JP2013096968A - エネルギー分散型x線検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線を検出する半導体検出素子と、前記半導体検出素子を収容し、真空雰囲気に保持するための検出器チャンバと、検出器チャンバのX線導入するための開口部を封止するように配置されるX線を透過する薄膜と、前記薄膜を検出器チャンバ内側から支持する補強部材からなる検出器において、前記補強部材は、間隔を置いて平行配置された複数のリブ状部材から構成される間隙を持つと共に、前期複数のリブ状部材に永久磁石を組み込むことにより、又はリブ状部材を永久磁石で構成することにより前記複数のリブ状部材間に磁場を発生させるようにしたことを特徴とする。
【選択図】 図5
Description
1は、試料で、電子線EBが照射された試料1からは、X線3と反射電子4が発生する。5は、X線3を検出するため、検出面を試料1に向けて配置された半導検出素子であり、例えばSi(Li)X線検出素子が用いられ、検出器チャンバ7内に収容されている。
Ω:立体角, S:半導体検出素子のX線検出面積,
d:X線発生点から半導体検出素子のX線検出面までの距離
しかし、従来の検出器の構造では、検出器前面に、反射電子除去用の磁場を作る磁石13a,13bがあり、dを小さくするためにX線検出器を試料1に近づけようとしても、限界がある。
H=(1/4πμ0)×(q+q−/r2)・・・・・・・(2)
H:磁場の強さ
μ0:真空の透磁率,q+q−:点磁化,
r:磁石間の距離
(2)式で示されるように、磁石間の距離rが大きくなると、磁石間に発生する磁場の強さFは、弱くなってしまう。そして、反射電子の軌道を曲げる力も弱くなるため、半導体検出素子に検出される反射電子は完全に除去できなくなる。
検出器の前面に一対配置された従来の磁石の間隙に比べて磁石の間隙が狭くなるため、磁石間には、より大きな磁場を得ることができる。このため、リブ状部材15の奥行き方向の長さG1も従来の補強部材8と同じ程度の寸法に収めることができる。
6:薄膜, 7:検出器チャンバ, 8:窓材支持台
11:磁石支持体, 12:導電体, 15:リブ状部材,
16:支持部材, 19a:永久磁石, 19b:外殻,
21:間隙, EB:電子線, O:試料上の電子線照射位置,
H:磁場, S:磁石S極, N:磁石N極,
Claims (1)
- X線を検出する半導体検出素子と、前記半導体検出素子を収容し、真空雰囲気に保持するための検出器チャンバと、検出器チャンバのX線導入するための開口部を封止するように配置されるX線を透過する薄膜と、前記薄膜を検出器チャンバ内側から支持する補強部材からなる検出器において、前記補強部材は、間隔を置いて平行配置された複数のリブ状部材から構成される間隙を持つと共に、前期複数のリブ状部材に永久磁石を組み込むことにより、又はリブ状部材を永久磁石で構成することにより前記複数のリブ状部材間に磁場を発生させるようにしたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。
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JP2011243209A JP5780923B2 (ja) | 2011-11-07 | 2011-11-07 | エネルギー分散型x線検出器 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014196439A3 (ja) * | 2013-06-03 | 2015-05-14 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 | 電波測定装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS59141045A (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-13 | Shimadzu Corp | X線分析装置 |
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2011
- 2011-11-07 JP JP2011243209A patent/JP5780923B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS59141045A (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-13 | Shimadzu Corp | X線分析装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014196439A3 (ja) * | 2013-06-03 | 2015-05-14 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 | 電波測定装置 |
JP6029079B2 (ja) * | 2013-06-03 | 2016-11-24 | 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構 | 電波測定装置 |
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