JPS61186186A - レ−ザ光集光装置 - Google Patents
レ−ザ光集光装置Info
- Publication number
- JPS61186186A JPS61186186A JP60025647A JP2564785A JPS61186186A JP S61186186 A JPS61186186 A JP S61186186A JP 60025647 A JP60025647 A JP 60025647A JP 2564785 A JP2564785 A JP 2564785A JP S61186186 A JPS61186186 A JP S61186186A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- target workpiece
- lens
- output
- laser
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- Pending
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- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ光集光装置、とくに安全かつ速かにレ
ーザ光が対象加工物上に焦点を結ぶようにできるものに
関するものである。
ーザ光が対象加工物上に焦点を結ぶようにできるものに
関するものである。
第８図は従来のレーザ光集光装置を示す断面構成図であ
シ９図において（１）は本装置にレーザ発振器より伝送
されてきたレーザ光、（２）はこのレーザ光全集光する
光学素子で集光用レンズ、（３）は集光されたレーザ光
、（４）は対象加工物、（５）はダクト。
シ９図において（１）は本装置にレーザ発振器より伝送
されてきたレーザ光、（２）はこのレーザ光全集光する
光学素子で集光用レンズ、（３）は集光されたレーザ光
、（４）は対象加工物、（５）はダクト。
（６）は集光レンズ（２）全保持するレンズホルダー、
（７）は支え、（８）はネジ、（９）はバネである。
（７）は支え、（８）はネジ、（９）はバネである。
次に動作について説明する。レーザ光（りはレンズ（２
）により集光され、対象加工物（４）全加工する。
）により集光され、対象加工物（４）全加工する。
加工物（４）上で焦点を結ぶようにレンズ（２）と加工
物（４）との距離はネジ（８）全回転することにより、
支え（７）とレンズホルダー（６）との間゛の距離を変
えて調節できる。
物（４）との距離はネジ（８）全回転することにより、
支え（７）とレンズホルダー（６）との間゛の距離を変
えて調節できる。
従来のレーザ光集光装置は以上のように構成されている
ので、対象加工物上でレーザ光が焦点を結んでいること
が確認できる手段をもたない為。
ので、対象加工物上でレーザ光が焦点を結んでいること
が確認できる手段をもたない為。
実際に加工物にレーザ光を照射し、加工物の発つセン光
の強さをみて、最大となるように合わせねばならず、セ
ン光を直視せねばならず危険であり。
の強さをみて、最大となるように合わせねばならず、セ
ン光を直視せねばならず危険であり。
また高反射率をもつ加工物においてはセン光が出にくい
為確認しにくいなどの問題点があった。
為確認しにくいなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、対象加工物でレーザ光が焦点を結ぶように安
全、かつ容易に調節できるレーザ光集光装に’ｌ得るこ
とを目的とする。
たもので、対象加工物でレーザ光が焦点を結ぶように安
全、かつ容易に調節できるレーザ光集光装に’ｌ得るこ
とを目的とする。
この発明に係るレーザ光集光装置は、対象加工物へ照射
されるレーザ光のビーム径を絞る開孔部材を設け、この
開孔部材の対象加工物側の開孔部周辺上にレーザ光検知
素子を設けて、このレーザ光検知素子の出力に基づいて
レーザ光を集光する光学素子と対象加工物との距離全調
節するものである。
されるレーザ光のビーム径を絞る開孔部材を設け、この
開孔部材の対象加工物側の開孔部周辺上にレーザ光検知
素子を設けて、このレーザ光検知素子の出力に基づいて
レーザ光を集光する光学素子と対象加工物との距離全調
節するものである。
この発明におけるレーザ光検出素子は、レーザ光の対象
加工物からの反射光を検出するもので。
加工物からの反射光を検出するもので。
この反射光の広がシが、レーザ光を集光する光学素子と
対象加工物との距離により異なること金利用して、焦点
を結ぶ位ｆｉｉ’ｅ決定する。
対象加工物との距離により異なること金利用して、焦点
を結ぶ位ｆｉｉ’ｅ決定する。
以下、この発明の一実施例について説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ光集光装置を
示す断面構成図であフ９図において、αＱは対象加工物
（４）へ照射されるレーザ光のビーム径を絞る開孔部材
、（Ｉυはこの開孔部材α１の対象加工物（４）側の開
孔部周辺上に設けたレーザ光検知素子であり 、 Ｃｏ
□レーザを例にとれば、熱電対、ボロメータ、パイロ素
子、サーシスタ等が使える。また支え（７）、ネジ（８
）、バネ（９）により集光レンズ（２）と対象加工物（
４）との距離を調節する距離調節手段を構成している。
示す断面構成図であフ９図において、αＱは対象加工物
（４）へ照射されるレーザ光のビーム径を絞る開孔部材
、（Ｉυはこの開孔部材α１の対象加工物（４）側の開
孔部周辺上に設けたレーザ光検知素子であり 、 Ｃｏ
□レーザを例にとれば、熱電対、ボロメータ、パイロ素
子、サーシスタ等が使える。また支え（７）、ネジ（８
）、バネ（９）により集光レンズ（２）と対象加工物（
４）との距離を調節する距離調節手段を構成している。
第２図はこの発明の一実施例に係る開孔部材を対象加工
物側からみた平面図である。
物側からみた平面図である。
次に動作について第３図を用いて説明する。図において
（、） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）はそれぞれ集光レンズ
（２）と対象加工物（４）との距離が焦点距離より大な
る場合。
（、） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）はそれぞれ集光レンズ
（２）と対象加工物（４）との距離が焦点距離より大な
る場合。
両者が一致した場合、小なる場合の三つを示す。
加工物（４）からの反射光はレンズ（２）と加工物（４
）との距離が焦点距離以下となる場合（Ｃ）は、入射レ
ーザ光内に反射されるが、焦点距離より大きくなる場合
（ａ）は入射レーザ光よりレンズ（２）の位置で大なる
断面積で反射される。
）との距離が焦点距離以下となる場合（Ｃ）は、入射レ
ーザ光内に反射されるが、焦点距離より大きくなる場合
（ａ）は入射レーザ光よりレンズ（２）の位置で大なる
断面積で反射される。
従って第３図（、）の場合には開孔部材αｅ下に設置さ
れたレーザ光検出素子にレーザ光が入射することになシ
、第３図（ｂ）（ｅ）の場合には入射しない。第４図は
、横軸に集光レンズと対象加工物との距離を、縦軸にレ
ーザ光検出素子αυに入射するレーザ出力をとって両者
の関係を示す関係図であシ、第４図ｆで示す点が、加工
物（４）の表面でレーザ光が集光された状態を示す。従
ってレーザ光検出素子αＤの出力が０からある値をもつ
過渡点となるようにネジ（８）全調節して、レンズ（２
）と加工物（４）との間の距離を変えれば、加工物の表
面上で容易に焦点を結ばせることができる。
れたレーザ光検出素子にレーザ光が入射することになシ
、第３図（ｂ）（ｅ）の場合には入射しない。第４図は
、横軸に集光レンズと対象加工物との距離を、縦軸にレ
ーザ光検出素子αυに入射するレーザ出力をとって両者
の関係を示す関係図であシ、第４図ｆで示す点が、加工
物（４）の表面でレーザ光が集光された状態を示す。従
ってレーザ光検出素子αＤの出力が０からある値をもつ
過渡点となるようにネジ（８）全調節して、レンズ（２
）と加工物（４）との間の距離を変えれば、加工物の表
面上で容易に焦点を結ばせることができる。
なお、上記実施例では開孔部材（１（１’ｉレンズ（２
）と加工物（４１との間においたが、第５図に示すよう
にレンズ（２）の上においても、また第６図に示すよう
にレンズホルダ（６）と開孔部材−とを兼ね備えた構造
にしても同様の効果の効果を奏する。
）と加工物（４１との間においたが、第５図に示すよう
にレンズ（２）の上においても、また第６図に示すよう
にレンズホルダ（６）と開孔部材−とを兼ね備えた構造
にしても同様の効果の効果を奏する。
また上記実施例では集光レンズ（２）ヲ用いた集光装置
について述べたが、第７図に示すように光学素子として
放物面鏡を用いても同様の効果を奏する。
について述べたが、第７図に示すように光学素子として
放物面鏡を用いても同様の効果を奏する。
また、上記実施例では距離調節手段は、レーザ光検知素
子の出力に基づいて手動で調節するものを示したが、自
動的に動かせて焦点を調節することも可能である。また
、上記実施例では光学素子の方を動かせて焦点の調節を
行ったが、対象加工物の方を動かすようにしてもよい。
子の出力に基づいて手動で調節するものを示したが、自
動的に動かせて焦点を調節することも可能である。また
、上記実施例では光学素子の方を動かせて焦点の調節を
行ったが、対象加工物の方を動かすようにしてもよい。
以上のようにこの発明によれば、対象加工物へ照射され
るレーザ光のビーム径を絞る開孔部材を設け、この開孔
部材の対象加工物側の開孔部周辺上にレーザ光検知素子
を設けて、このレーザ光検知素子の出力に基づいてレー
ザ光を集光する光学素子と対象加工物との距離を調節す
るように構成したので容易かつ速かに焦点を合わすこと
ができる。また、レーザ光を直視しなくてすむため安全
である等の効果がある。
るレーザ光のビーム径を絞る開孔部材を設け、この開孔
部材の対象加工物側の開孔部周辺上にレーザ光検知素子
を設けて、このレーザ光検知素子の出力に基づいてレー
ザ光を集光する光学素子と対象加工物との距離を調節す
るように構成したので容易かつ速かに焦点を合わすこと
ができる。また、レーザ光を直視しなくてすむため安全
である等の効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ光集光装置を
示す断面構成図、第２図はこの発明の一実施例に係る開
孔部材を対象加工物側からみた平面図、第３図はこの発
明の一実施例によるレーザ光集光装置の動作を説明する
説明図、第４図は集光レンズと対象加工物との距離とレ
ーザ光検出素子の出力との関係を示す関係図、第５図、
第６図及び第１図は各々この発明の他の実施例によるレ
ーザ光集光装置を示す断面構成図、第８図は従来のレー
ザ光集光装置金示す断面構成図である。 図において、 ｆｘｌ 、 ｔａ＋はレーザ光、（２）
は集光レンズ、（４）は対象加工物、（６）はホルダ、
（７）は支え、（８）はネジ、（９）はバネ、（１・は
開孔部材、（ＩＩ）はレーザ光検出素子であ、９ 、
＋７１（８１＋９１により距離調節手段を構成する。 なお９図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
示す断面構成図、第２図はこの発明の一実施例に係る開
孔部材を対象加工物側からみた平面図、第３図はこの発
明の一実施例によるレーザ光集光装置の動作を説明する
説明図、第４図は集光レンズと対象加工物との距離とレ
ーザ光検出素子の出力との関係を示す関係図、第５図、
第６図及び第１図は各々この発明の他の実施例によるレ
ーザ光集光装置を示す断面構成図、第８図は従来のレー
ザ光集光装置金示す断面構成図である。 図において、 ｆｘｌ 、 ｔａ＋はレーザ光、（２）
は集光レンズ、（４）は対象加工物、（６）はホルダ、
（７）は支え、（８）はネジ、（９）はバネ、（１・は
開孔部材、（ＩＩ）はレーザ光検出素子であ、９ 、
＋７１（８１＋９１により距離調節手段を構成する。 なお９図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）レーザ発振器より伝送されたレーザ光を集光する
光学素子、対象加工物へ照射される上記レーザ光のビー
ム径を絞る開孔部材、上記開孔部材の上記対象加工物側
の開孔部周辺上に設けたレーザ光検知素子、及び上記レ
ーザ光検知素子の出力に基づいて上記光学素子と上記対
象加工物との距離を調節する距離調節手段を備えたレー
ザ光集光装置。 - （２）開孔部材は光学素子と対象加工物との間に設置し
た特許請求の範囲第１項記載のレーザ光集光装置。 - （３）開孔部材は光学素子を保持するホルダで構成した
特許請求の範囲第１項記載のレーザ光集光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025647A JPS61186186A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | レ−ザ光集光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025647A JPS61186186A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | レ−ザ光集光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61186186A true JPS61186186A (ja) | 1986-08-19 |
Family
ID=12171618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60025647A Pending JPS61186186A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | レ−ザ光集光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61186186A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6393492A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工用集光レンズ制御装置 |
| JPH01138083A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-05-30 | Amada Co Ltd | 炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置 |
| JPH0290119A (ja) * | 1987-11-26 | 1990-03-29 | Korea Electron Telecommun | レーザ描画機の集光光学装置 |
| JPH02110413A (ja) * | 1988-06-17 | 1990-04-23 | Schablonentechnik Kufstein Gmbh | スポット処理装置 |
| KR100670940B1 (ko) | 2005-02-07 | 2007-01-17 | (주)한빛레이저 | 레이저빔의 초점위치 고속이동형 집속장치 |
| JP2017056481A (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | ファナック株式会社 | レーザ光路の清浄化機能を有するレーザ加工システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57139488A (en) * | 1981-02-24 | 1982-08-28 | Amada Eng & Service | Method and device for adjusting focus of laser beam in laser working device |
| JPS59147791A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-24 | Inoue Japax Res Inc | レ−ザ加工装置 |
-
1985
- 1985-02-13 JP JP60025647A patent/JPS61186186A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57139488A (en) * | 1981-02-24 | 1982-08-28 | Amada Eng & Service | Method and device for adjusting focus of laser beam in laser working device |
| JPS59147791A (ja) * | 1983-02-10 | 1984-08-24 | Inoue Japax Res Inc | レ−ザ加工装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6393492A (ja) * | 1986-10-06 | 1988-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工用集光レンズ制御装置 |
| JPH0585276B2 (ja) * | 1986-10-06 | 1993-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPH01138083A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-05-30 | Amada Co Ltd | 炭酸ガスレーザ加工機の反射戻り光の検出装置 |
| JPH0290119A (ja) * | 1987-11-26 | 1990-03-29 | Korea Electron Telecommun | レーザ描画機の集光光学装置 |
| JPH02110413A (ja) * | 1988-06-17 | 1990-04-23 | Schablonentechnik Kufstein Gmbh | スポット処理装置 |
| KR100670940B1 (ko) | 2005-02-07 | 2007-01-17 | (주)한빛레이저 | 레이저빔의 초점위치 고속이동형 집속장치 |
| JP2017056481A (ja) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | ファナック株式会社 | レーザ光路の清浄化機能を有するレーザ加工システム |
| US10456864B2 (en) | 2015-09-17 | 2019-10-29 | Fanuc Corporation | Laser processing system having function of cleaning laser optical path |
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