JPS59172244A - 円板形状体の切欠検出方法 - Google Patents
円板形状体の切欠検出方法Info
- Publication number
- JPS59172244A JPS59172244A JP4604583A JP4604583A JPS59172244A JP S59172244 A JPS59172244 A JP S59172244A JP 4604583 A JP4604583 A JP 4604583A JP 4604583 A JP4604583 A JP 4604583A JP S59172244 A JPS59172244 A JP S59172244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disc
- pixel
- notch
- interest
- peripheral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体素子の製造に用いる物体で直線状の切
欠を有する円板形状体の直線部分と円形部分とから成る
物体を撮像することにより得らｎた画像情報より、その
直線部分の方向を検出する方法に関するものである。
欠を有する円板形状体の直線部分と円形部分とから成る
物体を撮像することにより得らｎた画像情報より、その
直線部分の方向を検出する方法に関するものである。
円板形状体に半導体素子の識別標識を読み取るなどに際
しては、円板形状体の基準線となる精確な切欠の方向が
把握されねばならない。従来この円板形状体の基準線を
把握するためには、第１図に示すように直線状の切欠ｌ
を有する円板形状体２を撮像装置３でとらえ、との撮像
装置３からの出力信号全前処理部４にて第２図の如く円
板形状体２０部分でＯＮ、それ以外でＯＦＦの２値画像
情報に変換し、この前処理部４の出力である２値画像情
報全記憶部５に取シ込み、姿勢検出処理部６では記憶部
５に取り込ま扛た２値画像情報から円板形状体２の中心
を算出すると共に、円板形状体２と同径の円形の辞書パ
ターンの中心と算出された円板形状体２の中心とを一致
させ、切欠１に該当する不一致部分を求め（ミスマツチ
ング法）ることにより切欠１の直線部分の方向を求めて
いる。
しては、円板形状体の基準線となる精確な切欠の方向が
把握されねばならない。従来この円板形状体の基準線を
把握するためには、第１図に示すように直線状の切欠ｌ
を有する円板形状体２を撮像装置３でとらえ、との撮像
装置３からの出力信号全前処理部４にて第２図の如く円
板形状体２０部分でＯＮ、それ以外でＯＦＦの２値画像
情報に変換し、この前処理部４の出力である２値画像情
報全記憶部５に取シ込み、姿勢検出処理部６では記憶部
５に取り込ま扛た２値画像情報から円板形状体２の中心
を算出すると共に、円板形状体２と同径の円形の辞書パ
ターンの中心と算出された円板形状体２の中心とを一致
させ、切欠１に該当する不一致部分を求め（ミスマツチ
ング法）ることにより切欠１の直線部分の方向を求めて
いる。
ところが、かかる切欠検出方法にあっては、姿勢検出処
理部６における処理、すなわち円板形状体２の中心全算
出するための処理と、円板形状体２と辞書パターンとの
ミスマツチングを検出するための処理とは、いずれにお
いても画面上の全ての画素に対して中心であるか否かを
区別しミスマツチングであるか否かを区別するという処
理を行なうため、処理演算が膨大となシ処理時間が非常
に掛るという欠点があった。
理部６における処理、すなわち円板形状体２の中心全算
出するための処理と、円板形状体２と辞書パターンとの
ミスマツチングを検出するための処理とは、いずれにお
いても画面上の全ての画素に対して中心であるか否かを
区別しミスマツチングであるか否かを区別するという処
理を行なうため、処理演算が膨大となシ処理時間が非常
に掛るという欠点があった。
また、円板形状体２には半導体素子形成用の様々なパタ
ーンが記入さ扛るため、円板形状体２の表面パターンが
撮像後の２値画像変換時にノイズとなって生起し、円板
形状体２の中心位置に正確に算出することが困難であっ
た。
ーンが記入さ扛るため、円板形状体２の表面パターンが
