JPS59191679A - 円板形状体の識別用記号または文字の読み取り装置 - Google Patents
円板形状体の識別用記号または文字の読み取り装置Info
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- JPS59191679A JPS59191679A JP58065674A JP6567483A JPS59191679A JP S59191679 A JPS59191679 A JP S59191679A JP 58065674 A JP58065674 A JP 58065674A JP 6567483 A JP6567483 A JP 6567483A JP S59191679 A JPS59191679 A JP S59191679A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体素子の製造工程における半導体基板（
以下、ウェハと称する）など、直線状の切欠を有する円
板形状体に記入はれた識別用記号や文字を読み取るため
の装置に関し、日板形状体を機械的に位置決めすること
々（識別用記号や文字を読み取れるようＫしたものであ
るＯ 第１図に示すようにウェハ２の表面には、ウェハの種類
や処理経歴を示すためにロット名あるいけウニ八番号と
いった識別用記号または文字１が、ウェハ２に設けられ
たオリエンテーションフラットと称する切欠３を基準と
して記入されている・ この種の識別用記号または文字ｌを読み取る装置の従来
例ｔ−第２図に示す＠第２図の従来装Ｍ＃ｉ、センタリ
ング治具４．（ロ）転可能なウェハ保持具５及びフォト
センサ６かうするウェハ位置決め手段と、識別用記号ま
たは又字ｌｔ−撮像するための撮像装置７と、撮像信号
をデジタル画像情報として記憶する記憶部８と、そのデ
ジタル画像情報から識別用記号または文字ｌを読み取る
読み取勺処理部９とにより構成されている。この従来装
置の動作としては、まず、製造工程において移送装置ｌ
Ｏにより送られてきたウェハ２をセンタリング治具４に
よって中心合せを行い、この状態でウェハ保持具５によ
りウニ＾２を保持してから１転させ、フォトセンサ６の
田カイ言号によりオリエンテーションフラット（切欠）
３を一定方向に整置させる０このよう忙機械的な位置決
め操作を行った後、即ち識別用記号または文字ｌを一定
の方向及び位置に定めた後、撮像装置７により識別用記
号筒たは文字ｌを撮像し、これ罠より記憶部８に書き込
まれたデジタル画像情報から読み取り処理部９で識別用
記号または文字ｌを判読する０上述の如〈従来装置では
、 （ａ） ウェハ２と装置との接触部分が多く、またウ
ェハ２のセンタリング及び保持のために機械的な力が加
わり、こ几らがウェハ２の汚染や破損の原因になるとい
う問題があり、更に、Φ） ウェハ２を位置決めするた
めの処理時間を要することから、本質的に、移動中のウ
ェハを対象とした高速な読み取ｎＫは適していない・ 本発明は上述した従来技術の問題を除去するため、機械
的な位ｉ１決め操作を行うことなく、切欠を基準に記入
された識別用記号または文字を読み承ることができる装
置を提供することを目的とする口この目的は、直線状の
切欠を有する円板形状体を位置決めすることなく撮像し
、これＫより得られたデジタル画情報から識別用記号ま
たは文字の基準となる切欠の方向及び位置ｆ、：１７＃
出し、切欠の方向及び位置の情報に基づいて識別用記号
または文字を読み取ることＫより、達成することができ
る・ 以下、第３図、第４図により本発明を説明する。第３図
は、ウェハ２の直線状の切欠（オリエンテーションフラ
ット）３を基準にして記入された識別用記号または文字
ｌを対象とした本発明の一実施例を示す。第３図におい
て、移送装置１０ｔｊ汎用されているベルト駆動のもの
、あるいは高速移送忙適したエアー駆動のもの等、なん
でも良い。１１はウェハ２の有無を検出するためのフォ
トセンサでメジ、この例でｈ移送装置ｌＯに埋め込まれ
ている。撮像装置７はウェハ２全体を撮像するようＫな
っておシ、フォトセンサ１１４Ｃよりウェハ２の存在を
検出した時にウェハ２の画像情報が瞬時に記憶される◎
１２は撮像装置７の光軸まわ）Ｋ円環状に設置した光源
で６９、ウェハ２の位置換言すれば識別用記号または文
字ｌの位置や傾きによらず一定の散乱光を得るために設
置しである。従って、光源１２自体が環状体でなくても
良い◎撮像装置７から出力される撮像信号はＡ／、変換
されたのち、デジタル画像情報として記憶部８に取り込
まれる＠１３は切欠（オリエンテーションフラット）３
の検出を行う第１の処理部であり、記憶されたデジタル
画像情報に基づいて切欠３の方向及び位置の情報を算出
する。１４ｔｉｔ識別用記号または文字ｌを判読する第
２の処理部であり、先に求められた切欠３の方向及び位
置の情報と、既に記憶されているデジタル画像情報とに
基づいて識別用記号または文字ｌを読み取る・なお、第
１及び第２の各処理部１３゜１４の詳細は後で説明する
。
以下、ウェハと称する）など、直線状の切欠を有する円
板形状体に記入はれた識別用記号や文字を読み取るため
の装置に関し、日板形状体を機械的に位置決めすること
々（識別用記号や文字を読み取れるようＫしたものであ
るＯ 第１図に示すようにウェハ２の表面には、ウェハの種類
や処理経歴を示すためにロット名あるいけウニ八番号と
いった識別用記号または文字１が、ウェハ２に設けられ
たオリエンテーションフラットと称する切欠３を基準と
して記入されている・ この種の識別用記号または文字ｌを読み取る装置の従来
例ｔ−第２図に示す＠第２図の従来装Ｍ＃ｉ、センタリ
ング治具４．（ロ）転可能なウェハ保持具５及びフォト
センサ６かうするウェハ位置決め手段と、識別用記号ま
たは又字ｌｔ−撮像するための撮像装置７と、撮像信号
をデジタル画像情報として記憶する記憶部８と、そのデ
ジタル画像情報から識別用記号または文字ｌを読み取る
読み取勺処理部９とにより構成されている。この従来装
置の動作としては、まず、製造工程において移送装置ｌ
Ｏにより送られてきたウェハ２をセンタリング治具４に
よって中心合せを行い、この状態でウェハ保持具５によ
りウニ＾２を保持してから１転させ、フォトセンサ６の
田カイ言号によりオリエンテーションフラット（切欠）
３を一定方向に整置させる０このよう忙機械的な位置決
め操作を行った後、即ち識別用記号または文字ｌを一定
の方向及び位置に定めた後、撮像装置７により識別用記
号筒たは文字ｌを撮像し、これ罠より記憶部８に書き込
まれたデジタル画像情報から読み取り処理部９で識別用
記号または文字ｌを判読する０上述の如〈従来装置では
、 （ａ） ウェハ２と装置との接触部分が多く、またウ
ェハ２のセンタリング及び保持のために機械的な力が加
わり、こ几らがウェハ２の汚染や破損の原因になるとい
う問題があり、更に、Φ） ウェハ２を位置決めするた
めの処理時間を要することから、本質的に、移動中のウ
ェハを対象とした高速な読み取ｎＫは適していない・ 本発明は上述した従来技術の問題を除去するため、機械
的な位ｉ１決め操作を行うことなく、切欠を基準に記入
された識別用記号または文字を読み承ることができる装
置を提供することを目的とする口この目的は、直線状の
切欠を有する円板形状体を位置決めすることなく撮像し
、これＫより得られたデジタル画情報から識別用記号ま
たは文字の基準となる切欠の方向及び位置ｆ、：１７＃
出し、切欠の方向及び位置の情報に基づいて識別用記号
または文字を読み取ることＫより、達成することができ
る・ 以下、第３図、第４図により本発明を説明する。第３図
は、ウェハ２の直線状の切欠（オリエンテーションフラ
ット）３を基準にして記入された識別用記号または文字
ｌを対象とした本発明の一実施例を示す。第３図におい
て、移送装置１０ｔｊ汎用されているベルト駆動のもの
、あるいは高速移送忙適したエアー駆動のもの等、なん
でも良い。１１はウェハ２の有無を検出するためのフォ
トセンサでメジ、この例でｈ移送装置ｌＯに埋め込まれ
ている。撮像装置７はウェハ２全体を撮像するようＫな
っておシ、フォトセンサ１１４Ｃよりウェハ２の存在を
検出した時にウェハ２の画像情報が瞬時に記憶される◎
１２は撮像装置７の光軸まわ）Ｋ円環状に設置した光源
で６９、ウェハ２の位置換言すれば識別用記号または文
字ｌの位置や傾きによらず一定の散乱光を得るために設
置しである。従って、光源１２自体が環状体でなくても
良い◎撮像装置７から出力される撮像信号はＡ／、変換
されたのち、デジタル画像情報として記憶部８に取り込
まれる＠１３は切欠（オリエンテーションフラット）３
の検出を行う第１の処理部であり、記憶されたデジタル
画像情報に基づいて切欠３の方向及び位置の情報を算出
する。１４ｔｉｔ識別用記号または文字ｌを判読する第
２の処理部であり、先に求められた切欠３の方向及び位
置の情報と、既に記憶されているデジタル画像情報とに
基づいて識別用記号または文字ｌを読み取る・なお、第
