JPH05183375A - 圧電薄膜発振子 - Google Patents
圧電薄膜発振子Info
- Publication number
- JPH05183375A JPH05183375A JP35879791A JP35879791A JPH05183375A JP H05183375 A JPH05183375 A JP H05183375A JP 35879791 A JP35879791 A JP 35879791A JP 35879791 A JP35879791 A JP 35879791A JP H05183375 A JPH05183375 A JP H05183375A
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- JP
- Japan
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- thin film
- piezoelectric thin
- oscillator
- coupler
- vibration
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- Withdrawn
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メイン振動以外の不要な振動をカプラー部で
減衰、除去することにより、共振特性を向上させる。 【構成】 振動子部6をフレーム部7の内側に支持する
カプラー部5a,5bの裏面に、振動が伝搬する方向と
略直交する方向に溝8を形成する。
減衰、除去することにより、共振特性を向上させる。 【構成】 振動子部6をフレーム部7の内側に支持する
カプラー部5a,5bの裏面に、振動が伝搬する方向と
略直交する方向に溝8を形成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、発振子に関し、詳し
くは、金属基板上に圧電薄膜を配設してなる金属発振子
(圧電薄膜発振子)に関する。
くは、金属基板上に圧電薄膜を配設してなる金属発振子
(圧電薄膜発振子)に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の圧電薄膜発振子としては、例え
ば、図5、図6に示すように、金属基板(エリンバ基
板)1に貫通溝4を形成することにより、フレーム部7
と振動子部6を形成し、カプラー部5a、5bにより振
動子部6をフレーム部7の内側に支持するとともに、こ
の振動子部6上に圧電薄膜(ZnO薄膜)2を形成し、
さらに、圧電薄膜2上に電極膜(例えばNi電極膜)3
を形成してなる圧電薄膜発振子がある。
ば、図5、図6に示すように、金属基板(エリンバ基
板)1に貫通溝4を形成することにより、フレーム部7
と振動子部6を形成し、カプラー部5a、5bにより振
動子部6をフレーム部7の内側に支持するとともに、こ
の振動子部6上に圧電薄膜(ZnO薄膜)2を形成し、
さらに、圧電薄膜2上に電極膜(例えばNi電極膜)3
を形成してなる圧電薄膜発振子がある。
【0003】この圧電薄膜発振子において、圧電薄膜2
は、その一部がフレーム部7にまで延設されており、そ
の部分の圧電薄膜2上に配設された電極膜3の一部分が
一方の端子接触部9aとなり、また、端子接触部9aと
振動子部6を挟んで対向する他端側のフレーム部7が他
方の端子接触部9bとなっている。
は、その一部がフレーム部7にまで延設されており、そ
の部分の圧電薄膜2上に配設された電極膜3の一部分が
一方の端子接触部9aとなり、また、端子接触部9aと
振動子部6を挟んで対向する他端側のフレーム部7が他
方の端子接触部9bとなっている。
【0004】上記のように構成された圧電薄膜発振子
は、貫通溝4で囲まれた振動子部6の短辺方向への拡が
り振動を利用するものであり、カプラー部5a,5bか
ら所定の振動(メイン振動)を取り出している。
は、貫通溝4で囲まれた振動子部6の短辺方向への拡が
り振動を利用するものであり、カプラー部5a,5bか
ら所定の振動(メイン振動)を取り出している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の圧
電薄膜発振子の振動子部6で発生する振動にはメイン振
動以外にベンディング、長辺方向への拡がり、対称LA
MB波などのスプリアスがあり、これらが、カプラー部
5a,5bを通過して振動子部6の周囲のフレーム部7
に漏れ出して特性を劣化させるという問題点がある。図
8に、従来の圧電薄膜発振子の共振特性を示す。
電薄膜発振子の振動子部6で発生する振動にはメイン振
動以外にベンディング、長辺方向への拡がり、対称LA
MB波などのスプリアスがあり、これらが、カプラー部
5a,5bを通過して振動子部6の周囲のフレーム部7
に漏れ出して特性を劣化させるという問題点がある。図
8に、従来の圧電薄膜発振子の共振特性を示す。
【0006】この発明は、上記の問題点を解決するもの
であり、メイン振動以外のベンディング、長辺方向への
拡がり、対称LAMB波などの不要な振動をカプラー部
で減衰、除去することにより、共振特性を向上させるこ
とが可能な圧電薄膜発振子を提供することを目的とす
る。
であり、メイン振動以外のベンディング、長辺方向への
拡がり、対称LAMB波などの不要な振動をカプラー部
で減衰、除去することにより、共振特性を向上させるこ
とが可能な圧電薄膜発振子を提供することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の圧電薄膜発振子は、フレーム部と、振動
子部と、前記振動子部をフレーム部の内側に支持するカ
プラー部と、前記振動子部上に形成された圧電薄膜と、
前記圧電薄膜上に形成された電極膜とを具備してなる圧
電薄膜発振子であって、前記カプラー部の裏面に、振動
の伝搬方向と略直交する方向に溝を形成したことを特徴
とする。
に、この発明の圧電薄膜発振子は、フレーム部と、振動
子部と、前記振動子部をフレーム部の内側に支持するカ
プラー部と、前記振動子部上に形成された圧電薄膜と、
前記圧電薄膜上に形成された電極膜とを具備してなる圧
電薄膜発振子であって、前記カプラー部の裏面に、振動
の伝搬方向と略直交する方向に溝を形成したことを特徴
とする。
【0008】
【作用】振動子部を支持するカプラー部の裏面に、振動
が伝搬する方向と略直交する方向に形成された溝が、振
動子部で発生するメイン振動以外のスプリアス振動を減
