JPS59141045A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPS59141045A JPS59141045A JP1526283A JP1526283A JPS59141045A JP S59141045 A JPS59141045 A JP S59141045A JP 1526283 A JP1526283 A JP 1526283A JP 1526283 A JP1526283 A JP 1526283A JP S59141045 A JPS59141045 A JP S59141045A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- ray detector
- solar slit
- magnet
- case
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は炭素、硼素、窒素等の軽元素の分析に−適した
Ｘ線分析装置に関する。
Ｘ線分析装置に関する。
口・従来技術
炭素とか硼素或は窒素等の超軽元素の原子を励起したと
き発せられるＸ線は波長が長いので分光結晶を用いる分
光法が適用できず、Ｘ線を鏡面に、その面に平行に近い
入射角で入射させ、鏡面による全反射を利用して短波長
のＸ線と分離しヤ検出する方法が用いられている。この
場合エネルギーの低い長波長のＸ線を検出するためＸ線
検出回路の増幅度を上げているので試料を励起する放射
線従来全反射鏡と試料との間に磁石を配置してＸ線検出
器の方へ向う電子線の経路を曲げて光電子等がＸ線検出
器に飛び込むのを防いでいたが、実際上は殆んど効果が
認められず、Ｘ線による超軽元素の高感度の分析はきわ
めで困難であった。以下この点をもう少し詳しく説明す
る。
き発せられるＸ線は波長が長いので分光結晶を用いる分
光法が適用できず、Ｘ線を鏡面に、その面に平行に近い
入射角で入射させ、鏡面による全反射を利用して短波長
のＸ線と分離しヤ検出する方法が用いられている。この
場合エネルギーの低い長波長のＸ線を検出するためＸ線
検出回路の増幅度を上げているので試料を励起する放射
線従来全反射鏡と試料との間に磁石を配置してＸ線検出
器の方へ向う電子線の経路を曲げて光電子等がＸ線検出
器に飛び込むのを防いでいたが、実際上は殆んど効果が
認められず、Ｘ線による超軽元素の高感度の分析はきわ
めで困難であった。以下この点をもう少し詳しく説明す
る。
第１図は従来の螢光Ｘ線分析装置を示す。１は励起用の
一次Ｘ線源、２は試料で、３が全反射鏡、４がＸ線検出
器で、５はＸ線検出器４０前面に配置されたソーラスリ
ットである。Ｘ線検出器４にはガスフロー比例計数管が
用いられている。試料２は一次Ｘ線の照射を受けて螢光
Ｘ線Ｘを放射する。全反射鏡５とＸ線検出器４及び試料
２の位置関係は、試料から出た螢光Ｘ線が例えば炭素分
析の場合約８°の角度で全反射鏡面に入射し、同じ角度
で全反射されたＸ線が検出器４に入射するようにしであ
る。このように全反射鏡３に対して人、反対側Ｘ線が平
行に近いから、Ｘ線検出器４からはノーラスリット５を
通しても試料２を望むことができ試料２から出た光電子
のうちＸ線検出器従来は試料２と全反射鏡３との間に磁
石Ｍを置き、試料からＸ線検出器の方へ向けて放出され
た光電子の進路を曲げてＸ線検出器４に入るのを防ぐよ
うにしていた。しかしこの場合、試料からＸ線検出器と
は異る方向へ放出された光電子の経路が磁殆んど効果が
なかった。
一次Ｘ線源、２は試料で、３が全反射鏡、４がＸ線検出
器で、５はＸ線検出器４０前面に配置されたソーラスリ
ットである。Ｘ線検出器４にはガスフロー比例計数管が
用いられている。試料２は一次Ｘ線の照射を受けて螢光
Ｘ線Ｘを放射する。全反射鏡５とＸ線検出器４及び試料
２の位置関係は、試料から出た螢光Ｘ線が例えば炭素分
析の場合約８°の角度で全反射鏡面に入射し、同じ角度
で全反射されたＸ線が検出器４に入射するようにしであ
る。このように全反射鏡３に対して人、反対側Ｘ線が平
行に近いから、Ｘ線検出器４からはノーラスリット５を
通しても試料２を望むことができ試料２から出た光電子
のうちＸ線検出器従来は試料２と全反射鏡３との間に磁
石Ｍを置き、試料からＸ線検出器の方へ向けて放出され
た光電子の進路を曲げてＸ線検出器４に入るのを防ぐよ
うにしていた。しかしこの場合、試料からＸ線検出器と
は異る方向へ放出された光電子の経路が磁殆んど効果が
なかった。
へ目的
本発明は軽元素から発せられる長波長のＸ線によって軽
元素の分析する場合における上述した光電子等によシ発
生−ｈシー減してＸ線分析法による軽元素の検出感度を
高めることを目的とするＯ 二、構成 本発明はＸ線検出器の前面に磁場を形成するように磁石
を配置したＸ線分析装置を提供する。
元素の分析する場合における上述した光電子等によシ発
生−ｈシー減してＸ線分析法による軽元素の検出感度を
高めることを目的とするＯ 二、構成 本発明はＸ線検出器の前面に磁場を形成するように磁石
を配置したＸ線分析装置を提供する。
