JP4337037B2 - 静電チャック - Google Patents
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Description
BaTiO3等のセラミックス材料が用いられる。
図5は本発明の実施の形態を示す静電チャックの断面図、図6はその電気的等価回路である。図3に示す従来の静電チャックでは、その等価回路図4において特許文献6で示したR1<<Rsの時でも2V0/(2R0+R1)で決まる電流が誘電体を通して流れることになる。それに対し図5に示したように本発明では単極誘電体の一極側全ての誘電体が隣接する絶縁体より低く加工して、その結果生じた隣接する絶縁体との段差を絶縁体で充填された構造にすることにより、図6における充填材で構成される電気容量C1により吸着力は変化するが、誘電体を通して流れる電流は2V0/(2R0+R1+R2)で示され従来構造の静電チャックよりも小さくなる。更に吸着力が実用に足る範囲でブラストを深く加工して充填層を厚くすることによりR2>>2R0+R1とすれば電流は著しく小さくなり、吸着時に誘電体を流れる漏れ電流を著しく低減する双極型静電チャックを提供する課題は達成される。
実施例において充填したエポキシ樹脂がアルミナ及びエポキシ樹脂を充填していないSiCの面より出張るときは、再度研磨して吸着面を面一とした。
また、吸着力は真空チャンバ内でφ50mmのSiウェーハを吸着後にロードセルを介して垂直方向に引っ張り脱離時の最大抗力を吸着力とした。
測定結果を表1に示す。
また、正負両極に対応する全ての単極誘電体を、隣接する絶縁体より低く生じた隣接する絶縁体との段差が誘電体よりも高い抵抗を有する絶縁体で充填した構造でも効果が変わらないことも明らかである
2:基体及び絶縁材
3:被吸着材
4:電極
5:電極端子
6:充填材
7:Siウェーハ
8:真空チャンバ
9:静電チャック
10:電流計
Claims (4)
- 絶縁体からなる基体と複数個の誘電体から構成される静電チャックで各々の誘電体が単極で構成され、且つ隣接する誘電体が該誘電体の表面抵抗よりも高い抵抗を有する絶縁体で絶縁された双極型の静電チャックにおいて、単極誘電体の少なくとも一極側全ての誘電体が、この誘電体の吸着面を、前記絶縁体からなる基体表面より低く、その結果生じた絶縁体からなる基体表面との段差を誘電体よりも高い抵抗を有する絶縁体で充填された構造を有する静電チャック。
- 少なくとも一極側全ての誘電体が、絶縁体からなる基体表面より低くする手段としてブラストを用いた請求項1記載の静電チャック。
- 少なくとも一極側全ての誘電体が、絶縁体からなる基体表面より低くする深さが0.003〜0.7mm、誘電体の外周から小さくない領域でブラスト加工した請求項2記載の静電チャック。
- 誘電体として炭化珪素セラミックス、基体及び隣接する誘電体を絶縁する絶縁体としてアルミナセラミックス及び誘電体の段差を充填する絶縁体がエポキシ樹脂で構成された請求項3記載の静電チャック。
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