RU1092858C - Способ лазерной обработки материалов - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к технологии лазерной обработки, в частности к способам наведени  лазерного луча.

Цель изобретени  - повышение производительности и точности..

На чертеже изображена схема осуществлени  способа., В зону 1 обработки направл ют вспомогательное излучение 2 и по его отражению управл ют рабочим лазерным лучом 3. В зоне 1 обработки вспомогательным излучением получают свет щиес  координатные линии 4 и ориентируют рабочий лазерный луч 3 относительно этих линий. Координатные линии 4 могут быть сведены в перекре-, .стие, и рабочий луч 3 в этом случае совмещают с ним. Координатные линии 4 могут быть получены сканированием вспомогательного излучени  2. Вспомогательное излучение 2 и рабочий луч 3 направл ют в зону 1 обработки через общий объектив 5.

Вспомогательное излучение 2 получают при помощи лазеров 6 и направл ют через полупрозрачные пластины 7, дефлекторы 8,

устройство совмещени  вспомогательного излучени  лазеров 6, диэлектрическое зеркало 9, прозрачное дл  вспомогательного излучени , и общий объектив 5 в зону 1 обработки. Координатные линии X и Y могут быть получены сканированием вспомогаО тельного излучени  2 дефлекторами 8, выю ю ш полненными, например, в виде вращающихс  зеркал. Так образуют в плоскости обработки световое перекрестие из этих линий.

(Л 00

Часть вспомогательного излучени  2,

отраженного от зоны 1 обработки в апертуру фокусирующего объектива 5, направл ют на фотоприемники 10 (каждой координате сканировани  соответствует свой приемник ), сигналы которых подают в устройство управлени Н. в котором их анализируют, и на оснозе этого анализа управл ют рабочим лазером 12. Фиксируют место фокусировки рабочего луча 3 относительно координатных линий 4. Дл  этого при помощи диэлектрического зеркала 9 совмещают центр п тна