衰させて共振特性を向上させる。また、上記溝を形成す
ることにより、共振抵抗を低減するとともにそのばらつ
きを抑制することができる。
が伝搬する方向と略直交する方向に形成された溝が、振
動子部で発生するメイン振動以外のスプリアス振動を減
衰させて共振特性を向上させる。また、上記溝を形成す
ることにより、共振抵抗を低減するとともにそのばらつ
きを抑制することができる。
【0009】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。この実施例の圧電薄膜発振子)は、従来の圧電薄
膜発振子と同様、図5に示すように、金属基板(エリン
バ基板)1に貫通溝4を形成することによりフレーム部
7と振動子部6を形成し、カプラー部5a、5bにより
振動子部6をフレーム部7の内側に支持するとともに、
この振動子部6上に圧電薄膜(ZnO薄膜)2を形成
し、さらに、圧電薄膜2上に電極膜(例えばNi電極
膜)3を形成することにより形成されている。
する。この実施例の圧電薄膜発振子)は、従来の圧電薄
膜発振子と同様、図5に示すように、金属基板(エリン
バ基板)1に貫通溝4を形成することによりフレーム部
7と振動子部6を形成し、カプラー部5a、5bにより
振動子部6をフレーム部7の内側に支持するとともに、
この振動子部6上に圧電薄膜(ZnO薄膜)2を形成
し、さらに、圧電薄膜2上に電極膜(例えばNi電極
膜)3を形成することにより形成されている。
【0010】そして、図1及び図2に、要部の拡大断面
図及び平面図を示すように、この実施例の圧電薄膜発振
子においては、カプラー5aの裏面(すなわち、金属基
板1の裏面)に、振動の伝搬方向と略直交する方向に3
本(3条)の溝8が形成されている。なお、図1及び図
2には示していないが、カプラー部5b(図5)の裏面
にも同様の溝が形成されている。
図及び平面図を示すように、この実施例の圧電薄膜発振
子においては、カプラー5aの裏面(すなわち、金属基
板1の裏面)に、振動の伝搬方向と略直交する方向に3
本(3条)の溝8が形成されている。なお、図1及び図
2には示していないが、カプラー部5b(図5)の裏面
にも同様の溝が形成されている。
【0011】上記のように、カプラー部5a(及び5
b)の裏面に溝8が形成されたこの実施例の圧電薄膜発
振子においては、溝8が、振動子部6で発生するメイン
振動以外のスプリアス振動を効果的に減衰させて共振特
性を向上させる。なお、図7に、この実施例の圧電薄膜
発振子の共振特性を示す。
b)の裏面に溝8が形成されたこの実施例の圧電薄膜発
振子においては、溝8が、振動子部6で発生するメイン
振動以外のスプリアス振動を効果的に減衰させて共振特
性を向上させる。なお、図7に、この実施例の圧電薄膜
発振子の共振特性を示す。
【0012】図7及び従来の圧電薄膜発振子の共振特性
を示す図8から明らかなように、カプラー部の裏面に溝
を形成した、この発明の実施例にかかる圧電薄膜発振子
は、従来の圧電薄膜発振子(溝を形成していないもの)
と比較して、スプリアスが低減され、共振特性が向上し
ていることがわかる。
を示す図8から明らかなように、カプラー部の裏面に溝
を形成した、この発明の実施例にかかる圧電薄膜発振子
は、従来の圧電薄膜発振子(溝を形成していないもの)
と比較して、スプリアスが低減され、共振特性が向上し
ていることがわかる。
【0013】また、この発明の実施例の圧電薄膜発振子
の共振抵抗の平均値は、従来の圧電薄膜発振子(溝を形
成していないもの)に比べて約25%小さくなり、ばら
つきも約2分の1に減少することが確認されている。
の共振抵抗の平均値は、従来の圧電薄膜発振子(溝を形
成していないもの)に比べて約25%小さくなり、ばら
つきも約2分の1に減少することが確認されている。
【0014】なお、上記実施例では3本の溝を形成した
場合について説明したが、カプラー部の裏面に形成すべ
き溝の数には特に制約はなく、図3に示すように2本の
溝8を形成したり、あるいは図4に示すように1本の溝
8を形成したりすることも可能である。また、4本以上
の溝を形成してもよい。但し、上記実施例のように、例
えば溝の数が1本〜3本の範囲においては、溝の数が多
いほどスプリアスの低減効果が大きいことが確認されて
いる。
場合について説明したが、カプラー部の裏面に形成すべ
き溝の数には特に制約はなく、図3に示すように2本の
溝8を形成したり、あるいは図4に示すように1本の溝
8を形成したりすることも可能である。また、4本以上
の溝を形成してもよい。但し、上記実施例のように、例
えば溝の数が1本〜3本の範囲においては、溝の数が多
いほどスプリアスの低減効果が大きいことが確認されて
いる。
【0015】また、この発明の圧電薄膜発振子において
は、カプラー部の裏面に形成される溝の形状は、図1、
図3及び図4に示すように断面形状が曲率を有する形状
(R形状)のものに限らず、断面形状が曲率を有しない
凹状その他の形状の溝を形成することも可能である。
は、カプラー部の裏面に形成される溝の形状は、図1、
図3及び図4に示すように断面形状が曲率を有する形状
(R形状)のものに限らず、断面形状が曲率を有しない
凹状その他の形状の溝を形成することも可能である。
【0016】なお、この発明の圧電薄膜発振子において
は、振動子部や圧電薄膜などの各部の形状や材質など
は、上記実施例により制約されるものではなく、この発
明の効果を損わない範囲において、種々の応用を加える
ことが可能である。
は、振動子部や圧電薄膜などの各部の形状や材質など
は、上記実施例により制約されるものではなく、この発
明の効果を損わない範囲において、種々の応用を加える
ことが可能である。
【0017】
【発明の効果】上述のように、この発明の圧電薄膜発振
子は、カプラー部の裏面に、振動の伝搬方向と略直交す
る方向に溝を形成するようにしているので、振動子部で
発生するメイン振動以外のスプリアス振動をカプラー部
で減衰させて共振特性を向上させることができる。
子は、カプラー部の裏面に、振動の伝搬方向と略直交す
る方向に溝を形成するようにしているので、振動子部で
発生するメイン振動以外のスプリアス振動をカプラー部
で減衰させて共振特性を向上させることができる。
【0018】また、溝を形成することにより、共振抵抗
を低減することが可能になるとともに、共振抵抗のばら
つきを大幅に低減することができる。
を低減することが可能になるとともに、共振抵抗のばら
