方向に対して傾斜した面とすることがで
き、上記実施例と同様の効果が達成できる。なお上記実
施例と同様にテーパ部を基板に形成すれば、さらに一層
浮遊粒子の付着が防止できるようになる。
なお、上記所定角度は浮遊粒子の付着防止効果が十分に
発揮され、かつ保持部材６への固定部分での空気流への
乱れによる感度低下がほとんどない範囲に設定されるも
ので、本発明者らによれば４０″〜７０°が好適である
ことが確認されている。
発揮され、かつ保持部材６への固定部分での空気流への
乱れによる感度低下がほとんどない範囲に設定されるも
ので、本発明者らによれば４０″〜７０°が好適である
ことが確認されている。
第９図は本発明の第４実施例を示すもので、基板６１の
上流側および下流側にはそれぞれ楔状に突出した鋭部な
突起６１ｄ、６１ｅが形成されている。なおこの突起６
１ｄ、６１ｅは単結晶シリコンからなる基板６１の両面
よりそれぞれ異方性エツチングを施こすことにより形成
され、例えばｐｔパターン層６２が形成される面、およ
びその裏面を（１１０）面とした場合には、突起６１ｄ
。
上流側および下流側にはそれぞれ楔状に突出した鋭部な
突起６１ｄ、６１ｅが形成されている。なおこの突起６
１ｄ、６１ｅは単結晶シリコンからなる基板６１の両面
よりそれぞれ異方性エツチングを施こすことにより形成
され、例えばｐｔパターン層６２が形成される面、およ
びその裏面を（１１０）面とした場合には、突起６１ｄ
。
６１ｅの先端角度は略７０″となる。
このように構成することで上記実施例と同様の効果が得
られ、特に突起６１ｄ、６１ｅの図における上側のテー
パ部分の長さと下側のテーパ部分の長さが等しい形とし
た場合には、その最先端部における空気の流れのよどみ
点付近での流速低下の割合が最も小さくなり、浮遊粒子
の付着防止に極めて有効である。
られ、特に突起６１ｄ、６１ｅの図における上側のテー
パ部分の長さと下側のテーパ部分の長さが等しい形とし
た場合には、その最先端部における空気の流れのよどみ
点付近での流速低下の割合が最も小さくなり、浮遊粒子
の付着防止に極めて有効である。
第１０図は本発明の第５の実施例を示すもので、第１の
実施例と略同−の構成であるが、膜式抵抗６のパッシベ
ーション膜６３を基板６１の上流側および下流側のテー
パ６１ｂ、６１ｃの端部よりそれぞれ上流側および下流
側にわずか突出させている（突出部６３ ａ、 ６３
ｂ）。この突出部６３ａ、６３ｂは、例えば単結晶シ
リコンからなる基板６１のｐｔパターン層６２形成面を
（１１１）００）面または（１１０）面とすれば、バッ
シベ−ジョン膜６３形成後に異方性エツチングを行なう
ことにより突出部６３ａ、６３ｂを形成することができ
る。
実施例と略同−の構成であるが、膜式抵抗６のパッシベ
ーション膜６３を基板６１の上流側および下流側のテー
パ６１ｂ、６１ｃの端部よりそれぞれ上流側および下流
側にわずか突出させている（突出部６３ ａ、 ６３
ｂ）。この突出部６３ａ、６３ｂは、例えば単結晶シ
リコンからなる基板６１のｐｔパターン層６２形成面を
（１１１）００）面または（１１０）面とすれば、バッ
シベ−ジョン膜６３形成後に異方性エツチングを行なう
ことにより突出部６３ａ、６３ｂを形成することができ
る。
本構成において突出部６３ａ、６３ｂを形成したのは、
上記第１の実施例のような構成ではバ・７シベ一シヨン
膜６３端部への浮遊粒子の付着が進行するとテーパ６１
ｂ、６１Ｃにまで浮遊粒子が堆積するようになる恐れが
あるため、この付着量を極力抑制するためである。
上記第１の実施例のような構成ではバ・７シベ一シヨン
膜６３端部への浮遊粒子の付着が進行するとテーパ６１
ｂ、６１Ｃにまで浮遊粒子が堆積するようになる恐れが
あるため、この付着量を極力抑制するためである。
そして本構成において、例えば１〜２μｍの厚みにした
パッシベーション膜６３により５〜２０μｍ程突出した
突出部６３ａ、６３ｂを形成した場合、浮遊粒子は突出
部６３ａ、６３ｂの先端に集中的に付着し、他の部分へ
の付着が防止される。
パッシベーション膜６３により５〜２０μｍ程突出した
突出部６３ａ、６３ｂを形成した場合、浮遊粒子は突出
部６３ａ、６３ｂの先端に集中的に付着し、他の部分へ
の付着が防止される。
そして、この突出部６３ａ、６３ｂの厚みは薄いので、
付着量は極めて少なく、しかもパッシベーション膜６３
はＳｉＯ□あるいは５１ｉＮ４で構成され、その熱伝導
率が単結晶シリコンより小さなものであるため、浮遊粒
子付着による特性への影響度を少なくできる。
付着量は極めて少なく、しかもパッシベーション膜６３
はＳｉＯ□あるいは５１ｉＮ４で構成され、その熱伝導
率が単結晶シリコンより小さなものであるため、浮遊粒
子付着による特性への影響度を少なくできる。
以上説明したように本発明によれば、膜式抵抗への浮遊
粒子の付着を防止もしくは減少でき、従って、流量セン
サの感度および応答速度を長期にわたって維持できると
いう優れた効果がある。
粒子の付着を防止もしくは減少でき、従って、流量セン
サの感度および応答速度を長期にわたって維持できると
いう優れた効果がある。
第１Ａ図は本発明の第１の実施例の直熱型流量センサの
膜式抵抗の一部を示す正面図、第１Ｂ図は第１Ａ図のＢ
−Ｂ線断面図、第２Ａ図は第１の実施例の直熱型流量セ
ンサの膜式抵抗を示す正面図、第２Ｂ図は第２Ａ図のＢ
−Ｂ線断面図、第３図は第１の実施例の直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、第４図
は第３図のセンサ回路の回路図、第５図は第１の実施例
の膜式抵抗の保持部材への取付構造を示す構成図、第６
図は第５図のＶＩ−ＶＩ線断面図、第７図、第８図は本
発明の第２、第３の実施例を示す膜式抵抗の保持部材へ
の取付構成を示す構成図、第９図。 第１０図は本発明の第４．第５の実施例を示す膜式抵抗
の断面図である。 ２・・・空気通路、５・・・保持部材、６・・・膜式抵
抗。 ７・・・フキシブル配線、６１・・・基板、６１ａ・・
・凹み。 ５１ｂ、６１１・・・テーパ、６１ｄ、６１ｅ・・・突
起。 ６３・・・パッシベーション膜、５３ａ、６３ｂ・・・
突出部。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１Ｂ図 ６１ １瓶。 ６３ ハ′ツシヘ゛−シ１ン繞 ５・・・イＸ、キ呼事ｐ七才 ５・・ｉ巽に本杭 ７゛＝７＞Ｙシフ゛ル配右（ ６・−膜式抵抗 ８・一温度依存抵抗 門 し ５ イ呆子）香ｐぞ才 ６繰式抵抗 ７ｔ７′・ツムキシ７つぼと利に １２・所熱舒材 第７図
膜式抵抗の一部を示す正面図、第１Ｂ図は第１Ａ図のＢ
−Ｂ線断面図、第２Ａ図は第１の実施例の直熱型流量セ
ンサの膜式抵抗を示す正面図、第２Ｂ図は第２Ａ図のＢ
−Ｂ線断面図、第３図は第１の実施例の直熱型空気流量
センサが適用された内燃機関を示す全体概要図、第４図
は第３図のセンサ回路の回路図、第５図は第１の実施例
の膜式抵抗の保持部材への取付構造を示す構成図、第６
図は第５図のＶＩ−ＶＩ線断面図、第７図、第８図は本
発明の第２、第３の実施例を示す膜式抵抗の保持部材へ
の取付構成を示す構成図、第９図。 第１０図は本発明の第４．第５の実施例を示す膜式抵抗
の断面図である。 ２・・・空気通路、５・・・保持部材、６・・・膜式抵
抗。 ７・・・フキシブル配線、６１・・・基板、６１ａ・・
・凹み。 ５１ｂ、６１１・・・テーパ、６１ｄ、６１ｅ・・・突
起。 ６３・・・パッシベーション膜、５３ａ、６３ｂ・・・
突出部。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１Ｂ図 ６１ １瓶。 ６３ ハ′ツシヘ゛−シ１ン繞 ５・・・イＸ、キ呼事ｐ七才 ５・・ｉ巽に本杭 ７゛＝７＞Ｙシフ゛ル配右（ ６・−膜式抵抗 ８・一温度依存抵抗 門 し ５ イ呆子）香ｐぞ才 ６繰式抵抗 ７ｔ７′・ツムキシ７つぼと利に １２・所熱舒材 第７図
Claims (7)
- （１）薄い平板状に形成された基板と、 この基板に形成され抵抗温度特性を有し、通電により発
熱する発熱部を備える抵抗層と、 前記抵抗層が形成された前記基板上に設けられ、前記抵
抗層を覆うパッシベーション膜とを有する膜式抵抗と、 流体の流れる通路内にて前記膜式抵抗が流体の流れと平
行となるように前記膜式抵抗を保持する保持部材と を備え、しかも 前記基板の少なくとも上流側の面が流体の流れに対して
傾斜した面となるように構成されていることを特徴とす
る直熱型流量センサ。 - （２）前記基板の少なくとも上流側の面はテーパ状に形
成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の直熱型流量センサ。 - （３）前記膜式抵抗の基板が略Ｌ字状に屈曲しており、
前記保持部材により該基板はその一端部を下流側に向け
て保持されており、しかも該基板に形成される前記抵抗
層の前記発熱部が該基板の下流側に向いた部分に形成さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
直熱型流量センサ。 - （４）前記膜式抵抗は長方形状をしており、かつ前記基
板の前記抵抗層が形成される面が流体の流れに対し斜め
となるよう前記膜式抵抗が前記保持部材により保持され
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項
記載の直熱型流量センサ。 - （５）前記抵抗層が形成される基板部分に凹みを形成し
、該凹みに前記抵抗層を形成した特許請求の範囲第１項
、第２項または第３項記載の直熱型流量センサ。 - （６）前記パッシベーション膜は前記基板の上流側端部
より上流側に突出していることを特徴とする特許請求の
範囲第１項乃至第５項のいずれか１項に記載の直熱型流
量センサ。 - （７）前記基板の少なくとも上流側の面は楔状に上流側
に向かって突出していることを特徴とする特許請求の範
囲第１項乃至第６項のいずれか一項に記載の直熱型流量
センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61111191A JPS62123318A (ja) | 1985-08-13 | 1986-05-15 | 直熱型流量センサ |
| GB8619059A GB2179161B (en) | 1985-08-13 | 1986-08-05 | Direct-heated flow measuring apparatus |
| DE3627465A DE3627465C2 (de) | 1985-08-13 | 1986-08-13 | Direkt-beheizte Strömungsmeßvorrichtung |
| US07/223,673 US4843882A (en) | 1985-08-13 | 1988-07-25 | Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity response speed |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17684385 | 1985-08-13 | ||
| JP60-176843 | 1985-08-13 | ||
| JP61111191A JPS62123318A (ja) | 1985-08-13 | 1986-05-15 | 直熱型流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62123318A true JPS62123318A (ja) | 1987-06-04 |
| JPH0560530B2 JPH0560530B2 (ja) | 1993-09-02 |
Family
ID=26450648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61111191A Granted JPS62123318A (ja) | 1985-08-13 | 1986-05-15 | 直熱型流量センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4843882A (ja) |
