JPS6339853U - - Google Patents
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- JPS6339853U JPS6339853U JP13307086U JP13307086U JPS6339853U JP S6339853 U JPS6339853 U JP S6339853U JP 13307086 U JP13307086 U JP 13307086U JP 13307086 U JP13307086 U JP 13307086U JP S6339853 U JPS6339853 U JP S6339853U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion beam
- ion
- exb
- mass separator
- species
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す構成図、第2
図は従来装置例を示す図である。 1…加速電圧源、2…イオン源、3…引出し電
極、4…引出し電圧印加用電源、5…多段加速管
、6…分圧器、7…コンデンサレンズ、8…EX
B質量分離器、9…選択絞り、10…対物レンズ
、11…偏向器、12…試料、21,25…ブラ
ンキングプレート、22a…EXBマスフイルタ
磁場部、22b…EXBマスフイルタ電場部、2
3…カツト用絞り、24…絶縁物、Bi…イオン
ビーム。
図は従来装置例を示す図である。 1…加速電圧源、2…イオン源、3…引出し電
極、4…引出し電圧印加用電源、5…多段加速管
、6…分圧器、7…コンデンサレンズ、8…EX
B質量分離器、9…選択絞り、10…対物レンズ
、11…偏向器、12…試料、21,25…ブラ
ンキングプレート、22a…EXBマスフイルタ
磁場部、22b…EXBマスフイルタ電場部、2
3…カツト用絞り、24…絶縁物、Bi…イオン
ビーム。
Claims (1)
- イオン源より出射したイオンビームのうちから
EXB質量分離器を用いて特定の種類のイオン種
を選択し、選択したイオン種によるイオンビーム
を試料に照射するようにした集束イオンビーム装
置において、前記EXB質量分離器内部に散乱ビ
ームをカツトするための絞りを設けたことを特徴
とする集束イオンビーム装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986133070U JPH0539555Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986133070U JPH0539555Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6339853U true JPS6339853U (ja) | 1988-03-15 |
JPH0539555Y2 JPH0539555Y2 (ja) | 1993-10-07 |
Family
ID=31033047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986133070U Expired - Lifetime JPH0539555Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0539555Y2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61220263A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | Hitachi Ltd | イオンマイクロビ−ム装置 |
JPS62103949A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | Jeol Ltd | 集束イオンビ−ム装置 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP1986133070U patent/JPH0539555Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61220263A (ja) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | Hitachi Ltd | イオンマイクロビ−ム装置 |
JPS62103949A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | Jeol Ltd | 集束イオンビ−ム装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0539555Y2 (ja) | 1993-10-07 |
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