JPS5994012A - 位置測定方法及びこの方法を実施するための装置 - Google Patents
位置測定方法及びこの方法を実施するための装置Info
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- JPS5994012A JPS5994012A JP58196283A JP19628383A JPS5994012A JP S5994012 A JPS5994012 A JP S5994012A JP 58196283 A JP58196283 A JP 58196283A JP 19628383 A JP19628383 A JP 19628383A JP S5994012 A JPS5994012 A JP S5994012A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R23/00—Arrangements for measuring frequencies; Arrangements for analysing frequency spectra
- G01R23/16—Spectrum analysis; Fourier analysis
- G01R23/165—Spectrum analysis; Fourier analysis using filters
- G01R23/167—Spectrum analysis; Fourier analysis using filters with digital filters
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24409—Interpolation using memories
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
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- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はインクリメント又は絶対測定装置の高p4波の
ない周期的信号を得るための方法に関する。
ない周期的信号を得るための方法に関する。
二つの対象物、例えば工作機械のベットに関する往復台
の相対位置の測定のために光電的、磁気的、誘導的又は
容量的測定装置を使用することが公知である。
の相対位置の測定のために光電的、磁気的、誘導的又は
容量的測定装置を使用することが公知である。
光電的長さ測定装置では対象物と結合されている目盛担
体(測定尺)の目盛は他の対象物と結合されている走査
ユニットによって走査される。走査ユニットはこの目的
で照明装置と、例えば相互に90°位相のずらされかつ
目盛相体の目盛と正確に一致する二つの目盛格子を備え
た一つの走査板と、それぞれ一つの目盛格子に付設され
た二つの光飽要素とを有する。走査板及び目盛相体の同
様な目盛は矯光性測定方法では光透逼性及び光不透過性
のし寸から成り、しまけ目盛担体の長手方向において交
互に並んでいる。目盛担体及び走査板の目盛を通り、続
いて両光電要素上に入射する16明装置の光喰は両対象
物の相対運動の際に目盛で変調され、その結果各々一つ
の目盛格子に属する両光電要素は二つの周期的なアナロ
グ電気信号をおくり、これらの信号は相互に90°位相
がずれている。
体(測定尺)の目盛は他の対象物と結合されている走査
ユニットによって走査される。走査ユニットはこの目的
で照明装置と、例えば相互に90°位相のずらされかつ
目盛相体の目盛と正確に一致する二つの目盛格子を備え
た一つの走査板と、それぞれ一つの目盛格子に付設され
た二つの光飽要素とを有する。走査板及び目盛相体の同
様な目盛は矯光性測定方法では光透逼性及び光不透過性
のし寸から成り、しまけ目盛担体の長手方向において交
互に並んでいる。目盛担体及び走査板の目盛を通り、続
いて両光電要素上に入射する16明装置の光喰は両対象
物の相対運動の際に目盛で変調され、その結果各々一つ
の目盛格子に属する両光電要素は二つの周期的なアナロ
