JPS6073447A - 軽元素けい光x線分光器 - Google Patents
軽元素けい光x線分光器Info
- Publication number
- JPS6073447A JPS6073447A JP58184132A JP18413283A JPS6073447A JP S6073447 A JPS6073447 A JP S6073447A JP 58184132 A JP58184132 A JP 58184132A JP 18413283 A JP18413283 A JP 18413283A JP S6073447 A JPS6073447 A JP S6073447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- fluorescent
- secondary electrons
- magnetic field
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ)産業上の利用分野
本発明は炭素のような軽元素の分析を行うためのけい光
X線分光器に関するものである。
X線分光器に関するものである。
(ロ) 従来技術
一般に軽元素をけい光X線を用いて分析する場合はけい
光X線の波長が長いから、試料から出だけい光X線を低
角度でミラーに入射させることによシ、所定の波長以上
のけい光X線を全反射させて分光し、これを検出する方
法がとられる。しかしこの方式は真空中で実施される上
けい光X線が途中で曲げられる角度が小さいために、試
料から出だ二次電子がX線検出器まで到達し易く、これ
がバックグラウンドノイズとして検出されるだめに検出
信号のS / N比が低下するという欠点があった。
光X線の波長が長いから、試料から出だけい光X線を低
角度でミラーに入射させることによシ、所定の波長以上
のけい光X線を全反射させて分光し、これを検出する方
法がとられる。しかしこの方式は真空中で実施される上
けい光X線が途中で曲げられる角度が小さいために、試
料から出だ二次電子がX線検出器まで到達し易く、これ
がバックグラウンドノイズとして検出されるだめに検出
信号のS / N比が低下するという欠点があった。
(ハ) 目 的
本発明は上記のノイズを取り除いて検出信号のS /
N比を向上し、軽元素けい光X線分光器の分析精度を高
めることを目的とするものである。
N比を向上し、軽元素けい光X線分光器の分析精度を高
めることを目的とするものである。
(ニ)構 成
本発明は、分光手段として全反射ミラーを使用し波長が
一定値以上のけい光X綜を全反射するようにしたけい光
X線分光器において、ミラーに入射するけい光X線にほ
ぼ直角に磁界を印加することにより、二次電子を除去す
るようにしたものである。
一定値以上のけい光X綜を全反射するようにしたけい光
X線分光器において、ミラーに入射するけい光X線にほ
ぼ直角に磁界を印加することにより、二次電子を除去す
るようにしたものである。
(ホ)実施例
図は本発明の一実施例を示しだものである。図において
、1は励起用X線を発生するX線源であシ、X線を照射
された試料2はけい光X線を発生する。3はスリットで
あシ、このスリット3を通過したけい光X線が所定角度
でミラー4に入射するような位置に配置されている。例
えば炭素を分析する場合に炭素より重い元素の特性X線
はミラー3で反射されずに吸収され、炭素および炭素よ
シ軽い元素の特性X線のみが全反射されて検出器5に入
射するようになっている。6は検出器の前面に設けられ
たスリットである。7は炭素よシも軽い元素すなわち所
定の波長よりも大きい波長のけい光X線を遮断するだめ
のフィルタである。
、1は励起用X線を発生するX線源であシ、X線を照射
された試料2はけい光X線を発生する。3はスリットで
あシ、このスリット3を通過したけい光X線が所定角度
でミラー4に入射するような位置に配置されている。例
えば炭素を分析する場合に炭素より重い元素の特性X線
はミラー3で反射されずに吸収され、炭素および炭素よ
シ軽い元素の特性X線のみが全反射されて検出器5に入
射するようになっている。6は検出器の前面に設けられ
たスリットである。7は炭素よシも軽い元素すなわち所
定の波長よりも大きい波長のけい光X線を遮断するだめ
のフィルタである。
X線によって励起された試料2からはけい光X線の他に
二次電子も発生している。けい光X線のミラー4への入
射角が低角度であるために、けい光X線の経路が途中で
曲げられる角度は小さく、しだがってスリット3を通っ
た二次電子が検出器5に入射する確率がきわめて高い。
二次電子も発生している。けい光X線のミラー4への入
射角が低角度であるために、けい光X線の経路が途中で
曲げられる角度は小さく、しだがってスリット3を通っ
た二次電子が検出器5に入射する確率がきわめて高い。
磁極8,9はこれらの二次電子を遮断するだめのもので
、U字形の永久磁石または電磁石10によって、けい光
X線の経路にほぼ直角に鎖交する磁界を発生させる。こ
の磁界はけい光X線には影響を与えずに二次電子の経路
を曲げることによって、二次電子をけい光X線から分離
し、二次電子が検出器5に入射するのを阻止するのであ
る。
、U字形の永久磁石または電磁石10によって、けい光
X線の経路にほぼ直角に鎖交する磁界を発生させる。こ
の磁界はけい光X線には影響を与えずに二次電子の経路
を曲げることによって、二次電子をけい光X線から分離
し、二次電子が検出器5に入射するのを阻止するのであ
る。
(へ)効 果
本発明による軽元素けい光X線分光器は上述のように、
全反射ミラーによってけい光X線を分光する方式におい
て、ミラーに入射するけい光X線にその入射方角とほぼ
直角な磁界を印加するようにしたので、けい光X線と共
にスリットを通過した二次電子を、けい光X線の経路に
影響を与えることなく簡単に除去することができ、従来
けい光X線と共に検出器に入射した二次電子によって発
生していたバックグラウンドノイズを取シ除くことによ
って、検出信号のS / N比を向上し得るという利点
がある。
全反射ミラーによってけい光X線を分光する方式におい
て、ミラーに入射するけい光X線にその入射方角とほぼ
直角な磁界を印加するようにしたので、けい光X線と共
にスリットを通過した二次電子を、けい光X線の経路に
影響を与えることなく簡単に除去することができ、従来
けい光X線と共に検出器に入射した二次電子によって発
生していたバックグラウンドノイズを取シ除くことによ
って、検出信号のS / N比を向上し得るという利点
がある。
図は本発明軽元素けい光線分光器の一実施例を示す概略
斜視図である。 l・・・X線源、2・・・試料、3・・・スリット、4
・・・ミラー、5・・・検出器、6・・・検出器用スリ
ット、フ・・・フィルタ、8,9・・・磁極、10・・
・永久磁石または電磁石。 代理人 弁理± 11系 浩 介
斜視図である。 l・・・X線源、2・・・試料、3・・・スリット、4
・・・ミラー、5・・・検出器、6・・・検出器用スリ
ット、フ・・・フィルタ、8,9・・・磁極、10・・
・永久磁石または電磁石。 代理人 弁理± 11系 浩 介
Claims (1)
- 試料を励起するX線源と、試料から出たけい光X線を通
過させるスリットと、スリットを通過したけい光X線の
うち所定の波長域のけい光X線を全反射させるミラーと
、全反射されたけい・光X線を検出する検出器とを具え
たけい光X線分光器において、上記ミラーに入射するけ
い光X線にその入射方向とほぼ直角な磁界を印加する磁
極を設けることによシ、試料から出た二次電子を除去す
るようにして成る軽元素けい光X線分光器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58184132A JPS6073447A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光x線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58184132A JPS6073447A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光x線分光器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6073447A true JPS6073447A (ja) | 1985-04-25 |
Family
ID=16147931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58184132A Pending JPS6073447A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光x線分光器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6073447A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
JP2022085853A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 日本電子株式会社 | X線検出装置及び方法 |
US11699567B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-07-11 | Jeol Ltd. | X-ray detection apparatus and method |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58184132A patent/JPS6073447A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
JP2022085853A (ja) * | 2020-11-27 | 2022-06-08 | 日本電子株式会社 | X線検出装置及び方法 |
US11699567B2 (en) | 2020-11-27 | 2023-07-11 | Jeol Ltd. | X-ray detection apparatus and method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2223479C2 (ru) | Способ и устройство для анализа изотопсодержащих молекул по спектру поглощения | |
US4417355A (en) | X-Ray fluorescence spectrometer | |
JPH06273333A (ja) | 分光蛍光光度計 | |
JP2002189004A (ja) | X線分析装置 | |
JP3160135B2 (ja) | X線分析装置 | |
KR100326286B1 (ko) | 레이져-생성된플라스마상의광학적방출분광법에의한동위원소분석공정 | |
JPS6073447A (ja) | 軽元素けい光x線分光器 | |
JPH1151855A (ja) | 円二色性蛍光励起スペクトル測定装置 | |
JP2000504422A (ja) | 2つのコリメータマスクを有するx線分析装置 | |
US5763875A (en) | Method and apparatus for quantitative, non-resonant photoionization of neutral particles | |
US4707131A (en) | Optical arrangement for photometrical analysis measuring devices | |
JPH1019779A (ja) | 微弱蛍光測定装置 | |
JPS6073446A (ja) | 軽元素けい光x線分光器 | |
JPH0456274B2 (ja) | ||
JP2674675B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JPH10142155A (ja) | Icp質量分析装置 | |
JP3198127B2 (ja) | X線分光装置 | |
JP2940810B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP2006300671A (ja) | 分光検出装置 | |
JP2917475B2 (ja) | X線分析装置 | |
JPH05142201A (ja) | 高感度多元素同時分析装置 | |
JP2002093594A (ja) | X線管およびx線分析装置 | |
JPH11295247A (ja) | 試料表面の分析方法 | |
SU940022A1 (ru) | Рентгеновский спектрометр | |
JPH1038823A (ja) | 蛍光x線分析装置 |