つきを大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例にかかる圧電薄膜発振子の
要部(カプラー部)の構造を示す拡大断面図である。
要部(カプラー部)の構造を示す拡大断面図である。
【図2】この発明の一実施例にかかる圧電薄膜発振子の
要部(カプラー部)の構造を示す拡大平面図である。
要部(カプラー部)の構造を示す拡大平面図である。
【図3】この発明の他の実施例にかかる圧電薄膜発振子
の要部を示す断面図である。
の要部を示す断面図である。
【図4】この発明のさらに他の実施例にかかる圧電薄膜
発振子の要部を示す断面図である。
発振子の要部を示す断面図である。
【図5】従来例及びこの発明の一実施例にかかる圧電薄
膜発振子の構成を示す平面図である。
膜発振子の構成を示す平面図である。
【図6】従来の圧電薄膜発振子を示す図5のVI−VI線断
面図である。
面図である。
【図7】この発明の一実施例にかかる圧電薄膜発振子の
共振特性を示す線図である。
共振特性を示す線図である。
【図8】従来の圧電薄膜発振子の共振特性を示す線図で
ある。
ある。
1 金属基板 2 圧電薄膜 3 電極膜 5a,5b カプラー部 6 振動子部 8 溝
Claims (1)
- 【請求項1】 フレーム部と、振動子部と、前記振動子
部をフレーム部の内側に支持するカプラー部と、前記振
動子部上に形成された圧電薄膜と、前記圧電薄膜上に形
成された電極膜とを具備してなる圧電薄膜発振子であっ
て、前記カプラー部の裏面に、振動の伝搬方向と略直交
する方向に溝を形成したことを特徴とする圧電薄膜発振
子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35879791A JPH05183375A (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 圧電薄膜発振子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35879791A JPH05183375A (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 圧電薄膜発振子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05183375A true JPH05183375A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18461164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35879791A Withdrawn JPH05183375A (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 圧電薄膜発振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05183375A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007023685A1 (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corporation | 圧電デバイス |
WO2007088696A1 (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動装置 |
WO2008072408A1 (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電薄膜共振子 |
JP2013098814A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
US8476811B2 (en) | 2010-08-07 | 2013-07-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric device with tuning-fork type piezoelectric vibrating piece |
-
1991
- 1991-12-28 JP JP35879791A patent/JPH05183375A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007023685A1 (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corporation | 圧電デバイス |
US7745979B2 (en) | 2005-08-22 | 2010-06-29 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device |
WO2007088696A1 (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電振動装置 |
JPWO2007088696A1 (ja) * | 2006-01-31 | 2009-06-25 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動装置 |
JP4930381B2 (ja) * | 2006-01-31 | 2012-05-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動装置 |
WO2008072408A1 (ja) * | 2006-12-12 | 2008-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電薄膜共振子 |
JPWO2008072408A1 (ja) * | 2006-12-12 | 2010-03-25 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜共振子 |
US8476811B2 (en) | 2010-08-07 | 2013-07-02 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric device with tuning-fork type piezoelectric vibrating piece |
JP2013098814A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |