JPH0460471A

JPH0460471A - パターン配線検査用プローバ機構

Info

Publication number: JPH0460471A
Application number: JP2170563A
Authority: JP
Inventors: Tsuneo Yamaha; 山羽　常雄
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1990-06-28
Filing date: 1990-06-28
Publication date: 1992-02-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明はパターン配線検査用のプローバ機構に関し、
詳しくはセラミック配線基板などの微小なパターン配線
の抵抗を、４端子法により測定するための４個のプロー
ブピンを有するプローバ機構に関する。

［従来の技術］電子デバイスに使用されるプリント基板には、材質、大
きさ、または形状にさまざまな種別があリ、これらは製
造段階で検査が行われる。

第２図（ａ）、（ｂ）は、プラスチックをベースとする
比較的大型のプリント基板に対して従来使用されている
検査ブローμと検査方法を示す。図（ａ）において、載
置台１に基板２を載置し、これに対して上方よりブロー
μ３を下降するとプローブピン３ａの先端が基板のパタ
ーン配線２ａに弾性接触して、導通または絶縁がテスト
される。プローブピン３ａは図（ｂ）に示す構造で、ブ
ローμ３の貫通穴にスプリング３ｂを嵌挿してプローブ
ピンを下方に付勢し、上端よりリード線３ｃが引き出さ
れたものである。

［解決しようとする課題］最近においては、ＩＣなどの小型、高集積化がますます
進展し、これに対応して小型に形成できることと、平面
性や絶縁性が優れているなどによりセラミックをベース
としたプリント基板（以下単にセラミック配線基板、ま
たはセラミック基板という）が使用されている。

第３図はセラミック基板４の１例を示す。従来のプラス
チック基板の場合は、パターン配線２ａのパッド間隔は
比較的小さなものでも０．５ｍｍ程度であり、上記のよ
うにプローブピンは貫通穴とスプリングの制約があるた
め、この程度の間隔が限度である。これに対してセラミ
ック基板４においては、パターン配線４ａのパッド間隔
は極度に狭くて０．１〜０．２ｍｍのものが一般に製作
されている。検査のためには、このような微小間隔のパ
ターン配線に接触するプローブピンとプローバ機構が必
要である。さらに、セラミック基板においてはパターン
配線が非常に細いために電気抵抗が増加するので、導通
、絶縁テストの他に抵抗測定が必要とされている。抵抗
測定は電流を供給して抵抗による電圧降下を測定する４
端子法が適当とされており、微小間隔のパターン配線に
接触する４個のプローブピンを有するプローバ機構が必
要である。

この発明は以上に鑑みてなされたもので、４個ノフロー
ブピンがセラミック基板の微小な間隔ツバターン配線に
接触し、４端子法による抵抗測定を行うことができるプ
ローバ機構を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］この発明は、プリント基板のパターン配線の抵抗測定に
使用する検査プローブピンであって、ベース盤の中央部
を切り欠いた方形穴部に設けられ、被検査のプリント基
板を載置してＹ、Ｘ方向に移動する載置台と、ベース盤
に固定されたガイドレールに沿ってＸ方向に移動する２
個の移動棒と、移動棒のそれぞれに２個づつ設けられ、
Ｘ方向に移動する４個の移動子、および各移動子に取り
付けられ、各移動棒のＸ移動と各移動子Ｘ移動により、
先端がプリント基板のパターン配線の微小な間隔に接近
する４個のプローブピンとにより構成される。載置台の
Ｘ移動、移動棒のＸ移動、および移動子のＸ移動により
、４個のプローブピンを抵抗測定の対象の２本のパター
ン配線に対応する位置にそれぞれ移動し、載置台のＺ方
向の上昇により、４個のプローブピンの先端を２本のパ
ターン配線に接触するものである。

上記において、４個のプローブピンのうちの２個により
２本のパターン配線にテスト電流を供給し、他の２個に
よりテスト電流による電圧降下を測定する。この場合、
２本のパターン配線のＸまたはＸ方向に対応して、テス
ト電流を供給するプローブピンと、電圧降下を測定する
他のプローブピンとを切り替えて４端子法の抵抗測定を
行う。

［作用］以上の検査ブローμにおいては、載置台のＸ移動と２個
の移動棒のＸ移動、および４個の移動子のＸ移動により
、４個のプローブピンが測定対象の２本のパターン配線
に対応する位置に移動し、載置台の上昇により各プロー
ブピンの先端が２本のパターン配線に接触して４端子法
による抵抗測定が行われる。パターン配線の方向にはＸ
またはＸ方向の２種類があり、その方向に対応して４個
のプローブピンを切り替え、いずれか２個を電流供給用
に使用し、他の２個を電圧降下測定に使用することによ
り、いずれの方向のパターン配線に対しても４端子法に
よる抵抗測定が行われる。

