JPS61202447A - 自動半導体探針検査装置 - Google Patents
自動半導体探針検査装置Info
- Publication number
- JPS61202447A JPS61202447A JP4349085A JP4349085A JPS61202447A JP S61202447 A JPS61202447 A JP S61202447A JP 4349085 A JP4349085 A JP 4349085A JP 4349085 A JP4349085 A JP 4349085A JP S61202447 A JPS61202447 A JP S61202447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- measuring
- measurement
- controller
- chips
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置に関し、特に半導体素子の電気
特性をウェハー上で探針測定する、自動半導体探針検査
装置に関するものである。
特性をウェハー上で探針測定する、自動半導体探針検査
装置に関するものである。
従来、この種の自動半導体探針検査装置（以下プローバ
ーと呼ぶ）は、ウェハー上の整列されたＩＣチップを順
番に測定して行く為、あらかじめセットされたＸ−Ｙ移
動量に基づいて、その整数倍の位置間の移動によシ、自
動探針検査を行っていた。
ーと呼ぶ）は、ウェハー上の整列されたＩＣチップを順
番に測定して行く為、あらかじめセットされたＸ−Ｙ移
動量に基づいて、その整数倍の位置間の移動によシ、自
動探針検査を行っていた。
したがって、上述した従来のプローバーは、あらかじめ
設定された一種類のＸ−Ｙピッチ間の移動しか出来なく
、その為測定すべきウェハー上のＩＣチップは、Ｘ−Ｙ
それぞれ力Ｉ、そのピッチ間隔で配列されていなければ
、連続自動測定が出来ないという欠点があった。
設定された一種類のＸ−Ｙピッチ間の移動しか出来なく
、その為測定すべきウェハー上のＩＣチップは、Ｘ−Ｙ
それぞれ力Ｉ、そのピッチ間隔で配列されていなければ
、連続自動測定が出来ないという欠点があった。
本発明は前記欠点を排除し、同一ウニノー−面上にいか
なるピッチで配列しである同一チップ、又は異チップを
も、連続自動測定が可能なプローバーを提供するもので
ある・ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明のプローバーは、測定すべきＩＣチップに対応し
たステップ送り量を設定する入力部と、途中で送ｐ量を
変更するに、その任意の変更点を設定する入力部と、そ
の任意の変更移動量を設定する入力部と、それら入力部
への設定が各々１回以上可能な様にプログラムする為の
入力部とを有することを特徴とするものである。
なるピッチで配列しである同一チップ、又は異チップを
も、連続自動測定が可能なプローバーを提供するもので
ある・ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明のプローバーは、測定すべきＩＣチップに対応し
たステップ送り量を設定する入力部と、途中で送ｐ量を
変更するに、その任意の変更点を設定する入力部と、そ
の任意の変更移動量を設定する入力部と、それら入力部
への設定が各々１回以上可能な様にプログラムする為の
入力部とを有することを特徴とするものである。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の構成図であり、第２図は従
来のプローバーによる自動連続探針測定が可能なＩＣウ
ェハーを示し、第３図は本発明によるプローバーによる
自動連続探針測定が可能なＩＣウェハーを示す。１ａと
ｉｂは同一ウェハー上に配置された寸法の異なるＩＣチ
ップであり、ＩＣチッグ１αは本来測定すべき本チップ
であり、ＩＣチップｉｂはＩＣウェハー製造途中で使用
されるテストパターンチップや、ウェハー位置出し用の
パターンチップや、別ＩＣチップ等である。第２図のウ
ェハーでは、測定すべき本チップであるチップｌαの配
置は全チップｌｃＬが縦と横にそれぞれ等ピッチで配置
されていなければ、連続測定が不可能であった。その為
チップ１ｂによシチツプｌｃＬの配置が乱されても無駄
なエリアが生じない様に自由な配置が出来ず、従って無
駄なエリアが生じ、チップの収率の面から大きな損失が
あった。第３図のウェハーはチップ１αが、チップ１ｂ
により乱されても、自由に詰めて配置した例であり、Ｉ
Ｃチップの収率も大きい。この場合、チップ１．ａの配
置ピッチは途中で変化している。その為、このウェハー
の測定には連続測定のステップ移動途中のあらかじめ決
められていた位置で、決められた量だけステップ移動量
が変更出来る機能が必要となる。以下その機能を有した
本発明の実施例について説明する。
来のプローバーによる自動連続探針測定が可能なＩＣウ
ェハーを示し、第３図は本発明によるプローバーによる
自動連続探針測定が可能なＩＣウェハーを示す。１ａと
ｉｂは同一ウェハー上に配置された寸法の異なるＩＣチ
ップであり、ＩＣチッグ１αは本来測定すべき本チップ
であり、ＩＣチップｉｂはＩＣウェハー製造途中で使用
されるテストパターンチップや、ウェハー位置出し用の
パターンチップや、別ＩＣチップ等である。第２図のウ
ェハーでは、測定すべき本チップであるチップｌαの配
置は全チップｌｃＬが縦と横にそれぞれ等ピッチで配置
されていなければ、連続測定が不可能であった。その為
チップ１ｂによシチツプｌｃＬの配置が乱されても無駄
なエリアが生じない様に自由な配置が出来ず、従って無
駄なエリアが生じ、チップの収率の面から大きな損失が
あった。第３図のウェハーはチップ１αが、チップ１ｂ
により乱されても、自由に詰めて配置した例であり、Ｉ
Ｃチップの収率も大きい。この場合、チップ１．ａの配
置ピッチは途中で変化している。その為、このウェハー
の測定には連続測定のステップ移動途中のあらかじめ決
められていた位置で、決められた量だけステップ移動量
が変更出来る機能が必要となる。以下その機能を有した
本発明の実施例について説明する。
測定ＩＣウェハーｌを載置したチャックステージ２がｘ
−ｙ−ｚステージ３に固定されている。コントローラ４
は電気的にｘ−ｙ−ｚステージ３に接続されてお！＋、
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ３はコントローラ４にプログラムさ
れた動作を行う、入出力ターミナル５は電気的にコント
ローラ４に接続されており、これによυステップ移動量
の変更及びその変更位置の指定等などが入力される。プ
ローブカード６は測定探針７を有し、測定探針７はテス
ター８に電気的に接続されている。
−ｙ−ｚステージ３に固定されている。コントローラ４
は電気的にｘ−ｙ−ｚステージ３に接続されてお！＋、
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ３はコントローラ４にプログラムさ
