JPS62112844U - - Google Patents

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JPS62112844U
JPS62112844U JP128386U JP128386U JPS62112844U JP S62112844 U JPS62112844 U JP S62112844U JP 128386 U JP128386 U JP 128386U JP 128386 U JP128386 U JP 128386U JP S62112844 U JPS62112844 U JP S62112844U
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ion beam
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aperture
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wien filter
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JP128386U
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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例を示す集束イオンビー
ム装置のイオンビームの軌跡を示す要部構成図、
第２図は集束点の違いによる質量分離の相違の説
明図でイはイオンビームの集束点がウイーンフイ
ルタの中心にある場合ロはイオンビームの集束点
が絞りにある場合を示す図、第３図はイオンビー
ムの集束点がウイーンフイルタの中心にある場合
の質量分離度の説明図、第４図は本考案のフイル
タと従来のフイルタの質量分離度の比較図でイは
本考案によるものでロは従来のものである。第５
図は従来の集束イオンビーム装置の概略構成図、
第６図はイオンビームの軌跡図である。 ２……エミツタ、３……引出し電極、４……電
源、５……加速管、７……コンデンサレンズ、８
……ウイーンフイルタ、９……絞り、１０……対
物レンズ、１１……偏向器、１２……試料、１４
……ビーム制限絞り、１５……対物レンズ絞り。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオンビームを質量により分離するウイーンフ
    イルタの中心に前記イオンビームをコンデンサレ
    ンズで集束させる集束イオンビーム装置において
    、前記ウイーンフイルタの上部にビーム制限絞り
    を設けたことを特徴とする集束イオンビーム装置
    。
JP128386U 1986-01-08 1986-01-08 Pending JPS62112844U (ja)

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JP128386U JPS62112844U (ja) 1986-01-08 1986-01-08

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JP128386U JPS62112844U (ja) 1986-01-08 1986-01-08

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JPS62112844U true JPS62112844U (ja) 1987-07-18

Family

ID=30779047

Family Applications (1)

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JP128386U Pending JPS62112844U (ja) 1986-01-08 1986-01-08

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JP (1) JPS62112844U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002532844A (ja) * 1998-12-17 2002-10-02 フィリップス エレクトロン オプティクス ビー ヴィ オージェ電子の検出を含む粒子光学装置
JP2007504606A (ja) * 2003-08-28 2007-03-01 シマヅ リサーチ ラボラトリー（ヨーロッパ）リミティド 粒子光学装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6062045A (ja) * 1983-09-14 1985-04-10 Hitachi Ltd イオンマイクロビ−ム打込み装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6062045A (ja) * 1983-09-14 1985-04-10 Hitachi Ltd イオンマイクロビ−ム打込み装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002532844A (ja) * 1998-12-17 2002-10-02 フィリップス エレクトロン オプティクス ビー ヴィ オージェ電子の検出を含む粒子光学装置
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