［実施例コ第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、この発明による
検査ブローμの実施例の構造を示す斜視外観図と平面図
、および４個のプローブピンによる４端子抵抗測定方法
の説明図である。図（ａ）、（ｂ）において、ベース盤
５の中央部に方形穴部５１を切り欠き、その内部に載置
台１を設けて被検査のセラミック基板４を載置する。載
置台は図示しない駆動機構により図示のＹ、　Ｚ方向に
移動する。ベース盤に２個のガイドレール５２．５３を
固定し、Ｘ駆動機構ｅｌｌ、Ｇ２＋により、ガイドレー
ルに沿ってＸ方向に移動する２個の移動棒６１．６２を
設ける。さらに各移動棒の上に２個づつＹ駆動機構７１
．７２．７３．７４を設け、各Ｙ駆動機構の移動子８１
，８２，８３．８４にプローブピン９１．９２，９３．
９４を取り付ける。各プローブピンの先端は微小な幅の
パターン配線に当接できる鋭いものとする。抵抗測定に
おいては、載置台１に被検査のセラミック基板を載置し
、載置台のＹ移動と各移動棒のＸ移動、および各移動子
のＹ移動により、各プローブピンを測定対象の２本のパ
ターン配線の位置まで移動して停止する。ついで載置台
を上昇すると、各プローブピンの先端が２本のパターン
配線に接触して４端子法による抵抗測定が行われる。図
（Ｃ）は４端子抵抗測定法を説明するもので、図の（イ
）は測定対象の２本のパターン配線ＣＩ　と０２がＸ方
向に平行している場合で、Ｃ１，Ｃ２はその端末が２個
スルーホールｓｈを経て接続線ＣＤにより接続されてい
るものとする。電源１０の電圧Ｅが２個のプローブピン
９３゜９４に与えられて電流ｉがＣＩ　、Ｓｈ、Ｃｏ、
Ｓｈ、Ｃ２の回路を流れ、回路の抵抗により降下した電
圧ｅが２個のプローブピン９１．９２によす取す出され
て電圧センサ１１により測定され、計算式ｅ／ｉにより
抵抗値が計算される。次に図の（０）は、２本のパター
ン配線ｃ３．ｃ４がＸ方向に平行している場合で、プロ
ーブピンを切り替え、２個のプローブピン９１．９３に
電圧Ｅを与えて電流ｉを供給し、２個のプローブピン９
２．９４より降下電圧ｅを取り出して上記と同様に抵抗
が測定される。

以上において、被測定のパターン配線の間隔がすべて一
定の場合は、最初に、各部の移動により４個のプローブ
ピンをその間隔に固定し、以後は２個の移動棒Ｇｌ、Ｇ
２．２個の移動子９１，９２　、および２個の移動子９
３．９４をそれぞれ一体として移動することにより、測
定対象のパターン配線の位置に各プローブピンを対応さ
せることができる。また、一定間隔のパターン配線を有
する基板が多量の場合は、２個の移動棒の間隔、および
各２個の移動子の間隔をそれぞれ半固定式とし、それぞ
れ１個の駆動機構により一体として移動することが効率
的であり、間隔の異なるパターン配線の基板に対しては
半固定された間隔を調整する。その場合はＸ駆動機構と
Ｙ駆動機構が半減されて簡易化される。

［発明の効果コ以上の説明により明らかなように、この発明による検査
ブローμにおいては、載置台、２個の移動棒、および４
個の移動子のそれぞれの移動により、４個のプローブピ
ンが測定対象の２本のパターン配線に対応した位置に移
動し、載置台の上昇により各プローブピンの先端が２本
のパターン配線に接触して４端子法による抵抗測定が行
われ、パターン配線のＸまたはＸ方向に対応して４個の
プローブピンを切り替えて使用することにより、いずれ
の方向のパターン配線に対しても４端子法が適用できる
もので、セラミック基板の微小なパターン配線の検査に
寄与するところには大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）および（Ｃ）は、この発明による
パターン配線検査用ブローμ機構の実施例における構造
の斜視外観図と平面図、第２図（ａ）および（ｂ）は、
大型プリント基板に対する従来の検査ブローμによる検
査方法の説明図とそのプローブピンの断面図、第３図は
セラミック配線基板の１例を示す外観図である。ｌ・・・載置台、　　　　　２・・・プリント基板、２
・・・ハ９−７配置１Ａ、３・・・ブローμ、３ａ・・
・プローブピン、　　３ｂ・・・スプリング、３ｃ・・
・リード線、　４・・・セラミックス配線基板、４ａ・
・・パターン配線、　４ｂ・・・ＩＣチップ、５・・・
ペース盤、　　　　５ト・・方形穴部、５２．５３・・
・ガイドレール、Ｇｌ、Ｇ２・・・移動棒、６１１．６
２２・・・Ｘ駆動機構、７１．７２，７３．７４・・・Ｙ駆動機構、８１．８２
，８３．８４・・・移動子、旧、９２．９３．９４・・
・プローブピン、ＩＯ・・・電源、１１・・・電圧セン
サ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）プリント基板の配線パターンの抵抗測定において
、ベース盤の中央部を切り欠いた方形穴部に設けられ、
被検査の上記プリント基板を載置してＹ、Ｚ方向に移動
する載置台と、上記ベース盤に固定されたガイドレール
に沿ってＸ方向に移動する２個の移動棒と、該移動棒の
それぞれに２個づつ設けられ、Ｙ方向に移動する４個の
移動子、および該各移動子に取り付けられ、上記各移動
棒のＸ移動と各移動子Ｙ移動により、先端が上記プリン
ト基板のパターン配線の微小な間隔に接近する４個のプ
ローブピンとにより構成され、上記載置台のＹ移動と各
移動棒のＸ移動、および各移動子のＹ移動により、該４
個のプローブピンを上記抵抗測定の対象の２本のパター
ン配線に対応する位置にそれぞれ移動し、上記載置台の
Ｚ方向の上昇により、該４個のプローブピンの先端を該
２本のパターン配線に接触することを特徴とする、パタ
ーン配線検査用プローバ機構。
（２）前記４個のプローブピンのうちの２個により上記
２配線にテスト電流を供給し、他の２個により該テスト
電流による電圧降下を測定して４端子法による抵抗測定
を行い、上記２本のパターン配線のＸまたはＹ方向に対
応して、該テスト電流を供給するプローブピンと、該電
圧降下を測定する他のプローブピンとを切り替える請求
項１記載のパターン配線検査用プローバ機構。