JPS59200519A - 弾性表面波共振器 - Google Patents
弾性表面波共振器Info
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- JPS59200519A JPS59200519A JP7378083A JP7378083A JPS59200519A JP S59200519 A JPS59200519 A JP S59200519A JP 7378083 A JP7378083 A JP 7378083A JP 7378083 A JP7378083 A JP 7378083A JP S59200519 A JPS59200519 A JP S59200519A
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
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- H—ELECTRICITY
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- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
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- Acoustics & Sound (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は高次横モードスプリアスを軽減させた弾性表面
波共振器に関する。
波共振器に関する。
一般に、弾性表面波共振器は第１図に示すような構成を
とることが多い。
とることが多い。
すなわち圧電基板（１）の一方の主面上に配置され所定
の間隔（３０１）で平行に配列されたたとえばアルミニ
ウムからなるストリップ（３０２）列を挾み対向して、
このストリップ（３０２）列を電気的に短絡するブスバ
ー（３０３）より表面波反射器（３）が構成されている
。この表面波反射器（３）と表面波反射器（３）との間
に配置された櫛形電極（４）が相互に差し込まれ形成さ
れて電気−機械変換器、即ち放射電極（２）を構成して
いる。また表面波反射器（３）は放射電極（２）からの
弾性表面波伝播路上に配置されている。
の間隔（３０１）で平行に配列されたたとえばアルミニ
ウムからなるストリップ（３０２）列を挾み対向して、
このストリップ（３０２）列を電気的に短絡するブスバ
ー（３０３）より表面波反射器（３）が構成されている
。この表面波反射器（３）と表面波反射器（３）との間
に配置された櫛形電極（４）が相互に差し込まれ形成さ
れて電気−機械変換器、即ち放射電極（２）を構成して
いる。また表面波反射器（３）は放射電極（２）からの
弾性表面波伝播路上に配置されている。
符号（５）は表面波の伝播方向を示す。
そして、この２つの表面波反射器（３）の間に〉いて、
放射電極（２）から励振放射された表面波の定在波を起
こして共振させ、Ｑの高い共振器として作用させている
。
放射電極（２）から励振放射された表面波の定在波を起
こして共振させ、Ｑの高い共振器として作用させている
。
また弾性表面波共振器には、第２図に示すように、略等
しい長さの令聞ストリップ（３０２）列よりなる表面波
反射器（３）を備えているが、各金属ストリップ（３０
２）列を電気的に短絡するブスバーをもたないタイプの
ものもある。さらに弾性表面波共振器によっては、第２
図において、金属ストリップ（３０２）列の部分が圧電
基板（１）の−主面に凹部を形成して、表面波反射器（
３）を形成してなるタイプのものもある。
しい長さの令聞ストリップ（３０２）列よりなる表面波
反射器（３）を備えているが、各金属ストリップ（３０
２）列を電気的に短絡するブスバーをもたないタイプの
ものもある。さらに弾性表面波共振器によっては、第２
図において、金属ストリップ（３０２）列の部分が圧電
基板（１）の−主面に凹部を形成して、表面波反射器（
３）を形成してなるタイプのものもある。
しかしながらこのような構成の弾性表面波共振器は、放
射電極（２）が表面波の伝播方向（５）Ｋ沿った相互に
等しい長さのくし形電極指（４）を交さして形成され、
その交さ長りの一定な正規形電極構造のものが多かった
。
射電極（２）が表面波の伝播方向（５）Ｋ沿った相互に
等しい長さのくし形電極指（４）を交さして形成され、
その交さ長りの一定な正規形電極構造のものが多かった
。
そのため第３図の共振レスポンス特性図に示すように、
主共振Ｐのほかに、高次横モードスプリアスとよばれる
スプリアス共振Ｐ１ ｅ Ｐ＊が生じる欠点がある。
主共振Ｐのほかに、高次横モードスプリアスとよばれる
スプリアス共振Ｐ１ ｅ Ｐ＊が生じる欠点がある。
この原因は主に次のように考えられる。
すなわち、放射電極（２）を第４図Ａに示すような正規
形電極とした場合、表面波の伝搬方向（５）と直角な方
向における表面波のエネルギー分布は、同図Ｂに示すよ
うに、矩形波状（６）となり、これを７一リエ級数展開
すれが同図Ｃ−Ｅに示すような複数の正弦波状の等位相
面を有する波（力、 （８１、（９）、−・に分解する
ことができる。このうち、（力が基本モードと呼ばれ、
（８１、（９１、・ が高次横モードと呼ばれる。
形電極とした場合、表面波の伝搬方向（５）と直角な方
向における表面波のエネルギー分布は、同図Ｂに示すよ
うに、矩形波状（６）となり、これを７一リエ級数展開
すれが同図Ｃ−Ｅに示すような複数の正弦波状の等位相
面を有する波（力、 （８１、（９）、−・に分解する
ことができる。このうち、（力が基本モードと呼ばれ、
（８１、（９１、・ が高次横モードと呼ばれる。
ここで基本モード（７）の位相速度に対し高次横モード
（８） 、 （９） 、・・のそれはわずかに早い。
（８） 、 （９） 、・・のそれはわずかに早い。
又、伝搬方向についても第九図に示すように基本モード
（７）の伝搬方向（５）に対して、高次横モードの伝搬
方向α１は、ある角度をもつ。
（７）の伝搬方向（５）に対して、高次横モードの伝搬
方向α１は、ある角度をもつ。
そしてまた表面波反射器（３）の内側と外側とでは質量
付加効果、電界短絡効果等により表面波の伝搬速度が異
るため、高次横モードの波（８）の一部は第６図の矢印
αυで示すように表面波反射器（３）の端部で順次反射
され、表面波反射器（３）内に高次横モードの波がとじ
こめられて基本モード（７）に比べて高い共振周波数を
有する一種の共振モードを生ずることになる。
付加効果、電界短絡効果等により表面波の伝搬速度が異
るため、高次横モードの波（８）の一部は第６図の矢印
αυで示すように表面波反射器（３）の端部で順次反射
され、表面波反射器（３）内に高次横モードの波がとじ
こめられて基本モード（７）に比べて高い共振周波数を
有する一種の共振モードを生ずることになる。
これが高次横モードスプリアスと呼ばれるもので、第３
図に示すようなスプリアスＰＩ ＋ Ｐ＊を生ずる原因
となると考えられる。
図に示すようなスプリアスＰＩ ＋ Ｐ＊を生ずる原因
となると考えられる。
以上の原因を考えると、第１図及び第２図に示す表面波
放射電極（２）から放射される表面波の高次横モードの
波が表面波反射器（３）内にとじこめられても、共振モ
ードを生じない様にすれば、高次横モードスプリアスを
抑圧させることができると考えられる。
放射電極（２）から放射される表面波の高次横モードの
波が表面波反射器（３）内にとじこめられても、共振モ
ードを生じない様にすれば、高次横モードスプリアスを
抑圧させることができると考えられる。
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、高次横
モードが原因となって生ずる高次横モードスプリアスを
軽減させた弾性表面波共振器の提供を目的とする。
モードが原因となって生ずる高次横モードスプリアスを
軽減させた弾性表面波共振器の提供を目的とする。
本発明はこの目的を達成するために、圧電基板上に配置
され所定の間隔で略平行に配列された電極指または矩形
孔またはその両者からなる列で構成された複数の表面波
反射器と、この表面波反射器の間に配置された櫛形電極
よりなる電気−機械変換器とから構成されている弾性表
面波共振器において、この′４極指または矩形孔の先端
部を結ばれてなる包絡線の少なくとも一方は各電極指ま
たは各矩形孔の長手方向と略垂直な方向を基準としゾ この基準に対して傾きをもった直線及びこの基準に対し
て傾きをもった接線を有する曲線、またはこの直線及び
この曲線の組み合せからなる非線からなることを特徴と
し、高次横モードスプリアスを軽減させた弾性表面波共
振器の実現を図るものである。
され所定の間隔で略平行に配列された電極指または矩形
孔またはその両者からなる列で構成された複数の表面波
反射器と、この表面波反射器の間に配置された櫛形電極
よりなる電気−機械変換器とから構成されている弾性表
面波共振器において、この′４極指または矩形孔の先端
部を結ばれてなる包絡線の少なくとも一方は各電極指ま
たは各矩形孔の長手方向と略垂直な方向を基準としゾ この基準に対して傾きをもった直線及びこの基準に対し
て傾きをもった接線を有する曲線、またはこの直線及び
この曲線の組み合せからなる非線からなることを特徴と
し、高次横モードスプリアスを軽減させた弾性表面波共
振器の実現を図るものである。
以下本発明の弾性表面波共振器の詳細を説明する。まお
従来例と共通する部分には同一符号を付す。弾性表面波
共振器の概略構造は、第１図に示すように表面波の伝播
基板たる圧電基板（１）の−主面上に、電気−機械変換
器から構成される放射電極（２）とこれを挾んで一対の
表面波反射器（３）を伝播路上に互いに所定間隔をおい
て形成されてなるので、詳細な説明は省略する。
従来例と共通する部分には同一符号を付す。弾性表面波
共振器の概略構造は、第１図に示すように表面波の伝播
基板たる圧電基板（１）の−主面上に、電気−機械変換
器から構成される放射電極（２）とこれを挾んで一対の
表面波反射器（３）を伝播路上に互いに所定間隔をおい
て形成されてなるので、詳細な説明は省略する。
第７図（ａｌ及び（ｂ）は本発明の弾性表面波共振器に
おける特徴部分である表面波反射器（３）の一実施例を
示したものである。
おける特徴部分である表面波反射器（３）の一実施例を
示したものである。
第７図（ａｌにおいて、表面波反射器（３）は所定の間
隔ｌで平行に配列され同じ長さで構成された電極指例え
ば金属性のス） ＩＪツブ（３０２）列の先端部（３０
５）の端辺の中点を結ぶ包絡線（３０７）の形状は、非
直線である。即ち基本モードの表面波伝搬方向（２Ｉ）
に所定の間隔ｌをへてならんだ例えばアルミニウムから
なるス） ＩＪツブ（３０２）列から表面波反射器（３
）は構成されている。そしてストリップ（３０２）列の
各先端部（３０５）の端辺の中点（３０６）を結ぶ包絡
線は、ス） ＩＪツブ（３０２）の長手方向ｍと略垂直
な方向（３）を基準とし、この基準に対して傾きをもっ
た直線の組み合せからなる非直線からなっている。
隔ｌで平行に配列され同じ長さで構成された電極指例え
ば金属性のス） ＩＪツブ（３０２）列の先端部（３０
５）の端辺の中点を結ぶ包絡線（３０７）の形状は、非
直線である。即ち基本モードの表面波伝搬方向（２Ｉ）
に所定の間隔ｌをへてならんだ例えばアルミニウムから
なるス） ＩＪツブ（３０２）列から表面波反射器（３
）は構成されている。そしてストリップ（３０２）列の
各先端部（３０５）の端辺の中点（３０６）を結ぶ包絡
線は、ス） ＩＪツブ（３０２）の長手方向ｍと略垂直
な方向（３）を基準とし、この基準に対して傾きをもっ
た直線の組み合せからなる非直線からなっている。
この表面波反射器（３）の包絡線（３０７）を境界とし
て、一方の側は圧電基板上に何もないが、他方の側には
圧電基板上にストリップ（３０２）が構成されている。
て、一方の側は圧電基板上に何もないが、他方の側には
圧電基板上にストリップ（３０２）が構成されている。
この為、包絡線（３０７）を境界として表面波の伝搬速
度に相異が生じ、放射電極から入射する波のうち高次横
モードの波（ハ）は包絡線（３０７）で乱反射（２２１
）するため、第１図の表面波放射電極（２）から放射さ
れる表面波の高次横モードの波が表面波反射器（３）内
にとじこめられても、共振モードが生じにくくなる。従
って高次横モードスプリアスを抑圧させることができる
。
度に相異が生じ、放射電極から入射する波のうち高次横
モードの波（ハ）は包絡線（３０７）で乱反射（２２１
）するため、第１図の表面波放射電極（２）から放射さ
れる表面波の高次横モードの波が表面波反射器（３）内
にとじこめられても、共振モードが生じにくくなる。従
って高次横モードスプリアスを抑圧させることができる
。
第７図（ｂ）においては、第７図（ａ）に示したストリ
ップ（３０２）の先端部が三角形状となっている表面波
反射器（３）を示す。包絡線（３０７）はス） ＩＪツ
ブ（３０２）の最先端部（３０９）を結んだ非直線から
なる。
ップ（３０２）の先端部が三角形状となっている表面波
反射器（３）を示す。包絡線（３０７）はス） ＩＪツ
ブ（３０２）の最先端部（３０９）を結んだ非直線から
なる。
この表面波反射器（３）は第７図（ａ）に示したものに
比べ、ストリップ（３０２）の先端部がストリップ（３
０２）の長手方向（１）に略垂直となる方向（３）を基
準として、この基準に対して傾きをもった直線となって
いる。
比べ、ストリップ（３０２）の先端部がストリップ（３
０２）の長手方向（１）に略垂直となる方向（３）を基
準として、この基準に対して傾きをもった直線となって
いる。
従って、この傾きをもった傾斜面（３０８）に放射電極
から入射する波のうち高次横モードの波器は、包絡線（
３０７）で乱反射（２２１）する以゛外に、傾斜面（３
０８）で乱反射（２２２）をおこす。このため第７図（
ｂ）に示す表面波反射器（３）は、第１図の表面波放射
電極（２）から放射される表面波の高次横モードの波が
表面波反射器（３）内にとじこめられた場合、第７図（
ａ）に示したものよりも共振モードが生じに〈〈なる。
から入射する波のうち高次横モードの波器は、包絡線（
３０７）で乱反射（２２１）する以゛外に、傾斜面（３
０８）で乱反射（２２２）をおこす。このため第７図（
ｂ）に示す表面波反射器（３）は、第１図の表面波放射
電極（２）から放射される表面波の高次横モードの波が
表面波反射器（３）内にとじこめられた場合、第７図（
ａ）に示したものよりも共振モードが生じに〈〈なる。
即ち、第７図（ｂ）に示す表面波反射電極（３）は、第
７図（ａ）に示したものよりも高次横モードスプリアス
を抑圧させることができる。また、第７図（ｂ）におい
て傾斜面（３０８）はストリップ（３０２）の長手方向
（Ｙｌに略垂直となる方向（３）を基準として、この基
準に対して傾きをもった微細な直線の組み合せからなる
非直線例えばギザギザ状のもの、さらに曲線でも同等の
効果はある。
７図（ａ）に示したものよりも高次横モードスプリアス
を抑圧させることができる。また、第７図（ｂ）におい
て傾斜面（３０８）はストリップ（３０２）の長手方向
（Ｙｌに略垂直となる方向（３）を基準として、この基
準に対して傾きをもった微細な直線の組み合せからなる
非直線例えばギザギザ状のもの、さらに曲線でも同等の
効果はある。
第８図（ａ）に示す表面波反射器（３）は、第７図Ｔａ
ｌに示すものと異なり各ストリップ（３０２）の長さが
互いに異なるようにしたものである。第８図（ａ）に示
す表面波反射器（３）と異なり定められたスペースで包
絡線（３０７）の起伏を激しく出来るので、表面波の高
次横モードの波の乱反射を行ないやすくなる。
ｌに示すものと異なり各ストリップ（３０２）の長さが
互いに異なるようにしたものである。第８図（ａ）に示
す表面波反射器（３）と異なり定められたスペースで包
絡線（３０７）の起伏を激しく出来るので、表面波の高
次横モードの波の乱反射を行ないやすくなる。
また、第８図（ｂ） Ｋ示す表面波反射器（３）は、ス
トリップ列の先端が一方は一直線上に並んだものである
。この表面波反射器（３）は、一方の側のみ包絡線（３
０７）が形成されているだけだが、高次横モードスプリ
アスをある程度抑圧させることができる。
トリップ列の先端が一方は一直線上に並んだものである
。この表面波反射器（３）は、一方の側のみ包絡線（３
０７）が形成されているだけだが、高次横モードスプリ
アスをある程度抑圧させることができる。
第９図（ａ）に示す表面波反射器（３）は、第８図（ａ
）に示す表面波反射器（３）の一方の包絡線（３０７）
の形状と略同じ釦前記ストリップ（３０２）列を電気的
に短絡するブスバー（３０３）を形成したものである。
）に示す表面波反射器（３）の一方の包絡線（３０７）
の形状と略同じ釦前記ストリップ（３０２）列を電気的
に短絡するブスバー（３０３）を形成したものである。
この表面波反射器（３）では、放射電極から入射する波
のうち高次横モードの波（２３は包絡線（３０７）で乱
反射（２２１）すると共にブスバー（３０３）で乱反射
（２２３）を起こす。従って、第１図の表面波放射電極
（２）から放射される表面波の高次横モードの波が表面
波反射器（３）内にとじこめられても共振モードが生じ
にくくなる。即ち、第９図（ａ）に示す表面波反射器（
３）を用いると高次横モードスプリアスを抑圧させるこ
とができる。
のうち高次横モードの波（２３は包絡線（３０７）で乱
反射（２２１）すると共にブスバー（３０３）で乱反射
（２２３）を起こす。従って、第１図の表面波放射電極
（２）から放射される表面波の高次横モードの波が表面
波反射器（３）内にとじこめられても共振モードが生じ
にくくなる。即ち、第９図（ａ）に示す表面波反射器（
３）を用いると高次横モードスプリアスを抑圧させるこ
とができる。
また第９図（ｂ）に示す表面波反射器（３）は第８図（
ｂ）に示す表面波反射器（３）の包絡線（３０７）の形
状と略同じにストリップ（３０２）列を電気的に短絡す
るブスバー（３０３）を形成したものである。この表面
波反射器（３）を用いると高次横モードスプリアスを抑
圧させることは自明である。また、ブスバーは第７図（
ａ） 、 （ｂ）に示す表面波反射器（３）に設けても
良い。
ｂ）に示す表面波反射器（３）の包絡線（３０７）の形
状と略同じにストリップ（３０２）列を電気的に短絡す
るブスバー（３０３）を形成したものである。この表面
波反射器（３）を用いると高次横モードスプリアスを抑
圧させることは自明である。また、ブスバーは第７図（
ａ） 、 （ｂ）に示す表面波反射器（３）に設けても
良い。
第１０図（ａ）と第１０図（１））とに示す表面波反射
器（３）において、前者は第９図（ａ）に示した表面波
反射器（３）の包絡線（３０７）の形状と略同じにスト
リップ（３０２）列を電気的に短絡するブスバー（３０
２）を形成したものであり、後者は第９図（ｂ）に示し
た表面波反射器（３）の各ス） ＩＪツブ（３０３）の
先端が一直線上に並んだストリップ（３０２）列を電気
的に短絡するブス／（−（３０３）を形成したものであ
る。これら表面波反射器（３）を用いると高次横モード
スプリアスを抑圧させることは明らかである。
器（３）において、前者は第９図（ａ）に示した表面波
反射器（３）の包絡線（３０７）の形状と略同じにスト
リップ（３０２）列を電気的に短絡するブスバー（３０
２）を形成したものであり、後者は第９図（ｂ）に示し
た表面波反射器（３）の各ス） ＩＪツブ（３０３）の
先端が一直線上に並んだストリップ（３０２）列を電気
的に短絡するブス／（−（３０３）を形成したものであ
る。これら表面波反射器（３）を用いると高次横モード
スプリアスを抑圧させることは明らかである。
なお、第９図ｆａ） 、 （ｂｌ、第１０図（ａ） 、
（ｂ）Ｋ示した表面波反射器（３）の傾斜面Ｇ１）と
、第１０図（ｂ） Ｋ示した表面波反射器（３）の平行
面（３擾とは、ストリップ（３０２）の長手方向（１）
に略垂直な方向内を基準として、この基準に対して傾き
をもった微細な直線の組み合せや曲線からなる非直線か
ら構成されれば高次横モードの波をより完全圧乱反射し
、共振モードが生じにくくなるのは言うまでもない。
（ｂ）Ｋ示した表面波反射器（３）の傾斜面Ｇ１）と
、第１０図（ｂ） Ｋ示した表面波反射器（３）の平行
面（３擾とは、ストリップ（３０２）の長手方向（１）
に略垂直な方向内を基準として、この基準に対して傾き
をもった微細な直線の組み合せや曲線からなる非直線か
ら構成されれば高次横モードの波をより完全圧乱反射し
、共振モードが生じにくくなるのは言うまでもない。
次に第１１図（ａ）を参照して本発明の他の実施例を説
明する。第１１図（ａ）Ｋおｈて、例えばアルミニウム
からなる金属膜（４１）Ｋ所定の間隔で平行に配列され
た矩形孔即ち長方形開孔（４１１）列が形成されて、表
面波反射器（３）は構成されている。この長方形開孔（
４１１）の各先端部（４１２）の端辺の中点を結ぶ包絡
線（３０７）の形状は直線の組み合せからなり非直線で
ある。即ち長方形開孔（４］１）の長手方向ｍに略垂直
な方向（３）を基準として、この基準に対して傾きをも
った直線の組み合せからなる非直線から包絡線（３０７
）は構成されている。
明する。第１１図（ａ）Ｋおｈて、例えばアルミニウム
からなる金属膜（４１）Ｋ所定の間隔で平行に配列され
た矩形孔即ち長方形開孔（４１１）列が形成されて、表
面波反射器（３）は構成されている。この長方形開孔（
４１１）の各先端部（４１２）の端辺の中点を結ぶ包絡
線（３０７）の形状は直線の組み合せからなり非直線で
ある。即ち長方形開孔（４］１）の長手方向ｍに略垂直
な方向（３）を基準として、この基準に対して傾きをも
った直線の組み合せからなる非直線から包絡線（３０７
）は構成されている。
この表面波反射器（３）の包絡線（３０７）を境界とし
て、一方の側はアルミニウムが一面に被着されているが
、他方の側にはアルミニウムに矩形孔即ち長方形開孔（
４１１）が構成されている。従って包絡線（３０７）を
境界として表面波の伝搬速度に相異が生じ、放射電極か
ら入射する波のうち高次横モードの波は、非直線な包絡
線（３０７）で乱反射するため、第１図に示した表面波
放射電極（２）から放射される表面波の高次横モードの
波が表面波反射器（３）内にとじこめられても、共振モ
ードが生じにくくなる。従って高次横モードスプリアス
を抑圧させることができる。なお、長方形開孔（４１１
）の開孔長の長さは全て同じ長さでも良いのは言うまで
もない。
て、一方の側はアルミニウムが一面に被着されているが
、他方の側にはアルミニウムに矩形孔即ち長方形開孔（
４１１）が構成されている。従って包絡線（３０７）を
境界として表面波の伝搬速度に相異が生じ、放射電極か
ら入射する波のうち高次横モードの波は、非直線な包絡
線（３０７）で乱反射するため、第１図に示した表面波
放射電極（２）から放射される表面波の高次横モードの
波が表面波反射器（３）内にとじこめられても、共振モ
ードが生じにくくなる。従って高次横モードスプリアス
を抑圧させることができる。なお、長方形開孔（４１１
）の開孔長の長さは全て同じ長さでも良いのは言うまで
もない。
また、第１１図（ｂ）に示す表面波反射器（３）は、第
１１図１ａ）に示したものと異なり包絡線（３０７）が
一本しかないものである。換言すれば、長方形開孔（４
１１）列の一方の先端部（４１４）は−直線上に並んで
いる。この表面波反射器（３）でも高次横モードスプリ
アスを抑圧させることはできる。
１１図１ａ）に示したものと異なり包絡線（３０７）が
一本しかないものである。換言すれば、長方形開孔（４
１１）列の一方の先端部（４１４）は−直線上に並んで
いる。この表面波反射器（３）でも高次横モードスプリ
アスを抑圧させることはできる。
次に第１２図（ａ）を参照して本発明の他の実施例を説
明する。圧電基板そのものに所定の間隔で矩形孔即ちグ
ループ（５１）を平行に配列し、表面波反射器（３）を
構成している。このグループ（５１）の各先端部（５１
１）の端辺の中点を結ぶ包絡線（３０７）の形状は直線
の組み合せからなり非直線である。即ちグループ（５１
）の長手方向（１）と略垂直な方向（３）を基準として
、この基準に対して傾きをもった直線の組み合せからな
る非直線からなっている。
明する。圧電基板そのものに所定の間隔で矩形孔即ちグ
ループ（５１）を平行に配列し、表面波反射器（３）を
構成している。このグループ（５１）の各先端部（５１
１）の端辺の中点を結ぶ包絡線（３０７）の形状は直線
の組み合せからなり非直線である。即ちグループ（５１
）の長手方向（１）と略垂直な方向（３）を基準として
、この基準に対して傾きをもった直線の組み合せからな
る非直線からなっている。
この表面波反射器（３）の包絡線（３０７）を境界とし
て、一方の側は圧電基板の一生面であるが他方の側には
圧電基板に矩形孔即ちグループ（５１）が構成されてい
る。従って包絡線（３０７）を境界として表面波の伝搬
速度に相異が生じ、放射電極から入射する波のうち高次
横モードの波は非直線な包絡線（３０７）で乱反射する
。よって、第１図に示した表面波放射電極（２）から放
射される表面波の高次横モードの波が表面波反射器（３
）内にとじこめられても、共振モードが生じにくくなる
。即ち高次横モードスプリアスを抑圧させることができ
る。なお、グループ（５１）の開孔長の長さは全て同じ
長さでも良い。またこのグループ（５１）の先端部（５
１１）の端辺の形状が基本モードの表面波伝搬方向ＯＢ
を基準として、この基準に対して傾きをもった微細な直
線の組み合せからなる非直線からなると、より一層高次
横モードスプリアスを抑圧させることができる。
て、一方の側は圧電基板の一生面であるが他方の側には
圧電基板に矩形孔即ちグループ（５１）が構成されてい
る。従って包絡線（３０７）を境界として表面波の伝搬
速度に相異が生じ、放射電極から入射する波のうち高次
横モードの波は非直線な包絡線（３０７）で乱反射する
。よって、第１図に示した表面波放射電極（２）から放
射される表面波の高次横モードの波が表面波反射器（３
）内にとじこめられても、共振モードが生じにくくなる
。即ち高次横モードスプリアスを抑圧させることができ
る。なお、グループ（５１）の開孔長の長さは全て同じ
長さでも良い。またこのグループ（５１）の先端部（５
１１）の端辺の形状が基本モードの表面波伝搬方向ＯＢ
を基準として、この基準に対して傾きをもった微細な直
線の組み合せからなる非直線からなると、より一層高次
横モードスプリアスを抑圧させることができる。
また、第１２図（ｂ）に示す表面波反射器（３）は、グ
ループ（５１）の先端の並びの片側を一直線上に並べ、
他方のみに包絡線（３０７）を設けたものである。第１
２図（ａ）に示した表面波反射器（３）よりも劣るが、
高次横モードスプリアスを抑圧させることができる。
ループ（５１）の先端の並びの片側を一直線上に並べ、
他方のみに包絡線（３０７）を設けたものである。第１
２図（ａ）に示した表面波反射器（３）よりも劣るが、
高次横モードスプリアスを抑圧させることができる。
次に第１３図を参照して本発明の他の実施例を説明する
。表面波反射器（３）は所定の間隔で平行に配列された
ストリップ（６１）列をブスバー（６２）が電気的に短
絡している。この時、ストリップ（６１）列の先端部の
並びの少なくとも一方はストリップ（６１）の長手方向
（Ｙ）と略垂直な方向（３）を基準としこの基準に対し
て傾きをもった直線からなる。これにより、高次横モー
ドの波が表面波反射器（３）内にとじこめられても傾斜
面（６１１）で乱反射（２２１）するので共振モードが
生じＫ＜くなる。従って高次横モードスプリアスを抑圧
させることができる。
。表面波反射器（３）は所定の間隔で平行に配列された
ストリップ（６１）列をブスバー（６２）が電気的に短
絡している。この時、ストリップ（６１）列の先端部の
並びの少なくとも一方はストリップ（６１）の長手方向
（Ｙ）と略垂直な方向（３）を基準としこの基準に対し
て傾きをもった直線からなる。これにより、高次横モー
ドの波が表面波反射器（３）内にとじこめられても傾斜
面（６１１）で乱反射（２２１）するので共振モードが
生じＫ＜くなる。従って高次横モードスプリアスを抑圧
させることができる。
また、第１３１’４に示す表面波反射器（３）はブスバ
ー（６２）を形成していなくても同等の効果が得られる
のは言うまでもない。さらに、ストリップ（６１）列の
先端部の並びの少なくとも一方は基本モードの表面波伝
搬方向（２Ｄを基準としこの基準に対して傾きをもった
接線を有する曲線から構成しても良いのは明白である。
ー（６２）を形成していなくても同等の効果が得られる
のは言うまでもない。さらに、ストリップ（６１）列の
先端部の並びの少なくとも一方は基本モードの表面波伝
搬方向（２Ｄを基準としこの基準に対して傾きをもった
接線を有する曲線から構成しても良いのは明白である。
その上、一部は曲線で構成し他の一部は直線で構成して
も良い。
も良い。
またさらに表面波反射器には、電極指例えばストリップ
と矩形孔例えばグループまたは金属膜に開孔形状を設け
たものを組み合せて、構成してもよい。この表面波反射
器において、電極指と矩形孔とのそれぞれ先端部が結ば
れてなる包絡線の少なくとも一方は各電極指と各矩形孔
との長手方向と略垂直な方向を基準とし、この基準に対
して傾きをもった直線とこの基準に対して傾きをもった
接線を有する曲線とこの直線及びこの曲線の組み合せか
らなる非直線のいずれからなれば、第７図（ａ）乃至第
１３図とに示した表面波反射器と同じく高次横モードス
プリアスを抑圧させることができるのは言うまでもない
。
と矩形孔例えばグループまたは金属膜に開孔形状を設け
たものを組み合せて、構成してもよい。この表面波反射
器において、電極指と矩形孔とのそれぞれ先端部が結ば
れてなる包絡線の少なくとも一方は各電極指と各矩形孔
との長手方向と略垂直な方向を基準とし、この基準に対
して傾きをもった直線とこの基準に対して傾きをもった
接線を有する曲線とこの直線及びこの曲線の組み合せか
らなる非直線のいずれからなれば、第７図（ａ）乃至第
１３図とに示した表面波反射器と同じく高次横モードス
プリアスを抑圧させることができるのは言うまでもない
。
以上のような構成をとることにより本発明は、表面波反
射器側面での弾性表面波の伝搬速度の差によって生ずる
反射が乱れる。これにより放射電極から放射される表面
波の高次横モードの波が表面波反射器内で横モード共振
が生じにくくなる。
射器側面での弾性表面波の伝搬速度の差によって生ずる
反射が乱れる。これにより放射電極から放射される表面
波の高次横モードの波が表面波反射器内で横モード共振
が生じにくくなる。
従って高次横モードスプリアスを抑圧することができる
。
。
第１図は従来の弾性表面波共振器を示す平面図、は第１
図及び第２図に示す弾性表面波共振器において横モード
スプリアスが発生する理由を説明する図、第７図（ａ）
及び（ｂｌは本発明の弾性表面波共振器の一実施例の要
部を示す図、第８図（ａ）及び（ｂ）は本発明の他の実
施例の要部を示す図、第９図（ａ）及び（ｂ）は本発明
の他の実施例の要部を示す図、第１０図（８）及び（ｂ
）は本発明の他の実施例の要部を示す図、第１１図（ａ
）及び（ｂ）は本発明の他の実施例の要部を示す図、第
１２図Ｔ８）及び（ｂ）は本発明の他の実施例の要部を
示す図、第１３図は本発明の他の実施例の要部を示す図
でちる。
図及び第２図に示す弾性表面波共振器において横モード
スプリアスが発生する理由を説明する図、第７図（ａ）
及び（ｂｌは本発明の弾性表面波共振器の一実施例の要
部を示す図、第８図（ａ）及び（ｂ）は本発明の他の実
施例の要部を示す図、第９図（ａ）及び（ｂ）は本発明
の他の実施例の要部を示す図、第１０図（８）及び（ｂ
）は本発明の他の実施例の要部を示す図、第１１図（ａ
）及び（ｂ）は本発明の他の実施例の要部を示す図、第
１２図Ｔ８）及び（ｂ）は本発明の他の実施例の要部を
示す図、第１３図は本発明の他の実施例の要部を示す図
でちる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）圧電基板上に配置され所定の間隔で略平行に配列
された電極指列で構成された複数の表面波反射器と、複
数の前記表面波反射器の間に配置された櫛形電極よりな
る電気−機械変換器とから構成されている弾性表面波共
振器において、前記電極指列の各電極指先端部が結ばれ
てなる包絡線の少なくとも一方６ｓ極指の長手方向と略
垂直な方向を基準としこの基準に対して傾きをもった直
線と九の基準に対して傾きをもった接線を有する゛曲線
と外の直線及びこの曲線の組み合せからなる非直線との
いずれからなることを特徴とする弾性表面波共振器。 （２）前記′電極指列の電極指は、金属からなるストリ
ップ列であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の弾性表面波共振器。 （３） 前記ストリップ列の各ストリップ先端部を結
んでなる包絡線の少なくとも一方にこの包絡線の形状と
略同じに前記ストリップ列を電気的に短絡するブスバー
が形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項及び第２項記載の弾性表面波共振器。 （４］ 圧電基板上に配置され所定の間隔で略平行に
配列された矩形孔列で構成された複数の表面波反射器と
、複数の前記表面波反射器の間に配置された櫛形電極よ
りなる電気−機械変換器とから構成されている弾性表面
波共振器において、前記矩形孔列の各電極指先端部が結
ばれてなる包絡線の少なくとも一方はζ矩形孔の長手方
向と略垂直な方向を基準としこの基準に対して傾きをも
った直゛線と覧の基準に対して傾きをもった接線を有す
る曲線と外の直線及びこの曲線の組み合せからなる非直
線とのいずれからなることを特徴とする弾性表面波共振
器。 （５」 前記矩形孔列の各矩形孔は金属膜に開孔部が
形成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第４項
記載の弾性表面波共振器。 （６）前記矩形孔列の各矩形孔は、前記圧電基板の一主
面に凹部が形成されてなることを特徴とする特許請′求
の範囲第４項記載の弾性表面波共振器。 （７） 圧電基板上に配列され所定の間隔で略平行に
配列された電極指と矩形孔とから構成された複数の表面
波反射器と、複数の前記表面波反射器の間に配置された
櫛形電極よりなる電気−機械変換器とから構成されてい
る弾性表面波共振器において、前記電極指と矩形孔との
それぞれ先端部が結ばれてなる包絡線の少なくとも一方
＆ ′ｔｘ極指と各矩形孔との長手方向と略垂直な方向
を基準としこの基準に対して傾きをもった直線力（の基
準に対して傾きをもった接線を有する曲線ジこの直線及
びこの曲線の組み合せからなる非直線のいずれからなる
ことを特徴とする弾性表面波共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7378083A JPS59200519A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 弾性表面波共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7378083A JPS59200519A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 弾性表面波共振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59200519A true JPS59200519A (ja) | 1984-11-13 |
Family
ID=13528055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7378083A Pending JPS59200519A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 弾性表面波共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59200519A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61281611A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-12 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子 |
| US6346761B1 (en) * | 1999-01-27 | 2002-02-12 | Hitachi Denshi Kabushiki Kaisha | Surface acoustic wave device capable of suppressing spurious response due to non-harmonic higher-order modes |
| EP1195896A1 (en) * | 2000-04-24 | 2002-04-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vertical coupling surface acoustic wave filter |
| JP2011217420A (ja) * | 2006-02-24 | 2011-10-27 | Panasonic Corp | 弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器、及びそれらを用いた高周波モジュール、通信機器 |
| US11489513B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-01 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5115987A (ja) * | 1974-07-31 | 1976-02-07 | Hagiwara Denki Kk | Onkyodenkikyoshinshi |
| JPS5136091A (ja) * | 1974-08-29 | 1976-03-26 | Ibm | |
| JPS5272137A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Sony Corp | Surface wave elements |
| JPS5533564B2 (ja) * | 1972-12-14 | 1980-09-01 | ||
| JPS5711521A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-21 | Toshiba Corp | Elastic surface wave resonator |
| JPS5774947A (en) * | 1981-08-24 | 1982-05-11 | Matsushita Electronics Corp | Color picture tube |
| JPS5819014A (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-03 | Sony Corp | 弾性表面波共振装置 |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7378083A patent/JPS59200519A/ja active Pending
Patent Citations (7)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5533564B2 (ja) * | 1972-12-14 | 1980-09-01 | ||
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| JPS5774947A (en) * | 1981-08-24 | 1982-05-11 | Matsushita Electronics Corp | Color picture tube |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS61281611A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-12 | Hitachi Ltd | 弾性表面波共振子 |
| US6346761B1 (en) * | 1999-01-27 | 2002-02-12 | Hitachi Denshi Kabushiki Kaisha | Surface acoustic wave device capable of suppressing spurious response due to non-harmonic higher-order modes |
| EP1195896A1 (en) * | 2000-04-24 | 2002-04-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Vertical coupling surface acoustic wave filter |
| US6650207B1 (en) * | 2000-04-24 | 2003-11-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Longitudinally coupled surface acoustic wave filter with linearly weighted reflectors |
| EP1195896A4 (en) * | 2000-04-24 | 2005-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | ACOUSTIC SURFACE WAVE FILTER WITH VERTICAL COUPLING |
| JP2011217420A (ja) * | 2006-02-24 | 2011-10-27 | Panasonic Corp | 弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器、及びそれらを用いた高周波モジュール、通信機器 |
| US11489513B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-01 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter |
| US11502668B2 (en) * | 2018-11-16 | 2022-11-15 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter with stepped acoustic reflectors |
| US11545960B2 (en) | 2018-11-16 | 2023-01-03 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter with slanted acoustic reflectors |
| US11949404B2 (en) | 2018-11-16 | 2024-04-02 | Skyworks Solutions, Inc. | Acoustic wave component with stepped and slanted acoustic reflector |
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