DE1941731C2 - Einrichtung zur Messung von Lageande rungen zweier relativ zueinander bewegli eher Teile - Google Patents
Einrichtung zur Messung von Lageande rungen zweier relativ zueinander bewegli eher TeileInfo
- Publication number
- DE1941731C2 DE1941731C2 DE1941731A DE1941731DA DE1941731C2 DE 1941731 C2 DE1941731 C2 DE 1941731C2 DE 1941731 A DE1941731 A DE 1941731A DE 1941731D A DE1941731D A DE 1941731DA DE 1941731 C2 DE1941731 C2 DE 1941731C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- grating
- stripe
- diaphragm
- permeability
- aperture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000033764 rhythmic process Effects 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung von Lageänderungen zweier relativ zueinander beweglicher
Teile, welche ein photoelektrisches Gitterabtastsystem
besitzt und bei der mindestens ein aus periodischen Helligkeitsschwankungen aufgebautes Streifensystem
erzeugt wird.
Es sind Einrichtungen bekannt, bei denen durch bestimmte Gitterauslegungen das photoelektrisch abgetastete
Signal weitgehend oberwellenfrei gehalten wird.
Nachteilig bei diesen bekannten Einrichtungen ist, daß an sämtlichen Strichen der Gilterteilungen hohe
Anforderungen an die Einhaltung der Strichstärke bzw. des Durchlässigkeitsverlaufes jedes einzelnen.
Gitterstriches oder an die Hurchenform gestellt werden müssen.
Ferner ist es zur Erzeugung oberwellenfreier Wegmeßsignale bekannt, bei der Abbildung eines Gitters
auf sich selbst oder auf ein zweites Gitter die Beugungs-{irdiiungen
entgegengesetzt gleicher Ordnung auszublenden. Jc!.-ch erfordert dies eine zusätzliche Gitterabbildiing.
Die bekannte Hilterung elektrischer Signale über elektrische Filter ist bei Wegmeßeinrichtungen nicht
mit der erforderlichen Genauigkeit durchführbar, da im allgemeinen nicht mit einer konstanten Geschwindigkeit
.ler gegeneinander \ rschiebbaren Teile gerechnet
werden kann.
/iel der vorliegenden Erfindung ist es. bei Einrichlungen
der eingangs erwähnten Art ein oberwellenfreies Signal ii/\\. ein Signal, welches lediglich eine
ein/ige Oberwelle enthält, zu erreichen, ohne daß besondere Anforderungen an el . Ausbildung der Gitter
gestellt werden müssen Liid welch; auch ohne eine zusätzliche
Abbildung der Git -r aufeinander auskommt.
Erreicht wird dies nach der Erfindung dadurch, daß
bei derartigen Einrichtungen in der Ebene oder in unmittelbarer
Nähe des Streifensystems eine Frequenzlilterblende mit sinusförmigem Durchlässigkeitsverlauf
angeordnet ist.
Weitere Einzelheiten und die Wirkungsweise der Erfindung sollen nun an Hand der in den Fig. 1 bis
5b dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.
In der schematischen Darstellung nach F i g. 1 ist mit 1 eine Lichtquelle bezeichnet, weiche in der
Brennebene des Kondensors 2 angeordnet ist. Das vom Kondensor 2 ausgehende gerichtete parallele
Lichtbündel durchsetzt nacheinander zwei eng beieinanderliegende Gittersysteme 3 und 4. Das Gitter
system 3 ist in den Richtungen des Doppelpfeiles 5 verschiebbar und fest mit dem Teil \erblinden (z. B.
Werkzeug), dessen Relativverschiebung gemessen werden soll. Das Gitter 4 ist mit dem feststehenden Teil
(z. B. Maschinenbett) verbunden, gegenüber dem die Verschiebung des beweglichen Teiles gemessen werden
soll.
Das Gitter 4 habe beispielsweise die gleiche Gitterkonstante
li· wie das Gitter 3, jedoch sind dessen
Gitterstrichc 4' gegenüber den Gitterstrichen 3' des
Gitters 3 leicht geneigt. Der besseren Übersicht wegen sind die Gitterstriche lediglich im rechten Teil der
Gitter eingezeichnet. Bei einer solchen Anordnung entstehen in bekannter Weise sogenannte Moiree-Streifen
6, die quer zu den Gitterstrichen 3', 4' der Gitter 3, 4 verlaufen. Die Längsrichtung der Moirce-Streifen
6 ist als v-Achsc eines rechtwinkligen Koordinatensystems festgelegt. In der Ebene der Moiree-Sireifen
bzw. in deren unmittelbarer Nähe ist eine Frequenzfilterblende 7 mit einer Öffnung 8, die einen
sinusförmigen Durchlässigkeitsverlauf hat. in direkter Verbindung mit dem feststehenden Gitter4angeordnet.
