JPS6047482A - レ−ザ照射装置 - Google Patents
レ−ザ照射装置Info
- Publication number
- JPS6047482A JPS6047482A JP58154960A JP15496083A JPS6047482A JP S6047482 A JPS6047482 A JP S6047482A JP 58154960 A JP58154960 A JP 58154960A JP 15496083 A JP15496083 A JP 15496083A JP S6047482 A JPS6047482 A JP S6047482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beams
- reflector
- laser beams
- hole
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はレーザ照射装置に係り％特にＣＯｌなどの気体
レーザ発振器から出力される不可視光の照射位置を認識
する装置に関する。
レーザ発振器から出力される不可視光の照射位置を認識
する装置に関する。
近年数ＫＷ以上の大出力ＣＯ，レーザ発振器が開発され
強力なエネルギーを本って出力されるレーザビームは金
属、無機物その他の各種材料の加工に適用されている。
強力なエネルギーを本って出力されるレーザビームは金
属、無機物その他の各種材料の加工に適用されている。
上記レーザビームは通常複数個の反射鏡を組合せた伝送
光学系で加工点まで伝送される。ところで、上記レーザ
ビームは不可視である赤外光であるため、加工点での照
射位置を認識する必要から、Ｈｅ−Ｈｅ等のレーザ発振
器から出力された可視光を上記レーザビームに重畳して
伝送光学系に入射させることが行われている。上記の装
置としては第１図に示すように４５°に傾けて配置され
た中央に透孔（１ａ）の形成しである反射鏡（１）の反
射面に大出力ＣＯ，レーザ発振器（２）からの不可視レ
ーザビーム（Ｌｌ）を入射させる一方、可視光し−ザ発
振器（３）からの可視レーザビーム（Ｌ２）を上記透孔
（１ａ）に向けて出力し、上記反射鏡ｆｌ）で反射され
た不可視レーザビーム（Ｌｌ）の光路に通常、同軸に重
畳させ、さらにそれら重畳した二つのレーザビームを全
反射鏡（４）および集光レンズ（５）で被加工物（６）
の加工点に伝送する構成のものが知られている。しかし
この装置では二つのレーザビームの進行する光軸は重畳
させる反射鏡（１）の保持角度が狂うとずれてしまい、
加工点での不可視レーザビームの照射位置を正確に認識
できなくなり、位置認識の役目をもつ可視光レーザ発振
器（３）を設置したことが無意味になってしまう欠点が
あった。
光学系で加工点まで伝送される。ところで、上記レーザ
ビームは不可視である赤外光であるため、加工点での照
射位置を認識する必要から、Ｈｅ−Ｈｅ等のレーザ発振
器から出力された可視光を上記レーザビームに重畳して
伝送光学系に入射させることが行われている。上記の装
置としては第１図に示すように４５°に傾けて配置され
た中央に透孔（１ａ）の形成しである反射鏡（１）の反
射面に大出力ＣＯ，レーザ発振器（２）からの不可視レ
ーザビーム（Ｌｌ）を入射させる一方、可視光し−ザ発
振器（３）からの可視レーザビーム（Ｌ２）を上記透孔
（１ａ）に向けて出力し、上記反射鏡ｆｌ）で反射され
た不可視レーザビーム（Ｌｌ）の光路に通常、同軸に重
畳させ、さらにそれら重畳した二つのレーザビームを全
反射鏡（４）および集光レンズ（５）で被加工物（６）
の加工点に伝送する構成のものが知られている。しかし
この装置では二つのレーザビームの進行する光軸は重畳
させる反射鏡（１）の保持角度が狂うとずれてしまい、
加工点での不可視レーザビームの照射位置を正確に認識
できなくなり、位置認識の役目をもつ可視光レーザ発振
器（３）を設置したことが無意味になってしまう欠点が
あった。
本発明は不可視レーザビームの加工点での照射位置を常
に正確に認識するレーザ照射装置を提供することを目的
とする。
に正確に認識するレーザ照射装置を提供することを目的
とする。
不安定形共振器の構成要素である出力結合ミラーの穴に
可視レーザビームを通過させ出力結合ミラーから環状に
出力される不可視レーザビームに同軸的に重畳させ、こ
の重畳された二つのレーザビームを正しく加工点に導く
ようにしたものである。
可視レーザビームを通過させ出力結合ミラーから環状に
出力される不可視レーザビームに同軸的に重畳させ、こ
の重畳された二つのレーザビームを正しく加工点に導く
ようにしたものである。
本発明をその実施例を示す図面に基すいて説明する。第
２図において、θ０はたとえば大出力のＣ０２レーザビ
ームを出力する第１のレーザ発振器で、その内部には不
安定形共振器を構成する凸面ミラーｕ９．凹面ミラー（
１り、出力結合ミラー＋１３が設・けられている。上記
出力結合ミラー（１騰は中央部に穴０４）をもつ環状の
ミラーで、赤外光である不可視レーザビーム（Ｌｌ）を
出力窓四から外部に環状ビームにして出力させるもので
ある。ａｅは可視光である可視レーザビーム（Ｌ２）を
出力する第２のレーザ発振器で出力された可視レーザビ
ーム（Ｌ２）が上記出力結合ミ９−（１３）の穴を通過
しかつ不可視レーザビーム（Ｌ ＋ ）に例えば同軸に
重畳するように配置されている。上記重畳された二つの
レーザビーム（Ｌｘ） 。
２図において、θ０はたとえば大出力のＣ０２レーザビ
ームを出力する第１のレーザ発振器で、その内部には不
安定形共振器を構成する凸面ミラーｕ９．凹面ミラー（
１り、出力結合ミラー＋１３が設・けられている。上記
出力結合ミラー（１騰は中央部に穴０４）をもつ環状の
ミラーで、赤外光である不可視レーザビーム（Ｌｌ）を
出力窓四から外部に環状ビームにして出力させるもので
ある。ａｅは可視光である可視レーザビーム（Ｌ２）を
出力する第２のレーザ発振器で出力された可視レーザビ
ーム（Ｌ２）が上記出力結合ミ９−（１３）の穴を通過
しかつ不可視レーザビーム（Ｌ ＋ ）に例えば同軸に
重畳するように配置されている。上記重畳された二つの
レーザビーム（Ｌｘ） 。
（Ｌ２）は調整用反射鏡ａ７）で反射され、さらに伝送
用反射鏡α樽で反射され集光レンズＵつにより被加工物
四に照射されるように構成されている。
用反射鏡α樽で反射され集光レンズＵつにより被加工物
四に照射されるように構成されている。
上記の構成では調整用反射鏡（１７）で反射される以前
に不可視レーザビーム（Ｌｌ）および可視レーザビーム
（Ｌりが重畳されているので、調整用反射鏡の角度を変
化させた場合でも上記二つのレーザビーム（Ｌｓ）、
（ＩＱ）は同軸の状態での進行が保たれる。
に不可視レーザビーム（Ｌｌ）および可視レーザビーム
（Ｌりが重畳されているので、調整用反射鏡の角度を変
化させた場合でも上記二つのレーザビーム（Ｌｓ）、
（ＩＱ）は同軸の状態での進行が保たれる。
ところで、第３図、および第４図に示すように伝送用反
射鏡ａ８に可視レーザビーム（Ｌ、）の中心強度のほぼ
半分となる強度が得られる円周上の位置ｐＨに４個の透
過孔０１を９０度毎に穿設し、これら透過孔Ｑυを通過
した可視レーザビーム（Ｌ、）を赤外光カットフィルタ
翰付きの光検出器（２３ａ）乃至（２３ｄ）でそれぞれ
検出し縦方向、横方向をそれぞれに対応する差動増幅器
（２４ａ）、 （２４ｂ）で増幅することにより、重畳
されたビーム（Ｌｌ）、 （Ｌｔ）が目標とする照射点
からはずれだ場合に出力信号を得ることができる。しか
して、この出力信号により、調整用反射鏡（１７）の調
整用駆動装置（２！ｉｉｌを操作して上記重畳した二つ
のレーザビーム（Ｌｌ）、（Ｌｔ） ヲそれラノ同軸度
を常に保つｆｃまま照射点に進むようにすることができ
る。すなわち上記４個の透過孔からの透過光を検出する
ことにより第２のレーザ光（Ｌ２）の５進行中の光軸の
ずれ５すなわぢ、互いに直交する方向、たとえば、垂直
方向と水平方向のそれぞれの変位が検出でき、調整用反
射鏡（１７）を正しい角度に保てる。なお、第５図に示
すようにそれぞれに２個の透過孔（２５）、（２［ｉ）
を穿設した２枚の伝送用反射鏡ａ？）、弼を上記透過孔
ＣＪ５） 、 （２６）の各センタ一方向が直交交差す
るように設置することで上記伝送用反射鏡（１８）の機
能と同等にするととができる。
射鏡ａ８に可視レーザビーム（Ｌ、）の中心強度のほぼ
半分となる強度が得られる円周上の位置ｐＨに４個の透
過孔０１を９０度毎に穿設し、これら透過孔Ｑυを通過
した可視レーザビーム（Ｌ、）を赤外光カットフィルタ
翰付きの光検出器（２３ａ）乃至（２３ｄ）でそれぞれ
検出し縦方向、横方向をそれぞれに対応する差動増幅器
（２４ａ）、 （２４ｂ）で増幅することにより、重畳
されたビーム（Ｌｌ）、 （Ｌｔ）が目標とする照射点
からはずれだ場合に出力信号を得ることができる。しか
して、この出力信号により、調整用反射鏡（１７）の調
整用駆動装置（２！ｉｉｌを操作して上記重畳した二つ
のレーザビーム（Ｌｌ）、（Ｌｔ） ヲそれラノ同軸度
を常に保つｆｃまま照射点に進むようにすることができ
る。すなわち上記４個の透過孔からの透過光を検出する
ことにより第２のレーザ光（Ｌ２）の５進行中の光軸の
ずれ５すなわぢ、互いに直交する方向、たとえば、垂直
方向と水平方向のそれぞれの変位が検出でき、調整用反
射鏡（１７）を正しい角度に保てる。なお、第５図に示
すようにそれぞれに２個の透過孔（２５）、（２［ｉ）
を穿設した２枚の伝送用反射鏡ａ？）、弼を上記透過孔
ＣＪ５） 、 （２６）の各センタ一方向が直交交差す
るように設置することで上記伝送用反射鏡（１８）の機
能と同等にするととができる。
加工用のレーザビームとこのビームの照射位装置を認識
する可視レーザビームを伝送光学系に入射させる前に同
軸に重畳させ、加工中も照射位置を常に確認できるよう
に構成し、さらに必要があれば自動的にレーザビームの
ずれを修正することにより適切な加工が可能になった。
する可視レーザビームを伝送光学系に入射させる前に同
軸に重畳させ、加工中も照射位置を常に確認できるよう
に構成し、さらに必要があれば自動的にレーザビームの
ずれを修正することにより適切な加工が可能になった。
また、エネルギの有効利用が一段と向上し、また、ずれ
たビームによる人体等へ危険も防止することができた。
たビームによる人体等へ危険も防止することができた。
第１図は従来例を示す模式図、第２図は本発明の一実施
例を示す模式図、第３図は可視レーザビーム検出部分の
詳細図、第４図は伝送用反射鏡の詳細図、第５図は本発
明の他の実施例を示す斜視図である。 αｅ・・・第１のレーザ発振器 （１３１・・・出力結
合ミラー（ＬＤ・・・不可視レーザビーム （１６）・
・・第２のレーザ発振器（Ｌｌｌ）・・・可視レーザビ
ーム ａ７）・・・調整用反射鏡（ｌ卜・・伝送用反射
鏡 ｅυ・・・透過孔代理人 弁理士 則近憲佑 （ほ
か１名）第１図 第２図 第３図 傑４図 β 第５１２１
例を示す模式図、第３図は可視レーザビーム検出部分の
詳細図、第４図は伝送用反射鏡の詳細図、第５図は本発
明の他の実施例を示す斜視図である。 αｅ・・・第１のレーザ発振器 （１３１・・・出力結
合ミラー（ＬＤ・・・不可視レーザビーム （１６）・
・・第２のレーザ発振器（Ｌｌｌ）・・・可視レーザビ
ーム ａ７）・・・調整用反射鏡（ｌ卜・・伝送用反射
鏡 ｅυ・・・透過孔代理人 弁理士 則近憲佑 （ほ
か１名）第１図 第２図 第３図 傑４図 β 第５１２１
Claims (4)
- （１）不安定形共振器を有し赤外光を出力する第１のレ
ーザ発振器と、可視光を出力しかつこの可視光を上記不
安定形共振器の構成要素である出力結合ミラーの穴に通
過させて上記赤外光に重畳させる位置に設けられる第２
のレーザ発振器と、上記重畳した赤外光および可視光を
反射する調整用反射鏡と、この調整用反射鏡で反射され
た上記赤外光および可視光を被照射部に伝送する複数の
伝送用反射鏡と、これら伝送用反射鏡の少なくとも一つ
に穿設された複数の透過孔と、これら透過孔を通過した
可視光の強度を検出する光検出器とを備えることを特徴
とするレーザ照射装置。 - （２）光検出器はその検出値により調整用反射鏡の反射
角度の調整制御に用いられることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のレーザ照射装置。 - （３）光検出器は赤外光を遮断するフィルタを備えるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ照射
装置。 - （４）透過孔は軸対称に設けられることを特徴とする特
許請求の範囲第１演記載のレーザ照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58154960A JPS6047482A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | レ−ザ照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58154960A JPS6047482A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | レ−ザ照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6047482A true JPS6047482A (ja) | 1985-03-14 |
Family
ID=15595663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58154960A Pending JPS6047482A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | レ−ザ照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047482A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2627874A1 (fr) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Framatome Sa | Systeme d'alignement d'un faisceau de puissance |
| US7605979B2 (en) | 2005-04-19 | 2009-10-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for directing radiation to a layer, apparatus with such device and method using such apparatus |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP58154960A patent/JPS6047482A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2627874A1 (fr) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Framatome Sa | Systeme d'alignement d'un faisceau de puissance |
| US5085509A (en) * | 1988-02-29 | 1992-02-04 | Framatome | Apparatus and method for aligning an optical beam |
| US7605979B2 (en) | 2005-04-19 | 2009-10-20 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Device for directing radiation to a layer, apparatus with such device and method using such apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5145673B2 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
| JP3514129B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS6047482A (ja) | レ−ザ照射装置 | |
| JPH0436794B2 (ja) | ||
| JPS58154484A (ja) | レ−ザビ−ムの変換方法 | |
| JPS6096391A (ja) | レ−ザ加工機 | |
| JP3179322B2 (ja) | 高出力レーザ伝送方法及び装置 | |
| JPH06281740A (ja) | 距離測定装置 | |
| JP3870196B2 (ja) | 光空間伝送装置 | |
| JPS61186186A (ja) | レ−ザ光集光装置 | |
| JPH01113191A (ja) | レーザビーム位置検出装置 | |
| JPS6138774Y2 (ja) | ||
| JPH04174580A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH0915518A (ja) | レーザスキャニング装置 | |
| JPS6048511A (ja) | 移動体の誘導ならびに通信装置 | |
| JPS6171193A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
| JP2715506B2 (ja) | 空間光伝送装置 | |
| JPH0298618A (ja) | 位置決め検出器 | |
| JPS63273589A (ja) | レ−ザ溶接方法 | |
| RU1092858C (ru) | Способ лазерной обработки материалов | |
| JPS6039182Y2 (ja) | レ−ザ−加工装置 | |
| JPS5938057Y2 (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH0557547B2 (ja) | ||
| JPS62107890A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| RU1567058C (ru) | Способ юстировки лазерного резонатора |