JPS6037744A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPS6037744A
JPS6037744A JP14701683A JP14701683A JPS6037744A JP S6037744 A JPS6037744 A JP S6037744A JP 14701683 A JP14701683 A JP 14701683A JP 14701683 A JP14701683 A JP 14701683A JP S6037744 A JPS6037744 A JP S6037744A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
semiconductor device
film
resistance
diffused layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP14701683A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Iwasugi
岩杉　誠一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPS6037744A publication Critical patent/JPS6037744A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体装置におけるＳｉ抵抗体を含むＳｉ配線
構造に関する。
従来、半導体装置におけるＳｉ抵抗体を含むＳｉ配線構
造は、第１図に示す断面図の如き構造となっていた。す
なわち、ｓｉ基板１の表面には拡散層２．絶縁膜３が形
成され、該絶縁膜３を介して多結晶ｓｉによるＳＺ配線
４と該ＳＺ配線内にＳＺ抵抗体５が形成されると共に、
前記ｓｉ自己線４は絶縁膜３に開けられたコンタクト穴
を通してあった。
しかし、上記従来技術によるとｓ７配線の抵抗が高いと
いう欠点があった。
本発明は、かかる従来技術の欠点をなくシ、Ｓｉ配線抵
抗が小さく、且っｓ７配紛内にｓ７抵抗体を含有するｓ
７配線の抵抗体を除く部分の抵抗値を小さくすることを
目的とする。
上記目的を達成するための本発明の基本的な構成は、半
導体装置に於て、Ｓｉ配腺の少くともＳｉ抵抗体部分以
外の表面には金属ｊ換が形成されて成ることを特徴とす
る。
以下、実施例により本発明を詳述する。
第２図は本発明の一実施例を示す半導体装置におけるＳ
Ｚ抵抗体を含むｓ７７配線の断面図である。すなわち、
ｓ４基板１１の表面には拡散層１２　。
絶縁膜１３が形成され、該ＩＫ！３緑膜１３を介して多
結晶ｓ７，１：ｐなるｓ７配線１４とｓｚ抵抗体１５が
形成され、前記ｓ６配線１４の表面にはＴｉ等の金属膜
１６が形成されると共に、前記ＳＺ配線１４は絶縁膜１
３を通して開けられたコンタクト穴を通して下地拡散層
１２と接続されて成る。
本発明の如く、Ｓｉ配線のＳｉ抵抗体以外の表面に金属
膜を形成することにより、””配線の抵抗値を小さく出
来ると共に、上記Ａｌ配線との接続における接触抵抗の
低減を計ることができる等の効果がある。
本発明はＳＺ配線の上面のみならず、側面あるいは底面
への金属膜形成にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術による半導体装置のｓｉ抵抗体を含む
Ｓｉ配線の構造を示す断面図、第２図は本発明による半
導体装置のＳＺ抵抗体を含むｓ７配線の断面図である。 １．１１・・ｓ４基板　２．工２・・拡散層　３１１３
・・絶縁膜　４，１４・・ｓｚ配線　５．］５・・出願
人　株式会社諏訪精工舎 代理人　弁理士最　上　務 箋　ｔｌす ｌ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ｓ７配線の少なくともＳｉ抵抗体部分以外の表面には金
    属膜が形成されて成ることを特徴とする半導体装置。
JP14701683A 1983-08-10 1983-08-10 半導体装置 Pending JPS6037744A (ja)

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JP14701683A JPS6037744A (ja) 1983-08-10 1983-08-10 半導体装置

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JPS6037744A true JPS6037744A (ja) 1985-02-27

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