撮像後の２値画像変換時にノイズとなって生起し、円板
形状体２の中心位置に正確に算出することが困難であっ
た。
本発明は上述の欠点を除去するため、円板形状体の外周
の曲率変化を円板形状体の周縁に沿って一定距離ごとに
追跡して行くことによ〕円形部分から直線部分を見出す
ようにして、切欠を高速かつ精確に検出した円板形状体
の切欠検出方法の提供を目的とする。
の曲率変化を円板形状体の周縁に沿って一定距離ごとに
追跡して行くことによ〕円形部分から直線部分を見出す
ようにして、切欠を高速かつ精確に検出した円板形状体
の切欠検出方法の提供を目的とする。
かかる目的を達成する本発明は、外周の一部に直線状の
切欠全有する円板形状体全撮像装置でとらえ、この撮像
装置の出力信号を前処理部により２値画像情報に変換後
記憶部に収納し、この記憶部からの２値画像情報よ）上
記円板形状体の切欠を検出する方法において、上記円板
形状体の周縁画素の一つを注目画素として、この注目画
素によ郵上記周縁画累を追跡しながら、上記注目画素か
ら一定距離にある二つの周縁画素を見い出し、それら三
つの周縁画素が直線上にあることを見い出すことによシ
円板形状体の切欠を検出することを特徴とする。
切欠全有する円板形状体全撮像装置でとらえ、この撮像
装置の出力信号を前処理部により２値画像情報に変換後
記憶部に収納し、この記憶部からの２値画像情報よ）上
記円板形状体の切欠を検出する方法において、上記円板
形状体の周縁画素の一つを注目画素として、この注目画
素によ郵上記周縁画累を追跡しながら、上記注目画素か
ら一定距離にある二つの周縁画素を見い出し、それら三
つの周縁画素が直線上にあることを見い出すことによシ
円板形状体の切欠を検出することを特徴とする。
本発明による切欠検出方法は、原理的には、第３図に示
すように、円板形状体２の外周の曲率を、円板形状体２
の注目する周縁画素（注目画素）Ｐｏよシ等距離ｒにあ
る二つの周縁画素Ｐｌ。
すように、円板形状体２の外周の曲率を、円板形状体２
の注目する周縁画素（注目画素）Ｐｏよシ等距離ｒにあ
る二つの周縁画素Ｐｌ。
Ｐ、の成す角Ｐ、 、 Ｐｏ、 Ｐ、の補角６により代
表させ、円板形状体２０周縁に沿って、一定距離ｒごと
に補角δを検出し、δ＝０、すなわち、周縁画素Ｐ、
、 Ｐｏ、 Ｐ、が直線となる条件よシ円鈑形状体２の
直線部分の方向を見い出すものである。
表させ、円板形状体２０周縁に沿って、一定距離ｒごと
に補角δを検出し、δ＝０、すなわち、周縁画素Ｐ、
、 Ｐｏ、 Ｐ、が直線となる条件よシ円鈑形状体２の
直線部分の方向を見い出すものである。
以下、第３図と共に第４図、第５図を参照して本発明の
詳細な説明する。第４図において、注目周縁画素検出部
７は円板形状体２の外周に存在する周縁画素のうち任意
の一つの周縁画素（注目画素）Ｐｏを見い出すための手
段である。
詳細な説明する。第４図において、注目周縁画素検出部
７は円板形状体２の外周に存在する周縁画素のうち任意
の一つの周縁画素（注目画素）Ｐｏを見い出すための手
段である。
具体的には、たとえば撮像画面の左端中央の画素Ｓ１よ
シ、右端中央画素Ｓ２へ向って画素を水平に走査しつつ
検出して行き、円板形状体２以外の画面に当る２値画像
情報ＯＦＦから円板形状体２に描る２値画像情報ＯＮに
変化する最初の変化点を見い出してその画素（注目画素
）Ｐｏの位置情報を出力する。
シ、右端中央画素Ｓ２へ向って画素を水平に走査しつつ
検出して行き、円板形状体２以外の画面に当る２値画像
情報ＯＦＦから円板形状体２に描る２値画像情報ＯＮに
変化する最初の変化点を見い出してその画素（注目画素
）Ｐｏの位置情報を出力する。
ついで、周縁等距離画素検出部８は注目画素ＰＯよシ一
定距離ｒに存在する二つの周縁画素Ｐ。
定距離ｒに存在する二つの周縁画素Ｐ。
およびＰｉｅ見い出す手段で、注目画素ＰＯに対する周
縁等距離画素Ｐ１． Ｐ２の位置情報を出力する。
縁等距離画素Ｐ１． Ｐ２の位置情報を出力する。
具体的には、第５図に示すように予め一つの中心画素０
から一定距離ｒにある画素からなる円形パターンを作成
しておき、円形パターンの中心画素０’（５注目画素Ｐ
ｏに一致させたときの円形パターンと円板形状体２との
交点として周縁等距離画素Ｐ１．Ｐ、を求める。この周