１及び第２の各処理部１３゜１４の詳細は後で説明する
。
本発明の読み取り装置の動作を説明する。移送装置１０
４ｃよシ移動してきたウェハ２がフォトセンサｌｌ上全
通過すると、ウェハ２の向きに関係なく、センサ１１の
出力変化をきっかけにして撮像装置７からの撮像信号が
デジタル画像情報として瞬時に記憶部８に記憶される。
４ｃよシ移動してきたウェハ２がフォトセンサｌｌ上全
通過すると、ウェハ２の向きに関係なく、センサ１１の
出力変化をきっかけにして撮像装置７からの撮像信号が
デジタル画像情報として瞬時に記憶部８に記憶される。
記憶されたデジタル画像情報に基づいてウエノ・２の切
欠３の方向と位置の情報が第１の処理部１３で算出され
、次いで第２の処理部１４において切欠３の方向及び位
置の情報に基づき識別用信号または文字ｌの部分が切９
出され、記号筒たは文字の並び順が逆になることなく・
読みＪ１２夛が行われる。
欠３の方向と位置の情報が第１の処理部１３で算出され
、次いで第２の処理部１４において切欠３の方向及び位
置の情報に基づき識別用信号または文字ｌの部分が切９
出され、記号筒たは文字の並び順が逆になることなく・
読みＪ１２夛が行われる。
次に切欠３の検出に関する第１の処理部１３の具体例を
説明する。この例の第１の処理部１３は注目周縁画素検
出部１５と、周縁等距離検出部１６と、直線判断部１７
と、注目画素移動処理部１８と、切欠方向算出部１９と
からなっている。初めの検出部１５は、ウェハ２の画像
から任意のその一つの注目周縁画素Ｐｏを見い出しその
位置情報を出力するための処理手段である。
説明する。この例の第１の処理部１３は注目周縁画素検
出部１５と、周縁等距離検出部１６と、直線判断部１７
と、注目画素移動処理部１８と、切欠方向算出部１９と
からなっている。初めの検出部１５は、ウェハ２の画像
から任意のその一つの注目周縁画素Ｐｏを見い出しその
位置情報を出力するための処理手段である。
具体的ｆｕｌｌ、例えば画面の左端中央の画素Ｓ！から
右端中央の画素Ｓｚへ向けて各画素の０Ｎ１０ＦＦを検
出しながら順次走査し、最初Ｋ ＯＦＦから０Ｎ４Ｃな
った画素をＰｏとして求める０次の検出部１６は、注目
周縁画素Ｐ、から一定距離にある２つの周縁画素ＰＫ−
Ｐｘｔ−見い出し、それぞれの位置情報を出力するため
の処理手段である。具体的には、例えは成る中心画素か
ら一定距離ｒＶｃある画素群よ勺構成される円形パター
ンを作成しておき、この円形パターンの中心画素を先に
求めたＰｏＫ一致させた場合の同形パターンとウェハ周
縁との交点としてＰ、、Ｐ、を求める◎直線判断部１７
は上述の如く求めた３つの周縁画素ＰＯｍＰ□ａＰ２の
位置情報よりこれらが＠線上にあるが否かの判断を行う
手段であシ、直線上にあれば「真」の情報！出力し、そ
うでなけれＩ／′ｉ「偽」の情報を出力する。「真」の
情報が出力された＊＠ｄ、 ａ。０．。、９え２，３．
。□ ＼画素Ｐｏ、Ｐ、、Ｐ、の位置情報に基づい
て切欠３の方向及び位置の情報を鼻出し、これを第２の
処理部１４へ出力する。もし「偽」の情報が出力された
場合は、注目画素移動処理部１９贅動作させる・これに
より、第２の検出部１６で求めた２つの周縁画素Ｐ１ま
たはＰ２のいずれかに注目周縁画素Ｐ・をＳ動させ、以
下、検出ｆｆ１ｌｌ ６．直線Ｐ・が−周するうちに直
線部分である切欠３を検出することができる。
右端中央の画素Ｓｚへ向けて各画素の０Ｎ１０ＦＦを検
出しながら順次走査し、最初Ｋ ＯＦＦから０Ｎ４Ｃな
った画素をＰｏとして求める０次の検出部１６は、注目
周縁画素Ｐ、から一定距離にある２つの周縁画素ＰＫ−
Ｐｘｔ−見い出し、それぞれの位置情報を出力するため
の処理手段である。具体的には、例えは成る中心画素か
ら一定距離ｒＶｃある画素群よ勺構成される円形パター
ンを作成しておき、この円形パターンの中心画素を先に
求めたＰｏＫ一致させた場合の同形パターンとウェハ周
縁との交点としてＰ、、Ｐ、を求める◎直線判断部１７
は上述の如く求めた３つの周縁画素ＰＯｍＰ□ａＰ２の
位置情報よりこれらが＠線上にあるが否かの判断を行う
手段であシ、直線上にあれば「真」の情報！出力し、そ
うでなけれＩ／′ｉ「偽」の情報を出力する。「真」の
情報が出力された＊＠ｄ、 ａ。０．。、９え２，３．
。□ ＼画素Ｐｏ、Ｐ、、Ｐ、の位置情報に基づい
て切欠３の方向及び位置の情報を鼻出し、これを第２の
処理部１４へ出力する。もし「偽」の情報が出力された
場合は、注目画素移動処理部１９贅動作させる・これに
より、第２の検出部１６で求めた２つの周縁画素Ｐ１ま