Bei einer Bewegung des Gitters 3 in den Richtungen der Pfeile 5 verschieben sich die Moiree-Streifen 6 in
der Richtung χ des Koordinatensystems. Hierbei tritt durch die Öffnung 8 der Blende 7 ein im Rhythmus
der Bewegung der Moiree-Streifen 6 sich sinusförmig ändernder Lichtstrom, der über dem Kollektor
9 zu einem photoelektrischen Element IO geleitet wird und dort ein oberwellenfreies periodisches Signal
in Abhängigkeit der Bewegung des Gitters 3 erzeugt. In dem weiteren Ausführungsbeispiel nach F i g. 2
'S ist mit 11 eine Lichtquelle bezeichnet, welche über den
Kondensor 12 die beiden Gitter 13 und 14 mit gerichtetem parallelem Licht beaufschlagt. Das Gitter 13
sei wiederum mit dem beweglichen Teil und das Gitter 14 mit dem feststehenden Teil verbunden.
Die beiden Gitter 13. 14 haben einen endlichen Abstand ζ φ 0 voneinander und besitzen die gleiche
bzw. nahezu gleiche Gitterkonstante w. Ihre Gitterstriche 13', 14' \erlaufen parallel zueinander.
Das Gitter 13 ist in den Richtungen des Doppelpfcües
15 verschiebbar. Mit Hilfe des Kollektors 19 wird wiederum die durch die Gitter 13, 14 geführte
Lichtenergie dem photoelektrischen Empfänger 20 zugeführt. In dem in der Ebene 1Γ des Lichtquellenbeugungsbildes
entstehenden Interferenzstreifensysteni 16 ist eine Ficquenzfilterblende 17 mit sinusförmigem
Durchlässigkeitverlauf 18, das beispielsweise als verlaufendes Graufilter ausgebildet ist, welches wiederum
lediglich ein oberwellenfreies bzw. nur eine einzige Oberwelle enthaltendes periodisches Signal durchläßt,
das von der Bewegung des Gitters 13 abhängt.
Zur Wirkungsweise der beschriebenen Ausführungsbeispiele ist folgendes zu bemerken:
Ein mit harmonischen Obe-wellen behaftetes Signal
läßt sich bekanntlich durch
S(y) — a0 -f- «j cos Irr
an cos 2.τ η
beschreiben.
Hierin bedeutet r die Relativbewegung eines Gitters,
it- die Periodenlänge der Gitter, und die an sind
Fourier-Koeffizienten, die sich aus Gitterabstand, Gitterneigung, Kohärenzgrad und Wellenlänge des
Lichtes ergeben.
Wird nun ein Streifensystem, sei es in der Gittei·- ebene durch Moiree (\gl. Fig. 1) oder in der Pupille,
d. h. in dem Lichtquellenbeugungsbild, durch einen von Null abweichenden Abstand zwischen den beiden
Gittern erzeugt (vgl. F i g. 2). so ergibt sich der Helligkeitsverlauf
dieses Streifensystems
5"(.v,v) = aa (-α, cos 2 π
Hierin ist W die Periodenlänge des Streifensystems und χ die Ortskoordinate senkrecht zu den in der
j-Richtung verlaufenden Streifen. Wird in einem derartigen
Streifensystem eine Blende, deren Durchlässigkeitsverlauf durch D.(x,y) gegeben ist, angeordnet,
1 731
so ist der Lichtstromverlauf nach der Blende gegeben durch
D (χ,y) S(x, ν) dx dy =Y ba cos 2rr«
Die b„ ergeben sich durch eine einfache Multiplikation
der (V,, mit dem entsprechenden Wert der Fouriertransformierten
Cn von D(x,y), wobei diese sich bekanntlich
aus
>')e'2nn -dvdv
W '
W '
ergeben. Die Obervellen v,jrden durch eine Filterblende dann unterdrückt, wenn c„ = 0 für /; — 2, 3,
4 ... wird.
F.ine derartige Wirkung besitzt ι. B. eine Frequenzfilterblende,
deren Öffnung einen sinusförmigen Verlauf aufweist, wie z. B. in dem Ausführungsbeispiel
nach F i g. 1 als Blende 7, 8 dargestcMt ist.