縁画素Ｐ、 、 Ｐ。
から一定距離ｒにある画素からなる円形パターンを作成
しておき、円形パターンの中心画素０’（５注目画素Ｐ
ｏに一致させたときの円形パターンと円板形状体２との
交点として周縁等距離画素Ｐ１．Ｐ、を求める。この周
縁画素Ｐ、 、 Ｐ。
の位置の決定は中心となる注目画素Ｐｏが決まっておシ
、シかも円形パターンも設定しであるので簡単にかつ直
ちに求められる。
、シかも円形パターンも設定しであるので簡単にかつ直
ちに求められる。
直線判断部９は注目画素Ｐｏおよび周縁等距離画素Ｐ１
＊ Ｐｌからなる三つの画素位置情報により、Ｐｏと
Ｐ、の線分と、ＰｏとＰｌの線分とが成す補角δをη出
し、補角δ＝０となって画素Ｐ、 、 Ｐ、 、 Ｐｌ
が直線上にあるとき真の情報を出力し、補角δＮＯとな
って直線上に典［いとき偽の情＠を出力する。終了処理
部１０は真の情報が直線判断部９から出力されたとき直
線部分の切欠きの方向すなわち円板形状体２の姿勢を得
る。
＊ Ｐｌからなる三つの画素位置情報により、Ｐｏと
Ｐ、の線分と、ＰｏとＰｌの線分とが成す補角δをη出
し、補角δ＝０となって画素Ｐ、 、 Ｐ、 、 Ｐｌ
が直線上にあるとき真の情報を出力し、補角δＮＯとな
って直線上に典［いとき偽の情＠を出力する。終了処理
部１０は真の情報が直線判断部９から出力されたとき直
線部分の切欠きの方向すなわち円板形状体２の姿勢を得
る。
直線判断部９からの出力が偽の情報であるとき、この出
力は注目画素移動処理部１１に至る。
力は注目画素移動処理部１１に至る。
注目画素移動処理部１１は偽の情報に基づく画素Ｐ。、
ｐ、 、 ｐ、が直線部分でないので更に直線部分を
捜すため新たな注目画素を設定する手段である。ここで
、新たな注目画素を決めるに際しては、直線部分でない
ことが判明した画素のうち周縁等距離画素ＰｔすＰｇ
ｙ新たな注目画素とする。すなわち、注目画素移動処理
部１１では新たな注目画素であるＰｌ又はＰｌの画素位
置情報を出力する。注目画素として画素Ｐｌ又はＰｌの
いず４、にするかは、円板形状体の周縁を時計回りに追
跡するか、反時計回シに追跡するかで定まシ、いず牡の
選択も可能である。また、この注目画素の決定方法とし
ては、画面の端から走査を行なう最初の注目画素の決定
以外では円形パターンと周縁画素との交点のいずれかを
注目画素としているのであるが、この方法によらず注目
画素は全て画面の端から走査して浅定するようにしても
よい。
ｐ、 、 ｐ、が直線部分でないので更に直線部分を
捜すため新たな注目画素を設定する手段である。ここで
、新たな注目画素を決めるに際しては、直線部分でない
ことが判明した画素のうち周縁等距離画素ＰｔすＰｇ
ｙ新たな注目画素とする。すなわち、注目画素移動処理
部１１では新たな注目画素であるＰｌ又はＰｌの画素位
置情報を出力する。注目画素として画素Ｐｌ又はＰｌの
いず４、にするかは、円板形状体の周縁を時計回りに追
跡するか、反時計回シに追跡するかで定まシ、いず牡の
選択も可能である。また、この注目画素の決定方法とし
ては、画面の端から走査を行なう最初の注目画素の決定
以外では円形パターンと周縁画素との交点のいずれかを
注目画素としているのであるが、この方法によらず注目
画素は全て画面の端から走査して浅定するようにしても
よい。
上記の手法は、半導体基板のように、円板形状体に直線
状の切欠のあるどのような対象にも用いることが可能な
うえに、円板形状体が画面上の任意の位置にある場合に
も、その切欠の方向を高速に検出することができるとい
う特徴を有する。
状の切欠のあるどのような対象にも用いることが可能な
うえに、円板形状体が画面上の任意の位置にある場合に
も、その切欠の方向を高速に検出することができるとい
う特徴を有する。
以上説明したように本発明にょｎば隻手導体基板のごと
きその形状が円形部分と直線部分とから構成さｎている
対象物の特徴を有効に利用し、注目画素と周縁等距離画
素との決定に特異性を有して、従来のように円板形状体
の中心算出、パターンのミスマツチングの検出など多量
の処理を必要とせず、円板形状体の画像から高速かつ正
確に切欠の方向を検出できる。このため、移動中の円板
形状体の姿勢検出にも用いることができ、しかも対象物
の大きさが変化しても全く同じ手法が取れる。
きその形状が円形部分と直線部分とから構成さｎている
対象物の特徴を有効に利用し、注目画素と周縁等距離画
素との決定に特異性を有して、従来のように円板形状体
の中心算出、パターンのミスマツチングの検出など多量
の処理を必要とせず、円板形状体の画像から高速かつ正
確に切欠の方向を検出できる。このため、移動中の円板
形状体の姿勢検出にも用いることができ、しかも対象物
の大きさが変化しても全く同じ手法が取れる。
第１図は従来の切欠検出方法の説明のための構成図、第
２図は画面に対応する２値画像情報の一例の説明図、第
３図は本発明の詳細な説明図、第４図は本発明の切欠検
出方法の一例を説明する回路ブロック図、第５図は円形
パターンの例を示す説明図である。 図 面 中、 ３は撮像装置、 ４は前処理部、 ５は記憶部、 ７は注目周縁画素検出部、 ８は周縁等距離画素検出部、 ９は直線判断部、 １０は終了処理部、 １１は注目画素移動処理部、 Ｐｏは注目画素、 Ｐｌ、Ｐｌは周縁等距離画素である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 弁理士光石士部 （他１名）
２図は画面に対応する２値画像情報の一例の説明図、第
３図は本発明の詳細な説明図、第４図は本発明の切欠検
出方法の一例を説明する回路ブロック図、第５図は円形
パターンの例を示す説明図である。 図 面 中、 ３は撮像装置、 ４は前処理部、 ５は記憶部、 ７は注目周縁画素検出部、 ８は周縁等距離画素検出部、 ９は直線判断部、 １０は終了処理部、 １１は注目画素移動処理部、 Ｐｏは注目画素、 Ｐｌ、Ｐｌは周縁等距離画素である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 弁理士光石士部 （他１名）
Claims (3)
- （１） 外周の一部に直線状の切欠含有する円板形状
体を撮像装置でとらえ、との撮像装置の出力信号を前処
理部によシ２値画像情報に変換後記憶部に収納し、この
記憶部からの２値画像情報よシ上記円板形状体の切欠を
検出する方法において、上記円板形状体の周縁画素の一
つを注目画素として、この注目画素によシ上記周縁画素
を追跡しながら、上記注目画素から一定距離にある二つ
の周縁画素を見い出し、それら三つの周縁画素が直線上
にあることを見い出すことによシ円板形状体の切欠を検
出することを特徴とした円板形状体の切欠検出方法。 - （２）上記特許請求の範囲第１項記載の円板形状体の切
欠検出方法において、注目画素から一定距離に′ある二
つの周縁画素を見い出すに際し、あらかじめ、注目画素
から一定距離にある画素から成る円形パターンを構成し
ておき、その円形パターンの中心を注目画素に一致させ
、この円形パターンの画素と円板形状体の周縁画素との
交点を求めることによシ、二つの周縁画素を求めるよう
にした円板形状体の切欠検出方法。 - （３）上記特許請求の範囲第１項記載の円板形状体の切
欠検出方法において、三つの周縁画素が直線上にあるこ
とを見い出すまでの注目画素の特定に当っては、注目画
素から一定の距離におる二つの周縁画素の一つを次の注
目画素とした円板形状体の切欠検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4604583A JPS59172244A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 円板形状体の切欠検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4604583A JPS59172244A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 円板形状体の切欠検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59172244A true JPS59172244A (ja) | 1984-09-28 |
| JPS6245694B2 JPS6245694B2 (ja) | 1987-09-28 |
Family
ID=12736054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4604583A Granted JPS59172244A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 円板形状体の切欠検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59172244A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0313466A2 (en) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | Fujitsu Limited | Wafer positioning apparatus |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP4604583A patent/JPS59172244A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0313466A2 (en) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | Fujitsu Limited | Wafer positioning apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6245694B2 (ja) | 1987-09-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03294976A (ja) | 基準マークパターン検出装置 | |
| US4876732A (en) | System for detecting rotational angle of objective pattern | |
| US6519358B1 (en) | Parallax calculating apparatus, distance calculating apparatus, methods of the same, and information providing media | |
| JP2000136944A (ja) | 回転角度測定装置 | |
| KR910012673A (ko) | 거리 측정장치 | |
| JPS59172244A (ja) | 円板形状体の切欠検出方法 | |
| JP2637591B2 (ja) | 位置認識装置及びその方法 | |
| JPH1096607A (ja) | 物体検出装置および平面推定方法 | |
| JPH06168331A (ja) | パターンマッチング方法 | |
| JP2535704Y2 (ja) | 濃淡画像処理装置 | |
| JPH05250475A (ja) | パターンマッチング方法 | |
| JP2912070B2 (ja) | 対象物の位置認識方法 | |
| JPH06281411A (ja) | 孔位置の計測方法 | |
| JPH05216996A (ja) | 線幅認識装置 | |
| JPS59135511A (ja) | 光学式障害物検出装置 | |
| JPS58129888A (ja) | 円形端面の位置検出装置 | |
| JP2522927Y2 (ja) | 濃淡画像処理装置 | |
| JP2635303B2 (ja) | ウェハのオリフラ検出装置 | |
| JPH05172531A (ja) | 距離計測方法 | |
| JPH0514314B2 (ja) | ||
| JP2704933B2 (ja) | 画像処理の位置検出方法 | |
| JP2511131B2 (ja) | 文字認識装置 | |
| JPH06266825A (ja) | 画像追尾装置 | |
| JP3069401B2 (ja) | 画像処理による真円度の検査方法 | |
| FI76645B (fi) | Foerfarande foer lokalisering och/eller identifiering av ett objekt. |