たはＰ２のいずれかに注目周縁画素Ｐ・をＳ動させ、以
下、検出ｆｆ１ｌｌ ６．直線Ｐ・が−周するうちに直
線部分である切欠３を検出することができる。
一方、読み取りに関する第２の処理部１４の具体例を説
明する。この例の第２の処理部１４は、識別用記号また
は文字の切り出し処理部２゜と、読み取り処理部２１と
からなっている。切り出し処理部２０は、切欠方向算出
部１９から出力された切欠３の方向及び位置の情報に基
づき、記憶部８に記憶されているデジタル画像情報から
識別用記号または文字ｌの部分の画像情報のみを取り出
す。この画像情報は、例えば「Ａ」なる文字だとすると
第４図（ａ）の如く一般に傾−たイメージとなるが、切
９出し処理部２ｏにより第４図（ｂ）の如く一定領域内
に傾きのない記号や文字としてのイメージを得る。した
がって、読み取り処理部２１は通常の記号または文字の
読み取９手段で良く、これを動作させることＫより、ウ
ェハ２の識別が完了する。
明する。この例の第２の処理部１４は、識別用記号また
は文字の切り出し処理部２゜と、読み取り処理部２１と
からなっている。切り出し処理部２０は、切欠方向算出
部１９から出力された切欠３の方向及び位置の情報に基
づき、記憶部８に記憶されているデジタル画像情報から
識別用記号または文字ｌの部分の画像情報のみを取り出
す。この画像情報は、例えば「Ａ」なる文字だとすると
第４図（ａ）の如く一般に傾−たイメージとなるが、切
９出し処理部２ｏにより第４図（ｂ）の如く一定領域内
に傾きのない記号や文字としてのイメージを得る。した
がって、読み取り処理部２１は通常の記号または文字の
読み取９手段で良く、これを動作させることＫより、ウ
ェハ２の識別が完了する。
以上説明した如く、本発明は移送装置により送られてき
たウェハ等の円板形状体を撮像し、その画像信号から識
別用記号または文字の基準となる切欠（オリエンテーシ
ョンフラット〕の方向及び位置の情報を求め、この情報
に基づいて識別用記号または文字を読み取る装置である
から、円板形状体の機械的な位置決め操作をすることが
なく、よって、円板形状体を破損したシ汚染したりする
ことがないうえ、高速に読み取りが行えるから円板形状
体が移動中であってもその識別を行うことができる・
たウェハ等の円板形状体を撮像し、その画像信号から識
別用記号または文字の基準となる切欠（オリエンテーシ
ョンフラット〕の方向及び位置の情報を求め、この情報
に基づいて識別用記号または文字を読み取る装置である
から、円板形状体の機械的な位置決め操作をすることが
なく、よって、円板形状体を破損したシ汚染したりする
ことがないうえ、高速に読み取りが行えるから円板形状
体が移動中であってもその識別を行うことができる・
第１図１１識別用記号または文字を記入した円板形状体
の例として示す半導体基板（ウェハ）の平面図、第２図
は従来の読み取り装置の構成図、第３図は本発明の一実
施例装置の構成図、第４図（ａ）、Φ）は識別用記号ま
たは文字の切り出し処理を説明する説明図である。 図 面 中、 ｌＦｉ識別用記号または文字、 ２＃ｉ円板形状体（ウエノＳ）、 ３＃ｉ切欠（オリエンテーションフラット）、７＃′ｉ
撮像装置、 ８はデジタル画像情報の部憶部、 ｌＯは移送装置、 １１は円板形状体有無の検出手段（フォトセンサ）、 ｌ２は光源、 １３は切欠検出の処理部、 １４＃′ｉ識別用記号または文字の読み取り処理部であ
る＠ 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 弁理士 光 石 士 部（他１名） 特開昭５９−１９１６７９（５）
の例として示す半導体基板（ウェハ）の平面図、第２図
は従来の読み取り装置の構成図、第３図は本発明の一実
施例装置の構成図、第４図（ａ）、Φ）は識別用記号ま
たは文字の切り出し処理を説明する説明図である。 図 面 中、 ｌＦｉ識別用記号または文字、 ２＃ｉ円板形状体（ウエノＳ）、 ３＃ｉ切欠（オリエンテーションフラット）、７＃′ｉ
撮像装置、 ８はデジタル画像情報の部憶部、 ｌＯは移送装置、 １１は円板形状体有無の検出手段（フォトセンサ）、 ｌ２は光源、 １３は切欠検出の処理部、 １４＃′ｉ識別用記号または文字の読み取り処理部であ
る＠ 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 弁理士 光 石 士 部（他１名） 特開昭５９−１９１６７９（５）
Claims (1)