Für die Öffnung einer derartigen Frequenzfilterblende gelten dabei folgende Bedingungen:
Ay - «„ ;- α, sin In η
Dieses Durchlaßgebiet hat nun in der .v-Richtung einen sinusförmigen Verlauf seiner Durchlässigkeit D,
wie in F i g. 4 b dargestellt ist, und außerhalb des Durchlaßgebietes 18 isi die Durchlässigkeit gleich
Null.
Formelmäßig ausgedrückt muß die Durchlässigkeit D folgenden Bedingungen genügen:
D(x,v) r für — wl -η I
< v< -
D(_\,y) -= 0 außerhalb des obigen Bereiches.
Hierin stellt Ay den Verlauf der Groß: der Blendenöffllung
in Richtung des Streifensystems (in r-Richtung) und D(x,y)x die Durchlässigkeit der Blende
dar; W ist die Periodenlänge des Streifensystems und 11 eine ^anze Zahl, entsprechend der Ordnungszahl der
durchzulassenden Oberwelle. a0, ax und c sind Konstanten,
wobei a0 > α, und c
< 1 ist. m ist eine ganze Zahl entsprechend der Anzahl der von der Frequenzlilterblende
erfaßten Streifenperioden, und ψ ist die Verschiebung des Filterveriaufes innerhalb seiner
Begrenzung.
Zur Frläuterung dieser Bedingungen sei auf die Fig. 3a bis 3c hingewiesen.
In der F i g. 3a ist der Verlauf der Blendenöffnung Δ y nach der obigen Formel dargestellt.
in der Fig. 3b sind zwei einen derartig vorgegebenen
Verlauf genügende Blendenöffnungen 8' bzw. 8"
W mit einer Verschiebung des Filterveriaufes von<p— +
beispielsweise dargestellt.
In der Fig. 3c ist eine Frcqiienzfilterblende mit
mehreren jeweils eine Strcifenpericdenlänge W erfassende Blendenöffnungen 8 dargestellt. Hierbei gelten
für die Zonen 0 beispielsweise m -5, Zonen I bzw. Γ m — 3 und Zonen II bzw. H' m — 1.
Eine weitere Ausbildungsform der Frequenzfilter- 6u blende, wie sie beispielsweise in der F i g. 2, Teil 17,
18 verwendet ist, sei nun an Hand der F i g. 4a und 4b erläutert:
Das rechteckförmige Durchlaßgebiet 18 der Blende 17 (F i g. 4a) hai eine Breite (in der .v-Richtung) von
der Periodenlänge W des Streifensystems. Die Höhe des Durchlaßgebietes (in ^-Richtung) ist durch die
Begrenzungen K1 und K2 bestimmt.
α, sin 2;th
für —m
■ ψ j < .ν <
4- m [ + ψ
und K1 < y < K2 ,
D(xy) —■ 0 für außerhalb des obigen Bereiches.
D(xy) —■ 0 für außerhalb des obigen Bereiches.
Die Bedeutung der Bezeichnungen ist bereits an Hand der obigen Figuren beschrieben worden bzw.
ergil-t sich ohne weiteres auc diesen Abbildungen.
Selbstverständlich läßt sicn eine Frequenzfilterblende
nach der Erfindung auch aus einer Kombination der geschilderten Blendenarten aufbauen.
im übrigen sind die dargestellten Einrichtungen lediglich als Ausführungsbeispiele gedacht, die sich
noch mannigfach im Rahmen des Erfindungsgedankens variieren lassen.
l.iiie strenge Ausfilteruni, der Grundwelle bzw.
einer einzigen Oberwelle setzt jedoch voraus, daß die Periodenlange W des Streifensystems konstant ist.
Durch unvermeidliche Toleranzen bedingt, durch die beispielsweise bei einer Verschiebung des beweglichen
Gitters gegenüber dem feststehenden Abtastgitter leichte zusätzliche Verdrehungen auftreten können,
besteht die Gefahr, daß geringe Änderungen in der Periodenlänge W während des Meßvorganges auftreten
können.
Dies läßt sich jedoch in Weiterführung des Erfindungsgedankens
dadurch kompensieren, wie in den F i g. 5a und 5b dargestellt ist, daß das bewegliche
Gitter 23 mit einem zweiteiligen Abtastgitter 24, das die beiden Felder 24a und 24b besitzt, dessen Gitterstriche
von gleicher Gitterkenstante entgegengesetzt gleich gegenüber den Gitterstrichen 23' des Gitters 23
geneigt sind. Hierdurch entstehen nun zwei Moiree-Streifensysteme
(für jedes Abtastfeld eines), in denen wiederum je eine Frequenzfilterblende nach der Erfindung
eingebracht ist.