グ電気信号をおくり、これらの信号は相互に90°位相
がずれている。
これらの正弦状のアナログ電気信号は位置測定値の形成
のための評価装置に供給される。
のための評価装置に供給される。
得られたアナログ信号の周期(ピッチ)は目盛ヒツチ又
は目盛担体の目盛のインクリメントによって決定はれる
。インクリメントは測定方向における光透過性及び光不
透過性のしまの巾によって形成される。走査ユニットと
目盛担体の目盛との間の相対運動の際走査された各イン
クリメントは計数パルスによって杷握式れかつ表示され
る。
は目盛担体の目盛のインクリメントによって決定はれる
。インクリメントは測定方向における光透過性及び光不
透過性のしまの巾によって形成される。走査ユニットと
目盛担体の目盛との間の相対運動の際走査された各イン
クリメントは計数パルスによって杷握式れかつ表示され
る。
光電的、磁気的、誘導的及び容量的測定装置における目
盛担体の目盛から得られる周期的アナログ信号は一般に
純粋な正弦曲線を有さす、むしろ、例えば目盛の不正確
のために高調波を伴う。目盛の不正確な例えば光透過及
び光不透過のしまの相異なる間隔によって又はこのしま
のエツジに帰因する。得られたアナログ信号を史に高調
波なしに保つために、目盛の精度に高い要求が過されな
ければならない各目盛ピッチの正確な位置測定値の形成
のため及び測定精度の向上のために目盛の目盛ピッチを
補間値の形成によって正確に細分すると2ができるため
にこの目盛から得られたアナログ信号は高調波のないも
のでなければならない。例えば計算器による補間値の形
成は***間特許2729697に記載されている。
盛担体の目盛から得られる周期的アナログ信号は一般に
純粋な正弦曲線を有さす、むしろ、例えば目盛の不正確
のために高調波を伴う。目盛の不正確な例えば光透過及
び光不透過のしまの相異なる間隔によって又はこのしま
のエツジに帰因する。得られたアナログ信号を史に高調
波なしに保つために、目盛の精度に高い要求が過されな
ければならない各目盛ピッチの正確な位置測定値の形成
のため及び測定精度の向上のために目盛の目盛ピッチを
補間値の形成によって正確に細分すると2ができるため
にこの目盛から得られたアナログ信号は高調波のないも
のでなければならない。例えば計算器による補間値の形
成は***間特許2729697に記載されている。
憂に常に高調波を伴う三角形又は台形のアナログ信号を
供給する測定装置が公知である。
供給する測定装置が公知である。
***国特許公報1941731から目盛担体の目盛の走
査の際に高調波のないアナログ信号を得るために正弦状
の透過曲線を備えた周波数フィルタ絞りが設けられてい
る。この測定装置では特別の周波数フィルタ絞りがつく
られ、組込まれなければならない。このた次)この測定
装置は光電的透光測定原理に制限嘔′れる。
査の際に高調波のないアナログ信号を得るために正弦状
の透過曲線を備えた周波数フィルタ絞りが設けられてい
る。この測定装置では特別の周波数フィルタ絞りがつく
られ、組込まれなければならない。このた次)この測定
装置は光電的透光測定原理に制限嘔′れる。
本発明は小さい特別な要素は7返要とされず、また汎用
的に使用可能なインクリメント測定における高調波のな
い一周期的信号を得るための方法及び装置を提供するこ
とを課題の基礎とする。
的に使用可能なインクリメント測定における高調波のな
い一周期的信号を得るための方法及び装置を提供するこ
とを課題の基礎とする。
この課題は本発明によれば特許請求の範囲第1項及び第
4項の特徴によって解決される。
4項の特徴によって解決される。
本発明によって得られる利点は特に簡単な方法で、周波
数フィルターのような追加的要素が必要なく、また目盛
の精度への特別な要求が必要とされることもなく、高調
波のない周期的信号の取得が公知の位置測定装置の従来
からの手数のみを以って可能にされることにある。
数フィルターのような追加的要素が必要なく、また目盛
の精度への特別な要求が必要とされることもなく、高調
波のない周期的信号の取得が公知の位置測定装置の従来
からの手数のみを以って可能にされることにある。