- ［Ｎ状の切欠を外為の−ｓＫ有する円板形状体上にこの
切欠を基準として記入された識別用記号ま７Ｃは文事を
読み取る装置に２いて、上記円板形状体の有無を検出す
る検出手段と、この検出々力により上記円板形状体を撮
像する倣像手段と、この撮像手段の光軸のまわりに内環
状に設置された照明手段と、撮像信号をデジタル画像情
報として記憶する配慮手段と、記憶されたデジタル画像
情報から上記切欠の方向及び位置全検出する切欠検出処
理手段と、検出された切欠の方向及び位置の情報並びに
上記の記憶されているデジタル画像情報に基づき上記識
別用記号箇たは文字ｔ−読み取る読み取り処理手段と、
を備えたことを特徴とする同板形状体の識別用記号また
は文字の読み取）装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58065674A JPS59191679A (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | 円板形状体の識別用記号または文字の読み取り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58065674A JPS59191679A (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | 円板形状体の識別用記号または文字の読み取り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59191679A true JPS59191679A (ja) | 1984-10-30 |
Family
ID=13293777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58065674A Pending JPS59191679A (ja) | 1983-04-15 | 1983-04-15 | 円板形状体の識別用記号または文字の読み取り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59191679A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647274A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Toshiba Corp | Character reader |
| JPS6434999U (ja) * | 1987-08-26 | 1989-03-03 | ||
| JPH02222084A (ja) * | 1989-02-23 | 1990-09-04 | Nec Eng Ltd | 光学式文字読取装置 |
| US7480404B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-01-20 | Novo Measuring Instruments Ltd. | Method and system for positioning articles with respect to a processing tool |
-
1983
- 1983-04-15 JP JP58065674A patent/JPS59191679A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647274A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Toshiba Corp | Character reader |
| JPS6434999U (ja) * | 1987-08-26 | 1989-03-03 | ||
| JPH02222084A (ja) * | 1989-02-23 | 1990-09-04 | Nec Eng Ltd | 光学式文字読取装置 |
| US7480404B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-01-20 | Novo Measuring Instruments Ltd. | Method and system for positioning articles with respect to a processing tool |
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