ホ、実施例
この実施例は第１図を利用して説明すればソーラスリッ
ト５の側面に磁石を配置するものである。
ト５の側面に磁石を配置するものである。
Ｘ線分析装置としての全体的な構成は第１図と同じであ
るので、第２図に実施例におけるＸ線検出器部分だけを
示す。Ｘ線検出器４はガスフロー比例計数管で、Ｂは本
体、Ｃは芯線で、これが陽極になっている。ＷはＸ線入
射窓で１μｍの厚さのポリプロピレンフィルムＦが張設
してあり、ソーラスリット５のケース５ＣがフィルムＦ
の押えに兼用されている。ソーラスリット５は数枚の鉄
板５ｐを平行に配置したものであり、ソーラスリットケ
ースの側板５Ｃが磁石板になっている。この磁石板は厚
さ方向に磁化され、磁極は図示のように形成されている
。従って磁場は下向き矢印方向に形成され、スリイトの
鉄板５ｐに平行に図左方からソーラスリット５に入射し
た電子の経路は図の紙面に垂直にこちらに向けて曲げら
れ、Ｘ線検出器４の窓Ｗから反らされる。
るので、第２図に実施例におけるＸ線検出器部分だけを
示す。Ｘ線検出器４はガスフロー比例計数管で、Ｂは本
体、Ｃは芯線で、これが陽極になっている。ＷはＸ線入
射窓で１μｍの厚さのポリプロピレンフィルムＦが張設
してあり、ソーラスリット５のケース５ＣがフィルムＦ
の押えに兼用されている。ソーラスリット５は数枚の鉄
板５ｐを平行に配置したものであり、ソーラスリットケ
ースの側板５Ｃが磁石板になっている。この磁石板は厚
さ方向に磁化され、磁極は図示のように形成されている
。従って磁場は下向き矢印方向に形成され、スリイトの
鉄板５ｐに平行に図左方からソーラスリット５に入射し
た電子の経路は図の紙面に垂直にこちらに向けて曲げら
れ、Ｘ線検出器４の窓Ｗから反らされる。
第３図は上述実施例の斜視図で、５ｙはソーラスリット
のケースを兼ねた軟鉄板のヨークで磁石板５Ｃに対する
磁気回路を構成してソーラスリット内の空間に形成され
る磁場を強めている。
のケースを兼ねた軟鉄板のヨークで磁石板５Ｃに対する
磁気回路を構成してソーラスリット内の空間に形成され
る磁場を強めている。
Ｘ線検出器の前面に磁場を形成する方法は上述したよう
な構造だけに限られない。例えば第３図において上下方
向に磁場を形成するように上下に磁石を設けてもよい。
な構造だけに限られない。例えば第３図において上下方
向に磁場を形成するように上下に磁石を設けてもよい。
この場合ソーラスリットを構成する平行板は非磁性材料
が望ましい。
が望ましい。
へ、効果
本発明によるときは、Ｘ線検出器の前面まで飛来する電
子はその経路の方向が略々試料とＸ線検出器とを結ぶ方
向に揃っているので、Ｘ線検出器の前面に磁場を形成す
ることにより、殆んど全部がＸ線検出器のＸ線入射窓か
ら反らされ、異る方向の電子が磁場で曲げられた結果、
Ｘ線検出器に入射するようになると云った可能性がなく
なり、光電子等によって発生するバックグランドが従来
に比し著るしく低減し、Ｘ線検出のＳ ／ Ｎ比を向上
させることができる。第４図は本発明の効果を例示する
グラフで、鋳鉄中の炭素の検量線（Ｘ線検出強度と炭素
濃度との関係グラフ）を示す。この図でＡは従来例、Ｂ
は本発明における検量線、縦軸はＸ線強度、横軸は鋳鉄
中の炭素濃度である。
子はその経路の方向が略々試料とＸ線検出器とを結ぶ方
向に揃っているので、Ｘ線検出器の前面に磁場を形成す
ることにより、殆んど全部がＸ線検出器のＸ線入射窓か
ら反らされ、異る方向の電子が磁場で曲げられた結果、
Ｘ線検出器に入射するようになると云った可能性がなく
なり、光電子等によって発生するバックグランドが従来
に比し著るしく低減し、Ｘ線検出のＳ ／ Ｎ比を向上
させることができる。第４図は本発明の効果を例示する
グラフで、鋳鉄中の炭素の検量線（Ｘ線検出強度と炭素
濃度との関係グラフ）を示す。この図でＡは従来例、Ｂ
は本発明における検量線、縦軸はＸ線強度、横軸は鋳鉄
中の炭素濃度である。
士の印は従来例、本発明の夫々において、Ｓ ／ Ｎ比
１となる炭素濃度とＸ線強度を示す。Ｓ ／ Ｎ比が１
まで定量測定が可能とすると、従来例では炭素濃度３．
２係までしか測定できなかったの゛が、本発明によれば
濃度１．６ｑ６まで測定可能となり、感度が２倍に向上
したことになる。
１となる炭素濃度とＸ線強度を示す。Ｓ ／ Ｎ比が１
まで定量測定が可能とすると、従来例では炭素濃度３．
２係までしか測定できなかったの゛が、本発明によれば
濃度１．６ｑ６まで測定可能となり、感度が２倍に向上
したことになる。
第１図は従来例の平面図、第２図は本発明の一実施例に
おけるＸ線検出部の水平断面図、第３図は同実施例Ｘ線
検出部の斜視図、第４図は本発明の効果を例示するグラ
フである。 １・・・励起用−次Ｘ線源、２・・・試料、３・・・全
反射鏡、４・・・Ｘ線検出器、５ ・ソーラスリット、
５ｃ・・・ソーラスリットのケース兼磁石板、５ｐ・・
・ソーラスリットを構成する板、５ｙ・・ヨーク。 代理人 弁理士 縣 浩 介 ΦＣ 紫４図
おけるＸ線検出部の水平断面図、第３図は同実施例Ｘ線
検出部の斜視図、第４図は本発明の効果を例示するグラ
フである。 １・・・励起用−次Ｘ線源、２・・・試料、３・・・全
反射鏡、４・・・Ｘ線検出器、５ ・ソーラスリット、
５ｃ・・・ソーラスリットのケース兼磁石板、５ｐ・・
・ソーラスリットを構成する板、５ｙ・・ヨーク。 代理人 弁理士 縣 浩 介 ΦＣ 紫４図
Claims (1)
- Ｘ線検出器の前面に配置させるソーラスリットのケース
を磁石によって構成したことを特徴とするＸ線分析装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1526283A JPS59141045A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1526283A JPS59141045A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59141045A true JPS59141045A (ja) | 1984-08-13 |
| JPH0456274B2 JPH0456274B2 (ja) | 1992-09-07 |
Family
ID=11883935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1526283A Granted JPS59141045A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59141045A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125549A (ja) * | 1983-11-22 | 1985-07-04 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 偏向システムを有するｘ線分析装置 |
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP2000098091A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Rigaku Corp | ソーラスリット及びｘ線装置 |
| JP2013096968A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-20 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線検出器 |
| WO2023210633A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射線検出装置及び放射線検出器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53161687U (ja) * | 1977-05-23 | 1978-12-18 | ||
| JPS55113955U (ja) * | 1979-02-02 | 1980-08-11 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1526283A patent/JPS59141045A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53161687U (ja) * | 1977-05-23 | 1978-12-18 | ||
| JPS55113955U (ja) * | 1979-02-02 | 1980-08-11 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125549A (ja) * | 1983-11-22 | 1985-07-04 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 偏向システムを有するｘ線分析装置 |
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP2000098091A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Rigaku Corp | ソーラスリット及びｘ線装置 |
| JP2013096968A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-20 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線検出器 |
| WO2023210633A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射線検出装置及び放射線検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0456274B2 (ja) | 1992-09-07 |
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