JPH0620974Y2 - 感熱式流量センサ - Google Patents

感熱式流量センサ

Info

Publication number
JPH0620974Y2
JPH0620974Y2 JP1988163900U JP16390088U JPH0620974Y2 JP H0620974 Y2 JPH0620974 Y2 JP H0620974Y2 JP 1988163900 U JP1988163900 U JP 1988163900U JP 16390088 U JP16390088 U JP 16390088U JP H0620974 Y2 JPH0620974 Y2 JP H0620974Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
sensitive
resistor
fluid
flow rate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1988163900U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0283421U (ja
Inventor
雅憲 稲田
七郎 大谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1988163900U priority Critical patent/JPH0620974Y2/ja
Priority to KR2019890017262U priority patent/KR930001161Y1/ko
Priority to DE3941330A priority patent/DE3941330C2/de
Priority to US07/451,058 priority patent/US5024083A/en
Publication of JPH0283421U publication Critical patent/JPH0283421U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0620974Y2 publication Critical patent/JPH0620974Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、感熱抵抗体を用いて流体の流量を検出する
感熱式流量センサに関するものである。
〔従来の技術〕
流体中に配設された感熱抵抗体を含むブリッジ回路の熱
平衡状態から流量を検出する方式が例えば実開昭61-108
930号公報に示される流量センサが従来から用いられて
いるが、セラミック基板上に白金薄膜抵抗体を形成した
感熱抵抗体を加熱抵抗体とする従来の空気流量センサに
つき図面により説明する。
第２図は従来の感熱式流量センサの感熱抵抗体の配設を
示す模式構成図であり、この第２図において、１は流体
の主通路となるハウジングであり、このハウジング１内
の所定の位置に基部２が配置されている。
この基部２に感熱抵抗体ＲＨと空気温センサＲｃとが配
置されている。感熱抵抗体ＲＨと抵抗Ｒ１、空気温セン
サＲｃと抵抗Ｒ２とがそれぞれ直列に接続され、これら
によってブリッジ回路が構成されている。
感熱抵抗体ＲＨは第３図に示すように構成されており、
薄板基板７ａの一方の平面上に感熱抵抗部７ｂが形成さ
れており、流体（空気）の流れ方向６に平行に薄板基板
７ａが配設されている。これは空気中のダスト堆積によ
る特性変化を防止するためである。
また、第２図の制御回路１０は以下のように構成されて
おり、ブリッジ回路の感熱抵抗体ＲＨと空気温センサＲ
ｃとの接続点ａはトランジスタ４のエミッタに接続され
ている。
また、感熱抵抗体ＲＨと抵抗Ｒ１との接続点ｂ、空気温
センサＲＨと抵抗Ｒ２との接続点ｆはそれぞれ差動増幅
器３の入力端に接続されている。
この差動増幅器３の出力はトランジスタ４のベースに加
えられるようになっている。トランジスタ４のコレクタ
は直流電源５の正極に接続され、その負極は接地されて
いる。
次に動作について説明する。感熱式流量センサの動作は
公知であるので、詳細な説明は省略するが、接続点ｂ，
ｆの電圧が等しくなったとき、ブリッジ回路は平衡状態
に達し、このとき感熱抵抗体ＲＨには、空気の流量に対
応した電流ＩＨが流れ、ｂ点の電圧Ｖ０はＩＨ×Ｒ１で
表わされ、この電圧Ｖ０が流量信号として用いられる。
また、感熱抵抗体ＲＨは第３図に示すように空気の流れ
方向６に平行に配設されているため空気中に混入したダ
ストは感熱抵抗体ＲＨの薄板基板７ａの上流側板厚部１
１にのみ堆積し、ダスト堆積による感熱抵抗体ＲＨの感
熱特性の変化は微少でなくなる。
〔考案が解決しようとする課題〕
従来の感熱式空気流量センサは以上のように構成されて
いるので、感熱抵抗体ＲＨの配設は第３図に示すよう
に、空気の流れ方向６に平行に配設されているため、感
熱抵抗体ＲＨを空気の流量センサとして配設する際の空
気の流れ方向６に対する角度のずれによる受風面積の変
化率が大きく、少しの配設角度のずれにより検出誤差が
大きくなるという問題点があった。
第４図(a)および第５図は第４図(b)に示す感熱抵抗体Ｒ
Ｈの空気の流れ方向６に対して、配設角度θが変化した
場合のθ＝０度における特性を基準としたときの検出特
性の変化を示す実験より得られた特性例である。
第４図(a)は流量特性のずれを示し、第５図は第４図(a)
に示す流量ａ，ｂおよびｃにおける検出出力の配設角度
θを変化させたときの変化特性を示し、配設角度が０度
を基準とした場合、少しの配設角度のずれにより検出特
性が大きく変化することを示す。
例えば、流量ｃにおいて配設角度θが５度変化すると、
検出特性の変化は約＋１３％変化する。また、配設角度
θが大きな値となれば配設角度のずれによる検出特性の
変化が少なくなることを示す。
例えば、流量ｃにおいて、配設角度が３０度のとき、３
０度を基準として５度変化しても検出特性は変化しな
い。
この考案は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、組立時の感熱抵抗体の流体の流れ方向に対す
る配設角度および検出特性のばらつきをなくすることが
できるとともに、空気中のダスト堆積による特性変化を
無視でき、長期間にわたって安定した流量検出ができる
感熱式流量センサを得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この考案に係る感熱式流量センサは、流体の流線方向に
対し予め所定の角度を設けて配設するとともに、感熱抵
抗部を薄板基板の流れの下流側の面に配設した感熱抵抗
体を設けたものである。
〔作用〕
この考案における感熱抵抗体は流体の流線に対し予め角
度を設けて配設しているため、配設角度のずれによる特
性の変化への影響を少なくし、かつ感熱抵抗部を流体の
流れの下流側の面に配設しているため、空気中に混入し
たダストが感熱抵抗部に直接堆積するのを抑制し、ダス
ト堆積による検出特性の変化を抑制するように作用す
る。
〔実施例〕
以下、この考案の感熱式流量センサの実施例を図面とと
もに説明する。第１図(a)はその一実施例における感熱
抵抗体の流体中の配線状態を示す斜視図であり、平板状
の感熱抵抗体ＲＨを基部２に導電性支持部材８を介して
流体の流れ方向６に対して配設角度θが第５図に示す実
験結果より配設角度の変化の影響の少ない２０度以上に
初期設定されている。
また、第１図(b)に示すように、感熱抵抗体ＲＨの感熱
抵抗部７ｂは流体の流れ方向６の下流側、すなわち薄板
基板７ａの下面側に設けられている。その他の構成は第
１図と同様である。
このように構成することにより、例えば感熱抵抗体ＲＨ
の組付け時による組付角度誤差が生じても、第５図に示
すように初期設定角度が０度の場合に比べて検出特性の
ずれへの影響が少なくなり、精度の高い感熱式流量セン
サが得られる。
なお、配設角度θは大きいほど望ましいが、６０度以上
となると、空気中のダストが薄板基板７ａの流れの上流
側の面に堆積しやすくなるため、配設角度θを６０度以
下に設定することにより、空気中のダストは第１図(b)
に示す流線９に沿って流され、ダストの付着が微量とな
る。
また、万一、微量のダストが堆積しても感熱抵抗部７ｂ
の表面には直接付着することがなく、ダスト堆積による
検出特性の変化は無視できる範囲となる。
〔考案の効果〕
以上のように、この考案によれば、感熱抵抗体を流体の
流れ方向に対し２０度から６０度の範囲内で角度を設け
て配設するように構成したので、組付時などの取付角度
のばらつきによる検出特性のばらつきが小さくできる。
また、感熱抵抗部を薄板基板の流体の流れの下流側の面
に配設しているので、空気中のダスト堆積による特性変
化も無視できるレベルに低減され、検出特性のばらつき
が小さく、長期間にわたって流量検出を安定して行なう
ことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図(a)はこの考案の一実施例による感熱式流量セン
サの感熱抵抗体の配設状態を示す斜視図、第１図(b)は
同上感熱抵抗体の流体の流れ方向に対する配設状態を示
す説明図、第２図は従来の感熱式流量センサの模式構成
図、第３図は従来の感熱式流量センサの感熱抵抗体の流
体の流れ方向に対する配設状態を示す説明図、第４図
(a)および第５図は感熱抵抗体の空気の流れ方向に対す
る配設角度を変化させた場合の実験結果の検出特性図、
第４図(b)は第４図(a)および第５図の実験結果を得るた
めの感熱抵抗体の配置状態説明図である。 １……ハウジング、２……基部、７ａ……薄板基板、７
ｂ……感熱抵抗部、８……支持部材、ＲＨ……感熱抵抗
体。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】流体通路中に配設され薄板基板に平板状に
    設けられ温度によって抵抗値が変化する感熱抵抗部を有
    する感熱抵抗体と複数の抵抗とにより構成されたブリッ
    ジ回路と、上記感温抵抗体への通電電流を制御し上記ブ
    リッジ回路が所定の平衡状態を保つように制御するとと
    もに、この平衡状態から上記流体流量を検出する制御回
    路とを備えた感熱式流量センサにおいて、上記感熱抵抗
    体を上記流体の流れ方向に対して２０度から６０度の配
    設角度を設けて配設するとともに、上記感熱抵抗部を上
    記薄板基板の上記流体の流れ方向の下流側の面に設けた
    ことを特徴とする感熱式流量センサ。
JP1988163900U 1988-12-16 1988-12-16 感熱式流量センサ Expired - Lifetime JPH0620974Y2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988163900U JPH0620974Y2 (ja) 1988-12-16 1988-12-16 感熱式流量センサ
KR2019890017262U KR930001161Y1 (ko) 1988-12-16 1989-11-22 감열식 유량센서
DE3941330A DE3941330C2 (de) 1988-12-16 1989-12-14 Thermischer Strömungsmesser
US07/451,058 US5024083A (en) 1988-12-16 1989-12-15 Terminal flow sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1988163900U JPH0620974Y2 (ja) 1988-12-16 1988-12-16 感熱式流量センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0283421U JPH0283421U (ja) 1990-06-28
JPH0620974Y2 true JPH0620974Y2 (ja) 1994-06-01

Family

ID=15782955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1988163900U Expired - Lifetime JPH0620974Y2 (ja) 1988-12-16 1988-12-16 感熱式流量センサ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5024083A (ja)
JP (1) JPH0620974Y2 (ja)
KR (1) KR930001161Y1 (ja)
DE (1) DE3941330C2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7942053B2 (en) 2007-11-19 2011-05-17 Hitachi, Ltd. Air flow measuring instrument having dust particle diverting structure

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5086650A (en) * 1991-01-07 1992-02-11 General Motors Corporation Low noise fluid flow sensor mounting
JP2641333B2 (ja) * 1991-03-13 1997-08-13 日本碍子株式会社 熱式流量センサ
DE4207676C2 (de) * 1992-03-11 1996-05-02 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums
JP3175887B2 (ja) * 1992-10-27 2001-06-11 株式会社半導体エネルギー研究所 測定装置
JP3240733B2 (ja) * 1993-03-17 2001-12-25 株式会社日立製作所 熱式空気流量計
US5515714A (en) * 1994-11-17 1996-05-14 General Motors Corporation Vapor composition and flow sensor
US5623097A (en) * 1994-11-24 1997-04-22 Ricoh Company, Ltd. Thermal-type flow sensor
DE19547915A1 (de) * 1995-12-21 1997-06-26 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums
DE19735891A1 (de) 1997-08-19 1999-02-25 Bosch Gmbh Robert Meßvorrichtung zum Messen der Masse eines in einer Leitung strömenden Mediums
US5965813A (en) * 1998-07-23 1999-10-12 Industry Technology Research Institute Integrated flow sensor
JP3484372B2 (ja) 1999-06-10 2004-01-06 三菱電機株式会社 感熱式流量センサ
DE19940958A1 (de) * 1999-08-28 2001-01-25 Daimler Chrysler Ag Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums
WO2003062758A1 (en) * 2002-01-18 2003-07-31 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Microscale out-of-plane anemometer
JP2005249565A (ja) * 2004-03-04 2005-09-15 Kanagawa Prefecture 風速計
US7107835B2 (en) * 2004-09-08 2006-09-19 Honeywell International Inc. Thermal mass flow sensor
IT1400631B1 (it) * 2010-06-18 2013-06-14 Extraflame S P A Dispositivo di rilevamento del flusso di aria in ingresso in apparecchi per il riscaldamento degli ambienti e relativo metodo.
AT13014U1 (de) * 2011-12-06 2013-04-15 Extraflame S P A Vorrichtung und verfahren zum ermitteln der luftströmung in raumheizungsgeräten

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2804850C2 (de) * 1978-02-04 1983-11-17 Degussa Ag, 6000 Frankfurt Vorrichtung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit von Gasen
JPS57208412A (en) * 1981-06-19 1982-12-21 Hitachi Ltd Thermal type flow rate detecting device
DE3248603A1 (de) * 1982-12-30 1984-07-12 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Einrichtung zur messung des massendurchsatzes eines stroemenden mediums
JPS59206715A (ja) * 1983-05-10 1984-11-22 Nippon Soken Inc 半導体式流量検出装置
DE3504082A1 (de) * 1985-02-07 1986-08-07 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren und vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums
JPS62123318A (ja) * 1985-08-13 1987-06-04 Nippon Soken Inc 直熱型流量センサ
US4794795A (en) * 1986-05-23 1989-01-03 Djorup Robert Sonny Directional thermal anemometer transducer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7942053B2 (en) 2007-11-19 2011-05-17 Hitachi, Ltd. Air flow measuring instrument having dust particle diverting structure

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0283421U (ja) 1990-06-28
KR900012782U (ko) 1990-07-04
DE3941330C2 (de) 1994-07-21
DE3941330A1 (de) 1990-06-21
KR930001161Y1 (ko) 1993-03-13
US5024083A (en) 1991-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0620974Y2 (ja) 感熱式流量センサ
US4870860A (en) Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics
JP2564415B2 (ja) 空気流量検出器
JP4157034B2 (ja) 熱式流量計測装置
EP0387025B1 (en) Temperature compensating circuit
JPS6135311A (ja) 熱式流速検出装置
JPS6140924B2 (ja)
JPH0133763B2 (ja)
US4761995A (en) Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity and response speed
JP3361968B2 (ja) 感熱式流量計
JP2939122B2 (ja) 熱線式風速センサの取付構造
JP2957769B2 (ja) 熱式空気流量計及びエンジン制御装置
JPH0631374Y2 (ja) 感熱式流量センサ
JPH06100485B2 (ja) ガス流量検出装置
JPH0663800B2 (ja) ヒータ温度制御回路
JPH0620973Y2 (ja) 感熱式流量センサ
JP2690066B2 (ja) 感熱式流量センサ
JPH09236465A (ja) 発熱抵抗式空気流量測定装置
JP2510151B2 (ja) エンジン用熱式空気流量測定装置
JP2948136B2 (ja) 空気流量検出器
JPH0569633U (ja) 吸入空気量検出装置
JP2610580B2 (ja) 熱式流速検出装置
JPH0633375Y2 (ja) 感熱式流量センサ
JP3473501B2 (ja) 熱式空気流量計
JP2569733B2 (ja) 熱式空気流量検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term