| JP (1) | JPS62123318A (ja) |
| DE (1) | DE3627465C2 (ja) |
| GB (1) | GB2179161B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000063656A1 (fr) * | 1999-04-16 | 2000-10-26 | Hitachi, Ltd. | Débitmètre d'air à fil chaud et moteur à combustion interne |
| JP2004505235A (ja) * | 2000-07-26 | 2004-02-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 流動媒体の少なくとも１つのパラメータを測定する装置 |
| US6698282B2 (en) * | 2000-08-30 | 2004-03-02 | Hitachi, Ltd. | Heated type air flow rate sensor and its forming method |
| JP2009122054A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Hitachi Ltd | 流量測定装置 |
| JP2013238594A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | E & E Elektron Gmbh | 流量センサ |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4870745A (en) * | 1987-12-23 | 1989-10-03 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. | Methods of making silicon-based sensors |
| JPH0620974Y2 (ja) * | 1988-12-16 | 1994-06-01 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
| DE4009833C2 (de) * | 1989-03-31 | 1996-09-26 | Aisan Ind | Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft |
| US4986122A (en) * | 1989-11-08 | 1991-01-22 | Hydro Data Inc. | Fluid velocity measurement instrument |
| DE9006967U1 (de) * | 1990-06-22 | 1991-10-24 | Sensycon Gesellschaft für industrielle Sensorsysteme und Prozessleittechnik mbH, 30179 Hannover | Widerstandselement |
| DE4026225A1 (de) * | 1990-08-18 | 1992-02-20 | Bosch Gmbh Robert | Schichttraeger |
| DE59607237D1 (de) | 1995-12-15 | 2001-08-09 | Siemens Ag | Luftmassenmesser |
| JP3404251B2 (ja) * | 1997-04-17 | 2003-05-06 | 三菱電機株式会社 | 流量検出装置 |
| DE19735891A1 (de) | 1997-08-19 | 1999-02-25 | Bosch Gmbh Robert | Meßvorrichtung zum Messen der Masse eines in einer Leitung strömenden Mediums |
| JP3416526B2 (ja) * | 1998-05-21 | 2003-06-16 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
| DE19839259A1 (de) * | 1998-08-28 | 2000-03-02 | Gen Motors Corp | Meßfühler |
| JP3587734B2 (ja) * | 1999-06-30 | 2004-11-10 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量センサ |
| US7107835B2 (en) * | 2004-09-08 | 2006-09-19 | Honeywell International Inc. | Thermal mass flow sensor |
| JP2008139298A (ja) | 2006-11-10 | 2008-06-19 | Hitachi Ltd | 温度センサ一体型圧力センサ |
| JP5196218B2 (ja) | 2006-11-10 | 2013-05-15 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置及び圧力センサ容器 |
| US20100162809A1 (en) * | 2007-05-10 | 2010-07-01 | Acque Ingegneria S.R.L. | Flow rate sensor for water ducts and a method for measuring water flow |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3490283A (en) * | 1967-05-08 | 1970-01-20 | Cornell Aeronautical Labor Inc | Molecular speed ratio probe |