Die Frequenzlilterblenden 28a, 28b können auch, wie in der F i g. 5a dargestellt ist, direkt auf die
Abtastgitter 24a, 24b aufgebracht sein.
Das von der Lichtquelle 21 (vgl. F i g. 5b) über den Kondensor 22 mit parallelem 1 icht beaufschlagte
Gittersystem 23, 24 erzeugt zwei Streifensysieme, und die durch die Blenden 28α, 28ή ausgeblendeten Lichtströme
worden über den Kollektor 29 gemeinsam dem photoelektrischen Empfänger 30 zugeführt.
Bei einer Verdrehung des Gitters 23 gegenüber dem Gitter 24 um eine Achse senkrecht zur Zeichenebene
der Fig. 5a ändern sich die Neigungswinkel der Teilgitter entgegengesetzt gleich und damit werden
auch die hiervon abhängigen Periodenlängen W der beiden Streifensysteme um entgegengesetzt gleiche
Beträge geändert.
Da nun beide Teilabtastungen im gleichen Photoelement aufsummiert werden, kompensieren sich diese
Änderungen gegenseitig.
Claims (4)
1. Einrichtung zur Messung von Lageänderungen zweier relativ zueinander beweglicher Teile, welche
ein photoelektrisches Gitterabtastsystem besitzt und bsi der mindsstcns ein aus periodischen
Helligkeitsschwankungsn aufgebautes Streifensystem erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet,
daß in dsr Ebene oder in unmittelbarer Nähe des Streifensyslems (6, 16) cine Ficquenzfillcrblende
(7, 17) mit sinusförmigem Durchlässigkcitsvcrlauf (Δ y, D) angeordnet ist.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenzfilterblcnde mindestens
eine öffnung (8) aufweist, für die die Bedingungen
iS
Δ y = a0 -f α, sin 2πη
IW
IW \ IW
D(x,y) = c für -m\ --φ\<
χ < + m\ +ψ
D{x,y) = 0 außsrhalb obig2n Bereiches
gelten (wobei Δ y den Verlauf der Größe dei
Blendenöffnung in Richtung des Streifensystems und D(x, y) die Durchlässigkeit der Blende darstellen,
W die Poriodcnlänge des Streifensystems ist und // eine ganz Zahl, entsprechend der Ordnungszahl
der durchzulassenden Oberwelle, a0, «,
und c sind Konstanten; in ist eine ganze Zahl entsprchcnd
der Anzahl der von der Blende erfaßter Streifenpsrioden, und ψ ist die Verschiebung des
Filterverlaufes innerhalb seiner B;grcnzung).
3. Einrichtung nach Anspruch I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Durchlilssigkcitsg:biet
der Frequcnzfiltcrblcndc in Längsrichtung des Streifensystems durch zwei Begrenzungen
(Ä'[ und AT2) bestimmt ist.
4. Einrichtung nach Anspruch J oder einem der folgenden, bsi der zwei Slrcifcnsystcmc
erzeugt werden, dadurch gckcnnzcic'mit, daß die
Periodinlängen der beiden Streifensystcmc sich um entgegengesetzt gleiche Beträge ändern und
in jcd;m ,Streifensystem ei.ie Frcquenzfilterblendc
(28a, 23fe) angeordnet ist.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
3601
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1941731 | 1969-08-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1941731B1 DE1941731B1 (de) | 1971-03-04 |
DE1941731C2 true DE1941731C2 (de) | 1973-11-15 |
Family
ID=5742978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1941731A Expired DE1941731C2 (de) | 1969-08-16 | 1969-08-16 | Einrichtung zur Messung von Lageande rungen zweier relativ zueinander bewegli eher Teile |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3674372A (de) |
CH (1) | CH521569A (de) |
DE (1) | DE1941731C2 (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3239108A1 (de) * | 1982-10-22 | 1984-04-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmessverfahren und einrichtungen zur durchfuehrung des verfahrens |
DE3412128C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
DE3616144A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrische messeinrichtung |
DE4202560A1 (de) * | 1991-11-04 | 1993-05-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | Vorrichtung zur erzeugung oberwellenfreier periodischer signale |
EP0547270A1 (de) * | 1991-12-20 | 1993-06-23 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Fotoelektrische Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
DE4323624A1 (de) * | 1993-07-15 | 1995-01-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2210681C3 (de) * | 1972-03-06 | 1980-09-18 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur berührungslosen Messung |
SE400642B (sv) * | 1976-10-15 | 1978-04-03 | Bergkvist Lars A | Elektroniskt mattband |
US5075560A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
