JPH0915518A - レーザスキャニング装置 - Google Patents
レーザスキャニング装置Info
- Publication number
- JPH0915518A JPH0915518A JP7164083A JP16408395A JPH0915518A JP H0915518 A JPH0915518 A JP H0915518A JP 7164083 A JP7164083 A JP 7164083A JP 16408395 A JP16408395 A JP 16408395A JP H0915518 A JPH0915518 A JP H0915518A
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- laser
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- emitted
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザビームの位置ずれの検出及び、スキャ
ンミラーの設定位置の自動調整を行う機能を有しながら
も装置全体を小型化できる。 【構成】 レーザ発振器１からのレーザビームをＸ軸、
Ｙ軸方向にそれぞれ偏光するスキャンミラー３ａ，３ｂ
と、スキャンミラー３ａ，３ｂそれぞれのレーザ発振器
１から出射されたレーザビームが照射される面とは反対
側の面にレーザビームを照射する位置検出用レーザ５
ａ，５ｂと、位置検出用レーザ５ａ，５ｂそれぞれから
出射されてスキャンミラー３ａ，３ｂそれぞれに反射し
たレーザビームを受光し、レーザビームの位置ずれを検
出するラインセンサ６ａ，６ｂと、ラインセンサ６ａ，
６ｂの検出結果に基づいてスキャンミラー３ａ，３ｂの
設定位置の自動調整を行うスキャンミラー制御回路７と
から構成されている。
ンミラーの設定位置の自動調整を行う機能を有しながら
も装置全体を小型化できる。 【構成】 レーザ発振器１からのレーザビームをＸ軸、
Ｙ軸方向にそれぞれ偏光するスキャンミラー３ａ，３ｂ
と、スキャンミラー３ａ，３ｂそれぞれのレーザ発振器
１から出射されたレーザビームが照射される面とは反対
側の面にレーザビームを照射する位置検出用レーザ５
ａ，５ｂと、位置検出用レーザ５ａ，５ｂそれぞれから
出射されてスキャンミラー３ａ，３ｂそれぞれに反射し
たレーザビームを受光し、レーザビームの位置ずれを検
出するラインセンサ６ａ，６ｂと、ラインセンサ６ａ，
６ｂの検出結果に基づいてスキャンミラー３ａ，３ｂの
設定位置の自動調整を行うスキャンミラー制御回路７と
から構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザスキャニング装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来のレーザスキャニング装置
の一構成例を示す図である。
の一構成例を示す図である。
【０００３】本従来例は図２に示すように、レーザビー
ムを出射するレーザ発振器１１と、レーザ発振器１１に
おいて出射されたレーザビームを拡大するビームエキス
パンダ１２と、ビームエキスパンダ１２において拡大さ
れたレーザビームをＸ軸、Ｙ軸方向にそれぞれ偏光する
スキャンミラー１３ａ，１３ｂと、スキャンミラー１３
ａ，１３ｂにおいて偏光されたレーザビームを集光する
ｆθレンズ１４と、ｆθレンズによって表面上に集光さ
れたレーザビームを反射させて被加工物（不図示）上に
照射するダイクロイックミラー１５と、ダイクロイック
ミラー１５において反射せずに透過したレーザビームか
らレーザビームの位置ずれを検出するビーム位置センサ
１６と、ビーム位置センサ１６における検出結果に基づ
いてスキャンミラー１３ａ，１３ｂの設定位置の自動調
整を行う制御回路１７とから構成されている（特開昭６
１−２１０３１８号公報参照）。
ムを出射するレーザ発振器１１と、レーザ発振器１１に
おいて出射されたレーザビームを拡大するビームエキス
パンダ１２と、ビームエキスパンダ１２において拡大さ
れたレーザビームをＸ軸、Ｙ軸方向にそれぞれ偏光する
スキャンミラー１３ａ，１３ｂと、スキャンミラー１３
ａ，１３ｂにおいて偏光されたレーザビームを集光する
ｆθレンズ１４と、ｆθレンズによって表面上に集光さ
れたレーザビームを反射させて被加工物（不図示）上に
照射するダイクロイックミラー１５と、ダイクロイック
ミラー１５において反射せずに透過したレーザビームか
らレーザビームの位置ずれを検出するビーム位置センサ
１６と、ビーム位置センサ１６における検出結果に基づ
いてスキャンミラー１３ａ，１３ｂの設定位置の自動調
整を行う制御回路１７とから構成されている（特開昭６
１−２１０３１８号公報参照）。
【０００４】以下に、上述したように構成された本従来
例の動作について説明する。
例の動作について説明する。
【０００５】レーザ発振器１１からレーザビームが出射
されると、出射されたレーザビームがビームエキスパン
ダ１２において拡大される。
されると、出射されたレーザビームがビームエキスパン
ダ１２において拡大される。
【０００６】ビームエキスパンダ１２において拡大され
たレーザビームは、スキャンミラー１３ａ及び１３ｂに
よりＸ軸及びＹ軸方向に偏光され、ｆθレンズ１４を透
過してダイクロイックミラー１５上に集光される。
たレーザビームは、スキャンミラー１３ａ及び１３ｂに
よりＸ軸及びＹ軸方向に偏光され、ｆθレンズ１４を透
過してダイクロイックミラー１５上に集光される。
【０００７】ｆθレンズ１４によってダイクロイックミ
ラー１５の表面上に集光されたレーザビームは、ほとん
どが反射して被加工物上に照射され、残りの反射されな
かったレーザビームはダイクロイックミラー１５を透過
して、ビーム位置センサ１６に入射する。
ラー１５の表面上に集光されたレーザビームは、ほとん
どが反射して被加工物上に照射され、残りの反射されな
かったレーザビームはダイクロイックミラー１５を透過
して、ビーム位置センサ１６に入射する。
【０００８】ビーム位置検出センサ１６にレーザビーム
が入射されると、該入射光からレーザビームの位置ずれ
が検出され、検出結果が制御回路１７に送られる。
が入射されると、該入射光からレーザビームの位置ずれ
が検出され、検出結果が制御回路１７に送られる。
【０００９】ビーム位置検出センサ１６における検出結
果が制御回路１７に送られると、制御回路１７におい
て、送られてきた検出結果に基づいてスキャンミラー１
３ａ及び１３ｂの設定位置の自動調整が行われる。
果が制御回路１７に送られると、制御回路１７におい
て、送られてきた検出結果に基づいてスキャンミラー１
３ａ及び１３ｂの設定位置の自動調整が行われる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のレーザスキャニング装置においては、レ
ーザビームの位置ずれを検出するために設けられたビー
ム位置センサにレーザビームを入射させる手段として、
ダイクロイックミラーが用いられているため、レーザス
キャニング装置が大型化してしまうという問題点があっ
た。
たような従来のレーザスキャニング装置においては、レ
ーザビームの位置ずれを検出するために設けられたビー
ム位置センサにレーザビームを入射させる手段として、
ダイクロイックミラーが用いられているため、レーザス
キャニング装置が大型化してしまうという問題点があっ
た。
【００１１】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、レーザビー
ムの位置ずれの検出及び、スキャンミラーの設定位置の
自動調整を行う機能を有しながらも装置全体を小型化で
きるレーザスキャニング装置を提供することを目的とす
る。
する問題点に鑑みてなされたものであって、レーザビー
ムの位置ずれの検出及び、スキャンミラーの設定位置の
自動調整を行う機能を有しながらも装置全体を小型化で
きるレーザスキャニング装置を提供することを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記のように構成された
本発明では、レーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザビームを拡大す
るビームエキスパンダと、前記ビームエキスパンダで拡
大されたレーザビームを偏光すると共に反射するスキャ
ンミラーと、前記スキャンミラーで反射されたレーザビ
ームを被加工物上に集光させるｆθレンズとを有してな
るレーザスキャニング装置において、前記スキャンミラ
ーは、両面に反射手段を有し、前記スキャンミラーの、
前記レーザ発振器によりレーザビームが照射される面と
は反対側の面にレーザビームを照射する位置検出用レー
ザと、前記位置検出用レーザから出射され前記スキャン
ミラーにより反射されたレーザビームを受光することに
より前記レーザビームの位置ずれを検出するラインセン
サと、前記ラインセンサにおいて検出された結果に基づ
いて前記スキャンミラーの設定位置の自動調整を行うス
キャンミラー制御回路と、を有することを特徴とする。
本発明では、レーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザビームを拡大す
るビームエキスパンダと、前記ビームエキスパンダで拡
大されたレーザビームを偏光すると共に反射するスキャ
ンミラーと、前記スキャンミラーで反射されたレーザビ
ームを被加工物上に集光させるｆθレンズとを有してな
るレーザスキャニング装置において、前記スキャンミラ
ーは、両面に反射手段を有し、前記スキャンミラーの、
前記レーザ発振器によりレーザビームが照射される面と
は反対側の面にレーザビームを照射する位置検出用レー
ザと、前記位置検出用レーザから出射され前記スキャン
ミラーにより反射されたレーザビームを受光することに
より前記レーザビームの位置ずれを検出するラインセン
サと、前記ラインセンサにおいて検出された結果に基づ
いて前記スキャンミラーの設定位置の自動調整を行うス
キャンミラー制御回路と、を有することを特徴とする。
【００１３】また、前記位置検出用レーザ及び前記ライ
ンセンサはそれぞれ、前記スキャンミラーの数と同数個
設けられていることを特徴とする。
ンセンサはそれぞれ、前記スキャンミラーの数と同数個
設けられていることを特徴とする。
【００１４】
【作用】上記のように構成された本発明では、スキャン
ミラーの両面に反射手段が設けられ、レーザ発振器から
出射されたレーザビームが照射される面とは反対側の面
に、位置検出用レーザからレーザビームが照射され、反
射したレーザビームがラインセンサにおいて受光され
る。そして、ラインセンサにおいてレーザビームの位置
ずれが検出され、検出された結果に基づいてスキャンミ
ラー制御回路において、スキャンミラーの設定位置の自
動調整が行われる。このように、ダイクロイックミラー
を設けることなくレーザビームの位置ずれの検出及び、
検出された結果に基づいたスキャンミラーの設定位置の
自動調整が行われるので、スキャンミラーの設定位置の
自動調整を行うために装置が大型化することはない。
ミラーの両面に反射手段が設けられ、レーザ発振器から
出射されたレーザビームが照射される面とは反対側の面
に、位置検出用レーザからレーザビームが照射され、反
射したレーザビームがラインセンサにおいて受光され
る。そして、ラインセンサにおいてレーザビームの位置
ずれが検出され、検出された結果に基づいてスキャンミ
ラー制御回路において、スキャンミラーの設定位置の自
動調整が行われる。このように、ダイクロイックミラー
を設けることなくレーザビームの位置ずれの検出及び、
検出された結果に基づいたスキャンミラーの設定位置の
自動調整が行われるので、スキャンミラーの設定位置の
自動調整を行うために装置が大型化することはない。
【００１５】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１６】図１は、本発明のレーザスキャニング装置
の一実施例を示す構成概略図である。
の一実施例を示す構成概略図である。
【００１７】本実施例は図１に示すように、レーザビー
ムを出射するレーザ発振器１と、レーザ発振器１におい
て出射されたレーザビームを拡大するビームエキスパン
ダ２と、両面に反射手段である全反射コーティングが施
され、ビームエキスパンダ２において拡大されたレーザ
ビームをＸ軸、Ｙ軸方向にそれぞれ偏光するスキャンミ
ラー３ａ，３ｂと、スキャンミラー３ａ，３ｂにおいて
偏光されたレーザビームを被加工物（不図示）上に集光
するｆθレンズ４と、スキャンミラー３ａのレーザ発振
器１から出射されたレーザビームが照射される面とは反
対側の面にレーザビームを照射する位置検出用レーザ５
ａと、位置検出用レーザ５ａから出射されてスキャンミ
ラー３ａに反射したレーザビームを受光し、レーザビー
ムの位置ずれを検出するラインセンサ６ａと、スキャン
ミラー３ｂのレーザ発振器１から出射されたレーザビー
ムが照射される面とは反対側の面にレーザビームを照射
する位置検出用レーザ５ｂと、位置検出用レーザ５ｂか
ら出射されてスキャンミラー３ｂに反射したレーザビー
ムを受光し、レーザビームの位置ずれを検出するライン
センサ６ｂと、ラインセンサ６ａ及び６ｂの検出結果に
基づいてスキャンミラー３ａ，３ｂの設定位置の自動調
整を行うスキャンミラー制御回路７とから構成されてい
る。
ムを出射するレーザ発振器１と、レーザ発振器１におい
て出射されたレーザビームを拡大するビームエキスパン
ダ２と、両面に反射手段である全反射コーティングが施
され、ビームエキスパンダ２において拡大されたレーザ
ビームをＸ軸、Ｙ軸方向にそれぞれ偏光するスキャンミ
ラー３ａ，３ｂと、スキャンミラー３ａ，３ｂにおいて
偏光されたレーザビームを被加工物（不図示）上に集光
するｆθレンズ４と、スキャンミラー３ａのレーザ発振
器１から出射されたレーザビームが照射される面とは反
対側の面にレーザビームを照射する位置検出用レーザ５
ａと、位置検出用レーザ５ａから出射されてスキャンミ
ラー３ａに反射したレーザビームを受光し、レーザビー
ムの位置ずれを検出するラインセンサ６ａと、スキャン
ミラー３ｂのレーザ発振器１から出射されたレーザビー
ムが照射される面とは反対側の面にレーザビームを照射
する位置検出用レーザ５ｂと、位置検出用レーザ５ｂか
ら出射されてスキャンミラー３ｂに反射したレーザビー
ムを受光し、レーザビームの位置ずれを検出するライン
センサ６ｂと、ラインセンサ６ａ及び６ｂの検出結果に
基づいてスキャンミラー３ａ，３ｂの設定位置の自動調
整を行うスキャンミラー制御回路７とから構成されてい
る。
【００１８】以下に、上述したように構成された本実施
例の動作について説明する。
例の動作について説明する。
【００１９】レーザ発振器１からレーザビームが出射さ
れると、出射されたレーザビームがビームエキスパンダ
２において拡大される。
れると、出射されたレーザビームがビームエキスパンダ
２において拡大される。
【００２０】ビームエキスパンダ２において拡大された
レーザビームは、スキャンミラー３ａ及び３ｂによりＸ
軸及びＹ軸方向に偏光され、ｆθレンズ４を透過して被
加工物上に集光される。
レーザビームは、スキャンミラー３ａ及び３ｂによりＸ
軸及びＹ軸方向に偏光され、ｆθレンズ４を透過して被
加工物上に集光される。
【００２１】一方、スキャンミラー３ａのレーザ発振器
１から出射されたレーザビームが照射される面とは反対
側の面に、位置検出用レーザ５ａからレーザビームが照
射され、スキャンミラー３ａに反射したレーザビームが
ラインセンサ６ａに入射する。
１から出射されたレーザビームが照射される面とは反対
側の面に、位置検出用レーザ５ａからレーザビームが照
射され、スキャンミラー３ａに反射したレーザビームが
ラインセンサ６ａに入射する。
【００２２】ラインセンサ６ａにレーザビームが入射す
ると、該入射光からレーザビームの位置ずれが検出さ
れ、検出結果がスキャンミラー制御回路７に送られる。
ると、該入射光からレーザビームの位置ずれが検出さ
れ、検出結果がスキャンミラー制御回路７に送られる。
【００２３】また、スキャンミラー３ｂのレーザ発振器
１から出射されたレーザビームが照射される面とは反対
側の面に、位置検出用レーザ５ｂからレーザビームが照
射され、スキャンミラー３ｂに反射したレーザビームが
ラインセンサ６ｂに入射する。
１から出射されたレーザビームが照射される面とは反対
側の面に、位置検出用レーザ５ｂからレーザビームが照
射され、スキャンミラー３ｂに反射したレーザビームが
ラインセンサ６ｂに入射する。
【００２４】ラインセンサ６ｂにレーザビームが入射す
ると、該入射光からレーザビームの位置ずれが検出さ
れ、検出結果がスキャンミラー制御回路７に送られる。
ると、該入射光からレーザビームの位置ずれが検出さ
れ、検出結果がスキャンミラー制御回路７に送られる。
【００２５】ラインセンサ６ａ及び６ｂにおける検出結
果がミラー制御回路７に送られると、スキャンミラー制
御回路７において、送られてきた検出結果に基づいてス
キャンミラー３ａ及び３ｂの設定位置の自動調整が行わ
れる。
果がミラー制御回路７に送られると、スキャンミラー制
御回路７において、送られてきた検出結果に基づいてス
キャンミラー３ａ及び３ｂの設定位置の自動調整が行わ
れる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、スキャン
ミラーの両面に反射手段を設け、レーザ発振器から出射
されたレーザビームが照射される面とは反対側の面に、
位置検出用レーザからレーザビームを照射し、反射した
レーザビームからラインセンサにおいてレーザビームの
位置ずれを検出し、検出された結果に基づいてスキャン
ミラー制御回路においてスキャンミラーの設定位置の自
動調整を行う構成としたため、ダイクロイックミラーを
設けることなくレーザビームの位置ずれを検出してスキ
ャンミラーの設定位置の自動調整を行うことができる。
それにより、レーザビームの位置ずれの検出及び、スキ
ャンミラーの設定位置の自動調整を行う機能を有しなが
らも装置全体を小型化することができる。
ミラーの両面に反射手段を設け、レーザ発振器から出射
されたレーザビームが照射される面とは反対側の面に、
位置検出用レーザからレーザビームを照射し、反射した
レーザビームからラインセンサにおいてレーザビームの
位置ずれを検出し、検出された結果に基づいてスキャン
ミラー制御回路においてスキャンミラーの設定位置の自
動調整を行う構成としたため、ダイクロイックミラーを
設けることなくレーザビームの位置ずれを検出してスキ
ャンミラーの設定位置の自動調整を行うことができる。
それにより、レーザビームの位置ずれの検出及び、スキ
ャンミラーの設定位置の自動調整を行う機能を有しなが
らも装置全体を小型化することができる。
【図１】本発明のレーザスキャニング装置の一実施例を
示す構成概略図である。
示す構成概略図である。
【図２】従来のレーザスキャニング装置の一構成例を示
す図である。
す図である。
１ レーザ発振器 ２ ビームエキスパンダ ３ａ，３ｂ スキャンミラー ４ ｆθレンズ ５ａ，５ｂ 位置検出用レーザ ６ａ，６ｂ ラインセンサ ７ スキャンミラー制御回路
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザビームを出射するレーザ発振器
と、 前記レーザ発振器から出射されたレーザビームを拡大す
るビームエキスパンダと、 前記ビームエキスパンダで拡大されたレーザビームを偏
光すると共に反射するスキャンミラーと、 前記スキャンミラーで反射されたレーザビームを被加工
物上に集光させるｆθレンズとを有してなるレーザスキ
ャニング装置において、 前記スキャンミラーは、両面に反射手段を有し、 前記スキャンミラーの、前記レーザ発振器によりレーザ
ビームが照射される面とは反対側の面にレーザビームを