| US3975951A (en) * | 1974-03-21 | 1976-08-24 | Nippon Soken, Inc. | Intake-air amount detecting system for an internal combustion engine |
| GB1488012A (en) * | 1975-09-18 | 1977-10-05 | Hawker Siddeley Dynamics Eng | Mass flow transducers |
| DE2728060A1 (de) * | 1977-06-22 | 1979-01-18 | Bosch Gmbh Robert | Messonde mit temperaturabhaengigem widerstand zur mengenmessung |
| DE2843019A1 (de) * | 1978-10-03 | 1980-04-24 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren und einrichtung zur messung der einer brennkraftmaschine zugefuehrten luftmasse |
| DE2900200A1 (de) * | 1979-01-04 | 1980-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Messonde mit schutzschicht und verfahren zur herstellung einer schutzschicht auf einer messonde |
| DE2900210A1 (de) * | 1979-01-04 | 1980-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| DE2900220A1 (de) * | 1979-01-04 | 1980-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| JPS5614915A (en) * | 1979-07-18 | 1981-02-13 | Hitachi Ltd | Hot-wire type air flow meter |
| JPS57173758A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-26 | Hitachi Ltd | Hot wire type current meter |
| JPS57208412A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-21 | Hitachi Ltd | Thermal type flow rate detecting device |
| DE3147530A1 (de) * | 1981-12-01 | 1983-06-09 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Durchflusssensor |
| DE3208096A1 (de) * | 1982-03-06 | 1983-09-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messsonde zur bestimmung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums |
| US4548078A (en) * | 1982-09-30 | 1985-10-22 | Honeywell Inc. | Integral flow sensor and channel assembly |
| US4677850A (en) * | 1983-02-11 | 1987-07-07 | Nippon Soken, Inc. | Semiconductor-type flow rate detecting apparatus |
| JPS6013220A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Esutetsuku:Kk | ガス流量センサ−及びその製造方法 |
| US4542650A (en) * | 1983-08-26 | 1985-09-24 | Innovus | Thermal mass flow meter |
| US4829818A (en) * | 1983-12-27 | 1989-05-16 | Honeywell Inc. | Flow sensor housing |
| JPS60151517A (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-09 | Nippon Soken Inc | 半導体式流量検出装置 |
| US4693115A (en) * | 1984-04-24 | 1987-09-15 | Nippon Soken, Inc. | Device for measuring flow rate of air |
| JPS61178614A (ja) * | 1985-02-02 | 1986-08-11 | Nippon Soken Inc | 直熱型流量センサ |
| DE3604202C2 (de) * | 1985-02-14 | 1997-01-09 | Nippon Denso Co | Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung |
| JPS61188901A (ja) * | 1985-02-16 | 1986-08-22 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 流量センサ用膜式抵抗 |
-
1986