US5075562A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for absolute Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
EP0541827B1 (de) * | 1991-11-04 | 1995-04-12 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
DE4244126C1 (de) * | 1992-12-24 | 1994-03-24 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
EP0645607B1 (de) * | 1993-08-07 | 1997-06-04 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
DE59508231D1 (de) | 1995-06-22 | 2000-05-31 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
KR20180052676A (ko) | 2015-09-09 | 2018-05-18 | 레니쇼우 피엘씨 | 인코더 장치 |
ES2928745T3 (es) * | 2018-02-14 | 2022-11-22 | Hohner Automation S L | Métodos para calcular la forma de rendijas de una máscara de un codificador incremental óptico |
-
1969
- 1969-08-16 DE DE1941731A patent/DE1941731C2/de not_active Expired
-
1970
- 1970-07-24 CH CH1117370A patent/CH521569A/de not_active IP Right Cessation
- 1970-08-05 US US61175A patent/US3674372A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3239108A1 (de) * | 1982-10-22 | 1984-04-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmessverfahren und einrichtungen zur durchfuehrung des verfahrens |
EP0106951A1 (de) * | 1982-10-22 | 1984-05-02 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Positionsmessverfahren und Einrichtungen zur Durchführung des Verfahrens |
DE3412128C1 (de) * | 1984-03-31 | 1985-05-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmesseinrichtung |
DE3616144A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrische messeinrichtung |
DE4202560A1 (de) * | 1991-11-04 | 1993-05-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | Vorrichtung zur erzeugung oberwellenfreier periodischer signale |
DE4202560C2 (de) * | 1991-11-04 | 2002-04-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
EP0547270A1 (de) * | 1991-12-20 | 1993-06-23 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Fotoelektrische Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
DE4323624A1 (de) * | 1993-07-15 | 1995-01-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH521569A (de) | 1972-04-15 |
US3674372A (en) | 1972-07-04 |
DE1941731B1 (de) | 1971-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE1941731C2 (de) | Einrichtung zur Messung von Lageande rungen zweier relativ zueinander bewegli eher Teile | |
DE2513027C2 (de) | Entfernungsmeßeinrichtung | |
DE3013194C2 (de) | Mit polychromatischem Licht arbeitendes Abbildungssystem | |
DE1921507B1 (de) | Einrichtung zur Erzeugung phasenverschobener elektrischer Signale | |
DE2935265A1 (de) | Ausrichtvorrichtung | |
DE2210681C3 (de) | Einrichtung zur berührungslosen Messung | |
DE2260086C2 (de) | Optischer Korrelator | |
DE2433872B2 (de) | Anordnung zum sichtbarmachen der zustandskarte eines dreidimensionalen gegenstandes oder zum sichtbarmachen von abweichungen gegenueber einem bezugsgegenstand | |
DE1698280B2 (de) | Vorrichtung zur bestimmung und steuerung der lageaenderung eines objektes gegenueber einem bezugssystem | |
DE3242636A1 (de) | Einrichtung zur feststellung der scharfeinstellung | |
DE2614377B2 (de) | Optoelektrischer Detektor mit einem Objektiv und einer Modulationsvorrichtung | |
DE1945206A1 (de) | Einrichtung zur Interpolation | |
DE102010000745A1 (de) | Kalibrierungsmuster für Bildvorrichtung | |
DE1813743C3 (de) | Anordnung zur Abtastung eines Feldes in zwei Richtungen | |
DE2653545B1 (de) | Fotoelektrische Auflicht-Wegmesseinrichtung | |
DE2636769B1 (de) | Vorrichtung zur messung der geschwindigkeit und/oder der bewegungsrichtung einer bildstruktur | |
DE69116887T2 (de) | Ortungsbestimmung | |
DE19508700C1 (de) | Vorrichtung zum Gewinnen weitgehend oberwellenfreier periodischer Signale | |
CH619783A5 (de) | ||
DE2432067C2 (de) | Fokussiervorrichtung für optische Geräte | |
EP3547664B1 (de) | Verfahren und sensor zum erzeugen von 3d-bilddaten | |
DE2364516C3 (de) | Holographisches Aufzeichnungssystem | |
DE2314017C2 (de) | Schaltungsanordnung zur Erhöhung der Drehzahlgeberfrequenz eines Antiblockierregelsystems für druckmittelbetätigte Fahrzeugbremsen | |
DE1447243B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bildanalyse mittels fourier transformation | |
DE3234948A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen bewegungsmessung |