JPS6073447A - 軽元素けい光ｘ線分光器 - Google Patents
軽元素けい光ｘ線分光器Info
- Publication number
- JPS6073447A JPS6073447A JP58184132A JP18413283A JPS6073447A JP S6073447 A JPS6073447 A JP S6073447A JP 58184132 A JP58184132 A JP 58184132A JP 18413283 A JP18413283 A JP 18413283A JP S6073447 A JPS6073447 A JP S6073447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- fluorescent
- secondary electrons
- magnetic field
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ）産業上の利用分野
本発明は炭素のような軽元素の分析を行うためのけい光
Ｘ線分光器に関するものである。
Ｘ線分光器に関するものである。
（ロ） 従来技術
一般に軽元素をけい光Ｘ線を用いて分析する場合はけい
光Ｘ線の波長が長いから、試料から出だけい光Ｘ線を低
角度でミラーに入射させることによシ、所定の波長以上
のけい光Ｘ線を全反射させて分光し、これを検出する方
法がとられる。しかしこの方式は真空中で実施される上
けい光Ｘ線が途中で曲げられる角度が小さいために、試
料から出だ二次電子がＸ線検出器まで到達し易く、これ
がバックグラウンドノイズとして検出されるだめに検出
信号のＳ ／ Ｎ比が低下するという欠点があった。
光Ｘ線の波長が長いから、試料から出だけい光Ｘ線を低
角度でミラーに入射させることによシ、所定の波長以上
のけい光Ｘ線を全反射させて分光し、これを検出する方
法がとられる。しかしこの方式は真空中で実施される上
けい光Ｘ線が途中で曲げられる角度が小さいために、試
料から出だ二次電子がＸ線検出器まで到達し易く、これ
がバックグラウンドノイズとして検出されるだめに検出
信号のＳ ／ Ｎ比が低下するという欠点があった。
（ハ） 目 的
本発明は上記のノイズを取り除いて検出信号のＳ ／
Ｎ比を向上し、軽元素けい光Ｘ線分光器の分析精度を高
めることを目的とするものである。
Ｎ比を向上し、軽元素けい光Ｘ線分光器の分析精度を高
めることを目的とするものである。
（ニ）構 成
本発明は、分光手段として全反射ミラーを使用し波長が
一定値以上のけい光Ｘ綜を全反射するようにしたけい光
Ｘ線分光器において、ミラーに入射するけい光Ｘ線にほ
ぼ直角に磁界を印加することにより、二次電子を除去す
るようにしたものである。
一定値以上のけい光Ｘ綜を全反射するようにしたけい光
Ｘ線分光器において、ミラーに入射するけい光Ｘ線にほ
ぼ直角に磁界を印加することにより、二次電子を除去す
るようにしたものである。
（ホ）実施例
図は本発明の一実施例を示しだものである。図において
、１は励起用Ｘ線を発生するＸ線源であシ、Ｘ線を照射
された試料２はけい光Ｘ線を発生する。３はスリットで
あシ、このスリット３を通過したけい光Ｘ線が所定角度
でミラー４に入射するような位置に配置されている。例
えば炭素を分析する場合に炭素より重い元素の特性Ｘ線
はミラー３で反射されずに吸収され、炭素および炭素よ
シ軽い元素の特性Ｘ線のみが全反射されて検出器５に入
射するようになっている。６は検出器の前面に設けられ
たスリットである。７は炭素よシも軽い元素すなわち所
定の波長よりも大きい波長のけい光Ｘ線を遮断するだめ
のフィルタである。
、１は励起用Ｘ線を発生するＸ線源であシ、Ｘ線を照射
された試料２はけい光Ｘ線を発生する。３はスリットで
あシ、このスリット３を通過したけい光Ｘ線が所定角度
でミラー４に入射するような位置に配置されている。例
えば炭素を分析する場合に炭素より重い元素の特性Ｘ線
はミラー３で反射されずに吸収され、炭素および炭素よ
シ軽い元素の特性Ｘ線のみが全反射されて検出器５に入
射するようになっている。６は検出器の前面に設けられ
たスリットである。７は炭素よシも軽い元素すなわち所
定の波長よりも大きい波長のけい光Ｘ線を遮断するだめ
のフィルタである。
Ｘ線によって励起された試料２からはけい光Ｘ線の他に
二次電子も発生している。けい光Ｘ線のミラー４への入
射角が低角度であるために、けい光Ｘ線の経路が途中で
曲げられる角度は小さく、しだがってスリット３を通っ
た二次電子が検出器５に入射する確率がきわめて高い。
二次電子も発生している。けい光Ｘ線のミラー４への入
射角が低角度であるために、けい光Ｘ線の経路が途中で
曲げられる角度は小さく、しだがってスリット３を通っ
た二次電子が検出器５に入射する確率がきわめて高い。
磁極８，９はこれらの二次電子を遮断するだめのもので
、Ｕ字形の永久磁石または電磁石１０によって、けい光
Ｘ線の経路にほぼ直角に鎖交する磁界を発生させる。こ
の磁界はけい光Ｘ線には影響を与えずに二次電子の経路
を曲げることによって、二次電子をけい光Ｘ線から分離
し、二次電子が検出器５に入射するのを阻止するのであ
る。
、Ｕ字形の永久磁石または電磁石１０によって、けい光
Ｘ線の経路にほぼ直角に鎖交する磁界を発生させる。こ
の磁界はけい光Ｘ線には影響を与えずに二次電子の経路
を曲げることによって、二次電子をけい光Ｘ線から分離
し、二次電子が検出器５に入射するのを阻止するのであ
る。
（へ）効 果
本発明による軽元素けい光Ｘ線分光器は上述のように、
全反射ミラーによってけい光Ｘ線を分光する方式におい
て、ミラーに入射するけい光Ｘ線にその入射方角とほぼ
直角な磁界を印加するようにしたので、けい光Ｘ線と共
にスリットを通過した二次電子を、けい光Ｘ線の経路に
影響を与えることなく簡単に除去することができ、従来
けい光Ｘ線と共に検出器に入射した二次電子によって発
生していたバックグラウンドノイズを取シ除くことによ
って、検出信号のＳ ／ Ｎ比を向上し得るという利点
がある。
全反射ミラーによってけい光Ｘ線を分光する方式におい
て、ミラーに入射するけい光Ｘ線にその入射方角とほぼ
直角な磁界を印加するようにしたので、けい光Ｘ線と共
にスリットを通過した二次電子を、けい光Ｘ線の経路に
影響を与えることなく簡単に除去することができ、従来
けい光Ｘ線と共に検出器に入射した二次電子によって発
生していたバックグラウンドノイズを取シ除くことによ
って、検出信号のＳ ／ Ｎ比を向上し得るという利点
がある。
図は本発明軽元素けい光線分光器の一実施例を示す概略
斜視図である。 ｌ・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・スリット、４
・・・ミラー、５・・・検出器、６・・・検出器用スリ
ット、フ・・・フィルタ、８，９・・・磁極、１０・・
・永久磁石または電磁石。 代理人 弁理± １１系 浩 介
斜視図である。 ｌ・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・スリット、４
・・・ミラー、５・・・検出器、６・・・検出器用スリ
ット、フ・・・フィルタ、８，９・・・磁極、１０・・
・永久磁石または電磁石。 代理人 弁理± １１系 浩 介
Claims (1)
- 試料を励起するＸ線源と、試料から出たけい光Ｘ線を通
過させるスリットと、スリットを通過したけい光Ｘ線の
うち所定の波長域のけい光Ｘ線を全反射させるミラーと
、全反射されたけい・光Ｘ線を検出する検出器とを具え
たけい光Ｘ線分光器において、上記ミラーに入射するけ
い光Ｘ線にその入射方向とほぼ直角な磁界を印加する磁
極を設けることによシ、試料から出た二次電子を除去す
るようにして成る軽元素けい光Ｘ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58184132A JPS6073447A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58184132A JPS6073447A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光ｘ線分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073447A true JPS6073447A (ja) | 1985-04-25 |
Family
ID=16147931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58184132A Pending JPS6073447A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073447A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP2022085853A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 日本電子株式会社 | Ｘ線検出装置及び方法 |
| US11699567B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-07-11 | Jeol Ltd. | X-ray detection apparatus and method |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58184132A patent/JPS6073447A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP2022085853A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 日本電子株式会社 | Ｘ線検出装置及び方法 |
| US11699567B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-07-11 | Jeol Ltd. | X-ray detection apparatus and method |
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