JPS58143620A - 弾性表面波共振器 - Google Patents
弾性表面波共振器Info
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- JPS58143620A JPS58143620A JP2588282A JP2588282A JPS58143620A JP S58143620 A JPS58143620 A JP S58143620A JP 2588282 A JP2588282 A JP 2588282A JP 2588282 A JP2588282 A JP 2588282A JP S58143620 A JPS58143620 A JP S58143620A
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- Japan
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- acoustic wave
- surface acoustic
- comb
- electrode fingers
- shaped electrode
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、高次横モードスプリアスを抑圧させた弾性表
面波共振器に関する。
面波共振器に関する。
一般に、弾性表面波共振器は第１図に示すような構成と
なっている。
なっている。
すなわち圧電基板１の一方の主面上に、表面波放射電極
２と、この放射電極２を挾むように定所の間隔をおいて
表面波反射器３，３を形成した構成となっており、この
放射電極２はくし形電極指４．４を相互に差し込んで形
成されて電気−機械変換器を構成し、また反射器６は金
属ス）９ツブあるいはグループ等で構成され、放射電極
２からの弾性表面波伝播路上に配置されている。
２と、この放射電極２を挾むように定所の間隔をおいて
表面波反射器３，３を形成した構成となっており、この
放射電極２はくし形電極指４．４を相互に差し込んで形
成されて電気−機械変換器を構成し、また反射器６は金
属ス）９ツブあるいはグループ等で構成され、放射電極
２からの弾性表面波伝播路上に配置されている。
符号５は表面波の伝播方向を示す。
そして、この２つの反射器６，３の間において、放射電
極２から励振放射された表面波により定在波を起こして
共振させ、Ｑの高い共振器として作用させている。
極２から励振放射された表面波により定在波を起こして
共振させ、Ｑの高い共振器として作用させている。
しかしながらこのような構成の弾性表面波共振器は、放
射電極２が表面波の伝播方向５に沿った相互に等しい長
さのくし形電極指４，４を交さして形成され、その交さ
長りの一定な正規形電極構造となっていた。
射電極２が表面波の伝播方向５に沿った相互に等しい長
さのくし形電極指４，４を交さして形成され、その交さ
長りの一定な正規形電極構造となっていた。
そのため第２図の共振レスポンス特性図に示すように、
主共振Ｐのほかに、高次横モードスプリアスとよばれる
スプリアス共振Ｐ、 、 Ｐ、が生じる欠点がある。
主共振Ｐのほかに、高次横モードスプリアスとよばれる
スプリアス共振Ｐ、 、 Ｐ、が生じる欠点がある。
この原因は主に次のように考えられる。
すなわち、放射電極２を第３図Ａに示すような正規形電
極とした場合、表面波の伝搬方向５と直角な方向におけ
る表面波のエネルギー分布は、同図Ｂに示すように、矩
形波状６となり、これをフーリエ級数展開すれば同図Ｃ
〜Ｅに示すような複数の正弦波状の等位相面を有する波
７，８，９゜・・・に分解することができる。このうち
、７が基本モードと呼ばれ、８，９．・・・が高次横モ
ードと呼ばれる。
極とした場合、表面波の伝搬方向５と直角な方向におけ
る表面波のエネルギー分布は、同図Ｂに示すように、矩
形波状６となり、これをフーリエ級数展開すれば同図Ｃ
〜Ｅに示すような複数の正弦波状の等位相面を有する波
７，８，９゜・・・に分解することができる。このうち
、７が基本モードと呼ばれ、８，９．・・・が高次横モ
ードと呼ばれる。
ここで基本モード７の位相速度に対し高次横モード８・
９．・・・のそれはわずかに早い。
９．・・・のそれはわずかに早い。
又、伝搬方向についても第４図に示すように基本モード
７の伝搬方向５に対して、高次横モードの伝搬方向１０
は、ある角度をもつ。
７の伝搬方向５に対して、高次横モードの伝搬方向１０
は、ある角度をもつ。
そしてまた反射器６の内側と外側とでは表面波の伝搬速
度が異なるため、高次横モードの波８は第５図の矢印１
１で示すように反射器３の端部で順次反射され、反射器
６内に高次横モードの波がとじこめられて基本モード７
（＝比べて高い共振周波数を有する一種の共振モードを
生ずることになる。
度が異なるため、高次横モードの波８は第５図の矢印１
１で示すように反射器３の端部で順次反射され、反射器
６内に高次横モードの波がとじこめられて基本モード７
（＝比べて高い共振周波数を有する一種の共振モードを
生ずることになる。
これが高次横モードスプリアスと呼ばれるもので、第２
図（＝示すようなスプリアスＰ、 、 Ｐ、を生ずる原
因となると考えられる。
図（＝示すようなスプリアスＰ、 、 Ｐ、を生ずる原
因となると考えられる。
以上の原因を考えると、第１図の表面波放射電極２から
放射される表面波の高次横モード成分を減少させれば、
高次横モードスプリアスを抑圧させることができると考
えられる。
放射される表面波の高次横モード成分を減少させれば、
高次横モードスプリアスを抑圧させることができると考
えられる。
本発明はこのような放射電極と高次横モードとの関係に
着目してなされたもので、高次横モードスプリアスを抑
圧させた弾性表面波共振器の提供を目的とする。
着目してなされたもので、高次横モードスプリアスを抑
圧させた弾性表面波共振器の提供を目的とする。
本発明はこの目的を達成するために、圧電基板上に、複
数のくし形電極指を交ささせた表面波放射電極とこの放
射電極をはさむ対をなす表面波反射器を形成した弾性表
面波共振器に於いて、前記くし形電極指の交さ部分の各
中点が、弾性表面波の伝播方向と傾きをもった直線また
は曲線上に並ぶように構成されたことを特徴とし、スプ
リアスの良好な弾性表面波共振器の実現を図るものであ
る。
数のくし形電極指を交ささせた表面波放射電極とこの放
射電極をはさむ対をなす表面波反射器を形成した弾性表
面波共振器に於いて、前記くし形電極指の交さ部分の各
中点が、弾性表面波の伝播方向と傾きをもった直線また
は曲線上に並ぶように構成されたことを特徴とし、スプ
リアスの良好な弾性表面波共振器の実現を図るものであ
る。
ｒ発明の実施例〕
以下本発明の弾性表面波共振器の詳細を説明する。
なお従来例と共通する部分には同一符号を付す。
第６図は本発明の弾性表面波共振器における特徴部分で
ある電気−機械変換器たる表面波放射電極２の実施例を
示すものである。
ある電気−機械変換器たる表面波放射電極２の実施例を
示すものである。
弾性表面波共振器の概略構造は、′ｓ１図に示すように
、表面波の伝播基板たる圧電板１の一主面上に、放射電
極２とこれを挾んで一対の反射器６゜３を伝播路上に互
いに所定間隔をおいて形成されてなるので、図示を省略
する。
、表面波の伝播基板たる圧電板１の一主面上に、放射電
極２とこれを挾んで一対の反射器６゜３を伝播路上に互
いに所定間隔をおいて形成されてなるので、図示を省略
する。
本発明の一実施例の放射電極２は、第６図Ａに示すよう
に、図中左側を基準として伝播方向５に沿って順次等量
づつ短く形成したくし形電極指４＆と順次等量づつ長く
形成したくし形電極指４ｂを相互に交ささせて構成され
、くし形電極指４ａｔ４ｂの重り合う長さすなわち支さ
長りが等しく、交さ部分の各中点１２を結ぶ線１６が表
面波の伝播方向５に対し比較的小さな傾きを有するよう
になっており、全体として放射電極２の交さ部分が平行
四辺形になっている。又、４ａ’、４ｂ’は、伝搬速度
を、交さ部分とあわせる為のダミー電極である。
に、図中左側を基準として伝播方向５に沿って順次等量
づつ短く形成したくし形電極指４＆と順次等量づつ長く
形成したくし形電極指４ｂを相互に交ささせて構成され
、くし形電極指４ａｔ４ｂの重り合う長さすなわち支さ
長りが等しく、交さ部分の各中点１２を結ぶ線１６が表
面波の伝播方向５に対し比較的小さな傾きを有するよう
になっており、全体として放射電極２の交さ部分が平行
四辺形になっている。又、４ａ’、４ｂ’は、伝搬速度
を、交さ部分とあわせる為のダミー電極である。
このように放射電極２においてくし形電極指４ｍ＋４ｂ
の交さ長りは一定であるが、交さ部分の各中点１２の位
置が順に表面波伝搬方向５に対して傾きをもった直線１
３上に並ぶようにすると、伝播路上における表面波伝播
方向５と、直交する方向の表面波エネルギー分布が同図
Ｂのように台形となる。
の交さ長りは一定であるが、交さ部分の各中点１２の位
置が順に表面波伝搬方向５に対して傾きをもった直線１
３上に並ぶようにすると、伝播路上における表面波伝播
方向５と、直交する方向の表面波エネルギー分布が同図
Ｂのように台形となる。
そのためフーリエ変換の原理かられかるように、エネル
ギー分布が矩形の場合に比べて高次横モード成分がより
少なくなる。
ギー分布が矩形の場合に比べて高次横モード成分がより
少なくなる。
なお放射電極２によって圧電板１上励振、放射された表
面波が、反射器６，６間で反射を繰り返して定在波を生
じ、Ｑの高い共振器が得られることは従来と同様である
。
面波が、反射器６，６間で反射を繰り返して定在波を生
じ、Ｑの高い共振器が得られることは従来と同様である
。
第７図は発明の他の実施例を示すもので、第６図の弾性
表面波共振器に比べて、各くし形電極指４ａ ｅ ４ｂ
の交さ部分の中点１２を結ぶ直線１３の伝播方向に対す
る傾きをさらに大きくして、伝播路上のエネルギー分布
が三角波上になるよう構成したものである。
表面波共振器に比べて、各くし形電極指４ａ ｅ ４ｂ
の交さ部分の中点１２を結ぶ直線１３の伝播方向に対す
る傾きをさらに大きくして、伝播路上のエネルギー分布
が三角波上になるよう構成したものである。
このように構成した弾性表面波共振器は、第６図に示す
ものに比べ、その高次横モード成分をさらに小さくする
ことが可能となりスプリアスの姉弟８図Ａは、本発明の
弾性表面波共振器の別の実施例を説明するための放射電
極２を示す図である。
ものに比べ、その高次横モード成分をさらに小さくする
ことが可能となりスプリアスの姉弟８図Ａは、本発明の
弾性表面波共振器の別の実施例を説明するための放射電
極２を示す図である。
図において放射電極２は、くし形電極指４ａｔ４ｂが上
述の実施例のように等量づつ長さを異にしたものから、
交さ部分の各中点１２を結ぶ線１６が、交さ幅りの２倍
を一周期とする正弦波の最小点から最大点までの半周期
部分の曲線状となるように構成されたものである。
述の実施例のように等量づつ長さを異にしたものから、
交さ部分の各中点１２を結ぶ線１６が、交さ幅りの２倍
を一周期とする正弦波の最小点から最大点までの半周期
部分の曲線状となるように構成されたものである。
このような放射電極２がら伝播する表面波エネスプリア
スＰ、 、 Ｐ、の大巾な抑圧ができる。
スＰ、 、 Ｐ、の大巾な抑圧ができる。
以上説明した本発明の弾性表面波共振器は、放射電極を
形成するくし形電極指の各文さ部分の中点を表面波伝播
方向に対して傾きをもった軌跡上に順に並ぶようにした
もので、従来例の如き交さ長が一定正規形電極の放射電
極を用いた場合に比べ、同一のインピーダンス及び電極
容量で、横モードスプリアスを抑圧することができる。
形成するくし形電極指の各文さ部分の中点を表面波伝播
方向に対して傾きをもった軌跡上に順に並ぶようにした
もので、従来例の如き交さ長が一定正規形電極の放射電
極を用いた場合に比べ、同一のインピーダンス及び電極
容量で、横モードスプリアスを抑圧することができる。
第１図は従来の弾性表面波共振器の平面図、第２図はそ
のスプリアス特性図、第６図〜第５図は第１図に示す弾
性表面波共振器において横モードスプリアスが発生する
理由を説明する図、第６図は本発明の弾性表面波共振器
の一実施例の要部を示す図、第７図および第８図は本発
明の他の実施例の要部を示す図である。 １ ・・・・・・・・・・・・・・・圧電基板２ ・・
・・・・・・・・・・・・・放射電極３ ・・・・・・
・・・・・・・・・反射器４．４息、４ｋ・・・くし形
電極指 ５ ・・・・・・・・・・・・・・・表面波伝播方向１
２ ・・・・・・・・・・・・・・・くし形電極指の交
さ部分における中点 １３−・・・・・・・・・・・・・・各くし形電極の交
さ部分における中点を結ぶ線 Ｌ ・・・・・・・・・・・・・・・くし形電極指の交
さ長（７３１７）代理人弁理士 則 近 憲 佑（ほか
１名） 第１図 １１２ 丙 竿４図 第５図 第７図 第８図 手 続 補 正 書（自発） 叩５ｔ３．々１Ｂ 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭５７−２５８８２号 ２、発明の名称 弾性表面波共損器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ （１） 明細書の特許請求の範囲の欄（２）明細書の
発明の詳細な説明の欄 （３） 図 面
ンビｉに＝＼。 ６、 補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」の欄を別紙の通り補
正する。 （２） 明細書の「発明の詳細な説明」の欄を以下の
通り補正する。 （：） 第４頁第６行目。 「・・・が異なるため、高次横モードの・・・」とある
な。 「・・・が異なるため、音響インピーダンスの不連続を
生じ高次横モードの・・・」と訂正する。 （１１）第５頁第８行目乃至第９行目。 ［・・・に於いて、前記くし形電極指の交差部分・・シ
とあるな。 「・・・に於いて、この圧電基板表面上でくし形電極指
の長手方向と実質的に直角な方向をこの表面波放射電極
から励振竺射された弾性表面波の伝搬方向とし、隣接す
る１組の電極指が形成する１つの交さ部分の長手方向の
中点で且つ弾性表面波の伝搬方向の中点をこのくし形電
極指の交さ部分の中点とし、複数のくし形電極指が形成
する複数の交さ部分・・・・」と訂正する。 （ｉｉ＋ ）第５頁第１１行目乃至第１２行目。 ［・・・スプリアスの・・・］とあるを。 「・・・スプリアス特性の・・・」と訂正する。 （１いＩＦ５６頁第８行目乃至第１２行目。 「・・・順次等量づつ短く形成した・・・（中略）・・
・交さ部分の各中点１２・・・」とあるな。 ［・・・順次等量づつ長く形成したくし形電極指４ａと
順次等量づつ短く形成したくし形電極指４ｂを相互に交
ささせて構成され、−組の隣接するくし形電極指４ｍ、
４ｂが形成する交さ部分において電極指の長手方向の中
点で且つ弾性表面波の伝搬方向５の中点即ち交さ部分の
各中点１２・・・］と訂正する。 Ｍ 第６頁第１９行目。 「・・・交さ畏りは一定・・・」とあるな。 「・・・交さ長りはほぼ一定・・・」と訂正する。 （■１）第７頁第５行目。 「・・・フーリエ変換の・・・」とあるな。 ［・・・フーリエ級数展開の・・・］と訂正する。 （ｖｉｉ）第７頁第１６行目。 「ｌ−三角波上に・・・」とあるな。 「・・・三角波状に・・・」と訂正する。 （３）図面のうち第６丙乃至第８図を別紙の通り訂正す
る。 以上 特許請求の範囲 １、圧電基板上に、複数のくし形電極指を交差させた表
面波放射電極と、この放射電極をはさむ対をなす表面波
反射器とを形成した弾性表面波共ｐ交さ部分の各中点が
、弾性表面波の伝搬方向と傾きをもった軌跡上１：並ぶ
よう構成されたことを特徴とする弾性表面波共振器。 ２、くシ形電極指の交さ部分の各中点が２．弾性表面波
の伝播方向と傾きを有する直線上に並ぶように構成され
てなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾
性表面波共振器。 ３、くシ形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表面波の
伝播方向と傾きを有する曲線上に並ぶことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波共振器。 第 ６ 図
のスプリアス特性図、第６図〜第５図は第１図に示す弾
性表面波共振器において横モードスプリアスが発生する
理由を説明する図、第６図は本発明の弾性表面波共振器
の一実施例の要部を示す図、第７図および第８図は本発
明の他の実施例の要部を示す図である。 １ ・・・・・・・・・・・・・・・圧電基板２ ・・
・・・・・・・・・・・・・放射電極３ ・・・・・・
・・・・・・・・・反射器４．４息、４ｋ・・・くし形
電極指 ５ ・・・・・・・・・・・・・・・表面波伝播方向１
２ ・・・・・・・・・・・・・・・くし形電極指の交
さ部分における中点 １３−・・・・・・・・・・・・・・各くし形電極の交
さ部分における中点を結ぶ線 Ｌ ・・・・・・・・・・・・・・・くし形電極指の交
さ長（７３１７）代理人弁理士 則 近 憲 佑（ほか
１名） 第１図 １１２ 丙 竿４図 第５図 第７図 第８図 手 続 補 正 書（自発） 叩５ｔ３．々１Ｂ 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭５７−２５８８２号 ２、発明の名称 弾性表面波共損器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ （１） 明細書の特許請求の範囲の欄（２）明細書の
発明の詳細な説明の欄 （３） 図 面
ンビｉに＝＼。 ６、 補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」の欄を別紙の通り補
正する。 （２） 明細書の「発明の詳細な説明」の欄を以下の
通り補正する。 （：） 第４頁第６行目。 「・・・が異なるため、高次横モードの・・・」とある
な。 「・・・が異なるため、音響インピーダンスの不連続を
生じ高次横モードの・・・」と訂正する。 （１１）第５頁第８行目乃至第９行目。 ［・・・に於いて、前記くし形電極指の交差部分・・シ
とあるな。 「・・・に於いて、この圧電基板表面上でくし形電極指
の長手方向と実質的に直角な方向をこの表面波放射電極
から励振竺射された弾性表面波の伝搬方向とし、隣接す
る１組の電極指が形成する１つの交さ部分の長手方向の
中点で且つ弾性表面波の伝搬方向の中点をこのくし形電
極指の交さ部分の中点とし、複数のくし形電極指が形成
する複数の交さ部分・・・・」と訂正する。 （ｉｉ＋ ）第５頁第１１行目乃至第１２行目。 ［・・・スプリアスの・・・］とあるを。 「・・・スプリアス特性の・・・」と訂正する。 （１いＩＦ５６頁第８行目乃至第１２行目。 「・・・順次等量づつ短く形成した・・・（中略）・・
・交さ部分の各中点１２・・・」とあるな。 ［・・・順次等量づつ長く形成したくし形電極指４ａと
順次等量づつ短く形成したくし形電極指４ｂを相互に交
ささせて構成され、−組の隣接するくし形電極指４ｍ、
４ｂが形成する交さ部分において電極指の長手方向の中
点で且つ弾性表面波の伝搬方向５の中点即ち交さ部分の
各中点１２・・・］と訂正する。 Ｍ 第６頁第１９行目。 「・・・交さ畏りは一定・・・」とあるな。 「・・・交さ長りはほぼ一定・・・」と訂正する。 （■１）第７頁第５行目。 「・・・フーリエ変換の・・・」とあるな。 ［・・・フーリエ級数展開の・・・］と訂正する。 （ｖｉｉ）第７頁第１６行目。 「ｌ−三角波上に・・・」とあるな。 「・・・三角波状に・・・」と訂正する。 （３）図面のうち第６丙乃至第８図を別紙の通り訂正す
る。 以上 特許請求の範囲 １、圧電基板上に、複数のくし形電極指を交差させた表
面波放射電極と、この放射電極をはさむ対をなす表面波
反射器とを形成した弾性表面波共ｐ交さ部分の各中点が
、弾性表面波の伝搬方向と傾きをもった軌跡上１：並ぶ
よう構成されたことを特徴とする弾性表面波共振器。 ２、くシ形電極指の交さ部分の各中点が２．弾性表面波
の伝播方向と傾きを有する直線上に並ぶように構成され
てなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾
性表面波共振器。 ３、くシ形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表面波の
伝播方向と傾きを有する曲線上に並ぶことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波共振器。 第 ６ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧電基板上４＝、複数のくし形電極指を交ささせた
表面波放射電極と、この放射電極をはさむ対をなす表面
波反射器とを形成した弾性表面波共振器に於いて、前記
くし形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表面波の伝播
方向と傾きをもった軌跡上に並ぶよう構成されたことを
特徴とする弾性表面波共振器。 ２、くシ形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表面波の
伝播方向と傾きを有する直線上に並ぶように構成されて
なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性
表面波共振器。 ３、くシ形電極指の交さ部分の各中点が、弾性表面波の
伝播方向と傾きを有する曲線上に並ぶことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2588282A JPS58143620A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2588282A JPS58143620A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波共振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58143620A true JPS58143620A (ja) | 1983-08-26 |
| JPH0245847B2 JPH0245847B2 (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=12178146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2588282A Granted JPS58143620A (ja) | 1982-02-22 | 1982-02-22 | 弾性表面波共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58143620A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63114408A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| JP2007019710A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
| US9319023B2 (en) | 2011-06-28 | 2016-04-19 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element and acoustic wave device using same |
| US10476474B2 (en) | 2016-01-13 | 2019-11-12 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and duplexer |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105814794B (zh) | 2013-12-26 | 2019-05-17 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置以及滤波器装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55144423U (ja) * | 1979-04-05 | 1980-10-16 |
-
1982
- 1982-02-22 JP JP2588282A patent/JPS58143620A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH0245847B2 (ja) | 1990-10-12 |
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