照射する位置検出用レーザと、 前記位置検出用レーザから出射され前記スキャンミラー
により反射されたレーザビームを受光することにより前
記レーザビームの位置ずれを検出するラインセンサと、 前記ラインセンサにおいて検出された結果に基づいて前
記スキャンミラーの設定位置の自動調整を行うスキャン
ミラー制御回路と、を有することを特徴とするレーザス
キャニング装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のレーザスキャニング装
置において、 前記位置検出用レーザ及び前記ラインセンサはそれぞ
れ、前記スキャンミラーの数と同数個設けられているこ
とを特徴とするレーザスキャニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7164083A JPH0915518A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | レーザスキャニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7164083A JPH0915518A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | レーザスキャニング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915518A true JPH0915518A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15786462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7164083A Pending JPH0915518A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | レーザスキャニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0915518A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004530926A (ja) * | 2001-04-12 | 2004-10-07 | イエノプティック エルデーテー ゲーエムベーハー | 共振スキャナ |
| JP2006323035A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Sony Corp | 表示装置および表示方法 |
| JP2009223246A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-01 | Hitachi Ltd | ミラー駆動方法ならびにそれを用いた表示装置 |
| KR20170007031A (ko) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 광파 탐지 및 거리 측정 장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02170109A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-06-29 | Sony Corp | レーザ表示装置 |
-
1995
- 1995-06-29 JP JP7164083A patent/JPH0915518A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02170109A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-06-29 | Sony Corp | レーザ表示装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004530926A (ja) * | 2001-04-12 | 2004-10-07 | イエノプティック エルデーテー ゲーエムベーハー | 共振スキャナ |
| JP2006323035A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Sony Corp | 表示装置および表示方法 |
| JP2009223246A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-01 | Hitachi Ltd | ミラー駆動方法ならびにそれを用いた表示装置 |
| KR20170007031A (ko) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 엘지이노텍 주식회사 | 광파 탐지 및 거리 측정 장치 |
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