れた動作を行う、入出力ターミナル５は電気的にコント
ローラ４に接続されており、これによυステップ移動量
の変更及びその変更位置の指定等などが入力される。プ
ローブカード６は測定探針７を有し、測定探針７はテス
ター８に電気的に接続されている。
測定ＩＣウェハー１はコントローラ４の指示によるｘ−
ｙ−ｚステージ３のＸ−Ｙ動作によシ決められた位置で
停止し、そして、２動作によりプローブカード６の測定
探針７とのコンタクトがとられ、測定を行う、同様に順
次この動作を繰り返して測定が進行する。
ｙ−ｚステージ３のＸ−Ｙ動作によシ決められた位置で
停止し、そして、２動作によりプローブカード６の測定
探針７とのコンタクトがとられ、測定を行う、同様に順
次この動作を繰り返して測定が進行する。
以上説明したように本発明は、測定ステップ移動途中で
任意の童のステップ移動への切換え等が自在にできるた
め、同一チッ゛プについてはウェハー上のどんな配置で
も連続測定が可能であシ、又測定時間の短縮も計れる。
任意の童のステップ移動への切換え等が自在にできるた
め、同一チッ゛プについてはウェハー上のどんな配置で
も連続測定が可能であシ、又測定時間の短縮も計れる。
さらに測定チップの配置について、同一ピッチで配置し
なければならないという制約がなくなる為、同一ウェハ
ー上では任意の配置がとれることにより、ウェハー面の
有効活用が計れ、従ってチップ収率が大巾に望めるとい
う効果もある。
なければならないという制約がなくなる為、同一ウェハ
ー上では任意の配置がとれることにより、ウェハー面の
有効活用が計れ、従ってチップ収率が大巾に望めるとい
う効果もある。
第１図は本発明のプローバーの構成図、第２図は従来プ
ローバー用のウェハーのＩＣ配置図、第３図は本発明に
よるプローバー用のウェハーのＩＣ配置図である。
ローバー用のウェハーのＩＣ配置図、第３図は本発明に
よるプローバー用のウェハーのＩＣ配置図である。
Claims (1)
- （１）Ｘ−Ｙステップ送り量を設定する入力部と、任意
のステップ途中でステップ量を変更するに、その変更位
置を設定する入力部と、その任意の変更ステップ量を設
定する入力部と、それらの入力部への設定が各々１回以
上可能な様にプログラムする為の入力部とを有すること
を特徴とする自動半導体探針検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4349085A JPS61202447A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 自動半導体探針検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4349085A JPS61202447A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 自動半導体探針検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61202447A true JPS61202447A (ja) | 1986-09-08 |
Family
ID=12665154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4349085A Pending JPS61202447A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 自動半導体探針検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61202447A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005142216A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子の測定方法および測定装置 |
-
1985
- 1985-03-05 JP JP4349085A patent/JPS61202447A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005142216A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子の測定方法および測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI407120B (zh) | 路由探針卡上信號的可程式裝置 | |
| US4052793A (en) | Method of obtaining proper probe alignment in a multiple contact environment | |
| JPH06151531A (ja) | プローブ装置 | |
| US6011405A (en) | Apparatus and method for probing multiple integrated circuit dice in a semiconductor wafer | |
| JPS61202447A (ja) | 自動半導体探針検査装置 | |
| JPH03214638A (ja) | 半導体ウェハ | |
| KR20140078549A (ko) | 프로브 카드, 검사 장치 및 검사 방법 | |
| JPH01129432A (ja) | 集積回路 | |
| JPS62298781A (ja) | デバイス特性測定用ハンドラ装置 | |
| JP3858244B2 (ja) | 半導体検査装置及び半導体の検査方法 | |
| JP2767291B2 (ja) | 検査装置 | |
| JPH0689932A (ja) | パワーｍｏｓｆｅｔのバーンイン装置 | |
| JPH0621169A (ja) | ウェハのプローバ装置とそのプロービング方法及びｉｃパッケージのプローバ装置とそのプロービング方法 | |
| JPS6047433A (ja) | 多品種搭載ウエハ試験装置 | |
| JPS6313341A (ja) | 半導体集積回路とその試験方法 | |
| JPS6059746A (ja) | プロ−バ−における座標系の整合方法 | |
| JPH0666832A (ja) | プローブ及び検査装置 | |
| JPH0399450A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH0427134A (ja) | 半導体ｄｃパラメータ測定装置 | |
| JPH11163059A (ja) | 集積回路用半導体薄板検査装置およびその検査方法 | |
| JPS6170734A (ja) | プロ−ブカ−ド | |
| JPH0460471A (ja) | パターン配線検査用プローバ機構 | |
| JPH05333105A (ja) | プローブニードルの位置検出方法 | |
| JPH03270041A (ja) | 検査装置 | |
| JPH04180642A (ja) | プロービング装置 |