JPS61104960U - - Google Patents

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JPS61104960U
JPS61104960U JP18993584U JP18993584U JPS61104960U JP S61104960 U JPS61104960 U JP S61104960U JP 18993584 U JP18993584 U JP 18993584U JP 18993584 U JP18993584 U JP 18993584U JP S61104960 U JPS61104960 U JP S61104960U
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Description

【図面の簡単な説明】
添附図面は本考案の一実施例を示す図である。 １…対物レンズ、２…上磁極、３…下磁極、４
…レンズコイル、５…検出器、６…捕集電極、７
…試料、８…電源。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電子線を試料上に細く収束する磁界型対物
    レンズと、該対物レンズの上部に配置され、試料
    電位に対し、正の電位が印加された２次電子捕集
    電極を有した２次電子検出器とを備え、該試料へ
    の電子線の照射に基づいて発生した２次電子を該
    対物レンズの磁場によつて光軸に沿つて該対物レ
    ンズの上部に取り出し、該検出器によつて検出す
    るようにした電子線装置において、該対物レンズ
    の磁極に、該試料の電位と該検出器の捕集電極の
    電位との中間の電位を加えるように構成した電子
    線装置。 (2) 該対物レンズの上磁極と下磁極とを異なつ
    た電位とし、上磁極の電位を該下磁極の電位より
    正に高い電位とした実用新案登録請求の範囲第１
    項記載の電子線装置。 (3) 該対物レンズの下磁極は試料と同じ接地電
    位とし、該対物レンズの上磁極に該捕集電極と試
    料との中間の電位を印加するようにした実用新案
    登録請求の範囲第１項記載の電子線装置。
JP18993584U 1984-12-14 1984-12-14 Expired JPH0319166Y2 (ja)

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JPS61104960U true JPS61104960U (ja) 1986-07-03
JPH0319166Y2 JPH0319166Y2 (ja) 1991-04-23

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006093161A (ja) * 1995-10-19 2006-04-06 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡
JP2007005327A (ja) * 1995-10-19 2007-01-11 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡
JP2007250560A (ja) * 1995-10-19 2007-09-27 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006093161A (ja) * 1995-10-19 2006-04-06 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡
JP2007005327A (ja) * 1995-10-19 2007-01-11 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡
JP2007250560A (ja) * 1995-10-19 2007-09-27 Hitachi Ltd 走査形電子顕微鏡

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JPH0319166Y2 (ja) 1991-04-23

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