従ってコストの安い、従来のように構成された測定装置
が得られ、しかも支承部は簡単化される。
が得られ、しかも支承部は簡単化される。
本発明の他の有利な構成は実施態様項に記載されている
。
。
本発明の実絢例を図面に基いて詳しく説明する。
第1図中長さ測定装置は横断面図で示され、その中空形
材の形のノ・ウジング1は図示しない工作機械のペッド
2にねじ結合5によって固定場れている。工作機械の往
復台4には取付台ブロック5が連結部6によって任意の
方法で固定されており、連結部は剣形収縮部7を介して
スリット8を通って通常の完全密閉ノーウジング1に係
入しており、その際スリット8に設けられtシーリング
グリップ9けノλウジング1内への汚染物の進入を目止
する。−・ウジング1の内面に測定尺10が弾性接着層
11によって取付けられており、測定尺には走査ユニッ
ト12がローラ13を介して支持され、ペッド2に関す
る往復台4の相対運動は連結部6によって走査ユニット
12上に伝えられる。
材の形のノ・ウジング1は図示しない工作機械のペッド
2にねじ結合5によって固定場れている。工作機械の往
復台4には取付台ブロック5が連結部6によって任意の
方法で固定されており、連結部は剣形収縮部7を介して
スリット8を通って通常の完全密閉ノーウジング1に係
入しており、その際スリット8に設けられtシーリング
グリップ9けノλウジング1内への汚染物の進入を目止
する。−・ウジング1の内面に測定尺10が弾性接着層
11によって取付けられており、測定尺には走査ユニッ
ト12がローラ13を介して支持され、ペッド2に関す
る往復台4の相対運動は連結部6によって走査ユニット
12上に伝えられる。
第2図によれば走査ユニット12における測定尺10の
目盛14の走査のために光源15、コンデンサー16、
目盛18を備えた走査板17及び光電要素19が配設さ
れている。走査板18の目盛18は測定尺10の目盛1
4と同一である。光源15から出た光線はコンデンサ1
6によって平行光線に烙れ、測定尺10と走査板17の
目盛14.18を貫いて光1!要素19に入射する。固
定した測定尺10111:対する測定方向Xへの走査板
17を備えた走査ユニット12の運動の際、光は目盛1
4.18で変調され、その結果光電要素19は周期的・
電気的アナログ信号(X)を発し、この信号は評価式れ
、計数され、そして位置測定値としてデジタルの形で表
示される。光電要素19から送られた周期的アナログ信
号日(X)は一般的に例えば目盛14.18の不正確性
に基いて高調波を伴いかつ、フーリエ係数により測定経
路Xの函数として表わされることができる。
目盛14の走査のために光源15、コンデンサー16、
目盛18を備えた走査板17及び光電要素19が配設さ
れている。走査板18の目盛18は測定尺10の目盛1
4と同一である。光源15から出た光線はコンデンサ1
6によって平行光線に烙れ、測定尺10と走査板17の
目盛14.18を貫いて光1!要素19に入射する。固
定した測定尺10111:対する測定方向Xへの走査板
17を備えた走査ユニット12の運動の際、光は目盛1
4.18で変調され、その結果光電要素19は周期的・
電気的アナログ信号(X)を発し、この信号は評価式れ
、計数され、そして位置測定値としてデジタルの形で表
示される。光電要素19から送られた周期的アナログ信
号日(X)は一般的に例えば目盛14.18の不正確性
に基いて高調波を伴いかつ、フーリエ係数により測定経
路Xの函数として表わされることができる。
B (X) = a(1/2+Σ(aKcosKX +
bK−sinKX )K雲1 積分定数には波の次数又は周波数(基本波二に:1,1
、高調波:に=2等々)及びaK。
bK−sinKX )K雲1 積分定数には波の次数又は周波数(基本波二に:1,1
、高調波:に=2等々)及びaK。
1)K けフーリエ係数である。
高調波のない周期的信号を得るために本発明によればア
ナログ信号S (X)の卒中N(周波数又は波の数)を
検出し、目盛14の目盛ピッチP全その都度少なくとも
2N走査要素T1〜T2Nによって走査し、走査要素T
I=−T2NICよって供給された周1tJI的アナロ
グ信号St −S2w kアナログ信号Sα)の基本波
のフーリエ係数al 、 bl : Ua。
ナログ信号S (X)の卒中N(周波数又は波の数)を
検出し、目盛14の目盛ピッチP全その都度少なくとも
2N走査要素T1〜T2Nによって走査し、走査要素T
I=−T2NICよって供給された周1tJI的アナロ
グ信号St −S2w kアナログ信号Sα)の基本波
のフーリエ係数al 、 bl : Ua。
Ua の決定のためにフーリエ解析し、そしてフーリ
エ係数aI、bI:Ua、Ub を位置測定値の形成
のための高調波のない周期的信号として評価することが
提案される。
エ係数aI、bI:Ua、Ub を位置測定値の形成
のための高調波のない周期的信号として評価することが
提案される。
をもった波の数)の検出のために目盛14が例えば基準
測定系の参照の下に走査要素によって走査され、得られ
たアナログ信号日(1)はフーリエ解析される。卒中N
け一列の同一目盛の場合唯一度だけ検出されればよい。
測定系の参照の下に走査要素によって走査され、得られ
たアナログ信号日(1)はフーリエ解析される。卒中N
け一列の同一目盛の場合唯一度だけ検出されればよい。
第3b図において測定尺10′は磁性材料”から成り、
測定尺は第3a図によればピッチP′の磁気目盛14′
ヲ有する。目盛14′から得られるアナログ信号S′は
卒中N=31に有する。従って本発明によれば6個の等
価の走査要素rr、I〜T6′が一つの目盛ピッチP′
に所用している。図式的に示されたホール素子の形の走
査要素TI′〜rr a’ 1は目盛14’の走査の際
に周期的なアナログ信号S 、/〜S、/を送シ、周期
的アナログ信号はフーIJ工解析される。走査要素T、
/〜T6′は相互間隔P7’6−1−ZP’ (Z=
Q、1,2. ・・・)K配置されており、その際各
走査要素+r 、I〜rr、I は小さいP′/6の
巾B′を有する。
測定尺は第3a図によればピッチP′の磁気目盛14′
ヲ有する。目盛14′から得られるアナログ信号S′は
卒中N=31に有する。従って本発明によれば6個の等
価の走査要素rr、I〜T6′が一つの目盛ピッチP′
に所用している。図式的に示されたホール素子の形の走
査要素TI′〜rr a’ 1は目盛14’の走査の際
に周期的なアナログ信号S 、/〜S、/を送シ、周期
的アナログ信号はフーIJ工解析される。走査要素T、
/〜T6′は相互間隔P7’6−1−ZP’ (Z=
Q、1,2. ・・・)K配置されており、その際各
走査要素+r 、I〜rr、I は小さいP′/6の
巾B′を有する。
第4図に第2図による測定尺10が示されてil N
= 3を有する。従って本発明によれば走査ユニット1
2における6個の走査要素T1〜T6が測定方向Xにお
いて距離B+ZP+P/6 (Z=0.1.2・・・)
に配設されている、そのわけは走査要素TI”””T6
の巾Bは目盛ピッチPよりも太きいからである。光電要
素の形の走査要素’l’、−T6には走査板17′上の
各目盛格子Ft−Faが付設されており、走査要素は同
時に間隔B + ZP +P/6に配設されている。目
盛14の走査の際に走査要素’f’t−’]’aから送
られるアナログ信号s、−8,けフーIJ工解析される
。
= 3を有する。従って本発明によれば走査ユニット1
2における6個の走査要素T1〜T6が測定方向Xにお
いて距離B+ZP+P/6 (Z=0.1.2・・・)
に配設されている、そのわけは走査要素TI”””T6
の巾Bは目盛ピッチPよりも太きいからである。光電要
素の形の走査要素’l’、−T6には走査板17′上の
各目盛格子Ft−Faが付設されており、走査要素は同
時に間隔B + ZP +P/6に配設されている。目
盛14の走査の際に走査要素’f’t−’]’aから送
られるアナログ信号s、−8,けフーIJ工解析される
。
目盛格子F1〜F6の目盛は目盛ピッチPi有しかつ相
互に光透過性能動しま20(地@)と巾p / 2の光
不透過性受動し−121(地帯) i−ら成る。
互に光透過性能動しま20(地@)と巾p / 2の光
不透過性受動し−121(地帯) i−ら成る。
第5図によればデジタル評価のために走査要素T1〜T
6 のアナログ信号81〜S6 がアナログ/デジタル
変換器U、〜■6 によってデジタル化され、デジタ
ル計数器Rに供給される。デジタル計数器は高調波のな
い周期的信号として基本波(K=1)のフーリエ係数a
l+ tg を検出する。
6 のアナログ信号81〜S6 がアナログ/デジタル
変換器U、〜■6 によってデジタル化され、デジタ
ル計数器Rに供給される。デジタル計数器は高調波のな
い周期的信号として基本波(K=1)のフーリエ係数a
l+ tg を検出する。
計数器は位相角ψ== tan −’ al / bl
’t:検出し、8−計数器は目盛14の目盛ピッチ
Pの内方の走査ユニット12の絶対的位置のための寸法
ケ示す。
’t:検出し、8−計数器は目盛14の目盛ピッチ
Pの内方の走査ユニット12の絶対的位置のための寸法
ケ示す。
位相角ψから目盛ピッチPの内方の走査ユニット12の
絶対的位置測定値X=ψ・P/2Kが計算され機械の制
御のため及び又はデジタル表示のための制御及び又は指
示装置に供給される。
絶対的位置測定値X=ψ・P/2Kが計算され機械の制
御のため及び又はデジタル表示のための制御及び又は指
示装置に供給される。
走査ユニット12が目盛ピッチP上を動くと、計数器は
位相角ψを2πから0へ、0から2にへかえるか否を検
知する。ユニットAの計数器表示はそのような変化によ
りそれぞれ目盛ピッチPの単位だけ高められ、又は低下
され、その結果両対象物2,4の相対位置のがたのない
検知が可能にされる。
位相角ψを2πから0へ、0から2にへかえるか否を検
知する。ユニットAの計数器表示はそのような変化によ
りそれぞれ目盛ピッチPの単位だけ高められ、又は低下
され、その結果両対象物2,4の相対位置のがたのない
検知が可能にされる。
第6図によればアナログ評価のために走査ユニット12
の走査要素T1〜T6の周期的アナログ信号8i −8
6がフーリエ係数Ua+Ubの検出のための評価装置W
に供給でれ、アナログ信号は続いて位置測定値の形成の
ための評価装置2に導かれる。この評価装置2は測定方
向の検出のための方向弁別器及び加算/減算カウンタか
ら成りカウンタは方向分別器から送られるパルスを正負
符号正しく計数する。制御及び又は指示装置A′に接続
されている評価回路2は例えば***国特許公開公報27
29697に記載されているような目盛14の信号ピッ
チP内で補間値の形成のための補間装置を有することが
できる。補間は区分回路による目盛14の目盛ピッチP
の内方での位相角ψ= tan”−’ T−/Ubの検
出によっても行われることができる。
の走査要素T1〜T6の周期的アナログ信号8i −8
6がフーリエ係数Ua+Ubの検出のための評価装置W
に供給でれ、アナログ信号は続いて位置測定値の形成の
ための評価装置2に導かれる。この評価装置2は測定方
向の検出のための方向弁別器及び加算/減算カウンタか
ら成りカウンタは方向分別器から送られるパルスを正負
符号正しく計数する。制御及び又は指示装置A′に接続
されている評価回路2は例えば***国特許公開公報27
29697に記載されているような目盛14の信号ピッ
チP内で補間値の形成のための補間装置を有することが
できる。補間は区分回路による目盛14の目盛ピッチP
の内方での位相角ψ= tan”−’ T−/Ubの検
出によっても行われることができる。
第7図による評価装ffwにおいて、走査ユニット12
における走査要素T1〜T6 のアナログ信号S、
% saは増巾器Vl−V6 と抵抗R1′〜R6′
。
における走査要素T1〜T6 のアナログ信号S、
% saは増巾器Vl−V6 と抵抗R1′〜R6′
。
R2’ 、 Rs’ 、 R,’ 、 5a’ (i
+介して二つの差動増巾器Dl+D2 の両入力に導
入される。等しい大きさの抵抗Rf を介して、差動増
巾器り、、D。
+介して二つの差動増巾器Dl+D2 の両入力に導
入される。等しい大きさの抵抗Rf を介して、差動増
巾器り、、D。
の出力は反転された入力と帰還結合され、そして差動増
巾器D1.D2の反転されない入力は質1’1Mと結合
される。増巾されたアナログ信号SI y S! #
”6は抵抗R、’、 R,’、 R6/を介して差動増
巾器D1 の反転てれた入力に、そして増rljされ
たアナログ信号83 m ”4 r 85は抵抗R3′
。
巾器D1.D2の反転されない入力は質1’1Mと結合
される。増巾されたアナログ信号SI y S! #
”6は抵抗R、’、 R,’、 R6/を介して差動増
巾器D1 の反転てれた入力に、そして増rljされ
たアナログ信号83 m ”4 r 85は抵抗R3′
。
R4’ + ”s’ k介して差動増巾器D1 の
反転されない入力に、増巾されたアナログ信号Js日、
。
反転されない入力に、増巾されたアナログ信号Js日、
。
は抵抗R,’、 Rs−′ を介して差動増巾器D2
の反転された入力に、そして増巾されたアナログ信号
S5 + ”6 は抵抗R,’、 R,’を介して差動
増巾器D2 の反転されない入力にそれぞれ達す・る
。
の反転された入力に、そして増巾されたアナログ信号
S5 + ”6 は抵抗R,’、 R,’を介して差動
増巾器D2 の反転されない入力にそれぞれ達す・る
。
抵抗Rn’、Rn’は抵抗Rf と結合して、因子c
ooπ(n 1)/3及びsinπ(、n71)15
?備えたアナログ信号Snの倍率を作用する。アナログ
信号Sn のための抵抗比Rf/Rn′ 及びRf
/RnIの測定は表に表わされている。
ooπ(n 1)/3及びsinπ(、n71)15
?備えたアナログ信号Snの倍率を作用する。アナログ
信号Sn のための抵抗比Rf/Rn′ 及びRf
/RnIの測定は表に表わされている。
負のaos−及びθ1n−因子に対応する抵抗R1け差
動増巾器DI + D雪の反゛転されない入力に接続さ
れている。差動増巾器Dl はイ1^5n−COθπ
(n−1)15 を積算し、差動増巾器D2 け値a
n・sinπ(n−1)/3を積゛算し、その結果差動
増[(]器D1 の出力に高調波のない周期的アナロ
グ信号Ua。
動増巾器DI + D雪の反゛転されない入力に接続さ
れている。差動増巾器Dl はイ1^5n−COθπ
(n−1)15 を積算し、差動増巾器D2 け値a
n・sinπ(n−1)/3を積゛算し、その結果差動
増[(]器D1 の出力に高調波のない周期的アナロ
グ信号Ua。
そして差動増巾器D2 の出力には高調波のない周期
的アナログ信号11b が 前記と同様な方法で禎3図によるアナログ信号Sn′も
評価され、る。
的アナログ信号11b が 前記と同様な方法で禎3図によるアナログ信号Sn′も
評価され、る。
提案され産方法は銹導、容量的測定装置でも並びにイン
クリメントトラック911えげ絶対測定装置の微細イン
ク1ノメン゛ト・トラックの走査のためにも使用可能で
ある。
クリメントトラック911えげ絶対測定装置の微細イン
ク1ノメン゛ト・トラックの走査のためにも使用可能で
ある。
第1図は長さ測定装置の横断面図、
第4図は走査要素の別の構成、
第5図はデジタル評価回路そして
第6図及び第7図はアナログ評価回路を示す。
図中符号
14 目盛
TI ” T’ztr 走査要素S、〜82N
アナログ信号 a1 + bl p ”ll+ Ul) フーリエ
係数P ピッチ 」阿12 □暇r3.3b 」π?5 5Fηf 二jE47
アナログ信号 a1 + bl p ”ll+ Ul) フーリエ
係数P ピッチ 」阿12 □暇r3.3b 」π?5 5Fηf 二jE47
Claims (9)
- (1) インクリメント又は絶対測定装置の高調波の
ない周期的信号を得るための方法において、目盛(14
)の走査で得られるアナログ信号日の周波数帯巾N(周
波数)が検出され、目盛(14)の目盛ピッチP(イン
クリメント)は各々少なくとも2N走査要素(Tl −
TzN )によって走査され、走査要素(T1〜Tzy
)から送られた、同期的アナログ信号(8,〜Bff
iw )は周期的アナログ信号日の基本波のフーリエ係
数al、 b、’; Ua、 Ub1!を求めるために
フーリエ解析され、そしてフーリエ係数’l+bl*U
a、Ubij:高調波のない周期的信号として位置測定
値の形成のために評価されることを特徴とする位置測定
方法。 - (2) デジタル評価のために走査要素(Ts〜Ti
n )のアナログ信号(8s〜82N)がデジタル化さ
れ、かつフーリエ係数al r blが高調波のない
周期的信号として;そして続いて位相角ψ=tan −
t aI/b1が目盛(14)の目盛ピッチ(P)内で
フーリエ係数a1 p bl から計算的に求められる
、特許請求の範囲第1項記載の位置測定方法。 - (3) アナログ評価のためにアナログ信号(日、。 ・・・18nt ・・・r ’zM ) が因子
COθπ(n −,1) / Nによって掛算され、か
つアナログ信号Uaの形成のために加算され、アナログ
信号(8亀 ・・・、8n、・・・EhN)は因子θ
1nπ(n−1)/Hによって掛算され、かつアナログ
信号Ub の形成のために加算され、そして位相角ψ=
tan″″’Ua/Ubが、目盛(14)の目盛ピッチ
P内で高調波のない周期的アナログ信号Ua、 Ub
から求められる、特許請求の範囲第1項記載の位置測定
方法。 - (4) インクリメント又は絶対測定装置の高調波の
ない周期的信号を得るための方法において、目盛(14
)の走査で得られるアナログ信号Sの周波数卒中N(周
波数)が検出され、目盛(14)の目盛ピッチP(イン
クリメント)は各々少なくとも2N走査要素(T1〜T
IN )によって走査され、走査要素(Tl〜Tan)
から送られた、周期的アナログ信号(St −8!N)
は周期的アナログ信号Bの基本波のフーリエ係数at+
bl : Ua、 Ut+を求めるためにフーリエ
解析され、そしてフーリエ係数al r bl rUa
、Ubけ高調波のない周期的信号として位置測定値の形
成のために評価でれる位置測定方法全実施するための装
置において、走査ユニット(12)内の目盛(14)の
目盛ピッチPの走査のために少なくとも周波数卒中N(
アナログ信号Sの周波数)だけの走査要素(T?−Tn
i )が2倍設けられており、走査要素(TomT2N
)によって送られる周期的アナログ信号(Sl−82
N)は基本波のフーリエ係数al。 br S U & # Ub 1に求めるため及びフ
ーリエ係数al p bl ; Ua 、 Ubから
の位置測定値の形成のための評価装置(U、RAW、Z
)に入力され、評価装置は制御及び又は指示装#(A)
と接続していることを特徴とする、位置測定装置。 - (5)走査要素CT、−T雪N)の巾Bがp / 2
Nより小さく、走査要素(T!〜TIN )が走査ユニ
ット(12)内で相互間隔P/2N+ZP(Z=o、1
.2・・・)に配列されている、特許請求の範囲第4項
記載の位置測定装置。 - (6) 走査要素(Tr −TtN)の巾Bが少なく
とも目盛ピッチPであ多、各走査要素CTl−Tni
)が交互に信号能動地帯(2o)と信号受動地帯(21
)を有し、走査要素(TI −Tom )が走査ユニッ
ト(12)内で相互間隔B+ZP十P/2N(z=o、
1.2・・・)に配設されている、特許請求の範囲第4
項記載の位置測定装置。 - (7)評価装置(U、R)が周期的アナログ信号(E1
1〜日aN)を負荷されるアナログ/デジタル変換器(
Ui = Utii)とこ′れに後続される計算器(R
)とを有する、特許請求の範囲第4項記載の位置測定装
置。 - (8) フーリエ係fiUa、Ub5c求めるための
評価装置(W)が周期的アナログ信号(81,・・・・
Sn、・・・82N)を負荷される増巾器(■1.・・
・V ・・・Vex ) ’fz有し、増巾器は抵抗(
RH’、Rn’)Th介して差動増巾器(DIllh)
の入力に接続されている、特許請求の範囲が4項記載の
位置測定装置。 - (9)位置?1Ill宇値の形成のための評fffi装
置(Z)はフーリエ係数Ua、TJbを負荷される方向
弁別器を有し、方向弁別器は加M/減算カウンタに接続
されている、特許請求の範囲第4項記載の位置測定装置
。 01 評価装置(Z)け目盛(14)の信号ピッチP
内での補間値の形成のための補間装置を有する、特許請
求の範囲第4項記載の位置測定4・延性。
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