- 1986-05-15 JP JP61111191A patent/JPS62123318A/ja active Granted
- 1986-08-05 GB GB8619059A patent/GB2179161B/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-08-13 DE DE3627465A patent/DE3627465C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-07-25 US US07/223,673 patent/US4843882A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000063656A1 (fr) * | 1999-04-16 | 2000-10-26 | Hitachi, Ltd. | Débitmètre d'air à fil chaud et moteur à combustion interne |
| JP2004505235A (ja) * | 2000-07-26 | 2004-02-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 流動媒体の少なくとも１つのパラメータを測定する装置 |
| US6698282B2 (en) * | 2000-08-30 | 2004-03-02 | Hitachi, Ltd. | Heated type air flow rate sensor and its forming method |
| JP2009122054A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-04 | Hitachi Ltd | 流量測定装置 |
| JP2013238594A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | E & E Elektron Gmbh | 流量センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3627465A1 (de) | 1987-02-26 |
| JPH0560530B2 (ja) | 1993-09-02 |
| GB8619059D0 (en) | 1986-09-17 |
| US4843882A (en) | 1989-07-04 |
| DE3627465C2 (de) | 1995-10-26 |
| GB2179161A (en) | 1987-02-25 |
| GB2179161B (en) | 1990-04-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62123318A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| US4833912A (en) | Flow measuring apparatus | |
| US4870860A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics | |
| US4785662A (en) | Direct-heated gas-flow measuring apparatus | |
| US4783996A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus | |
| JPH10197309A (ja) | 熱式空気流量計用の測定素子及び熱式空気流量計 | |
| US6470742B1 (en) | Flow sensor | |
| US4735099A (en) | Direct-heated gas-flow measuring apparatus | |
| JP2008233012A (ja) | 熱式流量計 | |
| JPWO2004106863A1 (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPH0476415B2 (ja) | ||
| JP2005024400A (ja) | 感熱式流量検出素子およびその製造方法 | |
| US4761995A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity and response speed | |
| JP2002048616A (ja) | 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置 | |
| JP2002139360A (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JPS6298219A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPWO2003102974A1 (ja) | 白金薄膜および熱式センサ | |
| JPH04122818A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPS61186819A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPH04147016A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPS6239722A (ja) | 流量センサ用膜式抵抗 | |
| JPS62147319A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPH0476413B2 (ja) | ||
| JPH10311750A (ja) | 熱式空気流量センサ | |
| JPH0441932B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |