JP5562077B2 - 光学式エンコーダ、エンコーダ、干渉計測装置、計測方法 - Google Patents
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Description
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする。
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする。
まず本発明の第1実施形態における光学式エンコーダについて説明する。図1は、本実施形態における光学式エンコーダ10(透過スリット型エンコーダ)の概略構成図である。図1に示されるように、本実施形態の光学式エンコーダ10では、点光源LEDから射出した発散光束がコリメータレンズLNSにて平行光に変換され、この平行光は移動可能な透過スリットを備えたスケールSCL(格子スケール)を照明する。そして、スケールSCLを透過した透過光が受光素子アレイPDA(複数の受光素子)により受光される。受光素子アレイPDAは、各受光素子の出力をN個(Nは6以上の整数。本実施形態ではN=12)ごとに集電する受光素子アレイであり、受光素子アレイPDAの1周期分が明暗分布光の1周期分に対応している。
G2(1)={1+sin(2/N×2π)}/2
G3(1)={1+sin(3/N×2π)}/2
…
GN(1)={1+sin(N/N×2π)}/2
同様に、増幅器AMPは、N相の周期信号を、位相が互いに異なる第二の係数群(第二の増幅率群)を乗算する(第二の増幅率群で増幅する)。そして増幅器AMPは、第二の係数群を乗算して得られた値の総和から第2相(B相)の正弦波状周期信号を生成する。本実施例において、N相の周期信号に対する第二の係数群は、例えば以下のように表される。
G2(2)={1+sin(2/N×2π+π/2)}/2
G3(2)={1+sin(3/N×2π+π/2)}/2
…
GN(2)={1+sin(N/N×2π+π/2)}/2
図3は本実施形態における波形図であり、(a)はA相、B相信号波形図、(b)はA相、B相信号から生成されたリサージュ波形図である。このように、増幅器AMPの出力波形は正弦波状(実質的な正弦波状)であり、増幅器AMPの出力波形に基づいて生成されたリサージュ波形は円形状(実質的な円形状)となる。
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
このとき、増幅器AMPは、N相の周期信号に対して、位相が互いに異なるM組の係数群(第kの係数群)を乗算する(第kの増幅率群で増幅する)。そして増幅器AMPは、M組の係数群(第kの係数群)を乗算して得られた値の総和からM相(第k相)の正弦波状周期信号を生成する。
次に、本発明の第2実施形態における光学式エンコーダについて説明する。図4は、本実施形態における光学式エンコーダ20(反射スリット型エンコーダ)の概略構成図であり、(a)は正面図、図4(b)は底面図である。図4に示されるように、本実施形態の光学式エンコーダ20は、点光源LEDから射出した発散光束を、距離dだけ離れた位置に配置された相対移動可能な反射スリットを有するスケールSCL(反射/非反射の周期をP1とする)に斜めに照明する。そして、その反射光を拡大しながら受光素子アレイPDA上に2倍の明暗パターンを投影する。
次に、本発明の第3実施形態における光学式エンコーダについて説明する。図5は、本実施形態における光学式エンコーダ30(透過スリット型エンコーダ)の概略構成図である。図5に示されるように、本実施形態の光学式エンコーダ30は、点光源LEDから射出した発散光束を、コリメータレンズLNSにて平行光に変換し、相対移動可能な透過スリットを有するスケールSCLに照明し、その透過光を受光素子アレイAMPにて受光する。
G2(1)={1+sin(2/6×2π)}/2
G3(1)={1+sin(3/6×2π)}/2
…
G6(1)={1+sin(6/6×2π)}/2
同様に、増幅器AMPは、N相の周期信号を、位相が互いに異なる第二の係数群(第二の増幅率群)を乗算する(第二の増幅率群で増幅する)。そして増幅器AMPは、第二の係数群を乗算して得られた値の総和から第2相(B相)の正弦波状周期信号を生成する。本実施例において、N相の周期信号に対する第二の係数群は、例えば以下のように表される。
G2(2)={1+sin(2/6×2π+π/2)}/2
G3(2)={1+sin(3/6×2π+π/2)}/2
…
G6(2)={1+sin(6/6×2π+π/2)}/2
図6(b)は、A相、B相信号波形図であり、図6(c)はA相、B相信号から生成されたリサージュ波形図である。このように、増幅器AMPの出力波形は正弦波状(実質的な正弦波状)であり、増幅器AMPの出力波形に基づいて生成されたリサージュ波形は円形状(実質的な円形状)となる。なお本実施形態では、A相信号およびB相信号からなる2相信号を利用するが、これに限定されるものではなく、第1実施形態で説明したように3相以上の信号を利用してもよい。
次に、本発明の第4実施形態における光学式エンコーダについて説明する。図7は、本実施形態における光学式エンコーダ40(干渉縞投影型エンコーダ)の概略構成図である。なお本光学系の原理は、特開平08−226804号公報に開示されている。本光学系は、凹凸格子を有するスケールを透過した光束が特定の空間にて凹凸格子のピッチの半分のピッチの明暗パターンを発生させ、それを受光素子アレイで検出する方式を採用する。
次に、本発明の第5実施形態における光学式エンコーダについて説明する。図8は本実施形態における光学式エンコーダ50(回折干渉型エンコーダ)の構成図であり、(a)は光学式エンコーダ50の全体構成図、(b)は受光素子アレイAMPの詳細および信号の重み付け加算の説明図である。光学式エンコーダ50は、スケール回折格子で発生した±1次回折光を光学手段にて干渉させ、所謂ワンカラー(またはモノカラー)の一様な干渉光を実現する際に偏光差を付与することで、2相または4相の位相差信号光を生成する。そして、生成された位相差信号光を2相または4相の受光素子アレイAMPで受光する。
レーザ光源LDから射出した発散光束(0度方位の直線偏光光束)はコリメータレンズCOLにて平行光束にされ、第一の回折格子GT1(格子ピッチ=P1)にて2光束に分割される。分割された光束は、それぞれ(45°および−45°方位に透過軸を設定した)偏光板POL1またはPOL2 を透過し、第二の回折格子GT21またはGT22(格子ピッチ=P2)にて偏向される。そして、相対移動するスケールSCL上の回折格子GT3(格子ピッチ=P3)に照明され、±1次回折光が同軸に合成され、若干光源側と異なる方位に射出される。なお同軸に合成された光束は、互いに直線偏光軸を90°ずらされていたため、1/4波長板QWPを透過すると互いに逆向きに偏光面が回転する円偏光同士となっていて、ベクトル合成することで、単一の直線偏光光束に変換されている。そしてこの単一の直線偏光光束は、相対移動スケール上の回折格子GT3が1ピッチ移動する間に、直線偏光面が半回転する性質になっている。
SCL スケール
PDA 受光素子アレイ
AMP 増幅器
SCL スケール
Claims (22)
- 移動可能な格子スケールと、
光束を照射された前記格子スケールからの反射光または透過光を受光して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成する受光素子アレイと、
前記受光素子アレイで生成されたN相信号に対して、互いに異なるM組(Mは2以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する生成手段と、を有し、
前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記M相信号を用いて内挿処理を行う内挿手段を有する、ことを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記受光素子アレイ中のN−1個置きの2つの受光素子は、受光される光の強度分布の1周期分だけ離れており、前記N相信号のそれぞれは、前記受光素子アレイ中のN−1個置きの複数の受光素子により生成される、ことを特徴とする請求項1または2に記載の光学式エンコーダ。
- 前記受光素子アレイは、前記格子スケールからの光の干渉により得られた光を受光する、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
- 前記生成手段は、増幅器またはデジタル処理回路を含む、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
- 格子スケールと、
前記格子スケールからの信号を検出して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成する検出素子アレイと、
前記検出素子アレイで生成されたN相信号に対して、互いに異なるM組(Mは3以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する生成手段と、を有することを特徴とするエンコーダ。 - 前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。 - 前記M相信号を用いて内挿処理を行う内挿手段を有する、ことを特徴とする請求項6または7に記載のエンコーダ。
- 前記検出素子アレイ中のN−1個置きの2つの検出素子は、検出される信号の強度分布の1周期分だけ離れており、前記N相信号のそれぞれは、前記検出素子アレイ中のN−1個置きの複数の検出素子により生成される、ことを特徴とする請求項6乃至8のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記検出素子アレイは、前記格子スケールからの光を検出する、ことを特徴とする請求項6乃至9のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 前記検出素子アレイは、前記格子スケールからの光の干渉により得られた光を検出する、ことを特徴とする請求項10に記載のエンコーダ。
- 格子スケールと、
前記格子スケールからの信号を検出して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成する検出素子アレイと、
前記検出素子アレイで生成されたN相信号に対して、互いに異なるM組(Mは2以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する生成手段と、を有し、
前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とするエンコーダ。 - 前記生成手段は、増幅器またはデジタル処理回路を含む、ことを特徴とする請求項6乃至12のうちいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 移動可能な面からの光を他の光と干渉させて得られた光を受光して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成する受光素子アレイと、
前記受光素子アレイで生成されたN相信号に対して、互いに異なるM組(Mは2以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する生成手段と、を有し、
前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする干渉計測装置。 - 移動可能な面からの光を他の光と干渉させて得られた光を受光して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成する受光素子アレイと、
前記受光素子アレイで生成されたN相信号に対して、互いに異なるM組(Mは3以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する生成手段と、を有することを特徴とする干渉計測装置。 - 前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする請求項15に記載の干渉計測装置。 - 前記M相信号を用いて内挿処理を行う内挿手段を有する、ことを特徴とする請求項15または16に記載の干渉計測装置。
- 前記生成手段は、増幅器またはデジタル処理回路を含む、ことを特徴とする請求項14乃至17のうちいずれか1項に記載の干渉計測装置。
- 変位または位置を計測する計測方法であって、
検出素子アレイを用いて格子スケールからの信号を検出して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成し、
前記N相信号に対して、互いに異なるM組(Mは3以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する、ことを特徴とする計測方法。 - 変位または位置を計測する計測方法であって、
検出素子アレイを用いて格子スケールからの信号を検出して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成し、
前記N相信号に対して、互いに異なるM組(Mは2以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成し、
前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする計測方法。 - 変位または位置を計測する計測方法であって、
移動可能な面からの光を他の光と干渉させて得られた光を受光して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成し、
前記N相信号に対して、互いに異なるM組(Mは3以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成する、ことを特徴とする計測方法。 - 変位または位置を計測する計測方法であって、
移動可能な面からの光を他の光と干渉させて得られた光を受光して、互いに位相が異なるN相信号(Nは6以上の整数)を生成し、
前記N相信号に対して、互いに異なるM組(Mは2以上の整数)の係数群のそれぞれに関してN個の係数をそれぞれ乗算し、該乗算して得られた値の総和を該M組のそれぞれに関して求めてM相信号を生成し、
前記M組の係数群は、
G1(k)={1+sin(1/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G2(k)={1+sin(2/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
G3(k)={1+sin(3/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
…
GN(k)={1+sin(N/N×2π+π×(k−1)/M)}/2
(但し、k=1、2、…、M)
で表されることを特徴とする計測方法。
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KR101361625B1 (ko) * | 2012-06-11 | 2014-02-12 | 한국표준과학연구원 | 위치 측정 장치 및 위치 측정 방법 |
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JP6003372B2 (ja) * | 2012-08-07 | 2016-10-05 | 富士通株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ及びその補正方法 |
JP2015041648A (ja) * | 2013-08-20 | 2015-03-02 | 株式会社東芝 | パターン形成方法、パターン形成用マスク及びパターン形成装置 |
JP6247050B2 (ja) * | 2013-08-28 | 2017-12-13 | Necプラットフォームズ株式会社 | 情報処理装置、及び、位置検出方法 |
JP6138664B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-05-31 | オークマ株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP6369042B2 (ja) | 2013-11-05 | 2018-08-08 | 日本精工株式会社 | 光学式エンコーダユニット及び光学式エンコーダ |
US10312837B2 (en) * | 2016-05-02 | 2019-06-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Information processing apparatus, and recording medium storing computer program |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3239108A1 (de) * | 1982-10-22 | 1984-04-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmessverfahren und einrichtungen zur durchfuehrung des verfahrens |
JPS63157016A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Yokogawa Electric Corp | 光学式変位測定装置 |
JPH03128418A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-05-31 | Yokogawa Electric Corp | 光学式エンコーダ |
US5173936A (en) * | 1990-05-08 | 1992-12-22 | The Goeken Group Corporation | Telephone handset holder assembly |
US5572019A (en) * | 1991-03-12 | 1996-11-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder with varying width light receiver and apparatus having the encoder |
DE4338680C1 (de) * | 1993-11-12 | 1995-03-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
JPH08226804A (ja) | 1995-02-21 | 1996-09-03 | Canon Inc | 変位情報検出装置及びこれを用いたドライブ制御装置 |
AUPP777898A0 (en) | 1998-12-17 | 1999-01-21 | Bishop Innovation Pty Limited | Position sensor |
US6803560B1 (en) * | 1999-06-10 | 2004-10-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical encoder |
EP1421342A1 (en) * | 2001-08-30 | 2004-05-26 | MicroE Systems Corp. | Harmonic suppressing photodetector array |
JP2003279382A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-02 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
JP4291168B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2009-07-08 | オリンパス株式会社 | 光学式エンコーダ用光検出器 |
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